專利名稱：一種超分辨顯微方法和裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于超分辨領(lǐng)域，尤其涉及一種能在遠(yuǎn)場(chǎng)實(shí)現(xiàn)超衍射極限的分辨率的超分辨顯微方法和裝置。
背景技術(shù)：
由于光學(xué)系統(tǒng)衍射的影響，常規(guī)遠(yuǎn)場(chǎng)光學(xué)顯微方法可實(shí)現(xiàn)的分辨率存在限制。根據(jù)阿貝衍射極限理論，光束經(jīng)顯微物鏡聚焦后所成光斑的尺寸用半高全寬表示為
Δτ = ▲，其中λ為顯微鏡的工作波長(zhǎng)，NA為所用顯微物鏡的數(shù)值孔徑。因此，常規(guī)遠(yuǎn)場(chǎng) 2\ I
光學(xué)顯fi鏡的極限分辨率一般被限制在了半波長(zhǎng)左右。近年來(lái)，為了突破光學(xué)衍射極限的限制，提高顯微系統(tǒng)的分辨率，科研工作者們提出了多種超分辨光學(xué)顯微方法。例如受激發(fā)射損耗顯微術(shù)(STED!Stimulated Emission DepletionMicroscopy)，即利用熒光飽和與激發(fā)態(tài)熒光受激損耗的非線性關(guān)系，并通過(guò)限制受激輻射衰減的區(qū)域，減少熒光光斑大小，獲得小于衍射極限的發(fā)光點(diǎn)來(lái)提高系統(tǒng)分辨率，從而突破遠(yuǎn)場(chǎng)光學(xué)顯微術(shù)的衍射極限分辨力限制來(lái)實(shí)現(xiàn)無(wú)接觸三維成像；結(jié)構(gòu)光照明熒光顯微術(shù)(SIM !Structured Illumination Microscopy);隨機(jī)光場(chǎng)重建顯微術(shù)(STORM StochasticOptical Reconstruction Microscopy)等。上述幾種方法均可以在遠(yuǎn)場(chǎng)實(shí)現(xiàn)熒光超分辨顯微，在實(shí)際測(cè)試中也得到了相應(yīng)的應(yīng)用，但是都還仍然存在著不足。其中，STED顯微術(shù)的分辨率由所加損耗光的光功率決定，因此當(dāng)實(shí)現(xiàn)高分辨率時(shí)，其所要求的光功率很強(qiáng)，容易導(dǎo)致熒光分子的漂白。此外，STED顯微術(shù)的系統(tǒng)較為復(fù)雜，造價(jià)一般比較昂貴。SIM顯微術(shù)對(duì)光功率的要求雖然不高，但是由于其需要光柵掃描，成像速度較慢，成像系統(tǒng)也較為復(fù)雜。STORM顯微術(shù)的成像速度也很慢，目前還很難運(yùn)用于活體細(xì)胞的實(shí)時(shí)檢測(cè)當(dāng)中。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供了一種超分辨顯微方法和裝置，可以在遠(yuǎn)場(chǎng)實(shí)現(xiàn)超衍射極限的分辨率。該種方法和裝置具有成像速度快、裝置簡(jiǎn)單、分辨率高等特點(diǎn)，可以很好地應(yīng)用于熒光及非熒光樣品的檢測(cè)之中。一種超分辨顯微方法，包括以下步驟I)將激光器發(fā)出的激光光束準(zhǔn)直后轉(zhuǎn)換為線偏振光；2)對(duì)所述線偏振光進(jìn)行相位調(diào)制，調(diào)制函數(shù)為/JA勿=0，其中，P為光束上某點(diǎn)與光軸的距離，爐為光束垂直光軸剖面內(nèi)位置極坐標(biāo)矢量與X軸的夾角；3)將所述相位調(diào)制后的線偏振光進(jìn)行光路偏轉(zhuǎn)；4)偏轉(zhuǎn)后的光束經(jīng)聚焦和準(zhǔn)直后轉(zhuǎn)換為圓偏振光投射到待測(cè)樣品上，以實(shí)現(xiàn)對(duì)待測(cè)樣品的二維掃描；
