專利名稱：集成電路測試方法和裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及集成電路(IC)的測試方法和裝置，特別是涉及這樣的IC測試方法和裝置，即加載臂工作段中的輸送裝置僅運送待測試器件(以下稱為未測試器件)，和在卸載臂工作段中的輸送裝置僅運送已測試器件。
下面，參照

圖1和圖2說明現(xiàn)有技術(shù)的實例。圖1和圖2是原理圖，用于解釋未測試器件19被從加載臂工作段ST1經(jīng)加載緩沖工作段ST4、接觸臂工作段ST3和卸載緩沖工作段ST5帶到卸載臂工作段ST2所經(jīng)過的路徑。圖1是平面圖，圖2是側(cè)視圖。
在圖1和圖2中，把未測試器件19裝在托盤11中。置于加載臂工作段ST1的加載臂10在其下端有拾取和放置裝置13。參考標號1Z表示被垂直驅(qū)動的Z方向加載運送器軌道。拾取和放置裝置13通過加載臂10固定在Z方向加載器運送軌道1Z上，因此它也被垂直地驅(qū)動。參考標號1Y表示縱向驅(qū)動的Y方向加載器運送軌道。Z方向加載器運送軌道1Z滑動地裝在Y方向加載器運送軌道1Y上，因此它也可縱向地驅(qū)動。參考標號1X表示被橫向驅(qū)動的X方向加載器運送軌道。Y方向加載器運送軌道1Y裝在X方向運送器1X上，因此它被橫向地驅(qū)動。X、Y和Z方向加載運送器軌道1X、1Y和1Z構(gòu)成加載臂工作段ST1的輸送裝置。
置于卸載臂工作段ST2的卸載臂20的下端有拾取和放置裝置23。參考標號2Z表示垂直驅(qū)動的Z方向卸載運送器軌道。拾取和放置裝置23通過卸載臂20滑動地裝在Z方向卸載運送器軌道2Z上，因此它也被垂直地驅(qū)動。參考標號2Y表示縱向驅(qū)動的Y方向卸載運送器軌道。Z方向卸載運送器軌道2Z滑動地裝在Y方向卸載運送軌道2Y上，因此它縱向地驅(qū)動。參考標號2X表示橫向驅(qū)動的X方向卸載運送器軌道，Y方向卸載運送器軌道2Y滑動地安裝在X方向卸載運送器軌道2X上。X、Y和Z方向卸載運送器軌道2X、2Y和2Z構(gòu)成卸載臂工作段ST2的輸送裝置。測試器件29裝在測試器件容納托盤29上。
置于接觸臂工作段ST3中的接觸臂30在其下端有接觸頭H。參考標號3Z表示的垂直驅(qū)動的Z方向頭運送器軌道。接觸頭H通過接觸臂20固定在Z方向頭運送器軌道3Z上，因此它也被垂直地驅(qū)動。參考標號3Y表示被縱向驅(qū)動的Y方向頭運送器軌道。Z方向頭運送器軌道3Z滑動地裝在Y方向頭運送器軌道3Y上，因此它也被縱向地驅(qū)動。參考標號3X表示橫向驅(qū)動的X方向頭運送器軌道。Y方向頭運送器軌道3Y滑動地裝在X方向頭運送器軌道3X上，因此它被橫向地驅(qū)動。
加載緩沖工作段ST4跨越接觸臂工作段ST3和卸載臂工作段ST2。參考標號4Y表示Y方向加載緩沖運送器軌道，在該軌道上，安裝并縱向地驅(qū)動載有未測試器件19的加載緩沖運送器41。
卸載緩沖工作段ST5跨越接觸臂工作段ST3和卸載臂工作段ST2。參考標號5Y表示Y方向卸載緩沖運送器軌道，在該軌道上，安裝并縱向地驅(qū)動載有已測試器件29的卸載緩沖運送器51。
通過按如下的順序進行操作①至⑨，IC器件可分別被從ST1段帶到ST2段。
①開始，驅(qū)動X和Y方向加載運送器軌道1X和1Y，把加載臂10送到未測器件容納托盤11正上方的位置①。
②驅(qū)動Z方向加載運送器軌道1Z，使拾取和放置設(shè)備13下降至未測器件19，通過吸附將其拾取。
