專(zhuān)利名稱(chēng)：一種傾斜度測(cè)量器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及測(cè)量器裝置領(lǐng)域，特別涉及一種傾斜度測(cè)量器。
背景技術(shù)：
硅片制造的很多工藝如熱生長(zhǎng)氧化物、離子注入后硅片表面的熱退火、淀積膜、玻 璃體回流及硅化物膜的形成等等均需要使用到高溫爐設(shè)備。由于這些工藝與溫度有密切關(guān) 系，這就使高溫爐在IC制造中成為非常關(guān)鍵的因素。現(xiàn)有技術(shù)的高溫爐中，連接點(diǎn)火器的石英管與連接工藝腔體的石英管通過(guò)法蘭相 連接。法蘭連接的具體結(jié)構(gòu)請(qǐng)參看圖1。如圖1所示，密封圈100放置于連接于點(diǎn)火器的石 英管101上的法蘭102及連接于工藝腔體的石英管103上的法蘭104之間，將兩個(gè)法蘭對(duì) 接，通過(guò)固定鎖緊裝置105將兩個(gè)對(duì)接法蘭緊密的固定在一起，從而使連接對(duì)于點(diǎn)火器的 石英管101同連接于工藝腔體的石英管103連接在一起并不發(fā)生泄漏。但現(xiàn)有技術(shù)中在將兩個(gè)法蘭對(duì)接在一起時(shí)，無(wú)法測(cè)量?jī)蓚€(gè)法蘭在水平方向上是否 處于同一軸線，也無(wú)法測(cè)量?jī)蓚€(gè)法蘭在垂直方向上是否保持水平，因此當(dāng)兩個(gè)法蘭對(duì)接存 在高度差異或傾斜度差異時(shí)，對(duì)接后被固定鎖緊的法蘭即會(huì)因受力不均而發(fā)生破碎，造成 石英管內(nèi)的氣體泄漏，最終導(dǎo)致高溫爐停止工作而產(chǎn)生較大的損失。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種傾斜度測(cè)量器，可測(cè)量某一特定平面的 水平度、垂直度或傾斜度的測(cè)量器。為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種傾斜度測(cè)量器，包括底座、測(cè)量杠桿、 支撐盤(pán)和千分表；所述測(cè)量杠桿包括支點(diǎn)、測(cè)量桿、支桿、傳距軸以及移距量桿；所述支桿固定于所 述支點(diǎn)上，兩端可在所述支點(diǎn)的支撐作用下上下移動(dòng)，所述支桿的一端連接所述測(cè)量桿，另 一端連接所述傳距軸的一端，所述傳距軸的另一端為上窄下寬的錐形體；所述移距量桿包 括內(nèi)部形成腔室的套筒和桿體，所述桿體穿過(guò)所述套筒的腔室且其兩端伸出所述套筒的兩 端之外，所述桿體的一端安裝有滾珠，另一端連接千分表，所述套筒內(nèi)設(shè)置有彈簧，支撐所 述桿體上安裝有滾珠的一端向所述套筒外部移動(dòng)，緊挨于所述傳距軸的錐形體上；所述測(cè) 量桿包括內(nèi)部形成腔室的套筒和桿體，所述桿體穿過(guò)所述套筒的腔室且其兩端伸出所述套 筒的兩端之外，所述套筒固定于安裝于所述支撐盤(pán)之上的支架上，所述桿體的一端安裝有 滾珠，另一端連接所述支桿，所述測(cè)量桿垂直于所述支桿；所述支點(diǎn)固定于所述支撐盤(pán)之上；支撐盤(pán)的中心設(shè)置有第一腔體，所述支撐盤(pán)內(nèi) 還設(shè)置有第二腔體，所述第二腔體同所述第一腔體相通；所述傳距軸置于所述第一腔體內(nèi)， 所述移距量桿置于所述第二腔體內(nèi)，所述傳距軸和所述移距量桿在所述第一腔體和第二腔 體內(nèi)可分別進(jìn)行垂直運(yùn)動(dòng)和水平運(yùn)動(dòng)；所述支撐盤(pán)固定于所述底座上。