5)在二維掃描過(guò)程中收集所述待測(cè)樣品各掃描點(diǎn)發(fā)出的信號(hào)光，濾去雜散光得到第一信號(hào)光強(qiáng)I1U, y)，其中X，y為掃描點(diǎn)的二維坐標(biāo)；6)將步驟2)中的調(diào)制函數(shù)切換為.Z2(ZVZj) =爐，P為光束上某點(diǎn)與光軸的距離，爐
為光束垂直光軸剖面內(nèi)位置極坐標(biāo)矢量與X軸的夾角；7)重復(fù)步驟3)和步驟4)，對(duì)步驟5)中的各掃描點(diǎn)進(jìn)行第二次掃描，收集得到的第二信號(hào)光強(qiáng)U，y)；8)根據(jù)公式I (x,y) = I1 (x,y)- Y I2(x,y)計(jì)算有效信號(hào)光強(qiáng)I (x，y)，并利用I (x，
^max
y)得到超分辨圖像，其中第一信號(hào)光強(qiáng)I1(^y)中的最大值j■為第二信 號(hào)光強(qiáng)I2(x，y)中的最大值。當(dāng)待測(cè)樣品為熒光樣品時(shí)，所述信號(hào)光為所述圓偏振光經(jīng)顯微物鏡投射后在樣品上激發(fā)出的熒光；當(dāng)待測(cè)樣品為非熒光樣品時(shí)，所述信號(hào)光為所述圓偏振光經(jīng)顯微物鏡投射后經(jīng)樣品表面的反射光束。待測(cè)樣品上的X，y軸方向由二維掃描方向決定。所述有效信號(hào)光強(qiáng)值I (X，y)為負(fù)時(shí),設(shè)置I(x, y) =0。本發(fā)明提供了一種超分辨顯微裝置，包括光源、承載待測(cè)樣品的樣品臺(tái)和將光線投射到所述樣品臺(tái)的顯微物鏡，所述光源與顯微物鏡之間依次設(shè)有用于將所述光源發(fā)出的光束改變?yōu)榫€偏振光的起偏器；用于對(duì)所述線偏振光進(jìn)行相位調(diào)制的空間光調(diào)制器；用于對(duì)所述相位調(diào)制后的光束進(jìn)行光路偏轉(zhuǎn)的掃描振鏡系統(tǒng)；依次布置的分別用于對(duì)所述掃描振鏡系統(tǒng)出射的光束進(jìn)行聚焦和準(zhǔn)直的掃描透鏡和場(chǎng)鏡；用于將準(zhǔn)直后的光束轉(zhuǎn)換為圓偏振光的1/4波片，所述圓偏振光通過(guò)所述顯微物鏡投射到所述待測(cè)樣品上；并設(shè)有用于控制所述空間光調(diào)制器和掃描振鏡系統(tǒng)的控制器及收集所述待測(cè)樣品發(fā)出的信號(hào)光的探測(cè)系統(tǒng)。探測(cè)系統(tǒng)包括布置在空間光調(diào)制器和掃描振鏡系統(tǒng)之間的分束鏡，所述分束鏡在待測(cè)樣品為熒光樣品時(shí)應(yīng)選用二色鏡，當(dāng)待測(cè)樣品為非突光樣品時(shí)應(yīng)選用偏振分光棱鏡；用于濾去分束鏡出射的信號(hào)光中的雜散光的帶通濾波片，所述帶通濾波片在待測(cè)樣品為非突光樣品時(shí)可以省略；用于探測(cè)信號(hào)光束的光強(qiáng)信號(hào)的探測(cè)器，所述探測(cè)器選用光電倍增管(PMT)或雪崩光電二極管(APD)；用于將濾光后的信號(hào)光束聚焦到探測(cè)器上的聚焦透鏡；用于對(duì)所述信號(hào)光束進(jìn)行空間濾波的空間濾波器，其位于所述聚焦透鏡的焦平面處，所述空間濾波器可以采用針孔或多模光纖，若采用針孔，所用針孔的直徑應(yīng)小于一個(gè)艾
里斑直徑。所述光源與起偏器之間依次設(shè)有用于對(duì)所述激光光束進(jìn)行濾波和準(zhǔn)直的單模光纖和準(zhǔn)直透鏡。