③驅(qū)動X、Y和Z方向加載運送器軌道1X、1Y和1Z，把加載臂10送到加載緩沖器41正上方的位置，同時用拾取和放置裝置13保持拾取未測試器件。然后，使拾取和放置裝置13松開，以將其上的未測試器件19卸載在加載緩沖41上。隨后，驅(qū)動Y方向加載緩沖運送軌道4Y，把帶有未測試器件19的加載緩沖器41從加載臂工作段ST1運送到接觸臂工作段ST3。
④在接觸臂工作段ST3中，驅(qū)動X、Y和Z方向頭運送器軌道3X、3Y和3Z，把接觸臂30送到被傳送的加載緩沖運送器41的位置。然后，啟動接觸頭H，通過吸附從加載緩沖運送器41中拾取未測器件19。
⑤驅(qū)動X、Y和Z方向頭運送器軌道3X、3Y和3Z，把接觸臂30送到器件測試部分E正上方的位置，同時由接觸頭H保持拾取未測試器件19。然后，使接觸頭H松開，把未測試器件19放在器件測試部分E中的預(yù)定位置以進行測試。
⑥驅(qū)動X、Y和Z方向頭運送器軌道3X、3Y和3Z，把接觸臂30帶到測試部分E。然后，啟動接觸頭H，通過吸附從測試部分E拾取已測試器件29。
⑦驅(qū)動X、Y和Z方向頭運送器軌道3X、3Y和3Z，把接觸臂30送到在卸載緩沖工作段ST5中的卸載緩沖器51正上方的位置，同時用接觸頭H保持拾取已測試器件29。然后，使接觸頭H松開，從其上將已測試器件29卸載到卸載緩沖運送器51上。此后，裝有已測試器件29的卸載緩沖運送器51由Y方向卸載緩沖運送器軌道5Y向下送入卸載臂工作段ST2。
⑧驅(qū)動X、Y和Z方向卸載運送器軌道2X、2Y和2Z，把卸載臂20送到卸載緩沖運送器51正上方的位置。然后，啟動拾取和放置裝置23，通過吸附從卸載緩沖運送器51中拾取已測試器件29。
⑨驅(qū)動X、Y和Z方向卸載運送器軌道2X、2Y和2Z，把卸載臂20送到接收已測試器件的托盤21的位置⑨，同時對已測試器件分類，然后，使拾取和放置裝置松開，將已測試器件卸載到已測試器件容納托盤21上。
在上述現(xiàn)有技術(shù)的實例中，由于只有一個接觸臂30用于將未測試器件19傳送到器件測試部分E并從該處傳遞已測試器件29，所以在器件傳送中不可能有機械部件相互碰撞和干涉?？墒呛茱@然，僅靠一個接觸臂30傳送的效率比后面說明的使用兩個接觸臂的傳送情況的效率低。
下面，參照圖3，說明采用兩個接觸臂的第2個現(xiàn)有技術(shù)的實例。與圖1和圖2的實例相比，接觸臂工作段ST3由兩個接觸臂工作段ST31和ST32構(gòu)成。各個接觸臂工作段ST3有移動接觸臂30的X、Y和Z方向頭運送器軌道3X、3Y和3Z。接觸臂工作段ST31和ST32均分將加載臂工作段ST1與接觸臂工作段的ST3相連的加載緩沖裝置工作段ST4和將接觸臂工作段ST3同卸載臂工作段ST2相連的卸載緩沖工作段ST5。因此，兩個接觸臂工作段ST31和ST32構(gòu)成位于其重疊之處的接觸臂工作干涉段ST312。
第二個現(xiàn)有技術(shù)實施例使用兩個接觸臂301和302傳送未測試器件和已測試器件19和29。通過適當(dāng)控制兩個接觸臂301和302，與使用一個接觸臂的情況相比，能夠提高傳送效率?？墒牵仨氂幸话娮与娐返尿?qū)動控制單元，以很好地控制接觸臂301和302工作；此外，接觸臂301和302在接觸臂工作段ST312中很可能相互干擾或碰撞。
圖4說明第3個現(xiàn)有技術(shù)的實例，該實例裝有兩個接觸臂301和302，并由公共的X方向頭運送器導(dǎo)軌3X驅(qū)動。此例中，由于加載和卸載緩沖單元400和500兩者都輸送未測試器件和已測試器件19和29，所以當(dāng)測試系統(tǒng)因一個或多個輸送器的誤差或某些其它原因停止時，有時就不能根據(jù)它們的外觀判斷待傳送器件是未測試器件還是已測試器件。