[0010]可選的，所述支撐盤(pán)的底部具有貫通其兩端的凹槽，所述底座上具有貫通其兩端 的凹?jí)K，所述凸塊的形狀、尺寸同所述凹槽相適應(yīng)，所述凸塊安裝于凹槽中。可選的，所述支撐盤(pán)包括上支撐盤(pán)和下支撐盤(pán)，所述上支撐盤(pán)和下支撐盤(pán)的中心 設(shè)置有所述第一腔體，所述下支撐盤(pán)內(nèi)設(shè)置有所述第二腔體，所述支點(diǎn)固定于所述上支撐 盤(pán)之上；所述上支撐盤(pán)和下支撐盤(pán)之間設(shè)置有軸承；所述下支撐盤(pán)固定于所述底座上?？蛇x的，所述下支撐盤(pán)的底部具有貫通其兩端的凹槽，所述底座上具有貫通其兩 端的凸塊，所述凸塊的形狀、尺寸同所述凹槽相適應(yīng)，所述凸塊安裝于凹槽中。可選的，所述下支撐盤(pán)的底部具有貫通其兩端的第一凹槽；所述底座包括上底座 和下底座，所述上底座的一面具有貫通其兩端的第一凸塊，同該面相對(duì)的另一面具有第二 凸塊；所述上底座上，第一凸塊垂直于第二凸塊；所述第一凸塊的形狀、尺寸同所述第一凹 槽相適應(yīng)，所述第一凸塊安裝于所述第一凹槽中；所述下底座的一面具有貫通其兩端的第 二凹槽，其形狀、尺寸同所述第二凸塊相適應(yīng)，所述第二凸塊安裝于所述第二凹槽中?？蛇x的，所述凸塊為燕尾型凸塊，所述凹槽為燕尾型凹槽?？蛇x的，所述第一凸塊及所述第二凸塊為燕尾型凸塊，所述第一凹槽及所述第二 凹槽為燕尾型凹槽?？蛇x的，所述底座采用磁性材質(zhì)制成。可選的，所述下底座采用磁性材質(zhì)制成。使用本實(shí)用新型的傾斜度測(cè)量器可精確測(cè)量特定裝置的水平度、垂直度或傾斜 度，且使用方便。特別是使用在高溫爐中時(shí)，可精確測(cè)量連接點(diǎn)火器的石英管上的法蘭與連 接工藝腔體的石英管上的法蘭之間是否對(duì)準(zhǔn)，從而可有效提高安裝精確度，改善安全性能， 增加石英管壽命，同時(shí)也可節(jié)省調(diào)節(jié)安裝的時(shí)間。

圖1為現(xiàn)有技術(shù)的法蘭連接結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實(shí)用新型的傾斜度測(cè)量器的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
為使本實(shí)用新型的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂，
以下結(jié)合附圖對(duì)本 實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
做詳細(xì)的說(shuō)明。本實(shí)用新型所述的傾斜度測(cè)量器可廣泛應(yīng)用于多種工藝中，并且可以利用多種替 換方式實(shí)現(xiàn)，下面是通過(guò)較佳的實(shí)施例來(lái)加以說(shuō)明，當(dāng)然本實(shí)用新型并不局限于該具體實(shí) 施例，本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員所熟知的一般的替換無(wú)疑地涵蓋在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍 內(nèi)。其次，本實(shí)用新型利用示意圖進(jìn)行了詳細(xì)描述，在詳述本實(shí)用新型實(shí)施例時(shí)，為了 便于說(shuō)明，示意圖不依一般比例局部放大，不應(yīng)以此作為對(duì)本實(shí)用新型的限定。