一種用于調(diào)節(jié)外延片測溫儀探頭位置的無級可調(diào)裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及M0CVD外延片測溫儀探頭位置調(diào)節(jié)的技術(shù)領(lǐng)域，尤其是指一種用于調(diào)節(jié)外延片測溫儀探頭位置的無級可調(diào)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]業(yè)內(nèi)習(xí)知，現(xiàn)有M0CVD設(shè)備外延片測溫儀探頭的安裝位置是固定的，如果托盤所放置的晶圓片的位置和數(shù)量發(fā)生變化，由于探頭位置固定，則探頭極有可能因測量不到外延片上的的正確位置而導(dǎo)致測量數(shù)據(jù)不準(zhǔn)確，從而影響對M0CVD反應(yīng)腔室的實際監(jiān)控。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足與缺點，提供一種用于調(diào)節(jié)外延片測溫儀探頭位置的無級可調(diào)裝置，能有效實現(xiàn)對測溫儀安裝位置的無級精確調(diào)節(jié)。
[0004]為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明所提供的技術(shù)方案為:一種用于調(diào)節(jié)外延片測溫儀探頭位置的無級可調(diào)裝置，包括有探測口法蘭蓋、探頭安裝座、探頭調(diào)節(jié)架、探頭調(diào)節(jié)螺桿、螺桿安裝板，其中，所述探測口法蘭蓋安裝在用于生長外延片的M0CVD反應(yīng)腔室的頂部，處于該M0CVD反應(yīng)腔室內(nèi)部托盤的上方，所述探測口法蘭蓋上開有觀察窗，供測溫儀探頭能夠在不同位置都可探測到托盤上晶圓片的情況，所述探頭安裝座滑動安裝在探測口法蘭蓋上，并可在觀察窗的長度方向上自由滑動，所述測溫儀探頭垂直安裝在該探頭安裝座的探頭安裝位處，能透過觀察窗探測到托盤上相應(yīng)晶圓片的情況，并能夠隨探頭安裝座一起滑動，所述探頭調(diào)節(jié)架上貫通有帶內(nèi)螺紋的通孔，該通孔上的內(nèi)螺紋與探頭調(diào)節(jié)螺桿相適配，所述探頭調(diào)節(jié)架與探頭安裝座固定相連，能隨該探頭安裝座一起滑動，所述螺桿安裝板豎直安裝在探測口法蘭蓋上，所述探頭調(diào)節(jié)螺桿的一端橫穿該螺桿安裝板后伸進(jìn)上述探頭調(diào)節(jié)架的通孔中，與該探頭調(diào)節(jié)架構(gòu)成螺母絲桿機(jī)構(gòu)，且所述探頭調(diào)節(jié)螺桿上裝配有配合螺桿安裝板用的限位件，用于限制該探頭調(diào)節(jié)螺桿在調(diào)節(jié)時軸向移動，通過旋轉(zhuǎn)所述探頭調(diào)節(jié)螺桿，能使得所述探頭安裝座及裝于該探頭安裝座上的測溫儀探頭在觀察窗的長度方向上一起滑動，進(jìn)而實現(xiàn)對測溫儀探頭位置的無級可調(diào)。
[0005]所述探頭安裝座上設(shè)置有螺釘安裝孔，能夠采用螺釘通過該螺釘安裝孔將探頭安裝座固定在探測口法蘭蓋上。
[0006]所述限位件為卡簧，該卡簧裝于探頭調(diào)節(jié)螺桿上的環(huán)形凹槽處，通過卡簧與螺桿安裝板的配合限位，能避免探頭調(diào)節(jié)螺桿在調(diào)節(jié)時軸向移動。
[0007]所述探頭安裝座橫跨于觀察窗的上方。
[0008]所述觀察窗為長矩形結(jié)構(gòu)。
[0009]本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有如下優(yōu)點與有益效果:
[0010]本發(fā)明能夠無級精調(diào)探頭位置，并可固定測溫儀探頭，從而適應(yīng)托盤放置不同數(shù)量晶圓片和變更晶圓片放置位置的需求，很好地克服了現(xiàn)有M0CVD設(shè)備因測溫儀探頭安裝位置固定而導(dǎo)致的無法適應(yīng)托盤內(nèi)晶圓片數(shù)量和位置變化的問題。