所述空間光調(diào)制器具有可切換的第一調(diào)制函數(shù)/(p,灼=0和第二調(diào)制函數(shù)/2(/ ，供)=免，其中，P為光束上某點(diǎn)與光軸的距離,爐為光束垂直光軸剖面內(nèi)位置極坐標(biāo)矢量與X軸的夾角?？臻g光調(diào)制器中兩函數(shù)的切換頻率與掃描振鏡系統(tǒng)的幀掃描頻率相同，從而實(shí)現(xiàn)掃描振鏡系統(tǒng)每掃描一巾貞圖像，空間光調(diào)制器的調(diào)制函數(shù)切換一次。優(yōu)選的，所述顯微物鏡的數(shù)值孔徑NA = I. 4。本發(fā)明還提供了一種超分辨顯微裝置，包括第一光源、第二光源、承載待測(cè)樣品的樣品臺(tái)和將光線投射到所述樣品臺(tái)的顯微物鏡，還包括位于第一光路上的第一起偏器；
沿第二光路依次布置的第二起偏器和位相板；用于將所述第一光路和第二光路上的光線進(jìn)行偏轉(zhuǎn)的掃描振鏡系統(tǒng)；依次布置的分別用于對(duì)所述掃描振鏡系統(tǒng)出射的光線進(jìn)行聚焦和準(zhǔn)直的掃描透鏡和場(chǎng)鏡；用于將準(zhǔn)直后的光束轉(zhuǎn)換為圓偏振光的1/4波片，所述圓偏振光通過(guò)所述顯微物鏡投射到所述待測(cè)樣品上；并設(shè)有控制所述第一光源、第二光源和掃描振鏡系統(tǒng)的控制器及收集所述待測(cè)樣品發(fā)出的信號(hào)光的探測(cè)系統(tǒng)。探測(cè)系統(tǒng)包括布置在空間光調(diào)制器和掃描振鏡系統(tǒng)之間的分束鏡，所述分束鏡在待測(cè)樣品為熒光樣品時(shí)應(yīng)選用二色鏡，當(dāng)待測(cè)樣品為非突光樣品時(shí)應(yīng)選用偏振分光棱鏡；用于濾去分束鏡出射的信號(hào)光中的雜散光的帶通濾波片，所述帶通濾波片在待測(cè)樣品為非突光樣品時(shí)可以省略；用于探測(cè)信號(hào)光束的光強(qiáng)信號(hào)的探測(cè)器，所述探測(cè)器選用光電倍增管(PMT)或雪崩光電二極管(APD)；用于將濾光后的信號(hào)光束聚焦到探測(cè)器上的聚焦透鏡；用于對(duì)所述信號(hào)光束進(jìn)行空間濾波的空間濾波器，其位于所述聚焦透鏡的焦平面處，所述空間濾波器可以采用針孔或多模光纖，若采用針孔，所用針孔的直徑應(yīng)小于一個(gè)艾
里斑直徑。所述第一光源與第一起偏器之間依次設(shè)有第一單模光纖和第一準(zhǔn)直透鏡，所述第二光源和第二起偏器之間依次設(shè)有第二單模光纖和第二準(zhǔn)直透鏡。所述位相板的調(diào)制函數(shù)為./;(A灼=0，其中，P為光束上某點(diǎn)與光軸的距離，爐為光束垂直光軸剖面內(nèi)位置極坐標(biāo)矢量與X軸的夾角。優(yōu)選的，所述顯微物鏡的數(shù)值孔徑NA = I. 4。本發(fā)明原理如下由于光學(xué)系統(tǒng)衍射的影響，平行入射的照明光束經(jīng)顯微物鏡聚焦之后，在待測(cè)樣品上所成的光斑并非一個(gè)理想的點(diǎn)，而是一個(gè)具有一定尺寸的衍射斑。在衍射斑照射范圍內(nèi)的樣品均會(huì)發(fā)出相應(yīng)的信號(hào)光，從而使得這一范圍內(nèi)樣品的細(xì)節(jié)無(wú)法被分辨，由此限制了顯微系統(tǒng)的分辨率。因此，要突破光學(xué)衍射極限的限制，提高顯微系統(tǒng)的分辨率，如何減小在掃描點(diǎn)處有效信號(hào)光的發(fā)光面積便成為了關(guān)鍵。
