本發(fā)明涉及射線檢測，具體地講，涉及一種集成電路封裝質(zhì)量x射線檢測系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

1、x射線技術(shù)可以用來檢測集成電路封裝內(nèi)部結(jié)構(gòu)和缺陷。x射線檢測技術(shù)利用x射線的高滲透性來檢查半導(dǎo)體內(nèi)部的結(jié)構(gòu)和缺陷。當(dāng)電子從高能級撞到低能級的靶材上時，會產(chǎn)生x射線。這些射線具有短波長和高能量，可以穿透大多數(shù)物質(zhì)。當(dāng)x射線穿透集成電路封裝時，不同的材料會對其產(chǎn)生不同程度的吸收和衍射，從而產(chǎn)生對應(yīng)的影像。x射線檢測能夠檢測到多種異常缺陷情況，如晶圓裂紋、粘接料空洞、粘接傾斜或超出粘接范圍、粘接料爬升高度、鍵合絲是否斷裂、塌絲、交絲、弧度超標(biāo)、焊點脫焊、無鍵合絲、鍵合絲與頂部間距、一二焊點是否存在異常、塑封料內(nèi)部異物、模組內(nèi)部元件傾斜及焊接異常等。

2、在x射線檢測過程中，灰塵的存在可能影響成像質(zhì)量。例如，灰塵顆?？赡茉趚射線照射下形成散射光，降低圖像的對比度和清晰度?；覊m可能導(dǎo)致一些細微的缺陷或結(jié)構(gòu)變化難以被檢測出來，影響檢測的準(zhǔn)確性和可靠性。

3、目前，還缺少一種設(shè)備，實現(xiàn)集成電路在x射線檢測時對集成電路進行除塵處理，以提高檢測的質(zhì)量。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是提供一種集成電路封裝質(zhì)量x射線檢測系統(tǒng)，實現(xiàn)集成電路在x射線檢測時對集成電路進行除塵處理，提高檢測的質(zhì)量。

2、本發(fā)明采用如下技術(shù)方案實現(xiàn)發(fā)明目的：

3、一種集成電路封裝質(zhì)量x射線檢測系統(tǒng)，其特征在于，包括：機殼組件、檢測組件、進料傳送帶機構(gòu)及出料傳送帶機構(gòu)；所述機殼組件包括機殼，所述進料傳送帶機構(gòu)及所述出料傳送帶機構(gòu)分別安裝在所述機殼內(nèi)，所述機殼的后殼對應(yīng)所述進料傳送帶機構(gòu)設(shè)置有放置槽；所述檢測組件包括安裝支架，所述安裝支架固定連接所述機殼，所述安裝支架固定連接伸縮氣缸，所述伸縮氣缸的活塞桿穿過所述安裝支架，所述伸縮氣缸的活塞桿固定連接x射線檢測器；所述x射線檢測器匹配所述出料傳送帶機構(gòu)。通過采用x射線檢測器，實現(xiàn)對集成電路的質(zhì)量檢測，夠檢測到多種異常缺陷情況。通過采用進料傳送帶機構(gòu)及出料傳送帶機構(gòu)，將進料與取料分開，實用方便。所述機殼內(nèi)固定連接除塵支架組件，所述除塵支架組件固定連接除塵組件，所述除塵組件包括曲柄，所述曲柄固定連接方形導(dǎo)向桿，所述方形導(dǎo)向桿設(shè)置在方管內(nèi)，所述方管固定連接u形除塵槽，所述方管固定連接吸塵泵，所述u形除塵槽固定連接側(cè)板，所述側(cè)板連接安裝軸，所述安裝軸固定連接吸塵導(dǎo)向板。所述u形除塵槽及所述吸塵導(dǎo)向板采用中空結(jié)構(gòu)，兩者表面設(shè)置有與中空結(jié)構(gòu)連通的吸塵孔，所述u形除塵槽及所述吸塵導(dǎo)向板通過軟管固定連通所述吸塵泵。所述u形除塵槽及所述吸塵導(dǎo)向板實現(xiàn)從進料傳送帶機構(gòu)上取走集成電路，然后在擺動過程中吸塵，將集成電路放置到出料傳送帶機構(gòu)上，實現(xiàn)除塵，使檢測結(jié)果更為準(zhǔn)確。

4、作為本技術(shù)方案的進一步限定，所述除塵支架組件包括安裝板，所述機殼固定連接所述安裝板，所述安裝板通過對稱的豎板固定連接方板，所述方板設(shè)置有翻轉(zhuǎn)半圓槽，所述方板固定連接第一導(dǎo)向桿及第二導(dǎo)向桿，所述除塵組件包括電機，所述電機固定連接所述安裝板，所述電機的輸出軸固定連接動力齒輪，所述方板軸承連接從動齒輪的中心軸，所述動力齒輪嚙合所述從動齒輪，所述從動齒輪的中心軸固定連接所述曲柄。

