專利名稱：一種測(cè)試高純管道吹掃效果的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體集成電路的制造領(lǐng)域，尤其涉及一種測(cè)試高純管道吹掃效果的方法。
背景技術(shù)：
對(duì)于半導(dǎo)體工廠，在新的特氣設(shè)備正式投入使用前必須進(jìn)行充分的管道吹掃工藝，如果管道吹掃不干凈，則會(huì)對(duì)特氣供應(yīng)的純度造成一定的影響。目前，業(yè)界一般采用高純N2對(duì)特氣管路和設(shè)備進(jìn)行吹掃，在對(duì)包括氣柜、區(qū)域分配箱(VDB)、閥門分歧箱(VMB)等設(shè)備進(jìn)行吹掃后，使用分析儀器測(cè)試所有VMB出口的數(shù)據(jù)，以檢測(cè)吹掃的效果是否達(dá)到工藝需求。由于測(cè)試的VMB數(shù)量較多(一般8英寸半導(dǎo)體工廠的VMB數(shù)量會(huì)達(dá)到幾十臺(tái)甚至上百臺(tái)，而12英寸半導(dǎo)體工廠的VMB的數(shù)量則會(huì)更多)，且測(cè)試的內(nèi)容及測(cè)試的指標(biāo)在業(yè)界沒有統(tǒng)一的標(biāo)準(zhǔn)，都是各個(gè)廠家根據(jù)自己的情況進(jìn)行操作，所以比較普遍的做法就是對(duì)所有VMB的出口都進(jìn)行測(cè)試，這樣就需要花費(fèi)大量的時(shí)間、人力和財(cái)力進(jìn)行測(cè)試，不僅增加了工藝成本，且因?yàn)榧呻娐樊a(chǎn)業(yè)的特點(diǎn)就是技術(shù)革新快，精度要求高，發(fā)展速度可以用“日新月異”來形容，若管道潔凈度測(cè)試花費(fèi)時(shí)間過長(zhǎng)或管道潔凈度不夠，不僅造成時(shí)間、人力和財(cái)力的浪費(fèi)，還會(huì)造成產(chǎn)品良率降低。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明公開了一種測(cè)試高純管道吹掃效果的方法，其中，包括以下步驟
步驟Si:根據(jù)特氣管路中閥門分歧箱的布局，選擇最末端的閥門分歧箱作為第一檢測(cè)的測(cè)試點(diǎn)；
步驟S2 :對(duì)特氣管路吹掃后，進(jìn)行各個(gè)測(cè)試點(diǎn)的第一檢測(cè)；
步驟S3 :若第一檢測(cè)結(jié)果不合格，則依次循環(huán)重復(fù)步驟SI和步驟S2，直至第一檢測(cè)結(jié)果合格；若第一檢測(cè)結(jié)果合格，則抽檢除已進(jìn)行第一檢測(cè)過的閥門分歧箱進(jìn)行第二檢測(cè)；步驟S4 :若第二檢測(cè)結(jié)果不合格，則對(duì)該不合格管路進(jìn)行吹掃，并在吹掃后對(duì)該不合格管路中所有閥門分歧箱進(jìn)行第三檢測(cè)，若第三檢測(cè)結(jié)果不合格則再次對(duì)該不合格管路進(jìn)行吹掃和第三檢測(cè)，直至對(duì)該不合格管路中所有閥門分歧箱進(jìn)行的第三檢測(cè)結(jié)果合格；若第三檢測(cè)的檢測(cè)結(jié)果合格，則說明特氣管路潔凈度合格，吹掃工藝完成；若第二檢測(cè)結(jié)果合格，則說明特氣管路潔凈度合格，吹掃工藝完成。上述的測(cè)試高純管道吹掃效果的方法，其中，采用高純度的氮?dú)鈱?duì)所述特氣管路進(jìn)行吹掃。上述的測(cè)試高純管道吹掃效果的方法，其中，步驟S3中抽檢除已檢測(cè)過的閥門分歧箱進(jìn)行第二檢測(cè)時(shí)的抽檢率為10%。上述的測(cè)試高純管道吹掃效果的方法，其中，所述第一檢測(cè)、第二檢測(cè)和第三檢測(cè)的檢測(cè)因子均包括水份、氧份和顆粒。
