本技術(shù)涉及一種移動(dòng)平臺(tái)，具體涉及一種隧穿電流檢測(cè)納米級(jí)移動(dòng)平臺(tái)。

背景技術(shù)：

1、在當(dāng)前納米科技和電流檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域中，針對(duì)微小尺度下的隧穿電流測(cè)量需求日益增長(zhǎng)，傳統(tǒng)的移動(dòng)平臺(tái)技術(shù)在應(yīng)對(duì)這類(lèi)挑戰(zhàn)時(shí)暴露出一些顯著局限性。常規(guī)的移動(dòng)平臺(tái)往往依靠步進(jìn)電機(jī)配合精密絲杠或其他機(jī)械傳動(dòng)結(jié)構(gòu)來(lái)實(shí)現(xiàn)滑塊的微小位移，但由于電機(jī)工作時(shí)的發(fā)熱效應(yīng)以及機(jī)械傳動(dòng)系統(tǒng)的固有限制，難以實(shí)現(xiàn)納米級(jí)別的超高精度移動(dòng)和無(wú)熱干擾的電流檢測(cè)。例如，機(jī)械式微位移驅(qū)動(dòng)器在實(shí)際應(yīng)用中會(huì)出現(xiàn)諸如因彈性縮小機(jī)制引發(fā)的過(guò)渡性振動(dòng)，不適于快速動(dòng)態(tài)響應(yīng)條件；杠桿式和楔形位移機(jī)構(gòu)則分別因?yàn)榻Y(jié)構(gòu)和加工精度的影響而導(dǎo)致定位精度不穩(wěn)定，以及因機(jī)械間隙、摩擦力和蠕變效應(yīng)等非線(xiàn)性因素而影響重復(fù)性和穩(wěn)定性。

2、由此有必要研發(fā)一種新的檢測(cè)平臺(tái)，以解決現(xiàn)有隧穿電流檢測(cè)方式存有的以上問(wèn)題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型的目的在于:提供一種結(jié)構(gòu)緊湊、設(shè)計(jì)巧妙，以解決現(xiàn)有隧穿電流檢測(cè)方式存有的精度不穩(wěn)定問(wèn)題的隧穿電流檢測(cè)平臺(tái)。

2、本實(shí)用新型的技術(shù)方案是：

3、一種隧穿電流檢測(cè)平臺(tái)，包括底板、支撐座、放置臺(tái)、樣品夾取組件、橫移滑座和壓電陶瓷體；其特征在于：所述的底板的一端固裝有支撐座；支撐座的內(nèi)側(cè)裝有樣品夾取組件；樣品夾取組件一側(cè)的底板上通過(guò)滑軌裝有橫移滑座；橫移滑座上通過(guò)放置臺(tái)裝有檢測(cè)組件；所述的橫移滑座一側(cè)的底板上裝有壓電陶瓷體；壓電陶瓷體一側(cè)的橫移滑座上裝有吸附磁鐵；壓電陶瓷體在吸附磁鐵的吸力作用下相互連接。

4、所述的樣品夾取組件包括樣品支撐臺(tái)和樣品壓板；所述的支撐座的內(nèi)側(cè)固裝有樣品支撐臺(tái)；樣品支撐臺(tái)的內(nèi)側(cè)通過(guò)螺栓對(duì)稱(chēng)裝有兩組樣品壓板。

5、所述的檢測(cè)組件包括導(dǎo)向板和形變本體；所述的放置臺(tái)內(nèi)部設(shè)置有呈階梯型的裝配通孔；裝配通孔內(nèi)活動(dòng)裝有形變本體；形變本體后端的放置臺(tái)上裝有導(dǎo)向板；導(dǎo)向板上設(shè)置有端面導(dǎo)向孔；形變本體上下方向和左右方向的放置臺(tái)上分別設(shè)置有側(cè)面導(dǎo)向孔；所述的端面導(dǎo)向孔和側(cè)面導(dǎo)向孔內(nèi)均滑動(dòng)裝有支撐滑銷(xiāo)；支撐滑銷(xiāo)一側(cè)的側(cè)面導(dǎo)向孔和端面導(dǎo)向孔的端頭均裝有封閉螺桿；封閉螺桿與對(duì)應(yīng)的支撐滑銷(xiāo)之間裝有支撐彈簧。

6、所述的形變本體包括接地銅片、壓電陶瓷片、連接體、電流探測(cè)探針和射頻連接器；所述的接地銅片的內(nèi)側(cè)依次裝有壓電陶瓷片和連接體；連接體的一端裝有電流探測(cè)探針和射頻連接器；所述的接地銅片與支撐滑銷(xiāo)相接觸。