請(qǐng)參看圖2，圖2為本實(shí)用新型的傾斜度測(cè)量器的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。如圖2所示， 本實(shí)用新型的傾斜度測(cè)量器包括底座110、測(cè)量杠桿120、支撐盤(pán)130和千分表140。所述測(cè)量杠桿120包括支點(diǎn)121、測(cè)量桿122、支桿123、傳距軸124以及移距量 桿；所述支桿123固定于所述支點(diǎn)121上，兩端可在所述支點(diǎn)121的支撐作用下上下移動(dòng)，所述支桿123的一端連接所述測(cè)量桿122，另一端連接所述傳距軸124的一端，所述傳距軸 124的另一端為上窄下寬的錐形體125 ；所述移距量桿包括內(nèi)部形成腔室的套筒1 和桿體 127，所述桿體127穿過(guò)所述套筒126的腔室且其兩端伸出所述套筒126的兩端之外，所述 桿體127的一端安裝有滾珠128，另一端連接千分表140，所述套筒126內(nèi)設(shè)置有彈簧129， 支撐所述桿體127上安裝有滾珠128的一端向所述套筒1 外部移動(dòng)，緊挨于所述傳距軸 124的錐形體125上；所述測(cè)量桿122的結(jié)構(gòu)同所述移距量桿相似，包括內(nèi)部形成腔室的套 筒和桿體，所述桿體穿過(guò)所述套筒的腔室且其兩端伸出所述套筒的兩端之外，所述套筒固 定于安裝于所述支撐盤(pán)之上的支架150上，所述桿體的一端安裝有滾珠，另一端連接所述 支桿123，所述測(cè)量桿122垂直于所述支桿123。所述支撐盤(pán)130包括上支撐盤(pán)131和下支撐盤(pán)132，所述上支撐盤(pán)131和下支撐盤(pán) 132的中心設(shè)置有第一腔體，所述下支撐盤(pán)132內(nèi)設(shè)置有第二腔體，所述第二腔體同所述第 一腔體相通，所述傳距軸1 置于所述第一腔體內(nèi)，所述移距量桿置于所述第二腔體內(nèi)，所 述傳距軸IM和所述移距量桿在所述第一腔體和第二腔體內(nèi)可分別進(jìn)行垂直運(yùn)動(dòng)和水平 運(yùn)動(dòng)。所述支點(diǎn)121固定于所述上支撐盤(pán)131之上。所述上支撐盤(pán)131和下支撐盤(pán)132之 間設(shè)置有軸承133，使得所述上支撐盤(pán)131可相對(duì)于所述下支撐盤(pán)132轉(zhuǎn)動(dòng)。所述下支撐盤(pán) 132的底部具有貫通其兩端的燕尾槽。所述底座110包括上底座111和下底座112，所述上底座111的相對(duì)兩面上分別具 有第一燕尾型凸塊和第二燕尾型凸塊，所述第一燕尾型凸塊垂直于所述第二燕尾型凸塊； 所述上底座111上第一燕尾型凸塊的形狀、尺寸同所述下支撐盤(pán)132底部的燕尾槽相適應(yīng)， 所述上底座111上的第一燕尾型凸塊安裝于所述下支撐盤(pán)132底部的燕尾槽中，使得所述 下支撐盤(pán)132可沿其上的燕尾槽進(jìn)行移動(dòng)；所述下底座112的一面具有貫通燕尾槽，其形 狀、尺寸同所述上底座111上的第二燕尾型凸塊相適應(yīng)，所述上底座111上的第二燕尾型凸 塊安裝于所述下底座112上的燕尾槽中，使得所述上底座111可沿所述下底座112表面的 燕尾槽進(jìn)行移動(dòng)。優(yōu)選的，所述下底座112采用磁性材質(zhì)制成。本實(shí)用新型的傾斜度測(cè)量器在使用時(shí)，所述測(cè)量杠桿的測(cè)量桿上的滾珠接觸待檢 測(cè)的平面，并沿待檢測(cè)平面進(jìn)行移動(dòng)。