用于選擇性地檢驗部件側(cè)壁的裝置和方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種部件檢驗過程，其包括定位部件（例如，半導(dǎo)體部件或其它的物體），使得部件側(cè)壁沿對應(yīng)于側(cè)壁分束器的光學(xué)路徑設(shè)置，所述分束器被配置成用于接收由一組側(cè)壁照明器提供的側(cè)壁照明，以及朝著部件側(cè)壁傳遞穿過其中的該側(cè)壁照明，并且傳遞到部件側(cè)壁。入射到部件側(cè)壁的側(cè)壁照明從部件側(cè)壁朝著側(cè)壁分束器被反射回，該側(cè)壁分束器沿對應(yīng)于用于側(cè)壁圖像捕捉的圖像捕捉設(shè)備的光學(xué)路徑反射或重新定向該反射的側(cè)壁照明，從而允許部件側(cè)壁檢驗。側(cè)壁照明器和側(cè)壁分束器可形成包括明視野照明器、暗視野照明器以及圖像捕捉分束器的五個側(cè)面檢驗裝置的部分，使得五個側(cè)面檢驗裝置可被配置成用于以選擇性的/可選擇的方式檢驗部件底表面和/或部件側(cè)壁。
【專利說明】
用于選擇性地檢驗部件側(cè)壁的裝置和方法
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本公開的方面涉及用于檢驗包括部件側(cè)壁的部件的外表面或側(cè)面的裝置和方法，其中側(cè)壁檢驗可與沿光行進路徑選擇性地將照明定向到一些或所有的部件側(cè)壁相關(guān)聯(lián)地發(fā)生，使得照明被正常的入射到這些側(cè)壁，并且定向從側(cè)壁反射的光，使得圖像捕捉設(shè)備可捕捉側(cè)壁圖像。
【背景技術(shù)】
[0002]對諸如半導(dǎo)體模片或封裝的半導(dǎo)體器件的部件的外在、外部或外表面和/或結(jié)構(gòu)的缺陷光學(xué)檢驗可通過“五個側(cè)面檢驗”來執(zhí)行。五個側(cè)面檢驗涉及朝部件的五個側(cè)面，諸如部件底表面和四個部件側(cè)壁定向照明，當(dāng)部件被固定在第六側(cè)面上時(例如，通過拾取和放置設(shè)備)，根據(jù)側(cè)面的這個定義其將是部件的底部。與五個側(cè)面光學(xué)檢驗相關(guān)聯(lián)，照明可被定向到部件的底表面，從而有利于底表面圖像的捕捉;并且照明可被定向到部件的側(cè)壁，從而有利于部件側(cè)壁圖像的捕捉。為了捕捉圖像，從部件的底表面和/或側(cè)壁反射的入射照明可朝諸如透鏡組件的光學(xué)組件和圖像捕捉設(shè)備被定向。
[0003]圖1A是示出常規(guī)的五個側(cè)面檢驗裝置的部分的示意圖，其中部件20在底表面檢驗位置由部件固定器50(例如，拾取和放置設(shè)備)固定，使得部件垂直地駐留在底表面檢驗位置，上述還可以在一組反射器或棱鏡130a-b之間。雖然圖1A僅僅示出兩個棱鏡130a-b，但是典型的五個側(cè)面檢驗系統(tǒng)包括四個棱鏡130，即，每個棱鏡對應(yīng)于部件的四個側(cè)壁中的一個。
[0004]明視野照明器100在向上的方向輸出明視野照明，當(dāng)明視野照明朝部件20行進時，其經(jīng)過分束器110。一些明視野照明到達部件底表面和/或?qū)?yīng)于其的諸如焊球的表面特征結(jié)構(gòu)且被它們反射，并且朝分束器110在向下的方向被其直接地反射。在到達分束器的反射表面112時，該向下行進的明視野照明朝圖像捕捉設(shè)備(未示出)被重新定向，使得對應(yīng)于部件底表面的圖像可被捕捉。
[0005]由明視野照明器100輸出的一些明視野照明附加地到達每個棱鏡130a_b。棱鏡130a-b之間橫向的光學(xué)路徑不被部件20阻斷或隔斷，因為部件被設(shè)置在棱鏡130a-b的上方。因此，在到達任何給定的棱鏡130a_b時，明視野照明朝相對的棱鏡130b_a在橫向方向被重新定向，在這之后，明視野照明朝分束器110在向下的方向被再次重新定向。在到達分束器的反射表面112時，已經(jīng)沿光學(xué)路徑行進通過棱鏡130a-b的該照明朝圖像捕捉設(shè)備被進一步的定向，并且形成由其捕捉的圖像的外部分。
[0006]圖1B是當(dāng)部件被固定在對應(yīng)于圖1A中示出的檢驗配置的部件位于底表面檢驗位置時對應(yīng)于捕捉的部件底表面的代表性的檢驗圖像。如圖1B中所指出的，已經(jīng)經(jīng)過棱鏡130a-b的明視野照明表現(xiàn)為所捕捉的圖像的明亮的或非常明亮的周邊部分，并且部件的底表面和對應(yīng)于其的結(jié)構(gòu)在所捕捉的圖像的焦點對準的中央?yún)^(qū)域內(nèi)出現(xiàn)。
[0007]當(dāng)部件被固定在底表面檢驗位置時，圖像捕捉已經(jīng)發(fā)生之后，部件固定器50將部件20垂直地降低或插入到側(cè)壁檢驗位置，使得駐留在棱鏡130a_b和部件的側(cè)壁之間的部件20落進棱鏡130a-b之間的橫向的光學(xué)路徑。因此，當(dāng)部件被設(shè)置在側(cè)壁檢驗位置時，部件20充當(dāng)相對于從一個棱鏡130a_b朝其它的棱鏡130b_a行進的一些照明的隔斷物。
[0008]更具體地，圖1C是示出常規(guī)的五個側(cè)面檢驗裝置的部分的示意圖，其中部分20在側(cè)壁檢驗位置被部件固定器50固定，使得部件的垂直程度或程度或高度/厚度在棱鏡130a-b的垂直程度或高度的限度范圍內(nèi)。如前所述，明視野照明器100輸出明視野照明時，當(dāng)明視野照明朝部件20在向上的方向行進時，明視野照明經(jīng)過分束器110。一些明視野照明到達部件底表面和/或?qū)?yīng)于其的諸如焊球的表面特征結(jié)構(gòu)且被它們反射，并且朝分束器110在向下的方向被其直接地反射。在到達分束器110的反射表面112時，對應(yīng)于部件底表面的該向下行進的照明朝圖像捕捉設(shè)備被重新定向。
[0009]一些向上行進的明視野照明附加地到達一組棱鏡130a_b。棱鏡130a_b反射且重新定向該明視野照明，使得其朝部件側(cè)壁橫向地行進。該橫向行進的照明的一部分朝棱鏡130a_b被部件側(cè)壁反射回，然后所述棱鏡130a_b在向下的方向?qū)⒃撜彰鞣瓷浜椭匦露ㄏ虻椒质?10，在其上，分束器的反射表面112重新定向已經(jīng)被部件側(cè)壁朝圖像捕捉設(shè)備反射的該照明，使得當(dāng)部件被定位在側(cè)壁檢驗位置時，在對應(yīng)于部件底表面/底表面結(jié)構(gòu)的照明的捕捉同時，對應(yīng)于部件的側(cè)壁中的每一個的圖像可被捕捉。
[0010]圖1D是當(dāng)部件20被固定在側(cè)壁檢驗位置時所捕捉的代表性的檢驗圖像，其中中央圖像區(qū)域?qū)?yīng)于由部件的底表面和/或由其運送的結(jié)構(gòu)所反射的明視野照明，并且在圖像的左邊、右邊以及底部的各個圖像區(qū)域?qū)?yīng)于部件的側(cè)壁。
[0011]當(dāng)部件20被固定在底表面檢驗位置時被捕捉的圖像提供對應(yīng)于部件的底表面的中央的焦點對準的圖像區(qū)域，并且提供包含或輸送關(guān)于部件的側(cè)壁的本質(zhì)上沒有用的信息的明亮的周邊區(qū)域。當(dāng)部件20被固定在側(cè)壁檢驗位置時被捕捉的圖像提供對應(yīng)于部件側(cè)壁的焦點對準的周邊圖像區(qū)域，以及對應(yīng)于部件底表面的至少輕微地散焦的中央圖像區(qū)域。由于底表面檢驗位置和側(cè)壁檢驗位置之間的垂直偏移，當(dāng)部件20被固定在側(cè)壁檢驗位置時，被捕捉的圖像內(nèi)的中央圖像區(qū)域的該散焦發(fā)生。
[0012]具體地，底表面檢驗位置和側(cè)壁檢驗位置之間的垂直偏移被選擇，使得部件的前表面和/或由其運送的機構(gòu)(例如，焊球)與圖像捕捉設(shè)備的成像平面之間的光學(xué)路徑長度等于或大約等于部件的側(cè)壁與圖像捕捉設(shè)備的成像平面之間的光學(xué)路徑長度。因此，當(dāng)部件20從底表面檢驗位置被插入到側(cè)壁檢驗位置時，圖像的捕捉之間沒有聚焦(散焦)操作需要發(fā)生，這有助于檢驗吞吐量。
[0013]為了檢驗的目的，單個合成圖像通常從當(dāng)部件20被固定在底表面檢驗位置時所捕捉的圖像和當(dāng)部件20被固定在側(cè)壁檢驗位置時所捕捉的圖像產(chǎn)生。通過將(a)當(dāng)部件20被固定在底表面檢驗位置時所捕捉的對應(yīng)于部件底表面的圖像的焦點對準的中央?yún)^(qū)域和(b)當(dāng)部件20被固定在側(cè)壁檢驗位置時所捕捉的對應(yīng)于部件側(cè)壁的焦點對準的周邊或外區(qū)域組合或數(shù)字地“拼接”在一起，合成圖像被產(chǎn)生。圖1E提供通過分別將底表面檢驗圖像的中央和周邊部分與側(cè)壁檢驗圖像組合或數(shù)字地拼接在一起產(chǎn)生的代表性的合成圖像。圖1F示出對應(yīng)于部件側(cè)壁的合成圖像的一部分。
[0014]在常規(guī)的五個側(cè)面檢驗裝置中，棱鏡130的垂直程度顯著地超過部件的側(cè)壁的垂直程度。因此，當(dāng)部件20在側(cè)壁檢驗位置被定位時，入射到棱鏡130并且朝部件側(cè)壁被棱鏡130定向和反射的由明視野照明器100輸出的向上行進的明視野照明跨越大于或顯著地大于部件的側(cè)壁的垂直程度的空間范圍或區(qū)域被垂直地分布。因此，已經(jīng)沿橫向路徑被給定的棱鏡130重新定向的由明視野照明器100輸出的明視野照明的顯著量沒有落在部件側(cè)壁上，因此完全地錯過或繞過部件。這種明視野照明簡單地未隔斷的行進到相對的棱鏡130，并且沿向下的路徑被反射到分束器110，在其上，該明視野照明形成所捕捉的圖像的一部分，其中遵循直接的棱鏡到棱鏡的光學(xué)路徑的該明視野照明表現(xiàn)為相對于所捕捉的部件側(cè)壁的圖像的明亮的亮白色背景，如在圖1D中所指出的。
[0015]這種明視野照明不攜帶關(guān)于部件缺陷的光學(xué)信息，所述明視野照明沿垂直于部件側(cè)壁的橫向的光學(xué)路徑被定向，但是不被入射到部件側(cè)壁的，并且簡單地代替所經(jīng)受的沿光學(xué)路徑的多個棱鏡反射，其不包括來自部件本身或與其相關(guān)聯(lián)的結(jié)構(gòu)的反射。因此，這種照明可被稱為外來的明視野照明。這個外來明視野照明是足夠強的或明亮的，其存在于所捕捉的側(cè)壁圖像中可以引起“光學(xué)串?dāng)_”，其可以在視覺上“洗掉”側(cè)壁圖像中陰影的出現(xiàn)或非常小的缺陷(例如，諸如細小裂紋或裂痕的微缺陷)，從而干擾或限制圖像處理算法可檢測部件側(cè)壁上微缺陷的程度。換句話說，這個外來明視野照明可降低所捕捉的側(cè)壁圖像的對比度和清晰度。這是極其有意義的，因為集成電路逐漸地變得越來越小，并且相關(guān)的缺陷也較小，從而增加了對改善的圖像的對比度和清晰度的需要。光學(xué)串?dāng)_趨于降低非常小的裂紋的能見度和光學(xué)分辨率或清晰度(例如，特別是具有小于或等于大約ΙΟμπι的大小或尺寸的裂紋)。
[0016]存在改善部件側(cè)壁被照明且部件側(cè)壁圖像在五個側(cè)面檢驗裝置中被捕捉的方式的需要。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0017]本公開的一個方面涉及多側(cè)面檢驗裝置，其可捕捉部件底表面和/或部件側(cè)壁的圖像，其中裝置被配置成用于檢驗包括部件側(cè)壁的部件表面，所述裝置包括:被配置成輸出側(cè)壁照明的一組側(cè)壁照明器;一組側(cè)壁分束器，其被配置成用于:(a)接收由一組側(cè)壁照明器輸出的側(cè)壁照明；(b)通過一組側(cè)壁分束器傳遞由一組側(cè)壁照明器輸出的所述側(cè)壁照明，使得當(dāng)部件被定位在側(cè)壁檢驗位置時，至少一些側(cè)壁照明被入射到部件側(cè)壁上，在所述側(cè)壁檢驗位置，部件側(cè)壁隔斷一組側(cè)壁分束器內(nèi)的各個側(cè)壁分束器之間的至少一些光學(xué)路徑；(C)當(dāng)部件被定位在側(cè)壁檢驗位置時，接收從部件側(cè)壁反射的側(cè)壁照明；以及(d)沿對應(yīng)于透鏡組件和圖像捕捉設(shè)備的光學(xué)路徑重新定向所述反射的側(cè)壁照明。
[0018]本公開的另一個重要的方面涉及消除從部件的一個側(cè)面上的側(cè)壁分束器經(jīng)過到部件的相對側(cè)面上的側(cè)壁分束器的外來照明的方法，所述外來照明促使串?dāng)_，并且趨于降低所捕捉的部件的側(cè)壁圖像中的細節(jié)的能見度和超細缺陷的清晰度。許多實施例使用不同的技術(shù)以消除外來光，所述外來光有促使部件側(cè)壁圖像中的串?dāng)_。
[0019]在一個實例中，消除串?dāng)_的方法包括合適的偏振鏡或偏振鏡的組合的使用，所述偏振鏡耦合到每對相對的側(cè)壁分束器，并且被配置成使用本領(lǐng)域已知的技術(shù)，使得(i)當(dāng)在部件側(cè)壁的一個側(cè)面的每個偏振的分束器組件(偏振鏡組和分束器的組合)將允許由其對應(yīng)的側(cè)壁照明器產(chǎn)生的照明借助特定方向的偏振經(jīng)過時，經(jīng)過每一對相對的分束器的照明的偏振的方向是不同的，(ii)從部件的一個側(cè)面通過偏振的分束器(不被部件的側(cè)壁反射或阻斷)并且經(jīng)過部件上方到部件的相對側(cè)面的相對的偏振的分束器組件的偏振的照明通過所述偏振的分束器組件將被吸收或定向離開。結(jié)果是部件的相對側(cè)壁中的每一個將被不同方向的偏振的光照明，并且不被部件側(cè)壁阻擋且傳遞到在部件的相對側(cè)面的偏振的分束器組件的外來的偏振照明將被吸收，或者被接收偏振的分束器消除。該布置可應(yīng)用到相對的分束器中的每一對，因此沒有串?dāng)_的部件的多側(cè)面壁圖像可被捕捉。
[0020]在一個實例中，裝置包括至少一對側(cè)壁照明器，其中兩個側(cè)壁照明器相對于側(cè)壁檢驗位置被相對于彼此相對地設(shè)置。另外地或另選地，一組側(cè)壁分束器包括至少一對側(cè)壁分束器，其相對于通過側(cè)壁檢驗區(qū)域限定的軸線被相對地設(shè)置在側(cè)壁檢驗區(qū)域的不同側(cè)面上。至少一對相對設(shè)置的側(cè)壁分束器可包括第一側(cè)壁分束器和第二側(cè)壁分束器，其中第一側(cè)壁分束器被配置成用于傳遞穿過其中的具有第一光波長或第一光帶寬的第一側(cè)壁照明，并且第二側(cè)壁分束器被配置成用于傳遞穿過其中的具有不同的第二光波長或第二光帶寬的第二側(cè)壁照明。第一側(cè)壁分束器被配置成用于接收和重新定向來自第一部件側(cè)壁的第一反射的側(cè)壁照明的每一個和通過所述第二側(cè)壁分束器傳遞的第二外來側(cè)壁照明，所述第二側(cè)壁分束器已經(jīng)行進跨越側(cè)壁檢驗區(qū)域，并且第二側(cè)壁分束器被配置成用于接收和重新定向來自第二部件側(cè)壁的第二反射的側(cè)壁照明的每一個和通過第一側(cè)壁分束器傳遞的第一外來壁側(cè)壁照明，所述第一側(cè)壁分束器已經(jīng)行進跨越側(cè)壁檢驗區(qū)域，其中第一部件側(cè)壁和第二部件側(cè)壁分別面對第一側(cè)壁分束器和第二側(cè)壁分束器，因此第一部件側(cè)壁和第二部件側(cè)壁可被認為相對于彼此和第一軸線被相對地取向或定向。