5、作為本技術(shù)方案的進一步限定，所述第一導(dǎo)向桿穿過豎槽，所述曲柄固定連接動力軸，所述動力軸設(shè)置在所述豎槽及所述翻轉(zhuǎn)半圓槽內(nèi)。通過采用動力軸，實現(xiàn)在電機轉(zhuǎn)動時，帶動豎槽運動。

6、作為本技術(shù)方案的進一步限定，所述豎槽固定連接移動軸，所述第二導(dǎo)向桿穿過回形塊，所述移動軸轉(zhuǎn)動連接連桿的一端，所述連桿的另一端轉(zhuǎn)動連接所述回形塊，所述回形塊固定連接十字槽，所述十字槽內(nèi)設(shè)置有十字塊，所述方管固定連接內(nèi)環(huán)，所述內(nèi)環(huán)轉(zhuǎn)動連接外環(huán)，所述外環(huán)固定連接第三導(dǎo)向桿，所述第三導(dǎo)向桿穿過所述十字塊。通過采用連桿轉(zhuǎn)動連接的方式，使動力軸沿翻轉(zhuǎn)半圓槽運動時，豎槽移動，帶動回形塊移動，實現(xiàn)u形除塵槽及吸塵導(dǎo)向板翻轉(zhuǎn)同時由進料傳送帶機構(gòu)運動到出料傳送帶機構(gòu)上或者反向運動。

7、作為本技術(shù)方案的進一步限定，所述側(cè)板固定連接所述安裝軸。

8、作為本技術(shù)方案的進一步限定，所述側(cè)板轉(zhuǎn)動連接所述安裝軸，所述安裝軸固定連接限位連桿的一端，所述限位連桿的另一端固定連接限位圓桿，所述限位圓桿匹配所述外環(huán)，所述限位圓桿轉(zhuǎn)動連接圓環(huán)管，所述u形除塵槽轉(zhuǎn)動連接安裝圓柱，所述圓環(huán)管及所述安裝圓柱分別固定連接保持彈簧的一端。通過采用保持彈簧，在u形除塵槽接觸進料傳送帶機構(gòu)時限位圓桿接觸外環(huán)，保持彈簧被壓縮，吸塵導(dǎo)向板與u形除塵槽形成較小的開口，方便實現(xiàn)吸塵，在吸塵導(dǎo)向板擺動過程中，吸塵導(dǎo)向板與u形除塵槽形成開口變大，方便集成電路下落。

9、作為本技術(shù)方案的進一步限定，所述機殼固定連接控制器顯示屏，所述進料傳送帶機構(gòu)、所述出料傳送帶機構(gòu)、所述x射線檢測器、所述伸縮氣缸及所述電機分別電性連接所述控制器顯示屏。通過設(shè)置控制器顯示屏，實現(xiàn)對進料傳送帶機構(gòu)、出料傳送帶機構(gòu)、x射線檢測器、伸縮氣缸及電機的自動控制，方便觀察集成電路檢測過程。

10、作為本技術(shù)方案的進一步限定，所述機殼固定連接急停開關(guān)，所述急停開關(guān)電性連接所述控制器顯示屏。通過設(shè)置急停開關(guān)，實現(xiàn)在緊急情況下的應(yīng)急處理。

11、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的優(yōu)點和積極效果是：

12、本裝置通過采用將動力軸設(shè)置在豎槽內(nèi)，豎槽與回形塊采用連桿轉(zhuǎn)動連接的方式，使動力軸沿翻轉(zhuǎn)半圓槽運動時帶動豎槽移動，實現(xiàn)u形除塵槽及吸塵導(dǎo)向板翻轉(zhuǎn)同時由進料傳送帶機構(gòu)運動到出料傳送帶機構(gòu)上或者反向運動。實現(xiàn)集成電路翻轉(zhuǎn)同時除塵，提高檢測精度的同時避免出料傳送帶機構(gòu)受到“污染”。

13、本裝置通過采用保持彈簧，在u形除塵槽接觸進料傳送帶機構(gòu)時限位圓桿接觸外環(huán)，保持彈簧被壓縮，吸塵導(dǎo)向板與u形除塵槽形成較小的開口，方便實現(xiàn)吸塵。在吸塵導(dǎo)向板擺動過程中，吸塵導(dǎo)向板與u形除塵槽形成開口變大，集成電路存儲空間變大，方便集成電路下落到出料傳送帶機構(gòu)上。