若帶檢測(cè)平面具有一定的傾斜度，則所述測(cè)量桿即進(jìn) 行垂直的上下移動(dòng)，帶動(dòng)所述支桿的兩端在所述支點(diǎn)的支撐作用垂直移動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)所述 傳距軸上下垂直移動(dòng)。由于傳距軸的末端為上窄下寬的錐形體，同所述錐形體緊挨的所述 移距量桿上的滾珠則由于錐形體的上下移動(dòng)而進(jìn)行水平的左右移動(dòng)，最終通過(guò)千分表測(cè)得 測(cè)量桿在待檢測(cè)平面上的垂直移動(dòng)距離。由于底座上存在的互相垂直的燕尾槽，使得測(cè)量杠桿可實(shí)現(xiàn)在水平方向和垂直方 向的滑動(dòng)。同時(shí)由于上下支撐盤(pán)也可相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)，使得本實(shí)用新型的傾斜度測(cè)量器可更為靈 活的進(jìn)行測(cè)量。若將傾斜度測(cè)量器的底座采用磁性材料制成，則可使傾斜度測(cè)量器吸附于 某一平面上進(jìn)行，通過(guò)使測(cè)量杠桿在水平方向或垂直方向進(jìn)行滑動(dòng)，或通過(guò)使上下支撐盤(pán) 相對(duì)移動(dòng)實(shí)現(xiàn)傾斜度測(cè)量。使用本實(shí)用新型的傾斜度測(cè)量器可精確測(cè)量特定裝置的水平度、垂直度或傾斜 度，且使用方便。特別是使用在高溫爐中時(shí)，可精確測(cè)量連接點(diǎn)火器的石英管上的法蘭與連 接工藝腔體的石英管上的法蘭之間是否對(duì)準(zhǔn)，從而可有效提高安裝精確度，改善安全性能，增加石英管壽命，同時(shí)也可節(jié)省調(diào)節(jié)安裝的時(shí)間。 顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本實(shí)用 新型的精神和范圍。這樣，倘若本實(shí)用新型的這些修改和變型屬于本實(shí)用新型權(quán)利要求及 其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實(shí)用新型也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種傾斜度測(cè)量器，其特征在于，包括底座、測(cè)量杠桿、支撐盤(pán)和千分表；所述測(cè)量杠桿包括支點(diǎn)、測(cè)量桿、支桿、傳距軸以及移距量桿；所述支桿固定于所述支 點(diǎn)上，兩端可在所述支點(diǎn)的支撐作用下上下移動(dòng)，所述支桿的一端連接所述測(cè)量桿，另一端 連接所述傳距軸的一端，所述傳距軸的另一端為上窄下寬的錐形體；所述移距量桿包括內(nèi) 部形成腔室的套筒和桿體，所述桿體穿過(guò)所述套筒的腔室且其兩端伸出所述套筒的兩端之 外，所述桿體的一端安裝有滾珠，另一端連接千分表，所述套筒內(nèi)設(shè)置有彈簧，支撐所述桿 體上安裝有滾珠的一端向所述套筒外部移動(dòng)，緊挨于所述傳距軸的錐形體上；所述測(cè)量桿 包括內(nèi)部形成腔室的套筒和桿體，所述桿體穿過(guò)所述套筒的腔室且其兩端伸出所述套筒的 兩端之外，所述套筒固定于安裝于所述支撐盤(pán)之上的支架上，所述桿體的一端安裝有滾珠， 另一端連接所述支桿，所述測(cè)量桿垂直于所述支桿；所述支點(diǎn)固定于所述支撐盤(pán)之上；支撐盤(pán)的中心設(shè)置有第一腔體，所述支撐盤(pán)內(nèi)還設(shè) 置有第二腔體，所述第二腔體同所述第一腔體相通；所述傳距軸置于所述第一腔體內(nèi)，所述 移距量桿置于所述第二腔體內(nèi)，所述傳距軸和所述移距量桿在所述第一腔體和第二腔體內(nèi) 可分別進(jìn)行垂直運(yùn)動(dòng)和水平運(yùn)動(dòng)；所述支撐盤(pán)固定于所述底座上。