【附圖說明】
[0011]圖1為本發(fā)明所述無級可調(diào)裝置的安裝示意圖。
[0012]圖2為本發(fā)明所述無級可調(diào)裝置安裝在MOCVD反應(yīng)腔室上后的整體剖視圖。
[0013]圖3為本發(fā)明所述無級可調(diào)裝置安裝后的俯視圖。
[0014]圖4為圖3的A局部放大圖。
[0015]圖5為圖3的B局部放大圖。
【具體實施方式】
[0016]下面結(jié)合具體實施例對本發(fā)明作進(jìn)一步說明。
[0017]如圖1至圖5所示，本實施例所述的用于調(diào)節(jié)外延片測溫儀探頭位置的無級可調(diào)裝置，包括有探測口法蘭蓋1、探頭安裝座2、探頭調(diào)節(jié)架3、探頭調(diào)節(jié)螺桿4、螺桿安裝板5，其中，所述探測口法蘭蓋I安裝在用于生長外延片的MOCVD反應(yīng)腔室6的頂部，處于該MOCVD反應(yīng)腔室內(nèi)部托盤7的上方，所述探測口法蘭蓋I上開有長矩形結(jié)構(gòu)的觀察窗8，以供測溫儀探頭9能夠在不同位置都可探測到托盤7上晶圓片10的情況，所述探頭安裝座2滑動安裝在探測口法蘭蓋I上，并橫跨于觀察窗8的上方，可在觀察窗8的長度方向上自由滑動，所述測溫儀探頭9垂直安裝在該探頭安裝座2的探頭安裝位處，該探頭安裝位位于觀察窗8的正上方，測溫儀探頭9能透過觀察窗8探測到托盤7上相應(yīng)晶圓片10的情況，并能夠隨探頭安裝座2 —起滑動，所述探頭調(diào)節(jié)架3上貫通有帶內(nèi)螺紋的通孔，且該通孔上的內(nèi)螺紋與探頭調(diào)節(jié)螺桿4相適配，所述探頭調(diào)節(jié)架3與探頭安裝座2固定相連，能隨該探頭安裝座2 —起滑動，所述螺桿安裝板5豎直安裝在探測口法蘭蓋上1，所述探頭調(diào)節(jié)螺桿4的一端橫穿該螺桿安裝板5后伸進(jìn)上述探頭調(diào)節(jié)架3的通孔中，與該探頭調(diào)節(jié)架3構(gòu)成螺母絲桿機(jī)構(gòu)，且所述探頭調(diào)節(jié)螺桿4上開有環(huán)形凹槽，環(huán)形凹槽上裝有配合螺桿安裝板5用的限位件11 (具體為卡簧)，通過卡簧與螺桿安裝板5的配合限位，能避免探頭調(diào)節(jié)螺桿4在調(diào)節(jié)時軸向移動。通過旋轉(zhuǎn)所述探頭調(diào)節(jié)螺桿4，能使得所述探頭安裝座2及裝于該探頭安裝座2上的測溫儀探頭9在觀察窗8的長度方向上一起滑動，進(jìn)而實現(xiàn)對測溫儀探頭位置的無級可調(diào)。
[0018]此外，所述探頭安裝座2上還設(shè)置有螺釘安裝孔，當(dāng)調(diào)節(jié)所述測溫儀探頭9至合適的位置后，能夠用螺釘通過該螺釘安裝孔將探頭安裝座2固定在探測口法蘭蓋I上，以保持位置，保證測溫儀探頭9反饋溫度的準(zhǔn)確性。
[0019]在采用以上方案后，本發(fā)明能夠無級精調(diào)探頭位置，并可固定測溫儀探頭，從而適應(yīng)托盤放置不同數(shù)量晶圓片和變更晶圓片放置位置的需求，很好地克服了現(xiàn)有MOCVD設(shè)備因測溫儀探頭安裝位置固定而導(dǎo)致的無法適應(yīng)托盤內(nèi)晶圓片數(shù)量和位置變化的問題，值得推廣。
[0020]以上所述之實施例子只為本發(fā)明之較佳實施例，并非以此限制本發(fā)明的實施范圍，故凡依本發(fā)明之形狀、原理所作的變化，均應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種用于調(diào)節(jié)外延片測溫儀探頭位置的無級可調(diào)裝置，其特征在于:包括有探測口法蘭蓋、探頭安裝座、探頭調(diào)節(jié)架、探頭調(diào)節(jié)螺桿、螺桿安裝板，其中，所述探測口法蘭蓋安裝在用于生長外延片的MOCVD反應(yīng)腔室的頂部，處于該MOCVD反應(yīng)腔室內(nèi)部托盤的上方，所