[0021]裝置可包括圖像捕捉設(shè)備和處理單元，所述圖像捕捉設(shè)備被配置成用于(a)在單個圖像捕捉操作中捕捉單個圖像，其包括對應(yīng)于第一反射的側(cè)壁照明和第二外來側(cè)壁照明的第一圖像區(qū)域，以及對應(yīng)于第二反射的側(cè)壁照明和第一外來側(cè)壁照明的第二圖像區(qū)域，并且(b)產(chǎn)生對應(yīng)于單個圖像的圖像數(shù)據(jù);所述處理單元被配置成用于處理圖像數(shù)據(jù)，使得對應(yīng)于第二外來側(cè)壁照明的像素值從對應(yīng)于第一圖像區(qū)域的圖像數(shù)據(jù)被數(shù)字過濾，并且對應(yīng)于第一外來側(cè)壁照明的像素值從對應(yīng)于第二圖像區(qū)域的圖像數(shù)據(jù)被數(shù)字過濾。
[0022]—組側(cè)壁照明器可包括多個側(cè)壁照明器，其中(a)每個側(cè)壁照明器輸出在相同的光學(xué)中心波長或帶寬的照明，或者(b)側(cè)壁照明器的第一子集輸出具有相對于由側(cè)壁照明器的第二子集輸出的照明不同的光學(xué)中心波長或帶寬的照明。側(cè)壁照明器可被同時地激活;或者一組側(cè)壁照明器內(nèi)的側(cè)壁照明器的特定子集可被選擇性地激活，用于輸出側(cè)壁照明，而一組側(cè)壁照明器內(nèi)的側(cè)壁照明器的其它子集保持非活性。裝置可還包括明視野照明器和/或暗視野照明器，其被配置成用于朝底表面或設(shè)置在側(cè)壁檢驗位置的部件的底表面和側(cè)壁選擇性地定向照明，其中部件側(cè)壁在底表面和部件底表面之間延伸。
[0023]裝置可包括圖像捕捉分束器，其被配置成用于(a)接收由明視野照明器輸出的照明，并且傳遞穿過其中的明視野照明；(b)接收從部件底表面和/或側(cè)壁反射的明視野和/或反射的暗視野的照明；(C)接收已經(jīng)由一組側(cè)壁分束器重新定向的從部件側(cè)壁反射的側(cè)壁照明；以及(d)重新定向(b)對應(yīng)于朝透鏡組件的光學(xué)路徑且(C)沿該光學(xué)路徑的所接收的反射的照明。
[0024]裝置還包括被配置成接收由透鏡組件輸出的照明的圖像捕捉設(shè)備，其中圖像捕捉設(shè)備可包括單色圖像傳感器或彩色圖像傳感器。
[0025]裝置還可包括部件固定器，所述部件固定器被配置成用于在側(cè)壁檢驗位置或僅僅底表面檢驗位置選擇性地定位部件，在所述位置，每個側(cè)壁分束器之間的光學(xué)路徑的部件阻斷被避免。在一個實例中，部件固定器被配置成用于選擇性地定位由其固定在多個側(cè)壁分束器之間可限定的檢驗區(qū)域內(nèi)的多個側(cè)壁檢驗位置的部件，所述側(cè)壁檢驗位置包括第一側(cè)壁檢驗位置和第二側(cè)壁檢驗位置，在所述第一側(cè)壁檢驗位置，部件中心點被定位成比側(cè)壁分束器的不同的第二子集更靠近側(cè)壁分束器的第一子集，在所述第二側(cè)壁檢驗位置，部件中心點被定位成比側(cè)壁分束器的所述第一子集更靠近側(cè)壁分束器的第二子集。
[0026]裝置可包括控制單元，其被配置成用于選擇性地控制一組側(cè)壁照明器內(nèi)的側(cè)壁照明器的子集的激活，在檢驗區(qū)域內(nèi)的一個或多個檢驗位置定位所述部件，以及通過圖像傳感器的部件表面的一個或多個圖像的捕捉。
[0027]根據(jù)本公開的一個方面，用于檢驗部件的一個或多個側(cè)面，諸如部件側(cè)表面/側(cè)壁的過程包括:提供一組側(cè)壁照明器，其被配置成用于在一個或多個中心波長或波長范圍輸出側(cè)壁照明；提供一組側(cè)壁分束器，其被配置成用于接收由一組側(cè)壁照明器輸出的側(cè)壁照明；在第一側(cè)壁檢驗位置設(shè)置部件，使得部件側(cè)壁至少部分地隔斷一組側(cè)壁分束器內(nèi)的各個側(cè)壁分束器之間至少一些光學(xué)路徑;通過傳遞由穿過其中的一組側(cè)壁分束器接收的側(cè)壁照明，朝部件側(cè)壁定向由一組側(cè)壁照明器輸出的側(cè)壁照明；當(dāng)部件駐留在第一側(cè)壁檢驗位置時，接收由在多個部件側(cè)壁的一組側(cè)壁分束器輸出的側(cè)壁照明；接收從在多個側(cè)壁分束器的多個部件側(cè)壁反射的側(cè)壁照明；以及沿對應(yīng)于圖像捕捉設(shè)備的光學(xué)路徑重新定向由多個側(cè)壁分束器接收的反射的側(cè)壁照明。
[0028]過程可包括朝部件側(cè)壁的第一子集選擇性地定向側(cè)壁照明，同時避免在第一圖像捕捉操作期間朝部件側(cè)壁的第二子集定向側(cè)壁照明；以及/或者朝部件的側(cè)壁的第二子集選擇性地定向側(cè)壁照明，同時避免在第二圖像捕捉操作期間朝部件側(cè)壁的第一子集定向側(cè)壁照明。
[0029]過程可包括捕捉第一圖像(例如，當(dāng)部件在側(cè)壁檢驗區(qū)域內(nèi)被設(shè)置在中心，或者在一組側(cè)壁分束器之間可限定的側(cè)壁檢驗區(qū)域內(nèi)被設(shè)置在第一側(cè)壁檢驗位置時，其可以是第一偏心的側(cè)壁檢驗位置)，所述第一圖像包括對應(yīng)于部件側(cè)壁的第一子集的像素區(qū)域；以及捕捉第二圖像(例如，當(dāng)部件在側(cè)壁檢驗區(qū)域內(nèi)被設(shè)置在中心，或者在側(cè)壁檢驗區(qū)域內(nèi)被設(shè)置在不同的第二側(cè)壁檢驗位置，其可以是第二偏心的側(cè)壁檢驗位置)，所述第二圖像包括對應(yīng)于部件側(cè)壁的第二子集的像素區(qū)域。當(dāng)部件被設(shè)置在第一側(cè)壁檢驗位置時，部件的中心點可更靠近側(cè)壁分束器的第一子集;并且當(dāng)部件被設(shè)置在第二側(cè)壁檢驗位置時，部件的中心點更靠近不同的第二組側(cè)壁分束器，。
[0030]通過將對應(yīng)于部件側(cè)壁的第一子集的第一圖像的部分和對應(yīng)于部件側(cè)壁的第二子集的第二圖像的部分數(shù)字地拼接在一起，可產(chǎn)生合成圖像。在各個捕捉的圖像和/或合成圖像上可執(zhí)行自動的檢驗操作。
[0031]側(cè)壁照明可包括第一側(cè)壁照明和第二側(cè)壁照明，并且反射的側(cè)壁照明可對應(yīng)地包括第一反射的側(cè)壁照明和第二反射的側(cè)壁照明，其中第一側(cè)壁照明和第二側(cè)壁照明顯示不同的帶寬限制的光波長范圍，并且/或者第一反射的側(cè)壁照明和所第二反射的側(cè)壁照明顯示不同的帶寬限制的光波長范圍。過程可包括捕捉作為單個視圖的圖像(例如，在單個圖像捕捉操作中捕捉的單個圖像)，所述圖像包括多個不同的像素區(qū)域，每個像素區(qū)域?qū)?yīng)于不同的部件側(cè)壁的每個像素區(qū)域，每個像素區(qū)域?qū)?yīng)于至少兩個不同帶寬限制的光學(xué)路徑范圍。
[0032]過程可包括在捕捉圖像之前執(zhí)行波長分離的校準程序，用于確定至少一個校準因素，其可被施加到對應(yīng)于特定部件側(cè)壁的像素區(qū)域，從而在所述捕捉的圖像中確定、減小、消除或有效地消除外來側(cè)壁照明的影響。
[0033]過程可包括當(dāng)部件駐留在側(cè)壁檢驗位置時，捕捉包括對應(yīng)于至少兩個部件側(cè)壁的像素區(qū)域的至少一個圖像;將部件移位到僅僅底表面的檢驗位置，在所述位置避免每個側(cè)壁分束器之間的光學(xué)路徑的部件隔斷；當(dāng)部件駐留在僅僅底表面的檢驗位置時，朝部件的底表面定向明視野照明和/或暗視野照明；以及捕捉對應(yīng)于部件的底表面的圖像。
[0034]根據(jù)本公開的一個方面，一種用于檢驗具有多個側(cè)壁的部件的過程，所述多個側(cè)壁包括沿第一軸線面對相對于彼此的相對方向的第一部件側(cè)壁和第二部件側(cè)壁，所述方法包括:在多個側(cè)壁分束器之間的側(cè)壁檢測區(qū)域內(nèi)的側(cè)壁檢驗位置定位部件，所述多個側(cè)壁分束器包括沿第一軸線被設(shè)置在側(cè)壁檢驗區(qū)域的相對側(cè)面上的第一側(cè)壁分束器和第二側(cè)壁分束器;通過多個側(cè)壁分束器同時傳遞側(cè)壁照明，使得第一部件側(cè)壁和第二部件側(cè)壁在不同的光學(xué)中心波長或不同的光帶寬分別接收其上的第一入射側(cè)壁照明和第二入射側(cè)壁照明；在第一側(cè)壁分束器接收(a)在第一入射側(cè)壁照明到達其上或從其反射之后行進遠離第一部件側(cè)壁的第一反射的側(cè)壁照明，以及(b)已經(jīng)通過跨越側(cè)壁檢驗區(qū)域的第二側(cè)壁分束器傳遞的第二外來側(cè)壁照明；在第二側(cè)壁分束器接收(C)第二入射側(cè)壁照明到達其上以及從其反射之后的行進遠離第二部件側(cè)壁的第二反射的側(cè)壁照明，以及(d)已經(jīng)通過跨越側(cè)壁檢驗區(qū)域的第一側(cè)壁分束器傳遞的第一外來側(cè)壁照明；朝圖像捕捉設(shè)備重新定向第一反射的側(cè)壁照明，第二外來側(cè)壁照明，第二反射的側(cè)壁照明，以及第一外來側(cè)壁照明中的每一個；當(dāng)部件被設(shè)置在側(cè)壁檢驗位置時，在單個圖像捕捉操作中捕捉作為單個圖像的第一反射的側(cè)壁照明和作為單個圖像的第一區(qū)域的第二外來側(cè)壁照明，以及作為單個圖像的第二區(qū)域的第二反射的側(cè)壁照明和第一外來側(cè)壁照明；產(chǎn)生對應(yīng)于單個圖像的圖像數(shù)據(jù)；以及處理圖像數(shù)據(jù)，從而數(shù)字過濾像素值，所述像素值對應(yīng)于來自單個圖像的第一區(qū)域的第二外來側(cè)壁照明，并且數(shù)字過濾來自單個圖像的第二區(qū)域的第一外來側(cè)壁照明。
[0035]與前面的過程同時或與前面的過程分離，類似的，有效地/本質(zhì)上相同的過程操作可被執(zhí)行，用于通過第三側(cè)壁分束器和第四側(cè)壁分束器傳遞第三側(cè)壁照明和第四側(cè)壁照明，所述第三側(cè)壁分束器和第四側(cè)壁分束器被設(shè)置在相對于不同的第二軸線的側(cè)壁檢驗區(qū)域的相對側(cè)面上，使得沿第二軸線相對于彼此被相對設(shè)置的第三部件側(cè)壁和第四部件側(cè)壁分別接受第三入射側(cè)壁照明和第四入射側(cè)壁照明；在第三側(cè)壁分束器接收(a)在第三入射側(cè)壁照明到達其上或從其反射之后行進遠離第三部件側(cè)壁的第三反射的側(cè)壁照明，以及(b)已經(jīng)通過跨越側(cè)壁檢驗區(qū)域的第四側(cè)壁分束器傳遞的第四外來側(cè)壁照明；在第二側(cè)壁分束器接收(C)第四入射側(cè)壁照明到達其上以及從其反射之后的行進遠離第四部件側(cè)壁的第四反射的側(cè)壁照明，以及(d)已經(jīng)通過行進跨越側(cè)壁檢驗區(qū)域的第三側(cè)壁分束器傳遞的第三外來側(cè)壁照明；朝圖像捕捉設(shè)備重新定向第三反射的側(cè)壁照明，第四外來側(cè)壁照明，第四反射的側(cè)壁照明，以及第三外來側(cè)壁照明中的每一個;當(dāng)部件被設(shè)置在側(cè)壁檢驗位置時，在單個視圖中捕捉第三反射的側(cè)壁照明和作為單個視圖的第三區(qū)域的第四外來側(cè)壁照明，以及作為單個視圖的第四區(qū)域的第四反射的側(cè)壁照明和第三外來側(cè)壁照明；產(chǎn)生對應(yīng)于單個視圖的圖像數(shù)據(jù)；以及處理單個視圖的圖像數(shù)據(jù)，從而數(shù)字過濾像素值，所述像素值對應(yīng)于來自單個視圖的第三區(qū)域的第四外來側(cè)壁照明，并且數(shù)字過濾來自單個視圖的第四區(qū)域的第三外來側(cè)壁照明。
【附圖說明】
[0036]圖1A是示出常規(guī)的五個側(cè)面檢驗裝置的部分的示意圖。
[0037]圖1B是當(dāng)部件被固定在對應(yīng)于圖1A中示出的檢驗配置的底表面檢驗位置時所捕捉的代表性的檢驗圖像。
[0038]圖1C是示出圖1A的常規(guī)的五個側(cè)面檢驗裝置的部分的示意圖，其中部件在側(cè)壁檢驗位置被部件固定器固定。
[0039]圖1D是當(dāng)部件被固定在側(cè)壁檢驗位置時所捕捉的代表性的檢驗圖像。
[0040]圖1E提供通過分別將底表面檢驗圖像的中央和周邊部分與側(cè)壁檢驗圖像組合或數(shù)字地拼接在一起產(chǎn)生的代表性的合成圖像。
[0041]圖1F示出對應(yīng)于部件側(cè)壁的合成圖像的一部分。
[0042]圖2A-2C示出根據(jù)本公開一個實施例的被配置成用于執(zhí)行五個側(cè)面的部件檢驗以及除部件底部或底部表面檢驗外的選擇的部件側(cè)壁檢驗的裝置的部分。
[0043]圖2D示出根據(jù)本公開一個實施例的被設(shè)置在側(cè)壁檢驗位置的部件。
[0044]圖3是示出與使用圖2A-2C的裝置通過明視野照明器的部件側(cè)壁檢驗同時的對應(yīng)于部件底表面檢驗的代表性的照明行進路徑的示意圖。
[0045]圖4A是示出對應(yīng)于使用圖2A-2C的裝置通過一組側(cè)壁照明器的除部件底表面檢驗之外的選擇的部件側(cè)壁檢驗的代表性的照明行進路徑的示意圖。
[0046]圖4B是示出其中四個單獨的側(cè)壁圖像的代表性的多側(cè)壁圖像，其對應(yīng)于當(dāng)部件被定位在側(cè)壁檢驗位置，明視野照明器是非活性的，并且側(cè)壁照明器是激活的時候發(fā)生的側(cè)壁檢驗操作。
[0047]圖4C是從圖4B獲得的代表性的單獨的側(cè)壁圖像。
[0048]圖5A是根據(jù)本公開一個實施例的代表性的第一側(cè)壁照明器激活模式的示意圖。
[0049]圖5B是當(dāng)部件被定位在側(cè)壁檢驗位置，第一側(cè)壁照明器和第三側(cè)壁照明器是激活的，并且第二側(cè)壁照明器和第四側(cè)壁照明器是非活性的時候所捕捉的對應(yīng)于圖5A的第一側(cè)壁照明器激活模式的代表性的第一多側(cè)壁圖像。
[0050]圖5C是根據(jù)本公開一個實施例的代表性的第二側(cè)壁照明器激活模式的示意圖。
[0051]圖5D是當(dāng)部件被定位在側(cè)壁檢驗位置，第二側(cè)壁照明器和第四側(cè)壁照明器是激活的，并且第一側(cè)壁照明器和第三側(cè)壁照明器是非活性的時候所捕捉的對應(yīng)于圖5C的第二側(cè)壁照明器激活模式的代表性的第二多側(cè)壁圖像。
[0052]圖5E是從圖5B的第一多側(cè)壁圖像和圖5D的第二多側(cè)壁圖像產(chǎn)生的代表性的合成的多側(cè)壁圖像。
[0053]圖5F示出根據(jù)本公開一個實施例的被設(shè)置在側(cè)壁檢驗區(qū)域內(nèi)的代表性的第一偏心側(cè)壁檢驗位置的部件的示意性的頂視圖和側(cè)視圖。
[0054]圖5G示出根據(jù)本公開實施例的被設(shè)置在此筆檢驗區(qū)域內(nèi)的代表性的第二偏心側(cè)壁檢驗位置的圖5F的部件的示意性的頂視圖和側(cè)視圖。
[0055]圖6A是示出根據(jù)本公開一個實施例的被配置成用于執(zhí)行波長分離的側(cè)壁檢驗技術(shù)的波長分離的側(cè)壁檢驗裝置的部分的示意性頂視圖。