在本發(fā)明方法中，當(dāng)空間光調(diào)制器的調(diào)制函數(shù)為/(P,爐)=0時(shí)，由德拜積分計(jì)算可得，調(diào)制后光束經(jīng)顯微物鏡聚焦后在樣品上所成光斑為一個(gè)實(shí)心光斑。該實(shí)心光斑的尺寸與常規(guī)光學(xué)顯微術(shù)中所用照明光束聚焦所成衍射斑的尺寸相同。該實(shí)心光斑照射范圍內(nèi)的樣品所發(fā)出的信號(hào)光被探測(cè)器所收集，得到當(dāng)前掃描點(diǎn)處的第一信號(hào)光強(qiáng)I1 ;當(dāng)空間光調(diào)制器的調(diào)制函數(shù)為/:(P，灼=爐時(shí)，由德拜積分計(jì)算可得，調(diào)制后光束經(jīng)顯微物鏡聚焦后在樣品上所成光斑為一個(gè)面包圈型的空心光斑。該空心光斑照射范圍內(nèi)的樣品所發(fā)出的信號(hào)光被探測(cè)器所收集，得到當(dāng)前掃描點(diǎn)處的第二信號(hào)光強(qiáng)12。利用公式I (X，y) = I1U,y)-yl2 (X，y)計(jì)算得到I (X，y)，顯然I (x，y)所對(duì)應(yīng)的各掃描點(diǎn)處的有效信號(hào)光發(fā)光面積將小于I1U, y)所對(duì)應(yīng)的各掃描點(diǎn)處的第一信號(hào)光發(fā)光面積。因此，與常規(guī)光學(xué)顯微方法相比，本發(fā)明減小了有效信號(hào)光的發(fā)光面積，從而可以實(shí)現(xiàn)超衍射極限的分辨率。相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明具有以下有益的技術(shù)效果(I)可以在較低的光功率條件下實(shí)現(xiàn)超衍射極限的分辨率；
(2)成像速度快，在每一幀圖像的掃描點(diǎn)數(shù)為512X512的情況下，幀頻可達(dá)到每秒15幀以上；(3)裝置簡(jiǎn)單，操作方便。


圖I為本發(fā)明一種超分辨顯微裝置的示意圖。圖2為本發(fā)明中所成實(shí)心光斑的歸一化光強(qiáng)分布曲線。圖3為本發(fā)明中所成面包圈型空心光斑的歸一化光強(qiáng)分布曲線。圖4為本發(fā)明中有效信號(hào)光光斑與常規(guī)光學(xué)顯微術(shù)中信號(hào)光光斑的歸一化光強(qiáng)分布比較曲線。圖5為本發(fā)明與常規(guī)光學(xué)顯微方法對(duì)同一樣品掃描所得圖像中的光強(qiáng)分布比較曲線。圖6為采用兩個(gè)激光器實(shí)現(xiàn)本發(fā)明方法的裝置示意圖。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合實(shí)施例和附圖來(lái)詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明，但本發(fā)明并不僅限于此。如圖I所示，一種超分辨顯微裝置，包括激光器1，單模光纖2，準(zhǔn)直透鏡3，起偏器4、空間光調(diào)制器5,分束鏡6,掃描振鏡系統(tǒng)7,掃描透鏡8,場(chǎng)鏡9,1/4波片10,顯微物鏡11，樣品臺(tái)12，帶通濾波片13，聚焦透鏡14，針孔15，探測(cè)器16，控制器17。其中，單模光纖2、準(zhǔn)直透鏡3、起偏器4、空間光調(diào)制器5依次位于激光器I出射光束的光軸之上；所述起偏器4的透光軸與水平方向平行。其中，分束鏡6、掃描振鏡系統(tǒng)7依次位于經(jīng)空間光調(diào)制器5調(diào)制后光束的光軸之上。其中，掃描透鏡8、場(chǎng)鏡9、1/4波片10、顯微物鏡11、樣品臺(tái)12依次位于掃描振鏡系統(tǒng)7出射光束的光軸之上；所述樣品臺(tái)12位于顯微物鏡11的焦平面附近。其中，帶通濾波片13，聚焦透鏡14，針孔15，探測(cè)器16依次位于分束鏡6反射光束的光軸之上；所述針孔15位于聚焦透鏡14的焦平面處。