2.如權(quán)利要求1所述的傾斜度測(cè)量器，其特征在于，所述支撐盤(pán)的底部具有貫通其兩 端的凹槽，所述底座上具有貫通其兩端的凹?jí)K，所述凸塊的形狀、尺寸同所述凹槽相適應(yīng)， 所述凸塊安裝于凹槽中。
3.如權(quán)利要求1所述的傾斜度測(cè)量器，其特征在于，所述支撐盤(pán)包括上支撐盤(pán)和下支 撐盤(pán)，所述上支撐盤(pán)和下支撐盤(pán)的中心設(shè)置有所述第一腔體，所述下支撐盤(pán)內(nèi)設(shè)置有所述 第二腔體，所述支點(diǎn)固定于所述上支撐盤(pán)之上；所述上支撐盤(pán)和下支撐盤(pán)之間設(shè)置有軸承； 所述下支撐盤(pán)固定于所述底座上。
4.如權(quán)利要求3所述的傾斜度測(cè)量器，其特征在于，所述下支撐盤(pán)的底部具有貫通其 兩端的凹槽，所述底座上具有貫通其兩端的凸塊，所述凸塊的形狀、尺寸同所述凹槽相適 應(yīng)，所述凸塊安裝于凹槽中。
5.如權(quán)利要求3所述的傾斜度測(cè)量器，其特征在于，所述下支撐盤(pán)的底部具有貫通其 兩端的第一凹槽；所述底座包括上底座和下底座，所述上底座的一面具有貫通其兩端的第 一凸塊，同該面相對(duì)的另一面具有第二凸塊；所述上底座上，第一凸塊垂直于第二凸塊；所 述第一凸塊的形狀、尺寸同所述第一凹槽相適應(yīng)，所述第一凸塊安裝于所述第一凹槽中；所 述下底座的一面具有貫通其兩端的第二凹槽，其形狀、尺寸同所述第二凸塊相適應(yīng)，所述第 二凸塊安裝于所述第二凹槽中。
6.如權(quán)利要求2或4所述的傾斜度測(cè)量器，其特征在于，所述凸塊為燕尾型凸塊，所述 凹槽為燕尾型凹槽。
7.如權(quán)利要求5所述的傾斜度測(cè)量器，其特征在于，所述第一凸塊及所述第二凸塊為 燕尾型凸塊，所述第一凹槽及所述第二凹槽為燕尾型凹槽。
8.如權(quán)利要求1至4中任一權(quán)利要求所述的傾斜度測(cè)量器，其特征在于，所述底座采用 磁性材質(zhì)制成。
9.如權(quán)利要求5所述的傾斜度測(cè)量器，其特征在于，所述下底座采用磁性材質(zhì)制成。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型提供一種傾斜度測(cè)量器，包括底座、測(cè)量杠桿、支撐盤(pán)和千分表；所述測(cè)量杠桿包括支點(diǎn)、測(cè)量桿、支桿、傳距軸以及移距量桿；所述支點(diǎn)固定于所述支撐盤(pán)之上；所述支撐盤(pán)固定于所述底座上。使用本實(shí)用新型的傾斜度測(cè)量器可精確測(cè)量特定裝置的水平度、垂直度或傾斜度，且使用方便。特別是使用在高溫爐中時(shí)，可精確測(cè)量連接點(diǎn)火器的石英管上的法蘭與連接工藝腔體的石英管上的法蘭之間是否對(duì)準(zhǔn)，從而可有效提高安裝精確度，改善安全性能，增加石英管壽命，同時(shí)也可節(jié)省調(diào)節(jié)安裝的時(shí)間。
文檔編號(hào)G01B5/245GK201844832SQ201020564890
公開(kāi)日2011年5月25日 申請(qǐng)日期2010年10月16日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月16日
發(fā)明者王剛 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司