[0056]圖6B是根據(jù)本公開一個實施例的包含使用四個不同的光波長/帶寬同時捕捉的四個單獨的側(cè)壁圖像的代表性的波長分離的多側(cè)壁圖像的示意圖。
[0057]圖6C是根據(jù)本公開一個實施例的對應(yīng)于波長分離的側(cè)壁檢驗校準程序的第一側(cè)壁照明器激活模式的示意圖。
[0058]圖6D是根據(jù)本公開一個實施例的對應(yīng)于波長分離的側(cè)壁檢驗校準程序的第二側(cè)壁照明器激活模式的示意圖。
[0059]圖6E是根據(jù)本公開一個實施例的對應(yīng)于波長分離的側(cè)壁檢驗校準程序的第三側(cè)壁照明器激活模式的示意圖。
[0060]圖6F是根據(jù)本公開一個實施例的對應(yīng)于波長分離的側(cè)壁檢驗校準程序的第四側(cè)壁照明器激活模式的示意圖。
[0061]圖6G是根據(jù)本公開一個實施例的對應(yīng)于波長分離的側(cè)壁檢驗校準程序的第五側(cè)壁照明器激活模式的示意圖。
[0062]圖6H是根據(jù)本公開一個實施例的對應(yīng)于波長分離的側(cè)壁檢驗校準程序的第六側(cè)壁照明器激活模式的示意圖。
[0063]圖61是根據(jù)本公開一個實施例的對應(yīng)于波長分離的側(cè)壁檢驗校準程序的第七側(cè)壁照明器激活模式的示意圖。
[0064]圖6J是根據(jù)本公開一個實施例的對應(yīng)于波長分離的側(cè)壁檢驗校準程序的第八側(cè)壁照明器激活模式的示意圖。
[0065]圖6K是示出根據(jù)本公開一個實施例的被配置成用于執(zhí)行光波長或帶寬分離的側(cè)壁檢驗過程或技術(shù)的光波長或帶寬分離的側(cè)壁檢驗裝置的部分的示意性頂視圖。
[0066]圖7A-7C示出根據(jù)本公開一個實施例的與僅僅底表面檢驗位置和側(cè)壁檢驗位置相關(guān)聯(lián)的代表性的部件檢驗位置和對應(yīng)的代表性的捕捉的圖像。
[0067]圖7D是根據(jù)本公開一個實施例的代表性的合成的五個側(cè)面檢驗圖像，其包括中央底表面圖像或圖像區(qū)域和圍繞中央底表面圖像區(qū)域設(shè)置的四個周邊側(cè)壁圖像或圖像區(qū)域。
具體實施例
[0068]在本公開中，在對應(yīng)的描述性材料中給定元件或具體圖中或參考其的具體元件數(shù)量的考慮或使用的描述可涵蓋另一個圖或預(yù)期相關(guān)聯(lián)的描述性材料中相同的，相等的或類似的元件或被識別的元件數(shù)量。除非另有說明，圖或相關(guān)聯(lián)的文本中的使用被理解為意思是“和/或”。本文中具體的數(shù)值或取值范圍的表述被理解為包括或是大約數(shù)值或取值范圍(例如，在+/-20 %,+/-15%,+/-10%或+/-5 %內(nèi))的表述。另外，“基本上垂直”或“大體上垂直”的使用可被理解為指近似垂直，例如，+/-10度或+/-5度的角范圍內(nèi)的垂直;并且“基本上平行”或“大體上平行”的使用可被理解為指近似平行，例如，+/-10度或+/-5度的角范圍內(nèi)的平行。
[0069]如本文所使用的，術(shù)語“組”對應(yīng)于或被定義為元件的非空有限組織，根據(jù)已知的數(shù)學(xué)定義(例如，以對應(yīng)于《數(shù)學(xué)推理的引論:數(shù)字、組以及函數(shù)》(An Introduct1n toMathematical Reasoning:Numbers,Sets,and Funct1ns)中描述的方式，“II章:有限組合的特性”(例如，在140頁指出的)，Peter J.Eccles，劍橋大學(xué)出版社(1998))，其數(shù)學(xué)地表現(xiàn)至少是I的基數(shù)(即，如本文所定義的一組可對應(yīng)于單元，單純，或單個元件組，或多個元件組)。通常，組的元件可包括或是系統(tǒng)、裝置、設(shè)備、結(jié)構(gòu)、物體、過程、物理參數(shù)或根據(jù)考慮中的設(shè)置的組的類型的值。
[0070]根據(jù)本公開的實施例涉及系統(tǒng)、裝置、設(shè)備、結(jié)構(gòu)、過程和用于光檢驗的程序、部件的暴露的、外部或外表面，其包括在(a)頂部或上邊界、邊沿，或部件的邊緣或其上面的點和(b)底部或下邊界、邊沿或部件的邊緣或其上面的點之間延伸的側(cè)表面，以及與其相關(guān)聯(lián)的可能的外在部件結(jié)構(gòu)。為了簡單且有助于理解，部件側(cè)表面在本文中被稱為“側(cè)壁”。部件可包括，例如，半導(dǎo)體設(shè)備，諸如半導(dǎo)體模片或封裝的集成電路(IC)芯片，或者其它類型的物體。盡管這樣命名，相關(guān)領(lǐng)域中普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，基于本文的描述，根據(jù)本公開的實施例可被應(yīng)用到在(a)其中這種部件側(cè)表面形成一個或多個壁或壁型結(jié)構(gòu)，以及(b)其中這種部件側(cè)表面不形成一個或多個壁或壁型結(jié)構(gòu)的的情況下的暴露的、外部的或外部件側(cè)表面的光學(xué)檢驗。更具體地，雖然根據(jù)本公開的各種實施例可應(yīng)用到具有外側(cè)表面的規(guī)則的或大體上規(guī)則的多面部件(例如，表現(xiàn)為長方體或大致長方體形狀部件)的光學(xué)檢驗，其對應(yīng)于根據(jù)本公開多個實施例的明確定義的或容易識別的垂直的，角度的和/或成角度的外/外部壁或面，其也可被應(yīng)用到表現(xiàn)為其它類型的形狀(例如，表現(xiàn)出橢圓或大致橢圓形的部件)的部件的光學(xué)檢驗，對于其，垂直的，角度的或成角度的壁或面不一定定義明確。
[0071]根據(jù)實施例細節(jié)，根據(jù)本公開的實施例可被配置成用于檢驗部件側(cè)壁以及有可能與其相關(guān)聯(lián)或從中突出的結(jié)構(gòu)，其與檢驗一個或多個其它的部件表面分離/分開或相關(guān)聯(lián)，諸如部件頂表面和/或部件底表面，以及有可能與其相關(guān)聯(lián)的或從中突出的結(jié)構(gòu)。另外，一些實施例被配置成用于在給定時間的某些部件側(cè)壁的選擇的或可選擇的檢驗，以及在另一個時間的其它部件側(cè)壁的檢驗。某些實施例被配置成用于同時使用多個波長或波長范圍的側(cè)壁照明的部件側(cè)壁的多個子集的檢驗，例如，其中部件側(cè)壁的第一子集(例如，第一對相鄰的部件側(cè)壁)借助第一光波長或波長范圍的側(cè)壁照明被照明，并且部件側(cè)壁的另一個子集(例如，第二對相鄰的部件側(cè)壁)借助不同的第二光波長或波長范圍的側(cè)壁照明被同時地照明。根據(jù)本公開實施例的檢驗操作在程序控制下可發(fā)生，所述程序控制對應(yīng)于通過處理單元進行的程序指令集/軟件的執(zhí)行。這種軟件可駐留在存儲器中，以及/或者駐留在固定的或可移動的計算機可讀存儲介質(zhì)上。
[0072]圖2A是示出根據(jù)本公開實施例的裝置10的示意性側(cè)視圖，所述裝置10被配置成用于(a)捕捉對應(yīng)于多達五個部件側(cè)面，其包括部件底部/前表面和/或部件側(cè)表面/側(cè)壁；(b)促進或執(zhí)行多達五個側(cè)面的部件檢驗；以及(C)促進或執(zhí)行除部件底部或底表面檢驗之外的部件側(cè)壁檢驗(例如，在選擇的基礎(chǔ)上)。圖2B是根據(jù)本公開另一個實施例的裝置10的示意性側(cè)視圖。圖2C是根據(jù)本公開實施例的提供圖2A和圖2B的裝置的部分的頂視圖。圖2A和圖2B限定裝置X軸和裝置z軸，并且圖2C限定相對于X軸的裝置y軸，處于參考的目的。
[0073]在一個實施例中，裝置10包括部件固定器，固定結(jié)構(gòu)或保持元件50，用于在相對于每一個明視野照明器100的一個或多個預(yù)定位置固定或保持部件20;圖像捕捉分束器110(例如，諸如圖2A，圖2B，圖3和圖4A所示);暗視野照明器120; —組側(cè)壁照明器200，其在本實施例中被示出包括具有四個不同的或可區(qū)別的側(cè)壁照明輸出區(qū)域，或四個不同的或可區(qū)別的側(cè)壁照明器200a-d的照明設(shè)置、裝置或設(shè)備;一組側(cè)壁分束器210a-d;透鏡組件300;以及一組或一系列的檢驗操作期間的圖像捕捉設(shè)備400。圖2D是示出圖2A-2C的裝置10的部分的示意性透視圖，其指出裝置10可包括外殼12，其被配置成用于運送或支撐圖像捕捉分束器110，一組側(cè)壁分束器210a-d，一組側(cè)壁照明器200a-d，暗視野照明器120以及明視野照明器100以及部分透鏡組件300中的至少一些。
[0074]在所示的代表性實施例中，一組側(cè)壁照明器200a_d包括第一到第四側(cè)壁照明器200a_d，并且一組側(cè)壁分束器對應(yīng)地包括第一到第四側(cè)壁分束器210a_d。其它實施例根據(jù)實施例的細節(jié)，考慮部件類型，和/或部件檢驗需求，可包括較少的或額外的側(cè)壁照明器200a_d和/或側(cè)壁分束器210a_d。另外，雖然根據(jù)本公開的用于選擇性地檢驗部件的裝置的每個實施例包括一組側(cè)壁照明器200a_d和對應(yīng)的一組側(cè)壁分束器210a_d，但是某些實施例可省略明視野照明器100和/或暗視野照明器120。
[0075]在各種實施例中，一組側(cè)壁照明器200包括至少一個照明源。例如，每個側(cè)壁照明器200a-d包括至少一個照明源，諸如一組LED(例如，一組或多組白光LED，和/或被配置成在特定的光學(xué)中心波長或光帶寬輸出光的一組或多組LED)。每個側(cè)壁分束器210a-d可以是常規(guī)的分束器，諸如立方體型分束器，棱鏡型分束器，板型分束器，或反光鏡(例如，半鍍銀鏡)，其提供光束分離界面、表面或面212，諸如部分反射/部分傳遞界面或表面，光束分離在該處或沿著該處以相關(guān)領(lǐng)域中的普通技術(shù)人員容易理解的方式發(fā)生。因此，每個側(cè)壁分束器210a-d具有與其相關(guān)聯(lián)的照明傳遞方向和照明反射方向，例如，其垂直于照明傳遞方向。沿平行于照明傳遞方向的光學(xué)路徑入射到側(cè)壁分束器210a-d的照明行進通過側(cè)壁分束器210a-d，同時基本上或本質(zhì)上沒有反射;并且沿與傳遞方向相反的或相對的光學(xué)路徑入射到側(cè)壁分束器210a_d的照明在照明反射方向(例如，垂直，本質(zhì)上垂直，或基本上垂直于照明傳遞方向)被側(cè)壁分束器210a_d反射，以相關(guān)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員容易理解地方式。
[0076]類似地，圖像捕捉分束器110可以是常規(guī)的分束器，諸如立方體型分束器，棱鏡型分束器，板型分束器，或半鍍銀鏡，其提供光束分離界面、表面、面112，諸如部分反射/部分傳遞界面或表面，光束分離在該處或沿著該處發(fā)生，如相關(guān)領(lǐng)域中的普通技術(shù)人員容易理解的。因此，圖像捕捉分束器110具有與其相關(guān)聯(lián)的照明傳遞方向和照明反射方向，例如，其垂直于照明傳遞方向。沿平行于照明傳遞方向的光學(xué)路徑入射到圖像捕捉分束器110的照明行進通過圖像分束器110，同時基本上沒有反射;并且沿與照明傳遞方向相反的或相對的光學(xué)路徑入射到圖像捕捉分束器110的照明在照明反射方向被圖像分束器110反射，如相關(guān)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員容易理解的。
[0077]明視野照明器可以是被配置成用于輸出明視野照明的常規(guī)設(shè)備，并且可包括一個或多個照明源，諸如LED的陣列(例如，一組或多組白光LED，和/或被配置成在特定的中心波長輸出光的一組或多組LED)。明視野照明器100也可被稱為明視野同軸照明器，其中“同軸”被定義為相對于z軸，并且指出明視野照明器100被配置成在主要地或本質(zhì)上平行于z軸的方向輸出照明。對應(yīng)地或等效地，明視野照明器100可被定義為或稱為明視野單向照明器100，其指出由其輸出的明視野照明近似地、基本上或本質(zhì)上完全地在單一的方向傳播跨越預(yù)定的空間距離，以相關(guān)領(lǐng)域中普通技術(shù)人員容易理解的方式。暗視野照明器也可以是被配置成用于輸出高角暗視野照明和/或低角暗視野照明的常規(guī)設(shè)備，諸如包括一個或多個行或LED的環(huán)形圈的環(huán)形燈。
[0078]透鏡組件30可包括常規(guī)的高分辨率透鏡(例如，具有2.0微米-4.0微米的分辨率的透鏡)，并且圖像捕捉設(shè)備可以是常規(guī)的高分辨率數(shù)字相機(例如，25兆像素相機)。
[0079]在各種實施例中，部件固定器50包括或是對應(yīng)于拾取和放置裝置的噴嘴或尖端(例如，常規(guī)的拾取和放置裝置)，其被配置成與部件20的第一表面22牢固地接合(例如，通過抽吸力)，并且運送或輸送部件20到一個或多個檢驗位置，從而有利于檢驗操作。為了簡單且有助于理解，在本文的描述中，部件固定器50被限定為與部件的上表面或頂表面22上的部件20接合，使得部件第二、底部或下側(cè)表面24與部件的頂表面22相反，并且遠離部件的頂表面22。由明視野照明器100輸出的明視野照明朝部件20的底表面24沿光行進路徑行進，所述光行進路徑基本上或本質(zhì)上垂直于部件20的底表面24。部件20包括多個側(cè)表面或側(cè)壁26，其在代表性的實施例中被示出包括或等于四個側(cè)壁26a-d，形成部件的頂表面22和底表面24之間的部件的外周邊。部件20本質(zhì)上可以是任何類型的物體或設(shè)備，對于其，與其底表面24和/或其側(cè)壁26a-d的一些或所有相關(guān)聯(lián)的或相對應(yīng)的圖像的檢驗是期望的或需要的。在示出的代表性實施例中，部件20是底表面24上具有多個焊料凸塊或焊球28的IC芯片。相關(guān)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)認識到，部件固定器50與部件20或給定的部件表面接合的方式是可改變或是變化的，并且/或者頂部/上和底部/下側(cè)表面22，24的定義可以是相反的，取決于實施例和/或情境細節(jié)。這種部件接合和部件表面定義在本文被使用，為了示例和有助于理解。
[0080]通常，部件固定器50可與給定的部件的頂表面22牢固地接合(例如，以可釋放的方式)，拾取部件20，朝裝置10輸送部件/將部件輸送到裝置10，在相對于裝置10的一個或多個預(yù)定的檢驗位置沿z軸垂直地定位部件20，以及在側(cè)壁分束器210a-d之間的側(cè)壁檢驗空間、區(qū)域、體積或面積30內(nèi)的一個或多個x-y平面位置橫向地定位部件20，使得(a)通過使用明視野照明器100，暗視野照明器120以及一組側(cè)壁照明器200a-d中的一個或多個，照明可被定向到特定的部件表面，以及(b)通過(i)從這種部件表面24，26a-d的照明的反射，(ii)該反射的照明朝或進入透鏡組件300并且到圖像捕捉設(shè)備400的定向(重新定向)，與部件的底表面24和/或部件的側(cè)壁26a-d相關(guān)聯(lián)或相對應(yīng)的一個或多個圖像可被捕捉。。