因此，本發(fā)明的目的在于提供能夠?qū)崿F(xiàn)高效率IC器件傳送并有效地避免接觸臂之間出現(xiàn)碰撞的IC測試裝置和方法。
根據(jù)本發(fā)明，用兩個接觸頭在IC器件測試部分和接觸臂工作段之間傳送器件，并且設(shè)置部分地延伸在接觸臂工作段、加載臂工作段和卸載臂工作段上的緩沖段以在它們之間傳送IC器件。加載臂工作段的輸送器僅輸送未測試IC器件，卸載臂工作段的輸送器僅輸送已測試IC器件。
圖1是解釋常規(guī)IC測試裝置的原理性平面圖；圖2是其側(cè)視圖；圖3是解釋另一現(xiàn)有技術(shù)實例的圖；圖4是解釋另一現(xiàn)有技術(shù)實例的圖；圖5是解釋本發(fā)明第一實施例的圖；圖6A是說明圖5實施例中IC器件傳送路徑的圖；圖6B是說明圖6A中IC器件傳送路徑的圖；圖7是解釋加載緩沖運送器、卸載緩沖運送器和各接觸頭相互之間位置的圖；圖8A是解釋接觸頭相互之間運動關(guān)系的圖；圖8B是另一解釋接觸頭相互之間運動關(guān)系的圖；圖9A是解釋第一狀態(tài)中加載緩沖運送器和卸載緩沖運送器的運動的圖；圖9B是解釋第二狀態(tài)中加載緩沖運送器和卸載緩沖運送器的運動的圖；圖9C是解釋第三狀態(tài)中加載緩沖運送器和卸載緩沖運送器的運動的圖；圖9D是解釋第四狀態(tài)中加載緩沖運送器和卸載緩沖運送器的運動的圖；圖10A是解釋本發(fā)明第二實施例的第一狀態(tài)中加載緩沖運送器和卸載緩沖運送器的運動的圖；圖10B是解釋第二狀態(tài)中加載緩沖運送器和卸載緩沖運送器的運動的圖10C是解釋第三狀態(tài)中加載緩沖運送器和卸載緩沖運送器的運動的圖；圖10D是解釋第四狀態(tài)中加載緩沖運送器和卸載緩沖運送器的運動的圖；圖10E是解釋第五狀態(tài)中加載緩沖運送器和卸載緩沖運送器的運動的圖；圖10F是解釋第六狀態(tài)中加載緩沖運送器和卸載緩沖運送器的運動的圖；圖10G是解釋第七狀態(tài)中加載緩沖運送器和卸載緩沖運送器的運動的圖；圖10H是解釋第八狀態(tài)中加載緩沖運送器和卸載緩沖運送器的運動的圖；圖10I是解釋第九狀態(tài)中加載緩沖運送器和卸載緩沖運送器的運動的圖；圖11是解釋在與第三實施例比較的第一實施例中緩沖段、加載緩沖運送器和卸載緩沖運送器的運動的圖；圖12是解釋第三實施例中緩沖段、加載緩沖運送器和卸載緩沖運送器的運動的圖；和圖13是圖12的變型的示意說明圖。
下面，參照圖5，首先說明本發(fā)明的第一實施例。接觸臂工作段ST3有兩個Y方向頭運送器軌道3Y1和3Y2，以及一個X方向頭運送器軌道3X。與Y方向頭運送器軌道3Y1連接的是其上帶有接觸頭L的Z方向頭運送軌道3Z1，它在Y方向上移動。與Y方向頭運送器軌道3Y2連接的是其上裝有接觸頭R的Z方向頭運送器軌道3Z2，它也在Y方向上移動。緩沖段ST4有兩個Y方向緩沖運送器4Y1和4Y2。緩沖段ST4的整個結(jié)構(gòu)在X方向緩沖運送器軌道4X上沿X方向移動。加載臂工作段ST1和卸載臂工作段ST2與圖1中所示的結(jié)構(gòu)相同。
加載緩沖運送器41和卸載緩沖運送器51利用Y方向緩沖運送器軌道4Y1和4Y2分別在Y方向上單獨地移動，但它們利用公用的X方向緩沖運送器軌道4X在X方向上移動。接觸頭L和R也利用Y方向頭運送器軌道3Y1和3Y2在Y方向上分別單獨地移動，但它們利用公用的頭運送器軌道3X在X方向上移動。圖5中的器件傳送路線可用圖6A和6B簡略地表示。器件跟隨接觸頭L如下流動，即①→②→③→L→C→L→⑤→⑥→⑦。器件跟隨接觸頭R如下流動，即①→②→③→R→C→R→⑤→⑥→⑦。
