單晶臥式反打定向儀的制作方法
【專利摘要】單晶臥式反打定向儀，包括機(jī)架、工作臺(tái)、減速機(jī)、X射線發(fā)生器、光閘、閃爍探測(cè)器、轉(zhuǎn)接板、旋轉(zhuǎn)手輪、調(diào)整手輪。所述的減速機(jī)外設(shè)主動(dòng)帶輪和調(diào)整手輪，調(diào)整手輪與主動(dòng)帶輪同軸，減速機(jī)的輸入軸裝有從動(dòng)帶輪，轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)整手輪，主動(dòng)帶輪帶動(dòng)從動(dòng)帶輪使減速機(jī)輸入軸旋轉(zhuǎn)，輸入軸旋轉(zhuǎn)使減速機(jī)輸出軸減速旋轉(zhuǎn)。轉(zhuǎn)接板與減速機(jī)輸出軸固定連接，X射線發(fā)生器及光閘固裝在轉(zhuǎn)接板上，位置可通過旋轉(zhuǎn)手輪改變。閃爍探測(cè)器連接支板可繞減速機(jī)輸出軸手動(dòng)調(diào)整位置。工作臺(tái)安裝在機(jī)架上，工作臺(tái)可通過旋轉(zhuǎn)手輪360°旋轉(zhuǎn)。工作臺(tái)的下方設(shè)置有變壓器和穩(wěn)壓器向X射線發(fā)生器供電。本實(shí)用新型具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、使用方便、測(cè)量精度高等優(yōu)點(diǎn)。
【專利說明】單晶臥式反打定向儀
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及X射線測(cè)量?jī)x，特別是涉及應(yīng)用X射線衍射原理，采用臥式結(jié)構(gòu)及反打方式，用于各種單晶晶錠材料的單晶臥式反打定向儀。
【背景技術(shù)】
[0002]生長(zhǎng)出來的各種直徑單晶晶錠在加工成晶棒、晶片前，需要先精確地測(cè)定單晶晶體角度、再確定棒端面及參考邊，再加工成晶片，要有與加工機(jī)機(jī)械相配套的定向儀，用來進(jìn)行單晶晶錠材料的粘結(jié)定向，并提供產(chǎn)品要求的加工晶體原子面角度。傳統(tǒng)的X射線定向儀，其測(cè)角儀的樣品測(cè)量臺(tái)臺(tái)面狹小、承載能力不足、測(cè)量精度低，局限了單晶晶錠材料的應(yīng)用規(guī)格范圍，使之無法粘結(jié)定向體積(直徑)較大的晶砣，無法滿足各種規(guī)格單晶晶錠材料多角度粘結(jié)定向，測(cè)量范圍小，測(cè)試及定向精度差，滿足不了各種直徑規(guī)格單晶生產(chǎn)的需要。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是，提供一種能夠不同規(guī)格單晶晶錠材料多角度測(cè)量，減少因基準(zhǔn)面累加而產(chǎn)生的測(cè)量誤差，有效的提高被測(cè)晶體的測(cè)量精度，樣品臺(tái)可進(jìn)行四方位調(diào)節(jié)和360°旋轉(zhuǎn)定向，延長(zhǎng)樣品臺(tái)的使用壽命，可放置大尺寸、大重量晶棒，方便測(cè)量的單晶臥式反打定向儀。
[0004]采用的技術(shù)方案是:
[0005]單晶臥式反打定向儀，包括機(jī)架、蓋板、工作臺(tái)、減速機(jī)、X射線發(fā)生器、光閘、閃爍探測(cè)器、轉(zhuǎn)接板、旋轉(zhuǎn)手輪、調(diào)整手輪。所述的減速機(jī)外設(shè)主動(dòng)帶輪和調(diào)整手輪，調(diào)整手輪與主動(dòng)帶輪同軸，減速機(jī)的輸入軸裝有從動(dòng)帶輪，主動(dòng)帶輪通過齒形帶連接從動(dòng)帶輪，轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)整手輪，主動(dòng)帶輪帶動(dòng)從動(dòng)帶輪使減速機(jī)輸入軸旋轉(zhuǎn)，輸入軸旋轉(zhuǎn)使減速機(jī)輸出軸減速旋轉(zhuǎn)。所述轉(zhuǎn)接板與減速機(jī)輸出軸固定連接，X射線發(fā)生器及光閘固裝在轉(zhuǎn)接板上，位置可通過旋轉(zhuǎn)手輪改變。所述閃爍探測(cè)器連接支板可繞減速機(jī)輸出軸手動(dòng)調(diào)整位置。所述工作臺(tái)安裝在機(jī)架及蓋板上，工作臺(tái)可通過旋轉(zhuǎn)手輪360 °旋轉(zhuǎn)。工作臺(tái)的下方設(shè)置有變壓器和穩(wěn)壓器向X射線發(fā)生器供電。
[0006]上述的工作臺(tái)上裝設(shè)有數(shù)顯裝置，減速機(jī)的輸出軸后端安裝有編碼器，由機(jī)架內(nèi)部安裝電器控制。
[0007]本實(shí)用新型具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、使用方便、測(cè)量精度高等優(yōu)點(diǎn)。
[0008]本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下優(yōu)點(diǎn):
[0009]1、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、使用方便、加工精度高等優(yōu)點(diǎn)，解決了單晶晶錠只能定向一個(gè)角度的難題。
[0010]2、編碼器與主軸(減速機(jī)輸出軸)直聯(lián)，消除了其它傳動(dòng)系統(tǒng)傳動(dòng)角度間隙誤差，定向測(cè)量精度高。