[0081 ]在各種實施例中，部件固定器50可在側(cè)壁檢驗區(qū)域30內(nèi)的一個或多個側(cè)壁檢驗位置定位由其運送的部件20，在所述位置部件20被設(shè)置在一組側(cè)壁分束器210a-d之間，并且部件的側(cè)壁26a-b被一組側(cè)壁分束器210a-d確定邊界、包圍或封閉。例如，部件固定器50可在中心的或中央的側(cè)壁檢驗位置定位部件20，使得部件20的中點、矩心或中心點近似地駐留在一組側(cè)壁分束器210a-d之間的中間。例如，雖然部件20被設(shè)置在中心的側(cè)壁檢驗位置，但是與部件相對的或朝向相反的部件的側(cè)壁26a、26b，26c、26d可與對應(yīng)的相對的側(cè)壁分束器210a、210b，210c、210d近似地等距離；或者每個部件側(cè)壁26a-d可與對應(yīng)的側(cè)壁分束器210a-d近似地等距離(例如，取決于側(cè)壁分束器210a-d的布置，以及側(cè)壁檢驗區(qū)域30的形狀)。
[0082]另外地或另選地，在一些實施例中，部件固定器50可在偏心側(cè)壁檢驗位置定位部件20，使得共享共同的邊界或邊沿的部件側(cè)壁26a，c-26b，d/26a，d-26b，c(例如，相鄰的部件側(cè)壁26a，c-26b，d/26a，d-26b，c)被設(shè)置成與對應(yīng)的側(cè)壁分束器210a，c-210b，d/210a，d-210b，c(例如，相鄰的側(cè)壁分束器210a，c-210b，d/210a，d-210b，c)等距離，并且部件中點、矩心或中心點朝對應(yīng)的選擇的/可選擇的側(cè)壁分束器210a，c-210b，d/210a，d-210b，c(例如，給定的一對相鄰的側(cè)壁分束器210a，c-210b，d/210a，d-210b，c)被偏移遠離任何兩個相對的或相對設(shè)置的側(cè)壁分束器210a，c-210b，d/210a，d-210b，c之間的中點，借此共享共同的邊界或邊沿26a，c-26b，d/26a，d-26b，c(例如，特定的一對相鄰的部件側(cè)壁26a，c-26b，d/26a，d-26b，c)的部件側(cè)壁的特定子集被設(shè)置成比毗鄰的或相鄰的側(cè)壁分束器210a，d-210b，c/210a，c_210b，d的另一個子集更靠近其對應(yīng)的毗鄰的或相鄰的側(cè)壁分束器210a，c-210b，d/210a，d-210b，c的選擇的/可選擇的子集。在這種情況下，對應(yīng)于相鄰的側(cè)壁分束器210&，(:-21013，(1/21(^，(1-21013，(3的側(cè)壁照明器20(^，(3-20013，(1/20(^，(1-20013，(3可被選擇性地激活，并且在單個圖像捕捉操作期間，考慮中共享相對于相鄰的側(cè)壁分束器210a，c-210b，d/210a，d-210b，c的共同的邊界或邊沿(例如，相鄰的部件側(cè)壁26a，c-26b，d/26a，d-2613，0)的相應(yīng)的部件側(cè)壁26&，(3-2613，(1/26&，(1-2613，(3的圖像可被捕捉，例如，作為單個圖像。通過相對于檢驗區(qū)域30或在檢驗區(qū)域30內(nèi)將部件20移動或轉(zhuǎn)移到另一個偏心側(cè)壁檢驗位置，例如，在遠離當(dāng)前占用的側(cè)壁檢驗區(qū)域30的角區(qū)域到當(dāng)前未占用的側(cè)壁檢驗區(qū)域30的拐角區(qū)域的對角線方向，過程可被重復(fù)，因此，另一對相鄰的部件側(cè)壁26b，d-26a，c/26b，c-26a，d被設(shè)置成與對應(yīng)的毗鄰的或相鄰的側(cè)壁分束器210b，d-210a，c/210b，c-210a，d等距離，并且在單個圖像捕捉操作期間，對應(yīng)的側(cè)壁照明器200b，d-200a，c/200b，c-200a，d可被選擇性地激活，且當(dāng)前側(cè)壁照明入射到其上的相鄰的部件側(cè)壁26b，d-26a，c/26b，c-26a，d的圖像可被捕捉，例如，作為單個圖像。這在下面參考圖5F和5G中示出的代表性的實施例被進一步詳細闡述。
[0083]通常，當(dāng)部件20被設(shè)置或固定在側(cè)壁檢驗位置時，側(cè)壁分束器210a_d圍繞部件的側(cè)壁26a_d占用的表面區(qū)域限定的部件的周邊的部分被設(shè)置，使得每個部件側(cè)壁26a_d的垂直范圍在對應(yīng)的側(cè)壁分束器210a-d的垂直范圍內(nèi)。結(jié)果，當(dāng)部件20被設(shè)置在側(cè)壁檢驗位置時，部件20將充當(dāng)相對于數(shù)對相對設(shè)置的側(cè)壁分束器210a-d之間至少一些光的傳播的隔斷，在所述分束器210a-d之間，光可以在沒有部件20的情況下直接地傳播。
[0084]圖2E是示出根據(jù)本公開實施例的在側(cè)壁檢驗位置(例如，中心的側(cè)壁檢驗位置)的部件20的代表性的定位的示意圖。更具體地，如圖2E中所指出的，當(dāng)部件20被定位在該代表性的側(cè)壁檢驗位置時，第一部件側(cè)壁26a被定位成靠近或鄰近/接近第一側(cè)壁分束器210a，使得第一部件側(cè)壁26a可以近似90度的入射角度從第一側(cè)壁分束器210a接收照明。更具體地，第一側(cè)壁26a被設(shè)置成(a)垂直或基本上垂直于第一軸線，諸如前述的X軸，其對應(yīng)于或平行于第一照明傳播軸線/光學(xué)軸線，以及第一側(cè)壁分束器210a照明傳遞方向；以及(b)平行或基本上平行于第二軸線，諸如垂直的或z軸，其對應(yīng)于或平行于第一照明傳播軸線/光學(xué)軸線，以及第一側(cè)壁分束器210a的照明反射方向。
[0085]當(dāng)部件駐留在圖2E中示出的側(cè)壁檢驗位置時，類似的考慮相對于部件的第二到第四側(cè)壁26b_d適用。因此，當(dāng)部件20被設(shè)置在該側(cè)壁檢驗位置時，部件的第一和第二側(cè)壁26a_b中的每一個被設(shè)置成(a)垂直或基本上垂直于前述的X軸，其對應(yīng)于或平行于第一照明傳播軸線/光學(xué)軸線，以及第一側(cè)壁分束器210a和第二側(cè)壁分束器210b中的每一個的照明傳遞方向；以及(b)平行或基本上平行于前述的z軸，其對應(yīng)于或平行于第二照明傳播軸線/光學(xué)軸線，以及第一側(cè)壁分束器210a和第二側(cè)壁分束器210b中的每一個的照明反射方向。另外，部件的第三和第四側(cè)壁26c-c中的每一個被設(shè)置成(a)垂直或基本上垂直于前述的y軸，其對應(yīng)于或平行于第一照明傳播軸線/光學(xué)軸線，以及第三側(cè)壁分束器和第四側(cè)壁分束器210c-d中的每一個的照明傳遞方向；以及(b)平行或基本上平行于前述的z軸，其對應(yīng)于或平行于第二照明傳播軸線/光學(xué)軸線，以及第三側(cè)壁分束器和第四側(cè)壁分束器210c-d中的每一個的照明反射方向。
[0086]雖然部件20被定位在這個側(cè)壁檢驗位置，但是部件20可隔斷側(cè)壁分束器210a、b，210c、d之間的沿平行于或基本上平行于X軸或y軸的至少一些光學(xué)路徑行進的照明，所述側(cè)壁分束器210a、b，210c、d分別沿X軸或y軸相對于彼此相對地設(shè)置。因此，部件的側(cè)壁26a_d可被入射到其上的光選擇性地/可選擇地照明，由于(a)由明視野照明器100輸出并且被一組側(cè)壁分束器210a-d反射的明視野照明朝部件側(cè)壁26a-d;(b)由暗視野照明器120輸出的暗視野照明朝部件側(cè)壁260a_d，所述暗視野照明的一些將被直接地入射到部件側(cè)壁26a_d，并且所述暗視野照明的一些被側(cè)壁分束器210a_d反射；以及/或者(c)已經(jīng)沿直接的光學(xué)路徑行進通過一組側(cè)壁分束器210a-d的由一組側(cè)壁照明器210輸出的側(cè)壁照明朝部件的側(cè)壁26a_c。當(dāng)包括部件側(cè)壁26a_d的一個或多個圖像被捕捉，并且隨后被處理/分析(例如，通過圖像處理操作)時，檢測部件側(cè)壁26a_d中或上存在的特定類型的缺陷，尤其是非常小的微缺陷的可能性取決于這些照明器的哪一個或哪一些被使用，如下文中進一步詳述。
[0087]在各種實施例中，對于考慮中的每一個部件側(cè)壁26a_d(例如，側(cè)壁照明入射到其上的每個部件側(cè)壁26a-d)，反射的側(cè)壁照明在部件側(cè)壁26a-d和圖像捕捉設(shè)備400的圖像捕捉平面之間行進相等的距離。因此，當(dāng)部件20被設(shè)置在側(cè)壁檢驗區(qū)域30內(nèi)的側(cè)壁檢驗位置時，部件側(cè)壁26a-d的被捕捉的圖像相對于圖像捕捉平面是焦點對準的。某些實施例可包括沿部件20的部分(例如，部件側(cè)壁26a-d)和圖像捕捉設(shè)備400之間的光學(xué)路徑設(shè)置的多個光學(xué)元件，為了補償從部件底表面24反射的照明和從相對于圖像捕捉設(shè)備400的圖形捕捉平面的部件側(cè)壁26a-d反射的側(cè)壁照明之間光學(xué)路徑長度差。例如，參考圖2B，2C和2E，當(dāng)部件20相對于側(cè)壁分束器210a-d中心對齊，使得部件20被設(shè)置在側(cè)壁檢驗區(qū)域30內(nèi)的中央側(cè)壁檢驗位置，側(cè)壁分束器210a-d被配置為具有適當(dāng)?shù)恼凵渎实睦忡R，和/或與側(cè)壁分束器210a_d分離，并且提供適當(dāng)?shù)恼凵渎实牡囊唤M棱鏡的側(cè)壁分束器210a_d可被用來補償光學(xué)路徑長度差，使得與部件底表面24相關(guān)聯(lián)或相對應(yīng)的底部圖像表面410相對于圖像捕捉設(shè)備400內(nèi)的圖像捕捉平面是焦點對準的;并且與部件的第一側(cè)壁26a相關(guān)聯(lián)或相對應(yīng)的第一側(cè)壁圖像平面420a相對于圖像捕捉設(shè)備400內(nèi)的圖像捕捉平面是焦點對準的。對應(yīng)地，在這個實施例中，底部圖像平面410，對應(yīng)于部件的第二側(cè)壁26b的第二側(cè)壁圖像平面，對應(yīng)于部件的第三側(cè)壁26c的第三側(cè)壁圖像平面，以及對應(yīng)于部件的第四側(cè)壁26d的第四側(cè)壁圖像平面的每一個相對于圖像捕捉設(shè)備400內(nèi)的圖像捕捉平面可以是焦點對準的。
[0088]圖像捕捉設(shè)備400提供足夠大的視野(FOV)，以捕捉底部圖形平面410的部分和/或一個或多個側(cè)壁圖像平面420的部分，通過(a)作為單獨的圖像的單獨的圖像捕捉操作，或者(b)作為單個圖像的單個圖像捕捉操作，所述單個圖像包括對應(yīng)于部件底表面24的成像細節(jié)的像素，和/或?qū)?yīng)于部件側(cè)壁26a_d的給定的子集或每個部件側(cè)壁26a_d的成像細節(jié)，其取決于實施例細節(jié)，考慮中的部件檢驗方法(例如，如通過可由處理單元執(zhí)行的一組程序指令限定的)，和/或考慮中的側(cè)壁照明器激活模式。
[0089]圖3是示出根據(jù)本公開實施例由明視野照明器100輸出的明視野照明所照明的部件20的示意圖，當(dāng)部件20被定位在中心側(cè)壁檢驗位置時，側(cè)壁照明器200a-d是關(guān)閉的。在一個實施例中，由明視野照明器100發(fā)射或輸出的明視野照明包括沿光學(xué)路徑行進通過圖像捕捉分束器100的照明，其沿平行或基本上/大體上平行于z軸的向上方向。這種明視野照明的一些直接地行進到部件的底表面24和設(shè)置在其上的焊球28。垂直地或近似垂直地入射到部件的底表面24和焊球28的明視野照明在平行與或基本上/大體上平行于z軸的向下方向被其反射，朝并到圖像捕捉分束器的部分反射/部分傳遞表面112，其隨后在平行于，基本上平行于，或大體上平行于X軸的方向反射或重新定向這種反射的下側(cè)照明的一些朝并進入透鏡組件300。
[0090]由明視野照明器100輸出的明視野照明的一些也在平行于，基本上平行于，或大體上平行于z軸的方向沿光學(xué)路徑向上行進到側(cè)壁分束器210a_d，其反射或重新定向該明視野照明，使得其沿平行于或基本上平行于X軸或y軸，并且垂直于或基本上垂直于部件的側(cè)壁20a_d的橫向光學(xué)路徑行進。該橫向行進照明的一部分將垂直地或基本上垂直地入射到部件側(cè)壁26a_d，并且朝側(cè)壁分束器210a_d被其反射回。側(cè)壁分束器210a_d朝成像分束器110在向下的方向重新定向從部件側(cè)壁26a-d接收的該照明，并且成像分束器反射表面112重新定向該照明朝并進入透鏡組件300和圖像捕捉設(shè)備400。
[0091]被側(cè)壁分束器210a_d反射的前述橫向行進的照明的一些將不被入射到部件側(cè)壁26a_d或與其相關(guān)聯(lián)的結(jié)構(gòu)(例如，引線)，并且將簡單地行進經(jīng)過部件20到相對的側(cè)壁分束器210a_b，并且朝成像分束器被重新定向，在其上，該外來的明視野照明被重新定向朝并進入透鏡組件300和圖像捕捉設(shè)備。
[0092]因此，在明視野照明條件下，如果這個操作模式是期望的或被選擇的，則裝置100可相當(dāng)于常規(guī)的五個側(cè)面的檢驗裝置。類似的或大體上類似的考慮適用于暗視野照明條件和外來的暗視野照明的產(chǎn)生，以相關(guān)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員容易理解地方式。
[0093]代表性的側(cè)壁照明和檢驗配置/操作
[0094]如在下文中進一步詳細描述的，檢驗過程期間，根據(jù)本公開的各種實施例可選擇性地禁用、去激活或關(guān)閉明視野照明器，并且激活或打開側(cè)壁照明器200a_d中的一些或每一個，使得外來明視野照明或其對側(cè)壁檢驗的影響從捕捉的側(cè)壁圖像被補償，或者減少，基本上消除，消除，或有效地/本質(zhì)上消除。類似地考慮適用于關(guān)閉暗視野照明器120，側(cè)壁照明器200a_d中的一些或每一個保持激活，使得外來暗視野照明或其對側(cè)壁檢驗的影響可從捕捉的側(cè)壁圖像被減少，基本上消除，消除，或者有效地/本質(zhì)上消除。此外，在側(cè)壁檢驗過程期間，根據(jù)本公開的多個實施例可去激活明視野照明器100和暗視野照明器120，同時選擇性地激活特定的相鄰的側(cè)壁照明器200a、c，200b、d (或200a、d，200b、c)，而其它的側(cè)壁照明器保持非活性或關(guān)閉，從而降低，消除或有效地/本質(zhì)上消除(a)由一組側(cè)壁照明器200a-d輸出的側(cè)壁照明的傳遞引起的外來側(cè)壁照明，其通過相對設(shè)置的側(cè)壁分束器210a、b，210c、d并且跨越側(cè)壁檢驗區(qū)域30，同時沒有部件側(cè)壁26a、b，26c、d的反射;和/或(b)這種外來側(cè)壁照明對側(cè)壁檢驗的影響。部件側(cè)壁檢驗程序過程期間(例如，在該過程期間，明視野照明器100和暗視野照明器120保持關(guān)閉)，由側(cè)壁照明器200a-d輸出的側(cè)壁照明引起的外來側(cè)壁照明可被分類或限定為非明視野外來照明，以及非暗視野外來照明。在各種實施例中，外來側(cè)壁照明或其對側(cè)壁檢驗的影響可被補償，或減少，基本上消除，消除，或有效地/本質(zhì)上消除，通過以相對于其他側(cè)壁照明器200a-d的光波長或光帶寬分離的方式激活特定的側(cè)壁照明器200a_d或每個側(cè)壁照明器200a_d，以及/或者基于與相對設(shè)置的側(cè)壁照明器200a、b，200c、d相關(guān)聯(lián)的光波長或光帶寬的光過濾。這種側(cè)壁照明和檢驗配置和技術(shù)可提高或大大地提高對應(yīng)于部件側(cè)壁的捕捉的和/或合成圖像內(nèi)像素的對比度和清晰度，從而提高或大大地提高檢測側(cè)壁微缺陷(例如，具有近似5μπι或更小的尺寸的缺陷)的可能性，并且提尚或大大地提尚側(cè)壁檢驗精確度。