其中，控制器17分別與空間光調(diào)制器5以及掃描振鏡系統(tǒng)7相連，用于控制空間光調(diào)制器5的切換以及掃描振鏡系統(tǒng)7的掃描；所述空間光調(diào)制器5在控制器17的控制下按照一定的切換頻率在以下兩種調(diào)制函數(shù)之間切換二 0和_/^(/7，約=爐，其中，P為光束上某點(diǎn)與光軸的距離，爐為光束垂直光軸剖面內(nèi)位置極坐標(biāo)矢量與X軸的夾角；所述空間光調(diào)制器5的切換頻率與掃描振鏡系統(tǒng)7的巾貞掃描頻率相同，從而實(shí)現(xiàn)掃描振鏡系統(tǒng)7每掃描一幀圖像，空間光調(diào)制器5的調(diào)制函數(shù)切換一次。上述裝置中，顯微物鏡11的數(shù)值孔徑NA = I. 4 ;所用針孔15的直徑為O. 73個(gè)艾里斑直徑，探測(cè)器16為雪崩光電二極管(APD)。采用圖I所示的裝置進(jìn)行超分辨顯微的方法如下從激光器I發(fā)出的激光光束，首先被導(dǎo)入單模光纖2，從單模光纖2出射的激光光束，經(jīng)過(guò)準(zhǔn)直透鏡3完成準(zhǔn)直。經(jīng)過(guò)準(zhǔn)直后的光束入射到起偏器4轉(zhuǎn)換為線偏振光，之后入射到空間光調(diào)制器5上進(jìn)行相位調(diào)制。利用控制器17對(duì)空間光調(diào)制器5進(jìn)行控制，使相位調(diào)制函數(shù)切換為
權(quán)利要求
1.一種超分辨顯微方法，其特征在于，包括以下步驟 1)將激光器發(fā)出的激光光束準(zhǔn)直后轉(zhuǎn)換為線偏振光； 2)對(duì)所述線偏振光進(jìn)行相位調(diào)制，調(diào)制函數(shù)為/(A約=O，其中，P為光束上某點(diǎn)與光軸的距離4為光束垂直光軸剖面內(nèi)位置極坐標(biāo)矢量與X軸的夾角； 3)將所述相位調(diào)制后的線偏振光進(jìn)行光路偏轉(zhuǎn)； 4)偏轉(zhuǎn)后的光束經(jīng)聚焦和準(zhǔn)直后轉(zhuǎn)換為圓偏振光投射到待測(cè)樣品上，以實(shí)現(xiàn)對(duì)待測(cè)樣品的二維掃描； 5)在二維掃描過(guò)程中收集所述待測(cè)樣品各掃描點(diǎn)發(fā)出的信號(hào)光，濾去雜散光得到第一信號(hào)光強(qiáng)I1U, y)，其中X，y為掃描點(diǎn)的二維坐標(biāo)； 6)將步驟2)中的調(diào)制函數(shù)切換為Λ(Α0)= Ρ，P為光束上某點(diǎn)與光軸的距離，爐為光束垂直光軸剖面內(nèi)位置極坐標(biāo)矢量與X軸的夾角； 7)重復(fù)步驟3)和步驟4)，對(duì)步驟5)中的各掃描點(diǎn)進(jìn)行第二次掃描，收集得到的第二信號(hào)光強(qiáng)I2(x，y)； 8)根據(jù)公式I(x,y)= I1 (x, y)- Y I2 (x, y)計(jì)算有效信號(hào)光強(qiáng)I(x，y)，并利用I(x，y) 得到超分辨圖像，其中
2.如權(quán)利要求I所述的超分辨顯微方法，其特征在于，所述有效信號(hào)光強(qiáng)值I(x，y)為負(fù)時(shí)，設(shè)置I (X，y) =0。
3.一種超分辨顯微裝置，包括光源、承載待測(cè)樣品的樣品臺(tái)和將光線投射到所述樣品臺(tái)的顯微物鏡，其特征在于，所述光源與顯微物鏡之間依次設(shè)有 用于將所述光源發(fā)出的光束改變?yōu)榫€偏振光的起偏器； 用于對(duì)所述線偏振光進(jìn)行相位調(diào)制的空間光調(diào)制器； 用于對(duì)所述相位調(diào)制后的光束進(jìn)行光路偏轉(zhuǎn)的掃描振鏡系統(tǒng)； 依次布置的分別用于對(duì)所述掃描振鏡系統(tǒng)出射的光束進(jìn)行聚焦和準(zhǔn)直的掃描透鏡和場(chǎng)鏡； 用于將準(zhǔn)直后的光束轉(zhuǎn)換為圓偏振光的1/4波片，所述圓偏振光通過(guò)所述顯微物鏡投射到所述待測(cè)樣品上； 并設(shè)有用于控制所述空間光調(diào)制器和掃描振鏡系統(tǒng)的控制器及收集所述待測(cè)樣品發(fā)出的信號(hào)光的探測(cè)系統(tǒng)。