[0011]3、可增加二維球面夾具體裝置，采用四方位球面墊、螺桿調(diào)節(jié)，使夾具體的調(diào)節(jié)方便鎖緊可靠。
[0012]4、工作臺(tái)是將放在夾具體的待測(cè)單晶晶錠用夾具體在X光下進(jìn)行四方位反復(fù)定向測(cè)量，工作臺(tái)360°旋轉(zhuǎn)，晶體的峰值都能達(dá)到測(cè)量精度，提高了晶體的測(cè)量定向精度。
[0013]5、本儀器電氣控制裝置為設(shè)定X光管電流大小，通過微安表確定晶體峰值精度，角度儀編碼器和回轉(zhuǎn)工作臺(tái)聯(lián)接的編碼器與數(shù)顯表X軸、Y軸直接聯(lián)線，旋轉(zhuǎn)手輪精確的測(cè)量定向角度和回轉(zhuǎn)工作臺(tái)旋轉(zhuǎn)360°每個(gè)位置的峰值精度。據(jù)用戶的需要即能定向正晶向，又能定向偏晶向。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0014]圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0015]單晶臥式反打定向儀，包括機(jī)架1、蓋板2、工作臺(tái)15、減速機(jī)8、X射線發(fā)生器3、光閘4、閃爍探測(cè)器17、轉(zhuǎn)接板5、旋轉(zhuǎn)手輪6、調(diào)整手輪14。所述的減速機(jī)8外設(shè)主動(dòng)帶輪13和調(diào)整手輪14，調(diào)整手輪14與主動(dòng)帶輪13同軸，減速機(jī)8的輸入軸10裝有從動(dòng)帶輪11，主動(dòng)帶輪13通過齒形帶12連接從動(dòng)帶輪11，轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)整手輪14，主動(dòng)帶輪13帶動(dòng)從動(dòng)帶輪11使減速機(jī)輸入軸10旋轉(zhuǎn)，輸入軸旋轉(zhuǎn)使減速機(jī)輸出軸7減速旋轉(zhuǎn)。所述轉(zhuǎn)接板5與減速機(jī)輸出軸7固定連接，X射線發(fā)生器3及光閘4固裝在轉(zhuǎn)接板5上，位置可通過旋轉(zhuǎn)手輪6改變，X射線發(fā)生器3發(fā)生的X射線經(jīng)光閘4照射到工作臺(tái)上放置的單晶工件9上，經(jīng)單晶工件9將按布拉格方程反射的X射線被閃爍探測(cè)器17接收。所述閃爍探測(cè)器17連接支板16可繞減速機(jī)輸出軸手動(dòng)調(diào)整位置。所述工作臺(tái)15安裝在機(jī)架I及蓋板2上，工作臺(tái)15可通過旋轉(zhuǎn)手輪360°旋轉(zhuǎn)，精確的測(cè)量定向角度和單晶工件9旋轉(zhuǎn)360°的每個(gè)位置的峰值精度，據(jù)用戶的需要即能定向單晶工件9的正晶向，又能定向偏晶向。工作臺(tái)上裝設(shè)有數(shù)顯裝置，減速機(jī)的輸出軸后端安裝有編碼器，由機(jī)架內(nèi)部安裝電器控制。工作臺(tái)15的下方設(shè)置有變壓器和穩(wěn)壓器向X射線發(fā)生器供電，構(gòu)成單晶臥式反打定向儀。
【權(quán)利要求】
1.單晶臥式反打定向儀，包括機(jī)架(I)、蓋板(2)、工作臺(tái)(15 )、減速機(jī)(8 )、X射線發(fā)生器(3)、光閘(4)、閃爍探測(cè)器(17)、轉(zhuǎn)接板(5)、旋轉(zhuǎn)手輪(6)、調(diào)整手輪(14)，其特征在于所述的減速機(jī)(8)外設(shè)主動(dòng)帶輪(13)和調(diào)整手輪(14)，調(diào)整手輪(14)與主動(dòng)帶輪(13)同軸，減速機(jī)(8 )的輸入軸(10 )裝有從動(dòng)帶輪(11)，主動(dòng)帶輪(13 )通過齒形帶(12 )連接從動(dòng)帶輪(11)，轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)整手輪(14)，主動(dòng)帶輪(13)帶動(dòng)從動(dòng)帶輪(11)使減速機(jī)輸入軸(10)旋轉(zhuǎn)，輸入軸旋轉(zhuǎn)使減速機(jī)輸出軸(7)減速旋轉(zhuǎn)，所述轉(zhuǎn)接板(5)與減速機(jī)輸出軸(7)固定連接，X射線發(fā)生器(3)及光閘(4)固裝在轉(zhuǎn)接板(5)上，位置可通過旋轉(zhuǎn)手輪(6)改變，所述閃爍探測(cè)器(17)連接支板(16)可繞減速機(jī)輸出軸手動(dòng)調(diào)整位置，所述工作臺(tái)(15)安裝在機(jī)架(I)及蓋板(2 )上，工作臺(tái)(15 )可通過旋轉(zhuǎn)手輪360 °旋轉(zhuǎn)，工作臺(tái)的下方設(shè)置有變壓器和穩(wěn)壓器向X射線發(fā)生器供電。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶臥式反打定向儀，其特征在于所述的工作臺(tái)(15)上裝設(shè)有數(shù)顯裝置，減速機(jī)的輸出軸后端安裝有編碼器，由機(jī)架內(nèi)部安裝電器控制。
【文檔編號(hào)】G01N23/207GK203798749SQ201420191911
【公開日】2014年8月27日 申請(qǐng)日期:2014年4月21日 優(yōu)先權(quán)日:2014年4月21日
【發(fā)明者】甄偉, 趙松彬 申請(qǐng)人:丹東新東方晶體儀器有限公司