[0095]圖4A是示出根據(jù)本公開實施例的由一組側(cè)壁照明器200輸出的側(cè)壁照明輸出照明的部件側(cè)壁26a-d的示意圖，同時明視野照明器100和暗視野照明器120被關(guān)閉。在實施例中，當(dāng)側(cè)壁照明器200a_d打開時，由其輸出的側(cè)壁照明沿光學(xué)路徑朝部件的側(cè)壁26a_d行進并且通過對應(yīng)的側(cè)壁分束器210a_d，所述光學(xué)路徑平行于/基本上平行于X軸或y軸(根據(jù)其，在考慮中的側(cè)壁照明器200a_d和側(cè)壁分束器210a_d)，并且垂直于/基本上垂直于部件的側(cè)壁26a_d以及每個對應(yīng)的側(cè)壁成像平面420a_d。
[0096]經(jīng)過側(cè)壁分束器210a_d的側(cè)壁照明的一部分將被入射到部件側(cè)壁26a_d，并且朝側(cè)壁分束器210a-d被其反射回。側(cè)壁分束器210a-d朝圖像捕捉分束器110重新定向該反射的側(cè)壁照明，在其上，該反射的側(cè)壁照明被進一步重新定向朝并進入透鏡組件300和圖像捕捉設(shè)備400，從而有利于部件側(cè)壁26a-d的圖像的捕捉。
[0097]經(jīng)過側(cè)壁分束器210a_d的由側(cè)壁照明器200a_d發(fā)射的側(cè)壁照明的一些將不被入射到部件側(cè)壁26a_d，而代替為行進到相對的側(cè)壁分束器210a_d，在其上，該側(cè)壁照明將朝著圖像捕捉分束器110被重新定向，在其上，該側(cè)壁照明被進一步重新定向朝并進入透鏡組件300和圖像捕捉設(shè)備400。例如，當(dāng)?shù)谝粋?cè)壁分束器210a接收由第一側(cè)壁照明器200a提供的第一側(cè)壁照明時，通過第一側(cè)壁分束器210a傳遞的第一側(cè)壁照明的一部分將被入射到第一部件側(cè)壁26a，并且被其反射，而通過第一側(cè)壁分束器210a傳遞的不被入射到第一部件側(cè)壁26a且被第一部件側(cè)壁26a反射(或阻斷)的第一側(cè)壁照明的另一部分將從第一側(cè)壁分束器210a行進經(jīng)過部件20到第二側(cè)壁分束器210b，其在側(cè)壁檢驗區(qū)域30的相對側(cè)面上。還沒有被第一部件側(cè)壁26a反射(或阻斷)的行進到第二側(cè)壁分束器210b的第一側(cè)壁照明可作為外來的第一側(cè)壁照明被第二側(cè)壁分束器210b接收和重新定向。外來的第一側(cè)壁照明的一些可照明部件側(cè)壁26b，從而導(dǎo)致部件的側(cè)壁26b的圖像中的“串?dāng)_”。類似地，當(dāng)?shù)诙?cè)壁分束器210b接收由第二側(cè)壁照明器200b提供的第二側(cè)壁照明時，通過第二側(cè)壁分束器210b傳遞的第二側(cè)壁照明的一部分將被入射到第二部件側(cè)壁26b，并且被第二部件側(cè)壁26b反射，而通過第二側(cè)壁分束器210b傳遞的不被入射到第二部件側(cè)壁26b且被第二部件側(cè)壁26b反射(或阻斷)的第二側(cè)壁照明的另一部分而將代替地從第二側(cè)壁分束器210b行進經(jīng)過部件20到第一側(cè)壁分束器210a，其在側(cè)壁檢驗區(qū)域30的相對側(cè)面上。不被第二部件側(cè)壁26b反射(或阻斷)的第二側(cè)壁照明可作為外來的第二側(cè)壁照明被第一側(cè)壁分束器210a接收和重新定向。這些外來的第二側(cè)壁照明的一些可照明部件側(cè)壁26a，從而導(dǎo)致部件的側(cè)壁26a的圖像中的“串?dāng)_”。類似地，當(dāng)?shù)谌齻?cè)壁分束器210c接收由第三側(cè)壁照明器200c提供的第三側(cè)壁照明時，通過第三側(cè)壁分束器210c傳遞的第三側(cè)壁照明的一部分將被入射到第三部件側(cè)壁26c，并且被第三部件側(cè)壁26c反射，而通過第三側(cè)壁分束器210c傳遞的不被入射到第三部件側(cè)壁26c且被第三部件側(cè)壁26c反射的第三側(cè)壁照明的另一部分而將代替地從第三側(cè)壁分束器210c行進經(jīng)過部件20到第四側(cè)壁分束器210d，其在側(cè)壁檢驗區(qū)域30的相對側(cè)面上。還沒有被第三部件側(cè)壁26c反射的而代替地行進到第四側(cè)壁分束器210d的第三側(cè)壁照明可作為外來的第三側(cè)壁照明被第四側(cè)壁分束器210d接收和重新定向。對應(yīng)地，當(dāng)?shù)谒膫?cè)壁分束器210d接收由第四側(cè)壁照明器200d提供的第四側(cè)壁照明時，通過第四側(cè)壁分束器210d傳遞的第四側(cè)壁照明的一部分將被入射到第四部件側(cè)壁26d，并且被第四部件側(cè)壁26d反射，而通過第四側(cè)壁分束器210d傳遞的不被第四部件側(cè)壁26d反射的第四側(cè)壁照明的另一部分而將代替地從第四側(cè)壁分束器210d行進經(jīng)過部件20到第三側(cè)壁分束器210c，其在側(cè)壁檢驗區(qū)域30的相對側(cè)面上。還沒有被第四部件側(cè)壁26d反射的而代替地行進到第四側(cè)壁分束器210d的第四側(cè)壁照明可作為外來的第四側(cè)壁照明被第三側(cè)壁分束器210c接收和重新定向。不被任何部件側(cè)壁26a-d或與其相關(guān)聯(lián)的部件結(jié)構(gòu)反射的由側(cè)壁照明器輸出的這種照明時外來的側(cè)壁照明，其是一種類型的光學(xué)串?dāng)_。根據(jù)本公開的各種實施例，包括相對于在包括部件側(cè)壁或其中的側(cè)壁圖像區(qū)域的所捕捉的圖像上執(zhí)行的檢驗過程的外來的側(cè)壁照明和對應(yīng)的“光學(xué)串?dāng)_”或與其相關(guān)聯(lián)的影響的外來的照明的減少、消除或有效的消除導(dǎo)致在側(cè)壁圖像中檢測微缺陷的顯著地或大大提高的能力，當(dāng)常規(guī)的外來照明(例如，外來的明視野照明和/或外來的暗視野照明)存在時，或者當(dāng)外來的側(cè)壁照明存在時，或者當(dāng)對于外來的側(cè)壁照明的存在的補償沒有發(fā)生/被執(zhí)行時，所述提高的能力是不可能的。在多個實施例中，外來側(cè)壁照明或其對側(cè)壁檢驗的影響的減少、消除或有效的消除被實現(xiàn)，其通過(a)在特定時間的特定的側(cè)壁照明器200a_d的選擇性的激活，使得相同的或重疊的光波長或光帶寬的側(cè)壁照明被防止通過相對的側(cè)壁分束器210a、b，210c、d被同時地傳遞；以及/或者(b)提供或產(chǎn)生光波長或光帶寬分離的側(cè)壁照明和/或?qū)?yīng)于相對的側(cè)壁分束器210a、b，210c、d的反射的側(cè)壁照明，如下面進一步地詳述。
[0098]圖4B是示出其中四個單獨的側(cè)壁圖像的代表性的多側(cè)壁圖像，其對應(yīng)于當(dāng)部件20被定位在側(cè)壁檢驗區(qū)域30內(nèi)的中心的側(cè)壁檢驗位置時發(fā)生的側(cè)壁檢驗操作，并且視野照明器100和暗視野照明器120是非活性或關(guān)閉的，并且在特定的/不同的時間，特定的側(cè)壁照明器200a-d (例如，一對相對的一對側(cè)壁照明器21Oa、b，21Oc、d中的一個)是激活的，或者每個側(cè)壁照明器200a-d是同時激活的(例如，以光波長或光帶寬分離的方式)，如下面進一步地詳細闡述。
[0099]相關(guān)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)認識到，諸如圖4B中所示的多側(cè)壁圖像在下面的情況下也可產(chǎn)生，當(dāng)(a)在相同的或重疊的光波長或波長范圍，相對的側(cè)壁照明器200a、b，200c、d同時地輸出側(cè)壁照明，以及(b)抗反射的涂層和/或光偏振技術(shù)和/或偏振元件/結(jié)構(gòu)(例如，偏振過濾器)中的一組或多組相對于光學(xué)路徑被設(shè)置，沿所述光學(xué)路徑側(cè)壁照明可被傳遞(i)通過給定的側(cè)壁分束器21Oa、c，21Ob、d，( i i)跨越側(cè)壁檢驗區(qū)域30，以及(i i i)至Ij相對的側(cè)壁分束器210b、c，210a、c，從而減少、最小化或有效地消除由外來的側(cè)壁照明引起的光學(xué)串?dāng)_，以及/或者其對側(cè)壁檢驗操作的影響。例如，在一個實施例中，有可能具有壁照明器200a_d中的每一個，從而發(fā)射相同波長的光以照明經(jīng)過對應(yīng)的側(cè)壁分束器210a_d的對應(yīng)的部件側(cè)壁26a-d ο但是，相對的數(shù)對側(cè)壁分束器(例如，2lOb&c)中的每一個將必須借助以不同的偏振角度設(shè)置的偏振鏡(例如，線柵型偏振鏡)安裝，因此經(jīng)過側(cè)壁分束器210b中的一個(不被對應(yīng)的部件側(cè)壁26a阻斷)，以及跨越到相對的側(cè)壁分束器210c的特定的偏振的光將被耦合到所述相對的側(cè)壁分束器210c的另一個偏振鏡吸收或反射離開相對的部件偵_26(:;且反之亦然。以這種方式，來自相對的側(cè)壁照明200a-d的外來光(串?dāng)_)可被消除，使得當(dāng)其外來的部件被在相對的側(cè)壁分束器的偏振鏡吸收時，僅僅經(jīng)過側(cè)壁分束器210a-d中的一個的特定的偏振的光將被反射離開對應(yīng)的部件側(cè)壁26a-d。如果用于照明器的寬帶照明(混合的振蕩)被期望，則該方法尤其的有用。在特定的偏振鏡從偏振的分束器210a_d被傳遞到對應(yīng)的部件側(cè)壁的情況下，使用黑白相機不僅可消除光學(xué)串?dāng)_，而且可捕捉更清楚和更清晰的超細缺陷的圖像。
[0100]圖4C是從圖4B獲得的代表性的單獨的側(cè)壁圖像。圖4B和圖1F之間的對比清楚地指出對應(yīng)于實際的側(cè)壁結(jié)構(gòu)特征部、陰影和/或缺陷的側(cè)壁圖像中的細小的、超細的或微尺度特征部在圖4B中比在圖1B中限定地更清楚。因此，根據(jù)本公開的實施例可大大地增強所捕捉的側(cè)壁圖像中細小的、超細的或微尺度(小于或等于大約5μπι)的缺陷的檢測，并且對應(yīng)地大大地提高了圖像處理基礎(chǔ)的側(cè)壁檢驗精確度。
[0101]在一些實施例中，諸如圖4Β中示出的多側(cè)壁圖像可通過去激活/關(guān)閉明視野照明器100在單個圖像捕捉操作中作為單個視圖被捕捉，同時當(dāng)部件20被定位在或大體上在中心側(cè)壁檢驗位置和所捕捉的圖像時，側(cè)壁照明器200a-d中的每一個以適當(dāng)?shù)墓獠ㄩL或光帶寬分離的方式被同時地打開，如下面進一步的詳述。另選地，當(dāng)部件20駐留在中心側(cè)壁檢驗位置時，這種多側(cè)壁圖像可從多個捕捉的圖像產(chǎn)生為合成圖像，其通過不同的或單獨的圖像捕捉操作產(chǎn)生。合成圖像從其產(chǎn)生的每個圖像對應(yīng)于激活的側(cè)壁照明器200a-d的特定子集，其在給定的圖像捕捉操作期間的特定時間被激活，合成圖像從其產(chǎn)生的每個這種圖像包括與特定的部件側(cè)壁26a-d的對應(yīng)的子集相關(guān)聯(lián)的圖像數(shù)據(jù)(例如像素值)。例如，可使用側(cè)壁照明器200a_d單獨地/分開地/順序地捕捉對應(yīng)于每個部件側(cè)壁26a_d(或者關(guān)注的每個部件側(cè)壁26a_d)的各個側(cè)壁圖像，所述側(cè)壁照明器200a_d被配置成用于輸出相同的或重疊的光波長或光帶寬的側(cè)壁照明。另選地，排除相對的部件側(cè)壁26a、b，26c、d的側(cè)壁圖像的對應(yīng)于非相對的數(shù)對部件側(cè)壁26a，c-26b，d/26a，d_26b，c的多個側(cè)壁圖像可被分開地/順序地/相繼地捕捉，其通過使用(a)具有相同的光波長或光帶寬的入射的側(cè)壁照明(與具有單色或彩色圖像傳感器的圖像捕捉設(shè)備400相關(guān)聯(lián))，或者(b)不同的光波長或光帶寬的入射的側(cè)壁照明(與具有彩色圖像傳感器的圖像捕捉設(shè)備400相關(guān)聯(lián))，如下文中更詳細地描述。
[0102]代表性的側(cè)壁照明器的選擇性激活
[0103]在若干實施例中，側(cè)壁照明器200a_d可被單獨地或在特定的子集中(例如，對偶的，以避免通過相對的側(cè)壁分束器210a、b，210c、d的側(cè)壁照明的同時傳遞的方式)打開或激活，其以進一步減少、消除或有效的消除所捕捉的側(cè)壁圖像中的外來的側(cè)壁照明，或者其對基于所捕捉的側(cè)壁圖像的側(cè)壁檢驗的影響的方式進行，從而進一步提高側(cè)壁檢驗精確度。側(cè)壁照明器200a_d的這種選擇性的激活可包括通過具體的側(cè)壁分束器210a_d或在對應(yīng)的具體的部件側(cè)壁26a_d上的單色的或本質(zhì)上單色的側(cè)壁照明或彩色的側(cè)壁照明的選擇性傳遞。相關(guān)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，單色照明可通過單色圖像傳感器或彩色圖像傳感器被捕捉;并且彩色照明可通過彩色圖像傳感器被捕捉，使得對應(yīng)于不同的彩色像素數(shù)據(jù)值的不同的光波長或?qū)?yīng)于所捕捉的圖像的圖像數(shù)據(jù)內(nèi)的彩色像素值范圍可被容易地區(qū)分和/或分開地處理，從而有利于側(cè)壁檢驗操作。
[0104]例如，圖5A是代表性的第一側(cè)壁照明器激活模式的示意圖，其中第一側(cè)壁照明器200a和相鄰的第三側(cè)壁照明器200c被激活或打開;并且與第一側(cè)壁照明器200a相對的第二側(cè)壁照明器200b和與第三側(cè)壁照明器200c相對的第四側(cè)壁照明器200d保持非活性或關(guān)閉。由于這種側(cè)壁照明器激活模式，對應(yīng)于第一部件側(cè)壁26a的捕捉的側(cè)壁圖像將不包括或受與第二側(cè)壁照明器200b相關(guān)聯(lián)的外來的側(cè)壁照明影響；并且對應(yīng)于第三部件側(cè)壁26c的捕捉的側(cè)壁圖像將不包括或受與第四側(cè)壁照明器200d相關(guān)聯(lián)的外來的側(cè)壁照明影響。