下面，解釋圖7至圖9D中使用的共用參考標號。在該說明中，參照展示加載緩沖運送器41、卸載緩沖運送器51和的接觸頭L和R的位置關(guān)系的圖7。
P1加載點，在該點把從加載臂10接收的未測試IC器件裝在加載緩沖運送器41上，并傳送至接觸頭L；P2加載點，在該點把從加載臂10接收的未測試IC器件裝在加載緩沖運送器41上，并傳送至接觸頭R；Q1卸載點，在該點把從接觸頭L接收的已測試IC器件從卸載緩沖運送器51卸至卸載臂20；Q2卸載點，在該點把從接觸頭R接收的已測試IC器件從卸載緩沖運送器51卸至卸載臂20；EIC器件測試部分；S傳送點，在該點將用加載緩沖運送器41從加載點P1傳送來的未測試IC器件傳送到接觸頭L，將來自IC器件測試部分E的已測試IC器件傳送到卸載緩沖運送器51；T傳送點，在該點將用加載緩沖運送器41從加載點P2傳送來的未測試IC器件傳送到接觸頭R，將來自IC器件測試部分E的已測試IC器件傳送到卸載緩沖運送器51；三對點P1-P2、Q1-Q2和S-T分別位于固定段ST1、ST2和ST3的預(yù)定固定位置。本例中，P1-P2、Q1-Q2和S-T的間距被選定為完全相等。
圖8A和8B解釋接觸頭L和R的運動。圖8A中，接觸頭R被從點T帶到器件測試部分E，同時與接觸頭R運動同步地把接觸頭R從器件測試部分E帶到點T。
圖9A至9D解釋在加載緩沖段ST4中加載緩沖運送器41和卸載緩沖運送器51的運動。圖9A至9D中，加載緩沖運送器41的工作位置用小寫字母a至d表示，卸載緩沖運送器51的工作位置用大寫字母A至D表示。
現(xiàn)在回到圖9A，在加載點P1上，當(dāng)加載緩沖運送器41(位置a)接收來自加載臂10(也可參看圖6A)的未測試器件19時，在傳送點S上，卸載緩沖運送器51(位置A)接收來自接觸頭L的已測試器件29。此時，接觸頭R位于器件測試部分E。
在從圖9A狀態(tài)轉(zhuǎn)到圖9B狀態(tài)的過程中，緩沖段ST4沿X方向從加載點P1移至P2，同時加載緩沖運送器41(位置b)沿Y方向從加載點P1移至位置b。卸載緩沖運送器51沿Y方向從傳送點S(位置A)移至位置B。在圖9B中的傳送點S，未測試器件19從加載緩沖運送器41傳送至接觸頭L(參見圖5)。在卸載點Q1，已測試器件29從卸載緩沖運送器51傳送至卸載臂20(圖6A)。此后，接觸頭L把未測試器件19傳送到器件測試部分E，接觸頭R把已測試器件29從測試部分E傳送到傳送點T。緩沖運送器41和51被帶到圖9C所示的Y方向上的位置c和C。
下面參照圖9C，在傳送點T把已測試器件29從接觸頭R傳送到卸載運送器51(位置C)。未測試器件19在加載點P2從加載臂10被傳送到加載緩沖運送器41(位置c)。此時，接觸頭L還位于頭測試部分E。隨后，如圖9D所示，緩沖段ST4在X方向上移動，同時把緩沖運送器41和51帶到Y(jié)方向上的位置d和D。
下面參看圖9D，在傳送點T未測試器件19從加載緩沖運送器41(位置d)傳送至接觸頭R。在卸載點Q2將已測試器件29從卸載緩沖運送器51(位置D)傳送至卸載臂20。此時，接觸頭R被帶到器件測試部分E，同時接觸頭L被帶到傳送點S。
之后，從圖9D的狀態(tài)返回到圖9A狀態(tài)。因此，操作返回到初始狀態(tài)。IC測試按循環(huán)順序重復(fù)進行，在各有關(guān)位置P1、P2、Q1、Q2上，把器件傳送至加載臂、卸載臂和接觸頭L及R。