上述的測(cè)試高純管道吹掃效果的方法，其中，所述第一檢測(cè)結(jié)果、第二檢測(cè)結(jié)果或第三檢測(cè)結(jié)果合格時(shí)，其結(jié)果中水份要小于lOppb、氧份要小于lOppb、顆粒小于lPcs/ft3。上述的測(cè)試高純管道吹掃效果的方法，其中，所述顆粒為大于O. Ium的顆粒。上述的測(cè)試高純管道吹掃效果的方法，其中，所述特氣管路為不包含區(qū)域分配箱且末端只有一個(gè)閥門分歧箱、 不包含區(qū)域分配箱且末端至少兩個(gè)閥門分歧箱或包含有區(qū)域分配箱且末端只有一個(gè)閥門分歧箱等類型的特氣管路。綜上所述，由于采用了上述技術(shù)方案，本發(fā)明提出一種測(cè)試高純管道吹掃效果的方法，通過根據(jù)特氣管路中閥門分歧箱(VMB)布局的不同進(jìn)行分類，并選擇最末端的閥門分歧箱(VMB)作為測(cè)試對(duì)象，測(cè)試管路內(nèi)的水份、氧份和顆粒來判斷吹掃后管路的潔凈度，并抽查除已檢測(cè)過的閥門分歧箱(即末端VMB)之外進(jìn)行抽查；這樣，不僅明確了測(cè)試管道的內(nèi)容和指標(biāo)，還可避免時(shí)間、人力和財(cái)力的浪費(fèi)，使得測(cè)試數(shù)量最小化，同時(shí)還能有效控制測(cè)試風(fēng)險(xiǎn)，增大產(chǎn)品良率。


圖I是本發(fā)明測(cè)試高純管道吹掃效果的方法的工藝流程 圖2是本發(fā)明測(cè)試高純管道吹掃效果的方法中不包含區(qū)域分配箱且末端只有一個(gè)閥門分歧箱的特氣管路的結(jié)構(gòu)示意 圖3是本發(fā)明測(cè)試高純管道吹掃效果的方法中不包含區(qū)域分配箱且末端至少兩個(gè)閥門分歧箱的結(jié)構(gòu)示意 圖4是本發(fā)明測(cè)試高純管道吹掃效果的方法中包含有區(qū)域分配箱且末端只有一個(gè)閥門分歧箱的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式 下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步的說明
圖I是本發(fā)明測(cè)試高純管道吹掃效果的方法的工藝流程圖；如圖I所示，一種測(cè)試高純管道吹掃效果的方法，其中，包括以下步驟
首先，由于最末端的閥門分歧箱(VMB)管路最長(zhǎng)，而且吹掃壓力相對(duì)最小，在同一管路上所有VMB同時(shí)吹掃的情況下，如果最末端的VMB測(cè)試數(shù)據(jù)合格，則前端的VMB數(shù)據(jù)一般都能合格，所以最末端的VMB具有代表性。所以，在晶圓制造工廠(FAB)中，根據(jù)特氣管路中閥門分歧箱(VMB)的布局,選擇最末端的閥門分歧箱作為第一檢測(cè)的測(cè)試點(diǎn)。其次，采用高純度的氮?dú)?P N2)對(duì)特氣管路進(jìn)行吹掃后，進(jìn)行各個(gè)測(cè)試點(diǎn)的第一檢測(cè)。之后，若第一檢測(cè)結(jié)果不合格，則依次循環(huán)重復(fù)上述吹掃工藝和第一檢測(cè)工藝，直至第一檢測(cè)的結(jié)果合格；若第一檢測(cè)結(jié)果合格，則對(duì)除已進(jìn)行第一檢測(cè)過的閥門分歧箱進(jìn)行抽檢率為10%的第二檢測(cè)。