[0105]當(dāng)相對設(shè)置的側(cè)壁照明器對200a-b，200c-d被激活，使得在給定的圖像捕捉操作期間相對設(shè)置的側(cè)壁照明器200a-b，200c-d中的每一對內(nèi)的僅僅一個側(cè)壁照明器200a_b，200c-d輸出照明時，將以其它方式與當(dāng)前非活性的側(cè)壁照明器200a-b，200c-d相關(guān)聯(lián)的外來側(cè)壁照明將不被產(chǎn)生，因此將不作為側(cè)壁圖像的部分被捕捉。這可進一步顯著地提高部件側(cè)壁特征結(jié)構(gòu)、陰影和/或缺陷的清晰度，并且進一步增加部件側(cè)壁檢驗的精確度。
[0106]圖5B是當(dāng)部件20被定位在中心側(cè)壁檢驗位置，第一側(cè)壁照明器和第三側(cè)壁照明器200a，c是激活的，并且第二側(cè)壁照明器和第四側(cè)壁照明器200b，c是非活性的時候所捕捉的對應(yīng)于圖5A的第一側(cè)壁照明器激活模式的代表性的第一多側(cè)壁圖像。如圖5B中所指出的，該第一多側(cè)壁圖像包括左邊圖像區(qū)域，其中像素清楚地表示或包含對應(yīng)于第一部件側(cè)壁26a的有用的信息；以及上圖像區(qū)域，其中像素清楚地表示或包含對應(yīng)于第三部件側(cè)壁26c的有用的信息。第一多側(cè)壁圖像不包括具有清楚地表示或包含對應(yīng)于第二側(cè)壁或第四側(cè)壁26b，d的像素的圖像區(qū)域，因為在圖像捕捉操作期間對應(yīng)的側(cè)壁照明器200b，d被關(guān)閉。也就是說，因為第一側(cè)壁照明器和第三側(cè)壁照明器200a，c在圖像捕捉操作期間是激活的，并且第二側(cè)壁照明器和第四側(cè)壁照明器200b，d在圖像捕捉操作期間是非活性的，所以引起的捕捉的圖像包括對應(yīng)于第一部件側(cè)壁和第三部件側(cè)壁26a，c的詳細的側(cè)壁圖像或側(cè)壁圖像區(qū)域，但是排除對應(yīng)于第二部件側(cè)壁和第四部件側(cè)壁26b，d的詳細的側(cè)壁圖像或側(cè)壁圖像區(qū)域。
[0107]類似地，圖5C示出代表性的第二側(cè)壁照明器激活模式，其中第二側(cè)壁照明器200b和其相鄰的第四側(cè)壁照明器200d是激活的或打開的；并且第二側(cè)壁照明器200a和第三側(cè)壁照明器200c保持非活性的或關(guān)閉的。因此，對應(yīng)于第二部件側(cè)壁26b的捕捉的側(cè)壁圖像將不包括或受與第一側(cè)壁照明器200a相關(guān)聯(lián)的外來的側(cè)壁照明影響;并且對應(yīng)于第四部件側(cè)壁26d的捕捉的側(cè)壁圖像將不包括或受與第三側(cè)壁照明器200c相關(guān)聯(lián)的外來的側(cè)壁照明影響。
[0108]圖5D是當(dāng)部件20被定位在中心側(cè)壁檢驗位置，第二側(cè)壁照明器和第四側(cè)壁照明器200b，d是激活的，并且第一側(cè)壁照明器和第三側(cè)壁照明器200a，c是非活性的時候所捕捉的對應(yīng)于圖5C的第二側(cè)壁照明器激活模式的代表性的第二多側(cè)壁圖像。如圖5D中所指出的，該第二多側(cè)壁圖像包括右邊圖像區(qū)域，其中像素清楚地表示或包含對應(yīng)于第二部件側(cè)壁26b的有用的信息；以及下圖像區(qū)域，其中像素清楚地表示或包含對應(yīng)于第四部件側(cè)壁26d的有用的信息。第二多側(cè)壁圖像不包括具有清楚地表示或包含對應(yīng)于第一側(cè)壁或第三側(cè)壁26a，c的像素的圖像區(qū)域，因為在圖像捕捉操作期間對應(yīng)的側(cè)壁照明器200a，c被關(guān)閉。也就是說，因為第二側(cè)壁照明器和第四側(cè)壁照明器200b，d在圖像捕捉操作期間是激活的，并且第一側(cè)壁照明器和第三側(cè)壁照明器200a，c在圖像捕捉操作期間是非活性的，所以引起的捕捉的圖像包括對應(yīng)于第二部件側(cè)壁和第四部件側(cè)壁26b，d的詳細的側(cè)壁圖像或側(cè)壁圖像區(qū)域，但是排除對應(yīng)于第一部件側(cè)壁和第三部件側(cè)壁26a，c的詳細的側(cè)壁圖像或側(cè)壁圖像區(qū)域。
[0109]為了側(cè)壁檢驗(例如，自動的側(cè)壁缺陷檢驗)，一些實施例在下列圖像上執(zhí)行分開的圖像處理操作:(a)單獨的側(cè)壁圖像，或(b)多側(cè)壁圖像，其包括具有清楚地表示或包含僅僅對應(yīng)于部件側(cè)壁26a_d的具體子集的有用的信息的像素的圖像區(qū)域(例如，自動的側(cè)壁缺陷檢驗可在兩個分開的多側(cè)壁圖像上被執(zhí)行，每個多側(cè)壁圖像包括具有清楚地表示或包含對應(yīng)于部件側(cè)壁26a，c-26b，d/26a，d-26b，c中特定的相鄰的一對的有用的信息的像素的圖像區(qū)域)。但是，具體實施例可另外地或另選地產(chǎn)生單個合成的多側(cè)壁圖像，其包括具有清楚地表示或包含對應(yīng)于每個部件側(cè)壁26a-d(或多個部件側(cè)壁26a-d內(nèi)關(guān)注的每個部件側(cè)壁26a-d，其可包括相對的部件側(cè)壁26a、b，26c、d)的有用的信息的圖像區(qū)域，并且在單個合成圖像上執(zhí)行圖像處理操作。
[0110]通過將包含對應(yīng)于部件側(cè)壁26a_d的第一子集的詳細的側(cè)壁圖像或側(cè)壁圖像區(qū)域的前述的第一多側(cè)壁圖像的那些部分與包含對應(yīng)于部件側(cè)壁26a_d的第二子集的詳細的側(cè)壁圖像或圖像區(qū)域的前述的第二多側(cè)壁圖像的那些部分數(shù)字地拼接在一起，可產(chǎn)生代表性的單個合成的多側(cè)壁圖像，同時排除形成不包含詳細的側(cè)壁圖像或側(cè)壁圖像區(qū)域的第一多側(cè)壁圖像和第二多側(cè)壁圖像中的每一個的合成圖像部分。更具體地，通過將第一多側(cè)壁圖像的左邊圖像區(qū)域，第一多側(cè)壁圖像的上圖像區(qū)域，第二多側(cè)壁圖像的右邊圖像區(qū)域，以及第二多側(cè)壁圖像的下圖像區(qū)域數(shù)字地組合或拼接在一起，單個合成的多側(cè)壁圖像可從第一多側(cè)壁圖像和第二多側(cè)壁圖像產(chǎn)生。在一些實施例中，如果期望或需要，則合成的多側(cè)壁圖像的中央?yún)^(qū)域可填充由預(yù)定的像素值(例如，對應(yīng)于黑色)。圖5E是從圖5B的第一多側(cè)壁圖像和圖f5D的第二多側(cè)壁圖像產(chǎn)生的代表性的合成的多側(cè)壁圖像。
[0111]如先前所指出的，除了前述之外，在若干實施例中，部件固定器在除了側(cè)壁檢驗區(qū)域30內(nèi)的中心側(cè)壁檢驗位置之外的一個或多個橫向的或x-y平面位置可選擇地/選擇性地定位由其運送的部件20，使得部件20比其它的側(cè)壁分束器210a-d更靠近某些側(cè)壁分束器210a-d。因此，部件固定器50可選擇地/選擇性地/可編程地/有意地在兩個或更多的側(cè)壁分束器210a-d之間定位部件20“偏心”，使得部件20朝側(cè)壁檢驗區(qū)域30內(nèi)的特定的邊緣、側(cè)表面或拐角被設(shè)置，并且因此朝對應(yīng)于某些側(cè)壁分束器210a_d或由某些側(cè)壁分束器210a_d形成的特定的邊緣、側(cè)面或拐角被設(shè)置或偏置，遠離對應(yīng)于一個或多個其它的側(cè)壁分束器210a_d或由一個或多個其它的側(cè)壁分束器210a_d形成的另一個邊緣、側(cè)面或拐角。例如，部件固定器50可定位部件20，使得部件的矩心或中心點(例如，被定義為在部件20的主體內(nèi)的中心點，或部件的底和/部表面22，24上的中心點)被設(shè)置成朝或比共享第二對應(yīng)的或共同的邊界或邊沿(例如，由于它們的相鄰性)的側(cè)壁分束器210a，d的另一個(例如，第二)子集更靠近共享第一對應(yīng)的或共同的邊界或邊沿(例如，由于它們的相鄰性)的側(cè)壁分束器210a，c的特定(例如，第一)子集。
[0112]圖5F示出被設(shè)置在側(cè)壁檢驗區(qū)域30內(nèi)的代表性的第一偏心的側(cè)壁檢驗位置的部件20的示意性的頂視圖和側(cè)視圖，使得部件中心點21比非相對的側(cè)壁分束器210a-d，諸如第二側(cè)壁分束器和第四側(cè)壁分束器210b，d的第二子集更靠近非相對的側(cè)壁分束器210a-d，諸如第一側(cè)壁分束器和第三側(cè)壁分束器210a，c的第一子集。類似地，圖5G示出設(shè)置在檢驗區(qū)域30內(nèi)代表性的第二偏心的側(cè)壁檢驗位置的部件20的示意性的頂視圖和側(cè)視圖，使得部件中心點21比第一側(cè)壁分束器和第三側(cè)壁分束器210a，c更靠近第二側(cè)壁分束器和第四側(cè)壁分束器210b，d。
[0113]當(dāng)部件被設(shè)置在第一偏心的側(cè)壁檢驗位置時，(a)第一側(cè)壁分束器和第三側(cè)壁分束器200a，c可被激活，而第二側(cè)壁分束器和第四側(cè)壁分束器200b，d保持非活性的。因此，由第一側(cè)壁照明器和第三側(cè)壁照明器200a，c輸出的照明分別通過第一側(cè)壁分束器和第三側(cè)壁分束器210a-c傳遞，并且被入射到第一部件側(cè)壁26a和第三部件側(cè)壁26c，在其上，該照明由其/從其反射為反射的側(cè)壁照明。行進遠離第一部件側(cè)壁和第三部件側(cè)壁26a，c的反射的側(cè)壁照明分別被第一側(cè)壁分束器和第三側(cè)壁分束器210a，c重新定向，朝并到達圖像捕捉分束器100，在其上，該照明朝圖像捕捉設(shè)備400被進一步的定向，并且由其捕捉作為第一偏心圖像(例如，第一偏心多側(cè)壁圖像)。
[0114]因為當(dāng)部件20被設(shè)置在第一偏心側(cè)壁檢驗位置時，第二側(cè)壁照明器和第四側(cè)壁照明器200b，d保持非活性的，所以在第一偏心圖像的捕捉期間，沒有來自第二側(cè)壁照明器和第四側(cè)壁照明器200b，d的側(cè)壁照明入射到部件20(例如，分別在第二部件側(cè)壁和第四部件側(cè)壁26b，d上)。此外，因為第二側(cè)壁分束器210b和第四側(cè)壁分束器210d分別相對于第一側(cè)壁分束器210a和第三側(cè)壁分束器210c被設(shè)置，所以在第一偏心圖像的捕捉期間，通過第二部件側(cè)壁和第四部件側(cè)壁26b，d的照明的反射被大大地減少、最小化或本質(zhì)上消除。因此，在第一偏心圖像的捕捉期間，與第二側(cè)壁分束器和第四側(cè)壁分束器210b，d相關(guān)聯(lián)的外來側(cè)壁照明或光學(xué)串?dāng)_被大大地減少、最小化或本質(zhì)上消除。
[0115]在第一偏心圖像的捕捉之后，部件20可相對于一組側(cè)壁分束器26a_d被移動，使得部件駐留在第二偏心側(cè)壁檢驗位置。當(dāng)部件被設(shè)置在第二偏心的側(cè)壁檢驗位置時，(a)第二側(cè)壁分束器和第四側(cè)壁分束器200b，d可被激活，而第一側(cè)壁分束器和第三側(cè)壁分束器200a，c保持非活性的。因此，由第二側(cè)壁照明器和第四側(cè)壁照明器200b，d輸出的照明分別通過第二側(cè)壁分束器和第四側(cè)壁分束器210a-c傳遞，并且被入射到第二部件側(cè)壁26b和第四部件側(cè)壁26d，在其上，該照明由其/從其反射為反射的側(cè)壁照明。行進遠離第二部件側(cè)壁和第四部件側(cè)壁26b，d的反射的側(cè)壁照明分別被第二側(cè)壁分束器和第四側(cè)壁分束器210b，d重新定向，朝并到達圖像捕捉分束器100，在其上，該照明朝圖像捕捉設(shè)備400被進一步的定向，并且由其捕捉作為第二偏心圖像(例如，第二偏心多側(cè)壁圖像)。
[0116]以類似于上述的方式，因為當(dāng)部件20被設(shè)置在第二偏心側(cè)壁檢驗位置時，第一側(cè)壁照明器和第三側(cè)壁照明器200a，c保持非活性的，所以在第二偏心圖像的捕捉期間，沒有來自第一側(cè)壁照明器和第三側(cè)壁照明器200a，c的側(cè)壁照明入射到部件20(例如，分別在第一部件側(cè)壁和第三部件側(cè)壁26a，c上)。此外，因為第一側(cè)壁分束器和第三側(cè)壁分束器210a，c分別相對于第二側(cè)壁分束器和第四側(cè)壁分束器210b，d被設(shè)置，所以在第二偏心圖像的捕捉期間，通過第一部件側(cè)壁和第三部件側(cè)壁26a，c的照明的反射被大大地減少、最小化或本質(zhì)上消除。因此，在第二偏心圖像的捕捉期間，與第一側(cè)壁分束器和第三側(cè)壁分束器210a，c相關(guān)聯(lián)的外來側(cè)壁照明或光學(xué)串?dāng)_被大大地減少、最小化或本質(zhì)上消除。
[0117]在側(cè)壁檢驗區(qū)域30內(nèi)的多個位置定位部件20的能力使根據(jù)本公開實施例的裝置10能夠成功地檢驗具有側(cè)壁分束器210a-d的單個布置的寬(較寬)范圍的尺寸的部件20。作為代表性的實例，通過使用彼此間隔開的側(cè)壁分束器210a-d中的單組，在每個側(cè)面上的具有在大約0.3cm-3.0cm之間的尺寸或更大尺寸(例如，高達大約7.0cm或更多，根據(jù)實施例細節(jié)或部件檢驗需要)的正方形、近似正方形或矩形部件20可以本文所陳述的方式進行側(cè)壁檢驗，從而提供近似3.5cm X 3.5cm的總的側(cè)壁檢驗區(qū)域。因此，根據(jù)本公開實施例的裝置10的擁有者或使用者不需要獲得或購買大量的分開的光學(xué)組件，其中每個光學(xué)組件包括一組側(cè)壁分束器210a_d，其被配置成提供能夠容納具體尺寸或平面區(qū)域(例如，相對于x-y平面被限定的)，或非常有限的范圍的尺寸/平面區(qū)域的檢驗區(qū)域30。因此，與常規(guī)的檢驗裝置設(shè)計相比，擁有裝置10的成本被顯著地或大大地降低。更具體地，在常規(guī)的檢驗裝置10設(shè)計中，給定的光學(xué)組件(例如，上面結(jié)合圖1A-1F所述的類型)可被使用，僅僅用于檢驗具有窄的或非常有限的范圍的平面區(qū)域(例如，單個平面尺寸，或非常小范圍的平面尺寸的部件20)的部件20。相比之下，提供在側(cè)壁檢驗區(qū)域30內(nèi)的多個位置的部件定位20的根據(jù)本公開實施例的裝置10可使用單個或相同的光學(xué)組件容納具有更大范圍的平面尺寸的部件20。
[0118]代表性的波長分離的側(cè)壁照明和檢驗