圖10A至10I表示本發(fā)明另一實施例。當(dāng)上述實施例一個接一個地傳送IC器件時，本實施例可一次傳送多個器件。參照圖10A至10I的透視圖，會更容易明白前面所述的緩沖段ST4、加載緩沖運送器41、卸載緩沖運送器51和接觸頭L及R的運動。
圖10A中，當(dāng)加載緩沖運送器41從加載臂10(參見圖6A)接收未測試器件19時，卸載緩沖運送器51就從接觸頭L接收已測試器件29。
圖10B中，緩沖段ST4在+X方向移動一步，同時加載緩沖運送器41在+Y方向上移動，把保持在其上的未測試器件19傳送給接觸頭L。另一方面，卸載緩沖運送器51在-Y方向上移動。
圖10C中，緩沖段ST4保持在圖10B所示的同一位置，保持未測試器件19的接觸頭L移動到器件測試部分E。同時，加載緩沖運送器41在-Y方向移到從加載臂10接收未測試器件19的原始位置，并且在此接收下一個未測試器件19。另一方面，卸載緩沖運送器51在+Y方向移動，返回到能夠從接觸頭R接收已測試器件的位置，接觸頭R從器件測試部分E返回到可把已測試器件傳送到卸載緩沖運送器51的位置。此時，由于還未進行第一次測試，所以接觸頭R不保留已測試器件29。
圖10D中，緩沖段ST4在+X方向上再移動一步，加載緩沖運送器41在+Y方向上移動，把未測試器件19傳送到接觸頭R。此時，接觸頭L在器件測試部分E放置其保存的未測試器件19。另一方面，未裝器件的卸載緩沖運送器51沿-Y方向移動。
圖10E中，緩沖段ST4在-X方向移動兩步，返回到在圖10A中指示的原始位置，加載緩沖運送器41在-Y方向上移動，并從加載臂10中接收未測試器件19。另一方面，卸載緩沖運送器51在+Y方向上移動，返回到能夠從接觸頭L接收已測試器件29的位置，接觸頭L從器件測試部分E取出已測試器件29，并移動到卸載緩沖運送器51的位置，從其上傳送已測試器件29。此外，保存未測試器件19的接觸頭R向前移動到器件測試部分E。
圖10F中，緩沖段ST4在+X方向上移動一步，加載緩沖運送器41在+Y方向上移動，把未測試器件19傳送到接觸頭L，同時接觸頭R把其保留的未測試器件19放在器件測試部分E。帶有在圖10E中傳送的已測試器件29的卸載緩沖運送器51在-Y方向上移動，把已測試器件29傳送到卸載臂20。
圖10G中，保存未測試器件19的接觸頭L移到器件測試部分E，加載緩沖運送器41在-Y方向上移動，返回到可從加載臂10接收未測試器件19的原始位置。另一方面，卸載緩沖運送器51在+Y方向上移動，返回到可從接觸頭R接收已測試器件29的位置，接觸頭R從器件測試部分E返回到可把已測試器件29傳送到卸載緩沖運送器51的位置。
圖10I中，緩沖段ST4在-X方向移動兩步，回到初始位置。該狀態(tài)與圖10E所示狀態(tài)相同。其后，重復(fù)圖10E至10H所示的上述操作。
圖11中，以歸納形式說明ST4段的X方向分量和緩沖運送器41和51運行的Y方向分量，這些分量表示緩沖段ST4的運動，和在緩沖段ST4平行地安裝的Y方向緩沖運送器軌道4Y1和4Y2上的加載緩沖運送器41和卸載緩沖運送器51的運動。箭頭a1至a5表示加載緩沖運送器41的運動，箭頭b1至b5表示卸載緩沖運送器51的運動。這些箭頭表示運動方向和大致的運行距離。如圖11所示，在上述實施例中，緩沖運送器41和51在裝在緩沖段ST4上的平行的Y方向緩沖運送器軌道4Y1和4Y2上沿Y方向移動。在由加載點和卸載點P1、P2、Q1和Q2的位置限定的間隔上，段ST4在X方向上移動兩步，然后返回到其初始位置(在-X方向)。因此，在這樣一個循環(huán)中，緩沖段ST4運行的總距離為2(a2+a5)。本實施例中，設(shè)定a2=a5=d，所以緩沖段ST4運行的總距離為4d。緩沖段ST4的最大寬度或運行范圍D(中心線Y0和Y0’之間的距離)為2d。當(dāng)緩沖段ST4的運行總距離4d較大時，運行時間相應(yīng)就較長。為了減少運動時間。就需要增加驅(qū)動緩沖段ST4的功率。與圖11的實施例相比，圖12表示本發(fā)明在這方面進行改進的另一實施例。
