一種無(wú)探針檢測(cè)系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種無(wú)探針檢測(cè)系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]在集成電路產(chǎn)業(yè)鏈中，集成電路測(cè)試是惟一一個(gè)貫穿集成電路生產(chǎn)和應(yīng)用全過(guò)程的產(chǎn)業(yè)。如果集成電路設(shè)計(jì)沒(méi)有通過(guò)原型的驗(yàn)證測(cè)試，就不可能投入量產(chǎn);量產(chǎn)中，如果沒(méi)有通過(guò)探針測(cè)試臺(tái)的中測(cè)，就無(wú)法在下一個(gè)工序中進(jìn)行封裝;而封裝后的成品測(cè)試(成測(cè))又是集成電路產(chǎn)品的最后工序，只有測(cè)試合格的電路才可能作為正式的集成電路產(chǎn)品出廠(chǎng)。而在隨后的市場(chǎng)流通和工程應(yīng)用中，集成電路還必須經(jīng)過(guò)多種不同應(yīng)用目標(biāo)和不同使用條件的綜合性或特需性測(cè)試。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)中的集成電路的檢測(cè)都是通過(guò)具有探針的測(cè)試儀，測(cè)試時(shí)，探針被壓到電子產(chǎn)品的電路板上。其主要功能為檢測(cè)電子產(chǎn)品在制造過(guò)程中所發(fā)生的缺陷，電子產(chǎn)品的缺陷勢(shì)必要在出貨前完成篩選，以增加產(chǎn)品的良率，否則會(huì)使產(chǎn)品無(wú)法發(fā)揮預(yù)期的功能，更嚴(yán)重者，可能因?yàn)橐粋€(gè)不當(dāng)?shù)漠a(chǎn)品而使整批產(chǎn)品遭到退貨，斷送商機(jī)，甚至影響商譽(yù)。所以電子產(chǎn)品的檢測(cè)成功與否很大程度上取決于探針質(zhì)量的好壞，探針在使用過(guò)程中，容易出現(xiàn)與產(chǎn)品接觸不良或者在使用多次后，出現(xiàn)磨損等現(xiàn)象從而導(dǎo)致測(cè)試不穩(wěn)定，這對(duì)電子產(chǎn)品的測(cè)試具有非常大的影響。
[0004]因此亟需研究出一種能夠降低上述缺點(diǎn)的檢測(cè)系統(tǒng)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種能夠防止探針接觸不良或磨損等導(dǎo)致測(cè)試不穩(wěn)定的測(cè)試系統(tǒng)。
[0006]為解決上述問(wèn)題，本發(fā)明提供了一種無(wú)探針檢測(cè)系統(tǒng)，其設(shè)置在工件固定臺(tái)上方，包括由四根相互垂直的橫桿組成的方形橫梁，其特征在于，還包括:
[0007]-軸臂，至少設(shè)有兩個(gè)，且其首尾分別與兩根相互平行的所述橫桿滑動(dòng)連接；
[0008]-探針組件，其滑動(dòng)連接在軸臂的底部，所述探針組件包括升降機(jī)構(gòu)以及連接在所述升降機(jī)構(gòu)下方的探針；
[0009]-測(cè)量臂，位于所述軸臂的正下方，且其首尾分別與兩根相互平行的所述橫桿滑動(dòng)連接，所述測(cè)量臂的下方滑動(dòng)連接有能夠感測(cè)到工件上被測(cè)試點(diǎn)的光電測(cè)頭，所述光電測(cè)頭上還設(shè)有用于測(cè)量其分別到兩個(gè)相互垂直的所述橫桿距離的測(cè)距裝置；
[0010]-第一動(dòng)力裝置和第二動(dòng)力裝置，分別用于驅(qū)動(dòng)所述軸臂在所述橫桿上的滑動(dòng)以及所述探針組件在所述軸臂上的滑動(dòng)，第一動(dòng)力裝置和第二驅(qū)動(dòng)裝置均通過(guò)PLC控制運(yùn)動(dòng)；
[0011]-第三動(dòng)力裝置和第四動(dòng)力裝置，分別用于分別驅(qū)動(dòng)所述測(cè)量臂在所述橫桿上的滑動(dòng)以及所述光電側(cè)頭在所測(cè)量臂上的滑動(dòng)。
[0012]作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，所述所述第一動(dòng)力裝置、第二動(dòng)力裝置、第三動(dòng)力裝置以及第四動(dòng)力裝置均為直線(xiàn)電機(jī)。