[0119]在若干實施例中，裝置10被配置，使得(a)朝部件20的不同的或相對的側(cè)壁26a_d行進的側(cè)壁照明，和/或(b)行進遠離部件20的不同的或相對的側(cè)壁26a-d的反射的側(cè)壁照明分別顯示對于這些不同的或相對的部件側(cè)壁20a-d的不同的光中心波長或波長范圍/帶寬。因此，行進到圖像捕捉設(shè)備400的與不同的或相對的部件側(cè)壁26相關(guān)聯(lián)的反射的側(cè)壁照明以對應(yīng)于這種側(cè)壁照明從其起源的特定的側(cè)壁26a-d的方式顯示多個分開的/分離的中心波長或波長范圍。根據(jù)實施例細節(jié)，通過被配置成輸出具有不同光中心波長或波長范圍的側(cè)壁照明的側(cè)壁照明器200a-d;和/或濾光器(例如，分開的過濾器元件，或光學(xué)涂層)，中心波長或波長范圍分離可發(fā)生，如下面進一步的闡述。在這種實施例中，圖像捕捉設(shè)備400是彩色相機(例如，包括彩色圖像傳感器的圖像捕捉設(shè)備400，以相關(guān)領(lǐng)域中普通技術(shù)人員容易理解的方式)，其允許(a)在單個圖像捕捉操作期間，對應(yīng)于單個視圖中每個部件側(cè)壁26a-d的反射的側(cè)壁照明的同時捕捉，這導(dǎo)致其中側(cè)壁圖像數(shù)據(jù)(例如，像素數(shù)據(jù))清楚地表示或包含對應(yīng)于每個部件側(cè)壁26a_d的有用的信息的單個圖像的產(chǎn)生；以及(b)通過作為自動的部件側(cè)壁檢驗操作的部分的圖像處理操作，隨后的基于光波長/帶寬的辨別或補償對應(yīng)于每個側(cè)壁26a-d的圖像數(shù)據(jù)。
[0120]在一些實施例中，每個側(cè)壁照明器200a_d被配置成輸出具有相對于每一個其它的側(cè)壁照明器200a-d的不同的光中心波長或波長范圍的照明。因為圖像捕捉設(shè)備400包括彩色圖像傳感器，所以當(dāng)部件20被設(shè)置在中心側(cè)壁檢驗位置時，每個側(cè)壁照明器200a-d可在圖像捕捉操作期間被同時地激活。因此，單個圖像捕捉操作可產(chǎn)生單組圖像數(shù)據(jù)(例如，像素數(shù)據(jù))，其清楚地表示或包含對應(yīng)于每個部件側(cè)壁26a-d的有用的信息。根據(jù)需要，基于光波長或帶寬的數(shù)字鑒別或補償操作可在單組圖像數(shù)據(jù)上執(zhí)行，從而減少或本質(zhì)上或有效地消除與來自側(cè)壁照明器200a，b，c，d中每一個的不同的光波長的光相關(guān)聯(lián)的“光學(xué)串?dāng)_”，其通過對應(yīng)的側(cè)壁分束器210a，b，c，d傳遞，并且其不入射到對應(yīng)的部件側(cè)壁26a_d，因此不被對應(yīng)的部件側(cè)壁26a-d反射，而其代替地行進經(jīng)過或跨越部件20到相對的側(cè)壁分束器210b，a，d，c，并且作為外來的側(cè)壁照明由其接收，并且其由于光束分離被重新定向，使得外來的側(cè)壁照明行進到彩色圖像傳感器，如下文中進一步的描述。
[0121]圖6A是示出根據(jù)本公開實施例的被配置成用于執(zhí)行光波長或帶寬分離的側(cè)壁檢驗過程或技術(shù)的光波長或帶寬分離的側(cè)壁檢驗裝置10的部分的示意性頂視圖。在一個實施例中，朝給定的部件側(cè)壁26a_d行進通過每個側(cè)壁分束器21Oa-d的側(cè)壁照明時帶寬限制的光，其具有相對于朝每一個其它的對應(yīng)的部件側(cè)壁26a_d行進通過每一個其它的側(cè)壁分束器210a_d的側(cè)壁照明不同的光中心頻率或波長。例如，在代表性的實施方案中，第一側(cè)壁照明器200a可輸出中心在紅色波長A1 (例如，大約700mm)的帶寬限制(例如，大體上窄的，窄的，或非常窄的帶寬)的光；第二側(cè)壁照明器200b可輸出中心在綠色波長人2(例如，大約550nm)的帶寬限制(例如，大體上窄的，窄的，或非常窄的帶寬)的光;第三側(cè)壁照明器200c可輸出中心在橙色波長λ3 (例如，大約600nm)的帶寬限制(例如，大體上窄的，窄的，或非常窄的帶寬)的光;并且第四側(cè)壁照明器200d可輸出中心在藍色波長λ4(例如，大約450nm)的帶寬限制(例如，大體上窄的，窄的，或非常窄的帶寬)的光。在各種實施例中，每個這種中心波長的帶寬可以環(huán)繞/圍繞中心波長大約30nm(或更少)。通過具有適當(dāng)?shù)牟ㄩL輸出的LED，和/或應(yīng)用到由側(cè)壁照明器200a-d產(chǎn)生的廣譜照明(例如，白色的或基本上白色的光)的波長過濾器可提供這種側(cè)壁照明。如下面參考圖6K進一步描述的，為了簡化圖像數(shù)據(jù)產(chǎn)生/收集和處理，在一些實施例中，相鄰的側(cè)壁照明器200a，c-200b，d/210a，d-210b，c可被成對的激活，使得(a)使用光中心波長λ?的光，相鄰的側(cè)壁照明器200a，c-200b，d/200a，d-200b，c中的一對可照明，而(b)使用不同的光中心波長λ2的光，相鄰的側(cè)壁照明器200a，c-200b，d/200a，d-200b，c中另一對或?qū)?yīng)的一對可同時地照明，以及(c)在考慮中的相對的側(cè)壁照明器200a、b，200 c、d中的任何給定的一對中，使用相同的光中心波長λ I或λ2的光，相對的側(cè)壁照明器200a、b，200c、d可避免照明。不管圖6A的實施例或圖6K的實施例是否被考慮，由于適當(dāng)?shù)墓獠ㄩL或光帶寬分離，通過從對應(yīng)于已經(jīng)被考慮中的特定側(cè)壁分束器210a，b，c，d捕捉的反射的側(cè)壁照明的側(cè)壁圖像數(shù)據(jù)扣除在對應(yīng)于外來側(cè)壁照明的光波長或光帶寬的像素值范圍內(nèi)的像素值，可減少或消除光學(xué)串?dāng)_，其由通過任何特定的側(cè)壁分束器210a，a，c，d的反射的側(cè)壁照明的捕捉引起，其與已經(jīng)通過其相對的側(cè)壁分束器210b，a，d，c傳遞的并且已經(jīng)行進跨越側(cè)壁檢驗區(qū)域30到該特定的側(cè)壁分束器210a，b，c，d的外來側(cè)壁照明的捕捉同時進行，從而“污染”對應(yīng)于該特定的側(cè)壁分束器21 Oa，b，c，d的側(cè)壁圖像。
[0122]圖6B示意性地示出通過圖6A的波長分離的側(cè)壁檢驗裝置10作為單個視圖(例如，在單個圖像捕捉操作中)被圖像捕捉設(shè)備400捕捉的代表性的波長分離的多側(cè)壁圖像500。在這個波長分離的多側(cè)壁圖像500內(nèi)，第一或左邊側(cè)壁圖像或側(cè)壁圖像區(qū)域510a對應(yīng)于第一部件側(cè)壁26a，并且具有對應(yīng)于由第一側(cè)壁照明器200a輸出的第一中心波長(例如，700nm)的像素值;第二或右邊側(cè)壁圖像或側(cè)壁圖像區(qū)域510b對應(yīng)于第二部件側(cè)壁26b，并且具有對應(yīng)于由第二側(cè)壁照明器200b輸出的第二中心波長(例如，550nm)的像素值;第三或上側(cè)壁圖像或側(cè)壁圖像區(qū)域510c對應(yīng)于第三部件側(cè)壁26c，并且具有對應(yīng)于由第三側(cè)壁照明器200c輸出的第三中心波長(例如，600nm)的像素值;并且第四或下側(cè)壁圖像或側(cè)壁圖像區(qū)域510d對應(yīng)于第四部件側(cè)壁26d，并且具有對應(yīng)于由第四側(cè)壁照明器200d輸出的第四中心波長(例如，450nm)的像素值。
[0123]當(dāng)部件20在中心側(cè)壁檢驗位置被定位，每個部件側(cè)壁26a_d可被其對應(yīng)的側(cè)壁照明器200a_d照明，并且每個部件側(cè)壁26a_d可在單個圖像中/作為單個視圖(例如，在單個圖像捕捉操作中)被彩色相機400同時地捕捉，從而產(chǎn)生波長分離的多側(cè)壁圖像，其可通過圖像處理操作被分析以識別每個側(cè)壁26a-d中的缺陷(例如，微缺陷，諸如微裂紋)。通常，借助相對的或朝相反的/相對定向的側(cè)壁照明器200a_d之間的適當(dāng)?shù)闹行牟ㄩL分開或分離，可減少或最小化在任何給定的側(cè)壁圖像區(qū)域510a_d上的外來側(cè)壁照明的缺陷。此外，通過在側(cè)壁檢驗操作的發(fā)起之前的對于給定類型的部件20的適當(dāng)?shù)男食绦?，可減少，最小化或有效地消除外來側(cè)壁照明對對應(yīng)于波長分離的多側(cè)壁圖像500內(nèi)的每個側(cè)壁圖像區(qū)域510a-d的像素值的影響。
[0124]圖6C是根據(jù)本公開實施例的對應(yīng)于波長分離的側(cè)壁檢驗校準程序的第一側(cè)壁照明器激活模式的示意圖。在第一校準操作中，當(dāng)其它的側(cè)壁照明器200b_d關(guān)閉時，第一側(cè)壁照明器200a被激活;或者至少，當(dāng)?shù)诙?cè)壁照明器200b關(guān)閉，并且第三側(cè)壁照明器和第四側(cè)壁照明器200c，d中的至少一個關(guān)閉時)。為了簡單和有助于理解，第二側(cè)壁照明器到第四側(cè)壁照明器200b-c中的每一個被限定為在第一校準操作期間是關(guān)閉的。具有由第一側(cè)壁照明器200a輸出的第一中心波長的帶寬限制的照明經(jīng)過第一側(cè)壁照明分束器210a，并且沿平行于X軸的光學(xué)路徑朝部件20被定向。這種照明中的一些被第一部件側(cè)壁26a反射回到第一側(cè)壁分束器210a，其朝圖像捕捉分束器110重新定向該反射的側(cè)壁照明。圖像捕捉分束器的反射表面112隨后重新定向該第一帶寬限制的照明，朝并進入透鏡組件300和圖像捕捉設(shè)備400，并且第一帶寬限制的照明條件下的第一側(cè)壁26a的第一校準圖像被捕捉。例如，當(dāng)?shù)谝粠捪拗频恼彰鲗?yīng)于700+/-30nm的光波長時，第一側(cè)壁26a的第一校準圖像可被定義為“純紅色”圖像。
[0125]圖6D是根據(jù)本公開實施例的對應(yīng)于波長分離的側(cè)壁檢驗校準程序的第二側(cè)壁照明器激活模式的示意圖。在第二校準操作中，被設(shè)置成相對于彼此或在彼此對面的的第一側(cè)壁照明器和第二側(cè)壁照明器200a，b都被激活。為了簡單和有助于理解，第三側(cè)壁照明器和第四側(cè)壁照明器200c，d被限定為在第二校準操作期間是關(guān)閉的。因為第一側(cè)壁照明器和第二側(cè)壁照明器200a，b在第二校準操作期間是激活的，所以來自第一側(cè)壁照明器200a的第一帶寬限制的照明中的一些被第一側(cè)壁26a朝第一側(cè)壁分束器210a反射回。另外，來自第二側(cè)壁照明器200b的第二帶寬限制的照明中的一些將不被第二側(cè)壁26b反射，而將代替地行進經(jīng)過部件20到第一側(cè)壁分束器210a，從而除了從第一側(cè)壁26a反射的第一帶寬限制的照明之外，提供或有助于將存在于捕捉的第一側(cè)壁26a的圖像中的外來的第二帶寬限制的側(cè)壁照明。也就是說，第一側(cè)壁分束器210a重新定向或反射被第一側(cè)壁26a反射的第一帶寬限制的照明和外來的第二帶寬限制的照明，朝圖像捕捉分束器110，其重新定向這種第一帶寬限制的照明和外來的第二帶寬限制的照明，朝并且到達透鏡組件300和圖像捕捉設(shè)備400。然后，第一帶寬限制的照明條件下的第一側(cè)壁26a的第二校準圖像加上外來的第二帶寬限制的照明被捕捉。例如，當(dāng)?shù)谝粠捪拗频恼彰鲗?yīng)于700+/-30nm的光波長，并且第二帶寬限制的照明對應(yīng)于550+/-30nm的光波長時，第一側(cè)壁26a的第二校準圖像可被定義為“純紅色加上外來的綠色”圖像。
[0126]下一步，第一側(cè)壁26a的第一校準圖像和第二校準圖像相對于彼此被處理、對比以及/或分析，從而檢測或確定第一側(cè)壁26a的第二校準圖像中外來的第二帶寬限制的照明具有的相對于對側(cè)壁26的第一校準圖像的影響的大小，如果有，其排除這種外來的側(cè)壁照明。例如，在一些實施例中，第一校準圖像中的像素值被平均，并且第二校準圖像中的像素值被平均。對應(yīng)于第一校準圖像和第二校準圖像中對應(yīng)的圖像位置的平均的像素值可從彼此相減以得出第一補償因數(shù)，其可被數(shù)字地應(yīng)用(例如，作為減法運算)到捕捉的側(cè)壁圖像或圖像區(qū)域510a，其對應(yīng)于與部件檢驗操作相關(guān)聯(lián)的第一側(cè)壁26a。也就是說，第一補償因數(shù)可被應(yīng)用(例如，從中減去)到實際的部件檢驗操作期間捕捉的波長分離的多側(cè)壁圖像的每個第一側(cè)壁圖像區(qū)域510a內(nèi)的每個像素值。在其它實施例中，第一校準圖像中的像素值從第二校準圖像中的像素值被直接地減去，并且所得差值或差分像素值被平均以得出第一補償因數(shù)，其可被數(shù)字地應(yīng)用(例如，作為減法運算)到捕捉的側(cè)壁圖像區(qū)域510a，其對應(yīng)于與波長分離的部件側(cè)壁檢驗操作相關(guān)聯(lián)的第一側(cè)壁26a。根據(jù)實施例細節(jié)和/或考慮中的部件20或部件側(cè)壁26的類型，補償因數(shù)可以是正值或負值，以相關(guān)領(lǐng)域中普通技術(shù)人員理解的方式。
[0127]校準操作的前述類型隨后可被執(zhí)行以捕捉第二部件側(cè)壁26b的第三校準圖像(例如，“純綠色”圖像)，其僅僅對應(yīng)于第二帶寬限制的照明，以圖6E中指出的方式；以及第二部件側(cè)壁26b的第四校準圖像(例如，“純綠色加上外來的紅色”圖像)，以圖6F中指出的方式。然后，例如，以上面指出的方式確定第二補償因數(shù)，其可被應(yīng)用到捕捉的側(cè)壁圖像區(qū)域510b，其對應(yīng)于與波長分離的部件側(cè)壁檢驗操作相關(guān)聯(lián)的第二側(cè)壁26b。
[0128]類似地，校準操作的上述類型可被執(zhí)行以捕捉第三部件側(cè)壁26c的第五校準圖像(例如，“純橙色”圖像)，其僅僅對應(yīng)于第三帶寬限制的照明，以圖6G中指出的方式；以及第三部件側(cè)壁26c的第六校準圖像(例如，“純橙色加上外來的藍色”圖像)，以圖6H中指出的方式。然后，例如，以上面指出的方式確定，第三補償因數(shù)，其可被應(yīng)用到捕捉的側(cè)壁圖像區(qū)域510c，其對應(yīng)于與波長分離的部件側(cè)壁檢驗操作相關(guān)聯(lián)的第三側(cè)壁26c。
[0129]最終，校準操作的上述類型可被執(zhí)行以捕捉第四部件側(cè)壁26d的第七校準圖像(例如，“純藍色”圖像)，其僅僅對應(yīng)于第四帶寬限制的照明，以圖61中指出的方式；以及第四部件側(cè)壁26d的第八校準圖像(例如，“純藍色加上外來的橙色”圖像)，以圖6J中指出的方式。然后，諸如，以上面指出的方式，確定第四補償因數(shù)，其可被應(yīng)用到捕捉的側(cè)壁圖像區(qū)域510d，其對應(yīng)于與波長分離的部件側(cè)壁檢驗操作相關(guān)聯(lián)的第四側(cè)壁26d。
[0130]相關(guān)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)認識到，前述校準操作中的一些可被組合，諸如通過在特定的時間選擇性地激活相鄰的側(cè)壁照明器200a，c/200b，d(或200a，d/200b，c)。相關(guān)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員還應(yīng)當(dāng)認識到，補償因數(shù)可被確定用于給定類型的部件20，并且可作為光學(xué)檢驗方法(例如，波長分離的部件檢驗方法)的一部分被存儲在存儲器、數(shù)據(jù)庫和/或數(shù)據(jù)存儲介質(zhì)中用于稍后檢索。適當(dāng)?shù)臋z驗方法可作為檢驗設(shè)置程序的一部分被檢索或裝載，以相關(guān)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員容易理解的方式。