圖12的實施例中，根據(jù)緩沖段ST4的Y方向中心線Y0，斜對稱地排列裝在緩沖段ST4上的運送加載緩沖運送器41和卸載緩沖運送器51的Y方向緩沖運送器軌道4Y1和4Y2，隨著加載點P1和Q1趨近，其間隔增加。位置S和P2處于中心線Y0上，位置P1和Q1與中心線Y0對稱。在本實施例中，與圖1中的實施例情況一樣，把加載點P1和P2之間的距離和卸載點Q1和Q2之間的距離及傳送點S和T之間的距離都設(shè)定為d。
加載緩沖運送器41在加載點P1接收未測試器件，卸載緩沖運送器51在傳送點S接收已測試器件。然后，分別沿緩沖運送器軌道4Y1和4Y2在相反方向上(a1，b1)驅(qū)動緩沖運送器41和51，在X方向上(a2，b2)驅(qū)動緩沖段ST4，到達位置S和Q1。在位置S，加載緩沖運送器41把未測試器件送到測試部分，同時在位置Q1，卸載緩沖運送器51(參見圖6A)把已測試器件送至卸載臂20。之后，分別沿Y方向緩沖運送器軌道4Y1和4Y2在相反方向上(a3，b3)驅(qū)動加載和卸載緩沖運送器41和51，在X方向上(a4，b4)驅(qū)動緩沖段ST4。結(jié)果，加載和卸載緩沖運送器41和51分別到達位置P2和T，在該位置，前者接收未測試器件，后者接收剛測試過的器件。然后，加載和卸載緩沖運送器41和51分別沿Y方向緩沖運送器軌道4Y1和4Y2在相反方向上(a5，b5)移動，緩沖段ST4在X方向上移動(a6，b6)。因此，加載和卸載緩沖運送器41和51分別到達位置T和Q2，在該位置，前者把未測試器件送至器件測試部分E，后者把剛測試的器件送至卸載臂20。隨后，緩沖段ST4返回到初始的未測試器件加載位置，加載和卸載緩沖運送器41和51分別返回到位置P1和S。在其它方面，本實施例與圖5中的實施例的結(jié)構(gòu)相同。
按照圖12的結(jié)構(gòu)，由于a4+a6=d，所以緩沖段ST4運行的總距離為2(a2+a4+a6)=2(a2+d)。正如圖2所明顯表示的，a2小于d，所以緩沖段ST4運行的總距離就短于圖11所示的那種情況。因此，緩沖段ST4運行的最大范圍D’=(a2+d)也小于圖11所示的情況。因此，能夠減小加載和卸載緩沖運送器41和51的一個循環(huán)工作周期。
在圖12的實施例中假設(shè)a2=b2=d和a4=b4=0，那么緩沖段ST4運行的總距離變?yōu)榕c圖11所示的情況一樣。這種情況下，點P2和Q1之間的距離大于d，相應(yīng)地，幾乎不會發(fā)生在點P2和Q1附近加載臂10和卸載臂20的碰撞的情況，如圖5中的那樣。
當(dāng)圖12的實施例中的點S和P2在X方向處于相同位置，點T和Q1在X方向也處于相同位置時，就可以使點P2和Q1之間的距離短于點S和T之間的距離，并如圖13所示，把點S和P2設(shè)定在X方向的不同位置，并把點T和Q1設(shè)定在X方向的不同位置。這種結(jié)構(gòu)也能產(chǎn)生與圖12實施例相同的效果。在這種情況下，緩沖段ST4運行的總距離也為2(a2+a4+a6)，并假設(shè)a2+a4=d，距離變?yōu)?(d+a6)?？墒牵@種情況中，點S和T之間的距離是b2+d4=a4+a6=a2+a4，所以a2=a6。假定a2=a6＜d，則緩沖段ST4運行的總距離就小于圖11所示的情況。