述探測口法蘭蓋上開有觀察窗，供測溫儀探頭能夠在不同位置都可探測到托盤上晶圓片的情況，所述探頭安裝座滑動安裝在探測口法蘭蓋上，并可在觀察窗的長度方向上自由滑動，所述測溫儀探頭垂直安裝在該探頭安裝座的探頭安裝位處，能透過觀察窗探測到托盤上相應(yīng)晶圓片的情況，并能夠隨探頭安裝座一起滑動，所述探頭調(diào)節(jié)架上貫通有帶內(nèi)螺紋的通孔，該通孔上的內(nèi)螺紋與探頭調(diào)節(jié)螺桿相適配，所述探頭調(diào)節(jié)架與探頭安裝座固定相連，能隨該探頭安裝座一起滑動，所述螺桿安裝板豎直安裝在探測口法蘭蓋上，所述探頭調(diào)節(jié)螺桿的一端橫穿該螺桿安裝板后伸進(jìn)上述探頭調(diào)節(jié)架的通孔中，與該探頭調(diào)節(jié)架構(gòu)成螺母絲桿機(jī)構(gòu)，且所述探頭調(diào)節(jié)螺桿上裝配有配合螺桿安裝板用的限位件，用于限制該探頭調(diào)節(jié)螺桿在調(diào)節(jié)時軸向移動，通過旋轉(zhuǎn)所述探頭調(diào)節(jié)螺桿，能使得所述探頭安裝座及裝于該探頭安裝座上的測溫儀探頭在觀察窗的長度方向上一起滑動，進(jìn)而實現(xiàn)對測溫儀探頭位置的無級可調(diào)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于調(diào)節(jié)外延片測溫儀探頭位置的無級可調(diào)裝置，其特征在于:所述探頭安裝座上設(shè)置有螺釘安裝孔，能夠采用螺釘通過該螺釘安裝孔將探頭安裝座固定在探測口法蘭蓋上。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于調(diào)節(jié)外延片測溫儀探頭位置的無級可調(diào)裝置，其特征在于:所述限位件為卡簧，該卡簧裝于探頭調(diào)節(jié)螺桿上的環(huán)形凹槽處，通過卡簧與螺桿安裝板的配合限位，能避免探頭調(diào)節(jié)螺桿在調(diào)節(jié)時軸向移動。4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種用于調(diào)節(jié)外延片測溫儀探頭位置的無級可調(diào)裝置，其特征在于:所述探頭安裝座橫跨于觀察窗的上方。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于調(diào)節(jié)外延片測溫儀探頭位置的無級可調(diào)裝置，其特征在于:所述觀察窗為長矩形結(jié)構(gòu)。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種用于調(diào)節(jié)外延片測溫儀探頭位置的無級可調(diào)裝置，包括探測口法蘭蓋、探頭安裝座、探頭調(diào)節(jié)架、探頭調(diào)節(jié)螺桿、螺桿安裝板，探測口法蘭蓋裝在MOCVD反應(yīng)腔室頂部，探測口法蘭蓋上開有觀察窗，探頭安裝座滑動安裝在探測口法蘭蓋上，可在觀察窗的長度方向上自由滑動，測溫儀探頭垂直裝在探頭安裝座上，探頭調(diào)節(jié)架上貫通有帶內(nèi)螺紋的通孔，通孔上的內(nèi)螺紋與探頭調(diào)節(jié)螺桿相適配，探頭調(diào)節(jié)架與探頭安裝座固定相連，螺桿安裝板豎直裝在探測口法蘭蓋上，探頭調(diào)節(jié)螺桿的一端橫穿螺桿安裝板后伸進(jìn)探頭調(diào)節(jié)架的通孔中，與探頭調(diào)節(jié)架構(gòu)成螺母絲桿機(jī)構(gòu)。本發(fā)明能有效實現(xiàn)對測溫儀安裝位置的無級精確調(diào)節(jié)。
【IPC分類】G01K1/14
【公開號】CN105352615
【申請?zhí)枴緾N201510799241
【發(fā)明人】劉向平, 楊翠柏, 方聰, 張楊, 張露, 靳愷, 王雷
【申請人】中山德華芯片技術(shù)有限公司
【公開日】2016年2月24日
【申請日】2015年11月19日