[0013]作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，所述升降裝置為氣缸。
[0014]本發(fā)明的有益效果在于，本發(fā)明摒棄了現(xiàn)有技術(shù)中探針位置固定不可調(diào)的設(shè)計(jì)，采用活動(dòng)探針，并在每一次檢測(cè)過(guò)程中，對(duì)檢測(cè)點(diǎn)進(jìn)行位置確定，從而防止因位置不準(zhǔn)確而影響測(cè)試結(jié)果。
【附圖說(shuō)明】
[0015]圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0016]其中:1_固定臺(tái)；2-橫桿;4-橫梁;6-軸臂;8-探針組件;10-測(cè)量臂；12-光電測(cè)頭。
【具體實(shí)施方式】
[0017]下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。
[0018]如圖1所示，本發(fā)明包括由四根相互垂直的橫桿2組成的方形橫梁4，其特征在于，還包括:
[0019]-軸臂6，至少設(shè)有兩個(gè)，且其首尾分別與兩根相互平行的所述橫桿2滑動(dòng)連接；
[0020]-探針組件8，其滑動(dòng)連接在軸臂6的底部，所述探針組件8包括升降機(jī)構(gòu)以及連接在所述升降機(jī)構(gòu)下方的探針；
[0021]-測(cè)量臂10，位于所述軸臂6的正下方，且其首尾分別與兩根相互平行的所述橫桿2滑動(dòng)連接，所述測(cè)量臂10的下方滑動(dòng)連接有能夠感測(cè)到工件上被測(cè)試點(diǎn)的光電測(cè)頭12，所述光電測(cè)頭12上還設(shè)有用于測(cè)量其分別到兩個(gè)相互垂直的所述橫桿2距離的測(cè)距裝置；
[0022]-第一動(dòng)力裝置和第二動(dòng)力裝置，分別用于驅(qū)動(dòng)所述軸臂6在所述橫桿2上的滑動(dòng)以及所述探針組件8在所述軸臂6上的滑動(dòng)，第一動(dòng)力裝置和第二驅(qū)動(dòng)裝置均通過(guò)PLC控制運(yùn)動(dòng)；
[0023]-第三動(dòng)力裝置和第四動(dòng)力裝置，分別用于分別驅(qū)動(dòng)所述測(cè)量臂10在所述橫桿2上的滑動(dòng)以及所述光電側(cè)頭在所測(cè)量臂10上的滑動(dòng)。
[0024]作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，所述所述第一動(dòng)力裝置、第二動(dòng)力裝置、第三動(dòng)力裝置以及第四動(dòng)力裝置均為直線(xiàn)電機(jī)。
[0025]作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，所述升降裝置為氣缸。
[0026]本發(fā)明的具體原來(lái)如下:
[0027](1)待測(cè)點(diǎn)定位，通過(guò)第三動(dòng)力裝置和第四動(dòng)力裝置分別驅(qū)動(dòng)測(cè)量臂10和光電測(cè)頭12運(yùn)動(dòng)，當(dāng)光電測(cè)頭12位于待測(cè)點(diǎn)正上方時(shí)，光電測(cè)頭12控制第三動(dòng)力裝置和第四動(dòng)力裝置停止運(yùn)動(dòng)，然后測(cè)距裝置測(cè)量其分別到垂直的橫桿2的距離，XI，Y1，建立坐標(biāo)系(XI，￥1)，如此獲得每個(gè)待測(cè)點(diǎn)的坐標(biāo)02，￥2)、03，￥3)...(Χη，Υη)。
[0028](2)探針運(yùn)動(dòng)，每個(gè)橫桿2、軸臂6上第一動(dòng)力裝置、第二動(dòng)力裝置分別在PLC的作用下，運(yùn)動(dòng)到上述的坐標(biāo)01，￥1)(乂2，￥2)、(乂3，￥3)...(乂11，￥11)的正上方，通過(guò)升降氣缸運(yùn)動(dòng)，與待測(cè)點(diǎn)接觸，完成測(cè)量。