如上所述，根據(jù)本發(fā)明，使用二個接觸頭在器件測試部分E和的接觸臂工作段ST3之間傳送器件，設(shè)置緩沖段ST4，使其部分地延伸至接觸臂工作段ST3、加載臂工作段ST1和卸載臂工作段ST2之上，以便在它們之間傳送器件。加載臂工作段ST1的運送單元僅運送未測試器件，卸載臂工作段ST2的運送單元僅運送已測試器件。因此，即使IC測試器由于運送單元或某些其它部分的其中一個的誤差而停止工作，無論待運送的器件是未測試或已測器件，它都能夠從運送單元中容易地辨認出來。
控制加載緩沖運送器41和卸載緩沖運送器51，以便在其Y方向的緩沖運送器軌道4Y1和4Y2上以相反方向同步移動。也可控制接觸頭L和R，以便在其Y方向的頭運送軌道3Y1和3Y2上以相反方向同步移動。因此，不必擔(dān)心兩個接觸頭L和R具有互相干涉或碰撞、導(dǎo)致系統(tǒng)故障的相同位置。
用于控制加載和卸載緩沖運送器41和51移動的Y方向緩沖運送器軌道4Y1和4Y2相對于Y方向斜對稱地裝配著。由此，能夠減小X方向上緩沖段ST4的運行量。
此外，由于加載臂、卸載臂和接觸頭L和R都適合輸送多個器件，所以與使用一個接觸臂的情況相比，能夠提高傳送效率。
顯然，在不脫離本發(fā)明新原理范圍的前提下，可進行許多改進和變更。
權(quán)利要求
1．一種IC測試裝置，其中，IC器件被運送到IC器件測試部分并進行測試，所述裝置包括具有用于運送未測試IC器件的加載臂的加載臂工作段；具有用于接收和運送已測試IC器件的卸載臂的卸載臂工作段；具有用于把IC器件送入和送出所述器件測試部分的第一和第二接觸頭的接觸臂工作段，和用于控制所述第一和第二接觸頭運動的第一和第二接觸頭運送裝置；加載緩沖運送器，用于把未測試IC器件從所述加載臂工作段送至所述接觸臂工作段；卸載緩沖運送器，用于把已測試IC器件從所述接觸臂工作段送至所述卸載臂工作段；緩沖段，在該段上使Y方向加載緩沖運送器軌道與Y方向卸載緩沖運送器軌道分離開，前者用于控制所述加載緩沖運送器在所述接觸臂工作段和所述加載臂工作段之間移動，后者用于控制所述卸載緩沖運送器在所述接觸臂工作段和所述卸載臂工作段之間移動；和X方向緩沖段軌道，用于控制所述緩沖段，使其在X方向上移動；其中，所述緩沖段位于所述加載臂工作段、所述卸載臂工作段和所述接觸臂工作段之間。
2．如權(quán)利要求1所述的裝置，其中，按照所述接觸臂工作段的限定來固定第一和第二IC器件傳送位置，并使其在X方向上分離開，以便所述緩沖段的至少一部分總是保持鄰近所述IC器件測試部分的狀態(tài)；第一和第二加載位置以及第一和第二卸載位置分別在所述加載臂工作段和所述卸載臂工作段沿X方向分離開；其中，所述緩沖段有至少與所述第一IC器件傳送位置和所述第一加載位置相對的第一停止位置，至少與所述第一IC器件傳送位置和所述第一卸載位置相對的第二停止位置，以及至少與所述第二IC器件傳送位置和所述第二卸載位置相對的第三停止位置。
3．如權(quán)利要求2所述的裝置，其中，控制所述加載緩沖運送器和所述卸載緩沖運送器，以便其分別在所述Y方向加載緩沖運送器軌道和所述Y方向卸載緩沖運送器軌道上沿相反的方向同步地移動；和控制第一和第二接觸頭，以便其在所述第一和第二接觸頭運送器裝置上沿相反的方向同步地移動。
4．如權(quán)利要求1、2或3所述的裝置，其中，用于控制所述加載緩沖運送器的所述Y方向加載緩沖運送器軌道和用于控制所述卸載緩沖運送器的所述Y方向卸載緩沖運送器軌道，在所述緩沖段上相互平行地隔開排列。
5．如權(quán)利要求1、2或3所述的裝置，其中，用于控制所述加載緩沖運送器的所述Y方向加載緩沖運送器軌道和用于控制所述卸載緩沖運送器的所述Y方向卸載緩沖運送器軌道，相對于所述Y方向斜對稱地排列，以便它們在朝向所述IC器件測試部分的一側(cè)相互靠近。