最后，若第二檢測(cè)結(jié)果不合格，則對(duì)該不合格管路進(jìn)行吹掃，并在吹掃后對(duì)該不合格管路中所有閥門分歧箱進(jìn)行第三檢測(cè)，若第三檢測(cè)結(jié)果不合格則再次對(duì)該不合格管路進(jìn)行吹掃和第三檢測(cè)，直至對(duì)該不合格管路中所有閥門分歧箱進(jìn)行的第三檢測(cè)結(jié)果合格；若第三檢測(cè)的檢測(cè)結(jié)果合格，則說明特氣管路潔凈度合格，吹掃工藝完成；若第二檢測(cè)結(jié)果合格，則說明特氣管路潔凈度合格，吹掃工藝完成。
由于，水份、氧份和顆粒為空氣中最常見且含量較高，所以是管道污染的典型性因素，且水份、氧份和顆粒利用現(xiàn)有的技術(shù)和分析儀器容易被測(cè)量。所以上述的第一檢測(cè)、第二檢測(cè)和第三檢測(cè)的檢測(cè)因子均要包括水份、氧份和大于O. Ium的顆粒，只有該檢測(cè)結(jié)果中水份小于lOppb、氧份小于IOppb且顆粒小于lPcs/ft3該檢測(cè)結(jié)果才合格。若達(dá)到上述各檢測(cè)因子的指標(biāo)，經(jīng)過計(jì)算后特氣管道內(nèi)N2的純度達(dá)到99. 9999%以上，這樣就能完全滿足特氣送氣的純度要求。進(jìn)一步的，根據(jù)FAB內(nèi)VMB布局考量，選擇最末端的VMB，其大致可分為不包含區(qū)域分配箱且末端只有一個(gè)閥門分歧箱、不包含區(qū)域分配箱且末端至少兩個(gè)閥門分歧箱或包含有區(qū)域分配箱且末端只有一個(gè)閥門分歧箱等類型的特氣管路。圖2是本發(fā)明測(cè)試高純管道吹掃效果的方法中不包含區(qū)域分配箱且末端只有一個(gè)閥門分歧箱的特氣管路的結(jié)構(gòu)示意圖；如圖2所示，吹掃時(shí)高純氮?dú)?P N2)從氣柜21進(jìn)入，吹掃所有管路上的VMB，如圖2所示有6個(gè)VMB。這種情況下圖中最右端的VMB22的吹掃管路最長(zhǎng)，所以判斷為最末端的VMB作為測(cè)試點(diǎn)，以測(cè)試該VMB22中的水份、氧份和顆粒，如果測(cè)試結(jié)果水份小于lOppb、氧份小于IOppb且顆粒小于I Pcs/ft3都滿足時(shí)，則可判斷 該管路所有VMB都吹掃完成。如果測(cè)試結(jié)果不合格，則繼續(xù)吹掃，直到數(shù)據(jù)合格為止。圖3是本發(fā)明測(cè)試高純管道吹掃效果的方法中不包含區(qū)域分配箱且末端至少兩個(gè)閥門分歧箱的結(jié)構(gòu)示意圖；如圖3所示,吹掃時(shí)高純氮?dú)?P N2)從氣柜31進(jìn)入,吹掃所有管路上的VMB時(shí)，但是最末端的VMB很難判斷是上方的還是下方的，從風(fēng)險(xiǎn)控制的角度考慮，則認(rèn)為最右端的VMB32、33同時(shí)屬于最末端VMB，因此同時(shí)都要進(jìn)行水份、氧份、顆粒的測(cè)試，當(dāng)這兩個(gè)VMB的測(cè)試數(shù)據(jù)全部合格后，則判斷該管路所有VMB吹掃完成。如果任何一個(gè)VMB的測(cè)試結(jié)果不合格，則繼續(xù)吹掃，直到數(shù)據(jù)合格為止。如果遇到最末端的VMB可能有3個(gè)或更多，以此類推，測(cè)試所有最末端VMB。