技術(shù)特征：

1.一種集成電路封裝質(zhì)量x射線檢測系統(tǒng)，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成電路封裝質(zhì)量x射線檢測系統(tǒng)，其特征在于：所述除塵支架組件（3）包括安裝板（31），所述機殼（11）固定連接所述安裝板（31），所述安裝板（31）通過對稱的豎板（32）固定連接方板（34），所述方板（34）設(shè)置有翻轉(zhuǎn)半圓槽（36），所述方板（34）固定連接第一導(dǎo)向桿（33）及第二導(dǎo)向桿（35），所述除塵組件（4）包括電機（41），所述電機（41）固定連接所述安裝板（31），所述電機（41）的輸出軸固定連接動力齒輪（43），所述方板（34）軸承連接從動齒輪（42）的中心軸，所述動力齒輪（43）嚙合所述從動齒輪（42），所述從動齒輪（42）的中心軸固定連接所述曲柄（414）。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的集成電路封裝質(zhì)量x射線檢測系統(tǒng)，其特征在于：所述第一導(dǎo)向桿（33）穿過豎槽（46），所述曲柄（414）固定連接動力軸（415），所述動力軸（415）設(shè)置在所述豎槽（46）及所述翻轉(zhuǎn)半圓槽（36）內(nèi)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的集成電路封裝質(zhì)量x射線檢測系統(tǒng)，其特征在于：所述豎槽（46）固定連接移動軸（44），所述第二導(dǎo)向桿（35）穿過回形塊（47），所述移動軸（44）轉(zhuǎn)動連接連桿（45）的一端，所述連桿（45）的另一端轉(zhuǎn)動連接所述回形塊（47），所述回形塊（47）固定連接十字槽（48），所述十字槽（48）內(nèi)設(shè)置有十字塊（422），所述方管（411）固定連接內(nèi)環(huán)（426），所述內(nèi)環(huán)（426）轉(zhuǎn)動連接外環(huán)（412），所述外環(huán)（412）固定連接第三導(dǎo)向桿（423），所述第三導(dǎo)向桿（423）穿過所述十字塊（422）。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的集成電路封裝質(zhì)量x射線檢測系統(tǒng)，其特征在于：所述側(cè)板（424）固定連接所述安裝軸（425）。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的集成電路封裝質(zhì)量x射線檢測系統(tǒng)，其特征在于：所述側(cè)板（424）轉(zhuǎn)動連接所述安裝軸（425），所述安裝軸（425）固定連接限位連桿（421）的一端，所述限位連桿（421）的另一端固定連接限位圓桿（420），所述限位圓桿（420）匹配所述外環(huán)（412），所述限位圓桿（420）轉(zhuǎn)動連接圓環(huán)管（419），所述u形除塵槽（410）轉(zhuǎn)動連接安裝圓柱（417），所述圓環(huán)管（419）及所述安裝圓柱（417）分別固定連接保持彈簧（418）的一端。

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的集成電路封裝質(zhì)量x射線檢測系統(tǒng)，其特征在于：所述機殼（11）固定連接控制器顯示屏（13），所述進料傳送帶機構(gòu)（5）、所述出料傳送帶機構(gòu)（6）、所述x射線檢測器（21）、所述伸縮氣缸（22）及所述電機（41）分別電性連接所述控制器顯示屏（13）。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的集成電路封裝質(zhì)量x射線檢測系統(tǒng)，其特征在于：所述機殼（11）固定連接急停開關(guān)（14），所述急停開關(guān)（14）電性連接所述控制器顯示屏（13）。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及射線檢測技術(shù)領(lǐng)域，公開一種集成電路封裝質(zhì)量X射線檢測系統(tǒng)，其特征在于，包括：機殼組件、檢測組件、進料傳送帶機構(gòu)及出料傳送帶機構(gòu)；所述機殼組件包括機殼，所述進料傳送帶機構(gòu)及所述出料傳送帶機構(gòu)分別安裝在所述機殼內(nèi)，所述機殼的后殼對應(yīng)所述進料傳送帶機構(gòu)設(shè)置有放置槽；所述檢測組件包括安裝支架，所述安裝支架固定連接所述機殼，所述安裝支架固定連接伸縮氣缸，所述伸縮氣缸的活塞桿穿過所述安裝支架，所述伸縮氣缸的活塞桿固定連接X射線檢測器。本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是提供一種集成電路封裝質(zhì)量X射線檢測系統(tǒng)，實現(xiàn)集成電路在X射線檢測時對集成電路進行除塵處理，提高檢測的質(zhì)量。

技術(shù)研發(fā)人員：楊曉鑫,田淵江
受保護的技術(shù)使用者：深圳市志忠微電子有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/9/29