4.如權(quán)利要求3所述的超分辨顯微裝置，其特征在于，所述光源與起偏器之間依次設(shè)有用于對(duì)所述激光光束進(jìn)行濾波和準(zhǔn)直的單模光纖和準(zhǔn)直透鏡。
5.如權(quán)利要求3所述的超分辨顯微裝置，其特征在于，所述空間光調(diào)制器具有可切換的第一調(diào)制函數(shù)/(P,爐)=O和第二調(diào)制函數(shù)/2(A爐)=爐，其中，P為光束上某點(diǎn)與光軸的距離，口為光束垂直光軸剖面內(nèi)位置極坐標(biāo)矢量與X軸的夾角。
6.如權(quán)利要求3所示的超分辨顯微裝置，其特征在于，所述顯微物鏡的數(shù)值孔徑NA=I. 4。
7.一種超分辨顯微裝置，包括第一光源、第二光源、承載待測(cè)樣品的樣品臺(tái)和將光線投射到所述樣品臺(tái)的顯微物鏡，其特征在于，還包括位于第一光路上的第一起偏器； 沿第二光路依次布置的第二起偏器和位相板； 用于將所述第一光路和第二光路上的光線進(jìn)行偏轉(zhuǎn)的掃描振鏡系統(tǒng)； 依次布置的分別用于對(duì)所述掃描振鏡系統(tǒng)出射的光線進(jìn)行聚焦和準(zhǔn)直的掃描透鏡和場(chǎng)鏡； 用于將準(zhǔn)直后的光束轉(zhuǎn)換為圓偏振光的1/4波片，所述圓偏振光通過(guò)所述顯微物鏡投射到所述待測(cè)樣品上； 并設(shè)有控制所述第一光源、第二光源和掃描振鏡系統(tǒng)的控制器及收集所述待測(cè)樣品發(fā)出的信號(hào)光的探測(cè)系統(tǒng)。
8.如權(quán)利要求7所述的超分辨顯微裝置，其特征在于，所述第一光源與第一起偏器之 間依次設(shè)有第一單模光纖和第一準(zhǔn)直透鏡，所述第二光源與第二起偏器之間依次設(shè)有第二單模光纖和第二準(zhǔn)直透鏡。
9.如權(quán)利要求7所述的超分辨顯微裝置，其特征在于，所述位相板的調(diào)制函數(shù)為Λ(Α供)=供，其中，P為光束上某點(diǎn)與光軸的距離，爐為光束垂直光軸剖面內(nèi)位置極坐標(biāo)矢量與X軸的夾角。
10.如權(quán)利要求7所述的超分辨顯微裝置，其特征在于，所述顯微物鏡的數(shù)值孔徑NA=I.4。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種超分辨顯微方法和裝置，其中方法包括將激光器發(fā)出的激光光束準(zhǔn)直后轉(zhuǎn)換為線偏振光；線偏振光經(jīng)第一次相位調(diào)制后進(jìn)行光路偏轉(zhuǎn)；偏轉(zhuǎn)后的光束經(jīng)聚焦和準(zhǔn)直后轉(zhuǎn)換為圓偏振光投射到待測(cè)樣品上，收集待測(cè)樣品各掃描點(diǎn)發(fā)出的信號(hào)光，得到第一信號(hào)光強(qiáng)；切換調(diào)制函數(shù)，對(duì)線偏振光進(jìn)行第二次相位調(diào)制后投射到待測(cè)樣品上，收集待測(cè)樣品各掃描點(diǎn)發(fā)出的信號(hào)光，得到第二信號(hào)光強(qiáng)；計(jì)算有效信號(hào)光強(qiáng)，并得到超分辨圖像。本發(fā)明裝置簡(jiǎn)單，操作方便；可以在較低的光功率條件下實(shí)現(xiàn)超衍射極限的分辨率；成像速度快，在每一幀圖像的掃描點(diǎn)數(shù)為512×512的情況下，幀頻可達(dá)到每秒15幀以上。
文檔編號(hào)G01N21/64GK102735617SQ201210227898
公開(kāi)日2012年10月17日 申請(qǐng)日期2012年6月29日 優(yōu)先權(quán)日2012年6月29日
發(fā)明者劉旭, 匡翠方, 李帥, 郝翔, 顧兆泰 申請(qǐng)人:浙江大學(xué)