圖4是本發(fā)明測(cè)試高純管道吹掃效果的方法中包含有區(qū)域分配箱且末端只有一個(gè)閥門分歧箱的結(jié)構(gòu)示意圖；如圖4所示，由于特氣管路系統(tǒng)含有區(qū)域分配箱(VDB)，此處以兩個(gè)支路為例，將這兩個(gè)支路的最末端VMB42、43作為測(cè)試點(diǎn)，吹掃時(shí)高純氮?dú)?P N2)從氣柜41進(jìn)入，吹掃所有管路上的VMB時(shí)，測(cè)試點(diǎn)的水份、氧份、顆粒同時(shí)合格后，則判斷VMB42、43的吹掃完成，如果任何一個(gè)VMB測(cè)試結(jié)果不合格，則繼續(xù)吹掃，直到數(shù)據(jù)合格為止；若有三個(gè)或更多支路，可以此類推。如果支路的最末端VMB有兩個(gè)或以上，參考如圖3所示的測(cè)試方法。進(jìn)行如圖2、3或4所示工藝時(shí)，同時(shí)還要隨機(jī)抽查除最末端VMB22、32、33、42和43之外的所有VMB，其抽查比率為10%。這樣就可以有效降低管路上某些不確定因素(如死角)造成的吹掃不徹底的風(fēng)險(xiǎn)，起到雙重保險(xiǎn)。如果抽查發(fā)現(xiàn)某管路VMB的測(cè)試不通過，則需要重新吹掃該管路，并對(duì)不合格管路所有的VMB進(jìn)行測(cè)試，直到測(cè)試合格為止。綜上所述，由于采用了上述技術(shù)方案，本發(fā)明提出一種測(cè)試高純管道吹掃效果的方法，通過根據(jù)特氣管路中閥門分歧箱(VMB)布局的不同進(jìn)行分類，并選擇最末端的閥門分歧箱(VMB)作為測(cè)試對(duì)象，測(cè)試管路內(nèi)的水份、氧份和顆粒來判斷吹掃后管路的潔凈度，并抽查除已檢測(cè)過的閥門分歧箱(即末端VMB)之外進(jìn)行抽查；這樣，不僅明確了測(cè)試管道的內(nèi)容和指標(biāo)，還可避免時(shí)間、人力和財(cái)力的浪費(fèi)，使得測(cè)試數(shù)量最小化，同時(shí)還能有效控制測(cè)試風(fēng)險(xiǎn)，增大產(chǎn)品良率。
通過說明和附圖，給出了具體實(shí)施方式
的特定結(jié)構(gòu)的典型實(shí)施例，基于本發(fā)明精神，還可作其他的轉(zhuǎn)換。盡管上述發(fā)明提出了現(xiàn)有的較佳實(shí)施例，然而，這些內(nèi)容并不作為局限。對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員而言，閱讀上述說明后，各種變化和修正無疑將顯而易見。因此，所附的權(quán)利要求書應(yīng)看作是涵蓋本發(fā)明的真實(shí)意圖和范圍的全部變化和修正。在權(quán) 利要求書范圍內(nèi)任何和所有等價(jià)的范圍與內(nèi)容，都應(yīng)認(rèn)為仍屬本發(fā)明的意圖和范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種測(cè)試高純管道吹掃效果的方法，其特征在于，包括以下步驟 步驟Si:根據(jù)特氣管路中閥門分歧箱的布局，選擇最末端的閥門分歧箱作為第一檢測(cè)的測(cè)試點(diǎn)； 步驟S2 :對(duì)特氣管路吹掃后，進(jìn)行各個(gè)測(cè)試點(diǎn)的第一檢測(cè)； 步驟S3 :若第一檢測(cè)結(jié)果不合格，則依次循環(huán)重復(fù)步驟SI和步驟S2，直至第一檢測(cè)結(jié)果合格；若第一檢測(cè)結(jié)果合格，則抽檢除已進(jìn)行第一檢測(cè)過的閥門分歧箱進(jìn)行第二檢測(cè)； 步驟S4 :若第二檢測(cè)結(jié)果不合格，則對(duì)該不合格管路進(jìn)行吹掃，并在吹掃后對(duì)該不合格管路中所有閥門分歧箱進(jìn)行第三檢測(cè)，若第三檢測(cè)結(jié)果不合格則再次對(duì)該不合格管路進(jìn)行吹掃和第三檢測(cè)，直至對(duì)該不合格管路中所有閥門分歧箱進(jìn)行的第三檢測(cè)結(jié)果合格；若第三檢測(cè)的檢測(cè)結(jié)果合格，則說明特氣管路潔凈度合格，吹掃工藝完成；若第二檢測(cè)結(jié)果合格，則說明特氣管路潔凈度合格，吹掃工藝完成。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的測(cè)試高純管道吹掃效果的方法，其特征在于，采用高純度的氮?dú)鈱?duì)所述特氣管路進(jìn)行吹掃。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的測(cè)試高純管道吹掃效果的方法，其特征在于，步驟S3中抽檢除已檢測(cè)過的閥門分歧箱進(jìn)行第二檢測(cè)時(shí)的抽檢率為10 %。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的測(cè)試高純管道吹掃效果的方法，其特征在于，所述第一檢測(cè)、第二檢測(cè)和第三檢測(cè)的檢測(cè)因子均包括水份、氧份和顆粒。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的測(cè)試高純管道吹掃效果的方法，其特征在于，所述第一檢測(cè)結(jié)果、第二檢測(cè)結(jié)果或第三檢測(cè)結(jié)果合格時(shí)，其結(jié)果中水份要小于lOppb、氧份要小于lOppb、顆粒小于 lPcs/ft3。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的測(cè)試高純管道吹掃效果的方法，其特征在于，所述顆粒為大于O. Ium的顆粒。
7.根據(jù)權(quán)利要求1-6中任意一項(xiàng)所述的測(cè)試高純管道吹掃效果的方法，其特征在于，所述特氣管路為不包含區(qū)域分配箱且末端只有一個(gè)閥門分歧箱、不包含區(qū)域分配箱且末端至少兩個(gè)閥門分歧箱或包含有區(qū)域分配箱且末端只有一個(gè)閥門分歧箱類型的特氣管路。
全文摘要
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種測(cè)試高純管道吹掃效果的方法。本發(fā)明提出一種測(cè)試高純管道吹掃效果的方法，通過根據(jù)特氣管路中閥門分歧箱布局的不同進(jìn)行分類，并選擇最末端的閥門分歧箱作為測(cè)試對(duì)象，測(cè)試管路內(nèi)的水份、氧份和顆粒來判斷吹掃后管路的潔凈度，并抽查除已檢測(cè)過的閥門分歧箱之外進(jìn)行抽查；這樣，不僅明確了測(cè)試管道的內(nèi)容和指標(biāo)，還可避免時(shí)間、人力和財(cái)力的浪費(fèi)，使得測(cè)試數(shù)量最小化，同時(shí)還能有效控制測(cè)試風(fēng)險(xiǎn)，增大產(chǎn)品良率。
文檔編號(hào)G01N33/00GK102680649SQ20121013599
公開日2012年9月19日 申請(qǐng)日期2012年5月4日 優(yōu)先權(quán)日2012年5月4日
發(fā)明者孔雄, 張悅, 蔡虎軍, 鄒秀平 申請(qǐng)人:上海華力微電子有限公司