[0029]本發(fā)明公開(kāi)了一種無(wú)探針檢測(cè)系統(tǒng)，其設(shè)置在工件固定臺(tái)(1)上方，包括由四根相互垂直的橫桿(2)組成的方形橫梁(4)，其特征在于，還包括:軸臂(6)，至少設(shè)有兩個(gè)，且其首尾分別與兩根相互平行的所述橫桿(2)滑動(dòng)連接;探針組件(8)，其滑動(dòng)連接在軸臂(6)的底部，所述探針組件(8)包括升降機(jī)構(gòu)以及連接在所述升降機(jī)構(gòu)下方的探針以及測(cè)量臂(10)，本發(fā)明摒棄了現(xiàn)有技術(shù)中探針位置固定不可調(diào)的設(shè)計(jì)，采用活動(dòng)探針，并在每一次檢測(cè)過(guò)程中，對(duì)檢測(cè)點(diǎn)進(jìn)行位置確定，從而防止因位置不準(zhǔn)確而影響測(cè)試結(jié)果。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種無(wú)探針檢測(cè)系統(tǒng)，其設(shè)置在工件固定臺(tái)(1)上方，包括由四根相互垂直的橫桿(2)組成的方形橫梁(4)，其特征在于，還包括: -軸臂(6)，至少設(shè)有兩個(gè)，且其首尾分別與兩根相互平行的所述橫桿(2)滑動(dòng)連接； -探針組件(8)，其滑動(dòng)連接在軸臂(6)的底部，所述探針組件(8)包括升降機(jī)構(gòu)以及連接在所述升降機(jī)構(gòu)下方的探針； -測(cè)量臂(10)，位于所述軸臂(6)的正下方，且其首尾分別與兩根相互平行的所述橫桿(2)滑動(dòng)連接，所述測(cè)量臂(10)的下方滑動(dòng)連接有能夠感測(cè)到工件上被測(cè)試點(diǎn)的光電測(cè)頭(12)，所述光電測(cè)頭(12)上還設(shè)有用于測(cè)量其分別到兩個(gè)相互垂直的所述橫桿(2)距離的測(cè)距裝置； -第一動(dòng)力裝置和第二動(dòng)力裝置，分別用于驅(qū)動(dòng)所述軸臂(6)在所述橫桿(2)上的滑動(dòng)以及所述探針組件(8)在所述軸臂(6)上的滑動(dòng)，第一動(dòng)力裝置和第二驅(qū)動(dòng)裝置均通過(guò)PLC控制運(yùn)動(dòng)； -第三動(dòng)力裝置和第四動(dòng)力裝置，分別用于分別驅(qū)動(dòng)所述測(cè)量臂(10)在所述橫桿(2)上的滑動(dòng)以及所述光電側(cè)頭在所測(cè)量臂(10)上的滑動(dòng)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種無(wú)探針檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述所述第一動(dòng)力裝置、第二動(dòng)力裝置、第三動(dòng)力裝置以及第四動(dòng)力裝置均為直線(xiàn)電機(jī)。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種無(wú)探針檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述升降裝置為氣缸。
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種無(wú)探針檢測(cè)系統(tǒng)，其設(shè)置在工件固定臺(tái)(1)上方，包括由四根相互垂直的橫桿(2)組成的方形橫梁(4)，其特征在于，還包括軸臂(6)，探針組件(8)，測(cè)量臂(10)第一動(dòng)力裝置、第二動(dòng)力裝置、第三動(dòng)力裝置以及第四動(dòng)力裝置，本發(fā)明摒棄了現(xiàn)有技術(shù)中探針位置固定不可調(diào)的設(shè)計(jì)，采用活動(dòng)探針，并在每一次檢測(cè)過(guò)程中，對(duì)檢測(cè)點(diǎn)進(jìn)行位置確定，從而防止因位置不準(zhǔn)確而影響測(cè)試結(jié)果。
【IPC分類(lèi)】G01R31/28
【公開(kāi)號(hào)】CN105467298
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510918181
【發(fā)明人】張磊
【申請(qǐng)人】蘇州世紀(jì)福智能裝備股份有限公司
【公開(kāi)日】2016年4月6日
【申請(qǐng)日】2015年12月10日