6．如權(quán)利要求1、2或3所述的裝置，其中，所述加載臂、所述卸載臂、所述第一接觸頭和所述第二接觸頭均適合一次處理多個IC器件。
7．一種IC測試方法，在該方法中，把未測試IC器件送到IC器件測試部分，并把已測試IC器件從該處取走，所述方法包括下列步驟(a)在加載臂工作段用加載臂運送未測試IC器件；(b)在卸載臂工作段用卸載臂接收和運送已測試IC器件；(c)用第一和第二接觸頭運送裝置控制第一和第二接觸頭，以便用所述第一和第二接觸頭把IC器件送入和帶出所述IC器件測試部分；(d)把未測試IC器件裝在加載緩沖運送器上，并把它從所述加載臂工作段運送至所述接觸臂工作段；(e)把已測試IC器件裝在卸載緩沖運送器上，并把它從所述接觸臂工作段送至所述卸載臂工作段；(f)把由Y方向加載緩沖運送器軌道控制的所述加載緩沖運送器設(shè)置在緩沖段上，使其在所述接觸臂工作段和所述加載臂工作段之間移動，把由Y方向卸載緩沖運送器軌道控制的所述卸載緩沖運送器與所述Y方向加載緩沖運送器軌道相分隔地設(shè)置在緩沖段上，使其在所述接觸臂工作段和所述卸載臂工作段之間移動；和(g)用X方向緩沖運送器軌道控制所述緩沖段，使其在X方向上移動。
8．如權(quán)利要求7所述的方法，其中，按照所述接觸臂工作段來固定第一和第二IC器件傳送位置，并使其在X方向分離開，以便所述緩沖段的至少一部分總是保持鄰近所述IC器件測試部分的狀態(tài)；第一和第二加載位置以及第一和第二卸載位置分別在所述加載臂工作段和所述卸載臂工作段沿X方向分離開；其中，所述緩沖段有至少與所述第一IC器件傳送位置和所述第一加載位置相對的第一停止位置，至少與所述第一IC器件傳送位置和所述第一卸載位置相對的第二停止位置，和至少與所述第二IC器件傳送位置和所述第二卸載位置相對的第三停止位置。
9．如權(quán)利要求8所述的方法，其中，用所述Y方向加載緩沖運送器軌道和所述Y方向卸載緩沖運送器軌道控制所述加載緩沖運送器和所述卸載緩沖運送器，使其在相反的方向上同步地移動；和控制第一和第二接觸頭在所述第一和第二接觸頭運送器裝置上沿相反方向同步移動。
10．如權(quán)利要求9所述的方法，其中，所述步驟(f)是指控制所述加載緩沖運送器和所述卸載緩沖運送器，使其沿在所述緩沖段上相互平行并分開設(shè)置的所述Y方向加載緩沖運送器軌道和所述卸載緩沖運送器軌道，在相反的方向上移動的步驟。
11．如權(quán)利要求7、8或9所述的方法，其中，所述步驟(f)控制所述加載緩沖運送器和所述卸載緩沖運送器，使其沿所述Y方向加載緩沖運送器軌道和所述Y方向卸載緩沖運送器軌道在相反方向上同步地移動，這兩個運送器軌道相對于Y方向斜對稱地排列在所述緩沖段上，以便它們在所述IC器件測試部分的一側(cè)相互靠近。
全文摘要
使用兩個接觸頭在IC器件測試部分E和接觸臂工作段ST3之間運送IC器件,把緩沖段ST4插入在接觸臂工作段ST3、加載臂工作段ST1和卸載臂工作段ST2之間,并可在X方向上移動。在緩沖段ST2上設(shè)置加載緩沖運送器和卸載緩沖運送器,前者把未測試IC器件從加載臂工作段ST1傳送至接觸臂工作段ST3,后者把已測試IC器件從接觸臂工作段ST3傳送到卸載臂工作段ST3。
文檔編號G01R31/28GK1206115SQ9712971
公開日1999年1月27日 申請日期1997年12月25日 優(yōu)先權(quán)日1997年12月25日
發(fā)明者古田勝信 申請人:株式會社愛德萬測試