7、本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于：

8、該隧穿電流檢測(cè)平臺(tái)摒棄了傳統(tǒng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)模式，通過(guò)壓電陶瓷片精準(zhǔn)控制電流探測(cè)探針極其緩慢且平穩(wěn)地靠近樣品表面，實(shí)現(xiàn)對(duì)隧穿電流的納米級(jí)檢測(cè)，有效解決了傳統(tǒng)移動(dòng)平臺(tái)在分辨率、熱穩(wěn)定性以及樣品定位難度等方面的不足的問(wèn)題，特別適合隧穿電流檢測(cè)使用的需要。

技術(shù)特征：

1.一種隧穿電流檢測(cè)平臺(tái)，包括底板（1）、支撐座（2）、放置臺(tái)（5）、樣品夾取組件（3）、橫移滑座（4）和壓電陶瓷體（6）；其特征在于：所述的底板（1）的一端固裝有支撐座（2）；支撐座（2）的內(nèi)側(cè)裝有樣品夾取組件（3）；樣品夾取組件（3）一側(cè)的底板（1）上通過(guò)滑軌裝有橫移滑座（4）；橫移滑座（4）上通過(guò)放置臺(tái)（5）裝有檢測(cè)組件；所述的橫移滑座（4）一側(cè)的底板（1）上裝有壓電陶瓷體（6）；壓電陶瓷體（6）一側(cè)的橫移滑座（4）上裝有吸附磁鐵（7）；壓電陶瓷體（6）在吸附磁鐵（7）的吸力作用下相互連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種隧穿電流檢測(cè)平臺(tái)，其特征在于：所述的樣品夾取組件（3）包括樣品支撐臺(tái)（8）和樣品壓板（9）；所述的支撐座（2）的內(nèi)側(cè)固裝有樣品支撐臺(tái)（8）；樣品支撐臺(tái)（8）的內(nèi)側(cè)通過(guò)螺栓對(duì)稱(chēng)裝有兩組樣品壓板（9）。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種隧穿電流檢測(cè)平臺(tái)，其特征在于：所述的檢測(cè)組件包括導(dǎo)向板（12）和形變本體（11）；所述的放置臺(tái)（5）內(nèi)部設(shè)置有呈階梯型的裝配通孔（10）；裝配通孔（10）內(nèi)活動(dòng)裝有形變本體（11）；形變本體（11）后端的放置臺(tái)（5）上裝有導(dǎo)向板（12）；導(dǎo)向板（12）上設(shè)置有端面導(dǎo)向孔（13）；形變本體（11）上下方向和左右方向的放置臺(tái)（5）上分別設(shè)置有側(cè)面導(dǎo)向孔（14）；所述的端面導(dǎo)向孔（13）和側(cè)面導(dǎo)向孔（14）內(nèi)均滑動(dòng)裝有支撐滑銷(xiāo)（15）；支撐滑銷(xiāo)（15）一側(cè)的側(cè)面導(dǎo)向孔（14）和端面導(dǎo)向孔（13）的端頭均裝有封閉螺桿（16）；封閉螺桿（16）與對(duì)應(yīng)的支撐滑銷(xiāo)（15）之間裝有支撐彈簧（17）。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種隧穿電流檢測(cè)平臺(tái)，其特征在于：所述的形變本體（11）包括接地銅片（18）、壓電陶瓷片（19）、連接體（20）、電流探測(cè)探針（21）和射頻連接器（22）；所述的接地銅片（18）的內(nèi)側(cè)依次裝有壓電陶瓷片（19）和連接體（20）；連接體（20）的一端裝有電流探測(cè)探針（21）和射頻連接器（22）；所述的接地銅片（18）與支撐滑銷(xiāo)（15）相接觸。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及一種移動(dòng)平臺(tái)，具體涉及一種隧穿電流檢測(cè)納米級(jí)移動(dòng)平臺(tái)。該隧穿電流檢測(cè)平臺(tái)，包括底板、支撐座、放置臺(tái)、樣品夾取組件、橫移滑座和壓電陶瓷體；所述的底板的一端固裝有支撐座；支撐座的內(nèi)側(cè)裝有樣品夾取組件；樣品夾取組件一側(cè)的底板上通過(guò)滑軌裝有橫移滑座；橫移滑座上通過(guò)放置臺(tái)裝有檢測(cè)組件；所述的橫移滑座一側(cè)的底板上裝有壓電陶瓷體；壓電陶瓷體一側(cè)的橫移滑座上裝有吸附磁鐵。該隧穿電流檢測(cè)平臺(tái)摒棄了傳統(tǒng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)模式，解決了傳統(tǒng)移動(dòng)平臺(tái)在分辨率、熱穩(wěn)定性以及樣品定位難度等方面的不足的問(wèn)題，特別適合隧穿電流檢測(cè)使用的需要。

技術(shù)研發(fā)人員：李文志,李沖,周鍵磊,鄧涵睿,陳犇鑫,李嘉華,姜儀駿
受保護(hù)的技術(shù)使用者：長(zhǎng)江大學(xué)
技術(shù)研發(fā)日：20240402
技術(shù)公布日：2024/10/21