[0131]如上面所指出的，除前述之外或作為前述的替代形式，在若干實施例中，各個相對的側(cè)壁照明器200a_d被配置成用于輸出具有相對于彼此不同的光中心波長或帶寬的側(cè)壁照明，而非相對的側(cè)壁照明器200a_d被配置成用于輸出具有相對于彼此相同的，本質(zhì)上相同的，或重疊的光中心波長或帶寬的側(cè)壁照明。因此，當(dāng)側(cè)壁照明器200a_d與每一個其它的側(cè)壁照明器200a-d同時被激活時，入射到相對的部件側(cè)壁26a、b，26c、d的側(cè)壁照明顯示不同的光中心波長或帶寬。因此，基于光波長或帶寬的數(shù)字鑒別或補償操作可再一次在單個捕捉的圖像上被執(zhí)行，該圖像包括清楚地表示和包含對應(yīng)于每個部件側(cè)壁26a_d的有用的信息的圖像數(shù)據(jù)，以便補償或本質(zhì)上消除與相對的側(cè)壁分束器210a、b，210c、d以及與它們各自的側(cè)壁照明器200a、b，200c、d相關(guān)聯(lián)的“光學(xué)串?dāng)_”。
[0132]圖6K是示出根據(jù)本公開另一個實施例的被配置成用于執(zhí)行光波長或帶寬分離的側(cè)壁檢驗過程或技術(shù)的光波長或帶寬分離的側(cè)壁檢驗裝置10的部分的示意性頂視圖。在這個實施例中，相對的側(cè)壁照明器200&、13，200(3、(1被配置成用于輸出具有不同的光中心波長或帶寬的側(cè)壁照明。朝相對的部件側(cè)壁26a、b，26c、d行進通過相對的側(cè)壁分束器210a、b，210c、d的側(cè)壁照明是具有不同的光中心頻率或波長的帶寬限制的光(例如，大體上窄的，窄的或非常窄的帶寬的光)。每個中心波長的帶寬可以環(huán)繞/圍繞中心波長大約30nm(或更少)。通過具有適當(dāng)?shù)牟ㄩL輸出的LED，和/或應(yīng)用到由側(cè)壁照明器200a-d產(chǎn)生的廣譜照明(例如，白色的/基本上白色的光)的波長過濾器可提供這種側(cè)壁照明。
[0133]在包括被配置成接收由四個對應(yīng)的側(cè)壁照明器200a_d輸出的側(cè)壁照明輸出的四個側(cè)壁分束器210a_d的代表性的實施方案中，相對的第一側(cè)壁照明器和第二側(cè)壁照明器200a，b被分別配置成用于直接地或本質(zhì)上直接地通過其傳遞，不重新定向，具有第一光中心波長λ I (例如，中心在大約7 O Onm處的紅色光)和第二光中心波長λ2 (例如，中心在大約450mm處的藍色光)的側(cè)壁照明；并且相對的第三側(cè)壁照明器和第四側(cè)壁照明器200c，d被分別配置成用于通過其傳遞，不重新定向，具有第一光中心波長λ?和第二光中心波長λ2的側(cè)壁照明。因此，朝相反的第一部件側(cè)壁和第二部件側(cè)壁26a，b分別通過第一側(cè)壁分束器和第二側(cè)壁分束器210a，b接收中心在第一光波長λ?和第二光波長λ2的入射的側(cè)壁照明；并且朝相反的第三部件側(cè)壁和第四部件側(cè)壁26c，d分別通過第三側(cè)壁分束器和第四側(cè)壁分束器210c，d接收中心在第一波長λ?和第二波長λ2的入射的側(cè)壁照明。
[0134]因此，每個部件側(cè)壁26a_d可同時地照明，使得朝相反的部件側(cè)壁26a、b，26c、d接收具有不同的可區(qū)別的光中心波長λ?和λ2的帶寬限制的光。相對于行進遠離部件20，并且行進出側(cè)壁檢驗區(qū)域30到側(cè)壁分束器210a-d的照明，任何給定的側(cè)壁分束器210a-d接收(a)在與入射到這些側(cè)壁26a_d相同的光中心波長λ?或λ2來自其對應(yīng)的側(cè)壁26a_d反射的側(cè)壁照明；以及(b)跨越側(cè)壁檢驗區(qū)域30傳播的非反射的外來照明，并且其具有與入射到其對應(yīng)的側(cè)壁26a-d不同的中心波長λ2或λ?。
[0135]在單個圖像捕捉操作期間，彩色圖像捕捉設(shè)備400可捕捉作為單個視圖的照明，每個側(cè)壁分束器210a-d已經(jīng)朝圖像捕捉分束器110重新定向該照明。圖像捕捉設(shè)備400對應(yīng)地產(chǎn)生單組圖像數(shù)據(jù)，其中落在或限定考慮中的任何給定的部件側(cè)壁26a_d的圖像空間表示的像素數(shù)據(jù)對應(yīng)于第一光中心波長和第二光中心波長λ?或λ2中的一個;并且落在考慮中的部件側(cè)壁26a-d的圖像空間界限之外的像素數(shù)據(jù)對應(yīng)于第一光中心波長和第二光中心波長λ2或λ?中的另一個。此外，落在或限定任何給定的一對或朝相反的部件側(cè)壁26a-d的圖像空間表示的像素數(shù)據(jù)對應(yīng)于不同的光中心波長，就是λ?或λ2。因此，表示第一部件側(cè)壁26a的像素數(shù)據(jù)包括對應(yīng)于第一光中心波長λ?的像素值，但是排除或本質(zhì)上排除對應(yīng)于第二光中心波長λ2的像素值;并且表示第二部件側(cè)壁26b的像素數(shù)據(jù)包括對應(yīng)于第二光中心波長λ2的像素值，但是排除對應(yīng)于第一光中心波長λ?的像素值。類似地，表示第三部件側(cè)壁26c的像素數(shù)據(jù)包括對應(yīng)于第一光中心波長λ?的像素值，但是排除或本質(zhì)上排除對應(yīng)于第二光中心波長λ2的像素值;并且表示第四部件側(cè)壁26d的像素數(shù)據(jù)包括對應(yīng)于第二光中心波長的像素值λ2，但是排除對應(yīng)于第一光中心波長λ?的像素值。
[0136]數(shù)字像素過濾或波長補償操作可被應(yīng)用到與自動的側(cè)壁檢驗過程相關(guān)聯(lián)或作為其一部分的單組圖像數(shù)據(jù)不同的部分內(nèi)的像素數(shù)據(jù)(例如，對應(yīng)于不同的區(qū)域或象限，其中側(cè)壁分束器210a_d駐留在真實的/物理的空間)，從而補償或有效地消除外來照明或“光學(xué)串?dāng)_”。這種數(shù)字像素過濾或波長補償操作可包括在單組圖像數(shù)據(jù)的每個不同部分上執(zhí)行的像素值減法運算，其中像素值表示存在的(或應(yīng)該/被預(yù)期存在的)特定的部件側(cè)壁26a-d，使得對于單組圖像數(shù)據(jù)的每一個這種部分，對應(yīng)于與每個部件側(cè)壁26a_d的周邊的側(cè)壁照明相關(guān)聯(lián)的一組光波長或光帶寬的像素值從其中被減去，從而有效地消除“光學(xué)串?dāng)_”的影響。如上面所陳述的，這種外來的照明或“光學(xué)串?dāng)_”由通過相對設(shè)置的側(cè)壁分束器210a、b，210c、d朝朝相反的部件側(cè)壁26a-d入射的側(cè)壁照明的同時傳遞引起，但是其不被其反射，而代替地行進完全地跨越側(cè)壁檢驗區(qū)域30。
[0137]相關(guān)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，基于光波長或帶寬的校準操作可被執(zhí)行用于裝置10，諸如圖6K中所示的(例如，如果期望或需要)，以類似于上面先前描述的方式。相關(guān)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員還應(yīng)當(dāng)理解，通過被配置成用于輸出具有不同的可區(qū)別的光中心波長或帶寬的照明的側(cè)壁照明器200a-d，以及/或者裝置10中的濾光器或涂層(例如，對應(yīng)于特定的側(cè)壁分束器210a_d的特定的濾光器或涂層)，同時的(a)供應(yīng)到多個部件側(cè)壁26a_d的入射的側(cè)壁照明，(b)從多個部件側(cè)壁26a-d反射的側(cè)壁照明的重新定向，以及/或者(c)反射的側(cè)壁照明以波長分開的/分離的/具體的方式(例如，在不同的可區(qū)別的光中心波長或帶寬)朝圖像捕捉設(shè)備400的傳播可發(fā)生。
[0138]附加的/另選的可選擇的部件定位和檢驗配置
[0139]在各種實施例中，部件固定器50可沿z軸在第二、上或僅僅前表面的檢驗位置附加地定位部件20，使得部件的側(cè)壁26a-d，并且可能整個部件20其自身駐留在一組側(cè)壁分束器210a-d的上方。因此，部件20相對于沿相對的側(cè)壁分束器210a、b，210c、d之間的橫向的光學(xué)路徑行進的光不是隔斷物。
[0140]更具體地，圖7A示出定位在僅僅底表面的檢驗位置的代表性部件，其中部件20被完全地設(shè)置在一組側(cè)壁分束器210a_d的上方。由明視野照明器100輸出的明視野照明可向上行進到部件的底表面24，并且被底表面24和由其運送的結(jié)構(gòu)28在向下的方向朝圖像捕捉分束器110反射，從而有利于對應(yīng)于部件的底表面24的圖像的捕捉。到達任何給定的側(cè)壁分束器210a-d的明視野照明朝相對的側(cè)壁分束器210a-d被其重新定向。因為部件20被設(shè)置在側(cè)壁分束器21 Oa-d的上方，部件側(cè)壁26a-d不被成像，如圖7A的伴隨圖像中所指出的，其包括對應(yīng)于與部件的前表面20相關(guān)聯(lián)的特征結(jié)構(gòu)的像素，但是其缺少對應(yīng)于部件的側(cè)壁26a-d的結(jié)構(gòu)方面的像素。
[0141]如圖7B中所指出的，部件固定器50可另外地或另選地在側(cè)壁檢驗位置(例如，側(cè)壁檢驗區(qū)域30內(nèi)的至少一個側(cè)壁檢驗位置)定位部件20，使得分別由明視野照明器100或暗視野照明器120輸出的明視野照明或暗視野照明可向上行進到部件的底表面24和由其運送的結(jié)構(gòu)28，并且在向下的方向朝圖像捕捉分束器110從其被反射，從而有利于對應(yīng)于部件的底表面24的圖像的捕捉。明視野照明或暗視野照明可附加地行進到側(cè)壁分束器210a-d，在其上，該明視野照明或暗視野照明朝部件的側(cè)壁26a-d沿行進路徑被重新定向。這種照明的一部分被部件的側(cè)壁26a-d朝側(cè)壁分束器210a-d反射回，其朝圖像捕捉分束器110在向下的方向重新定向這種照明，從而有利于部件側(cè)壁圖像的捕捉。圖7B中的代表性捕捉的圖像包括對應(yīng)于與部件的前表面20相關(guān)聯(lián)的結(jié)構(gòu)的像素，以及對應(yīng)于部件的側(cè)壁26a-d的結(jié)構(gòu)方面的像素。
[0142]最終，如圖7C中所指出的，當(dāng)在側(cè)壁檢驗位置時，在明視野照明器和暗視野照明器100，110非活性或關(guān)閉的情況下，側(cè)壁分束器200a-d中的一些或每一可被激活，使得部件側(cè)壁圖像可以本質(zhì)上與上述一個或多個方式相同的或類似的方式被捕捉，也如圖7C中的代表性的捕捉的圖像所指出的。
[0143]在各種實施例中，僅僅底表面的檢驗位置和側(cè)壁檢驗位置之間的垂直或z軸差別可被選擇或確定，使得對應(yīng)于當(dāng)部件駐留在僅僅底表面檢驗位置時所捕捉的部件的底表面24的焦點對準的圖像的總的光學(xué)路徑長度等于對應(yīng)于當(dāng)部件20駐留在側(cè)壁檢驗的位置時的部件的側(cè)壁26的焦點對準的圖像的光學(xué)路徑長度。例如，當(dāng)部件20駐留在僅僅底表面的檢驗位置時，部件20或前表面圖像平面410的底表面24和圖像捕捉分束器的反射平面112之間的垂直的或z軸光學(xué)路徑長度可被確立，使得其等于橫向光學(xué)路徑長度加上垂直的光學(xué)路徑長度，沿該路徑從部件側(cè)壁26a-d反射的光行進到達圖像捕捉分束器的反射平面112.。因此，無論部件20是否在僅僅底表面的檢驗位置或側(cè)壁檢驗位置被定位，不需要焦點對準或透鏡組件調(diào)整的變化，并且沒有時間或基本上/幾乎沒有時間被損失，因為為了在側(cè)壁檢驗位置定位部件20，在被插到側(cè)壁檢驗位置之前，部件20將必須到達或靠近僅僅底表面的檢驗位置。
[0144]除了前述之外，五個側(cè)面的合成圖像可被產(chǎn)生，從而有利于前表面和側(cè)壁檢驗。通過數(shù)字拼接操作，例如，通過將對應(yīng)于圖7A的中央(例如，底表面)圖像區(qū)域和對應(yīng)于一個或多個多側(cè)壁圖像的側(cè)壁圖像區(qū)域，或?qū)?yīng)于波長分離的圖像區(qū)域多側(cè)壁圖像的側(cè)壁圖像區(qū)域510a-d數(shù)字地拼接在一起，五個側(cè)面的合成圖像可被產(chǎn)生。代表性的五個側(cè)面的合成圖像在圖7D中被示出。
[0145]本公開的具體實施例的方面解決與可捕捉部件側(cè)壁的圖像的現(xiàn)有的光學(xué)檢驗系統(tǒng)相關(guān)聯(lián)的至少一個方面、問題、限制和/或缺點。雖然與某些實施例相關(guān)聯(lián)的特征、方面和/或優(yōu)點已經(jīng)在本公開中被描述，其它實施例也可顯示這些特征、方面和/或優(yōu)點，并且不是所有的實施例必須需要顯示這些特征、方面和/或優(yōu)點以屬于本公開的范圍。本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，上面公開的系統(tǒng)、部件、過程或其替代形式中的若干可被理想地組合進其它不同的系統(tǒng)、部件、過程和/或應(yīng)用。另外，本公開范圍內(nèi)的普通技術(shù)人員可對公開的各種實施例做出各種修改、改變和/或改進。
【主權(quán)項】
1.一種被配置成用于檢驗包括部件側(cè)壁的部件表面的裝置，所述裝置包括: 一組側(cè)壁照明器，其被配置成輸入側(cè)壁照明； 一組側(cè)壁分束器，其被配置成用于: (a)接收由所述的一組側(cè)壁照明器輸出的側(cè)壁照明； (b)通過所述的一組側(cè)壁分束器傳遞由所述的一組側(cè)壁照明器輸出的所述側(cè)壁照明，使得當(dāng)部件被定位在側(cè)壁檢驗位置的側(cè)壁檢驗區(qū)域內(nèi)時，至少一些側(cè)壁照明入射到部件側(cè)壁上，在所述側(cè)壁檢驗位置，所述部件側(cè)壁隔斷所述的一組側(cè)壁分束器內(nèi)的各個側(cè)壁分束器之間的至少一些光學(xué)路徑； (C)當(dāng)部件被定位在所述側(cè)壁檢驗位置時，接收從部件側(cè)壁反射的側(cè)壁照明；以及 (d)沿對應(yīng)于透鏡組件和圖像捕捉設(shè)備的光學(xué)路徑重新定向所述反射的側(cè)壁照明。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中所述的一組側(cè)壁照明器和所述的一組側(cè)壁分束器形成多側(cè)面檢驗裝置的部分，其被配置成用于捕捉部件底表面的圖像和/或部件側(cè)壁的圖像。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中所述的一組側(cè)壁照明器包括至少一對側(cè)壁照明器，其中兩個側(cè)壁照明器相對于所述側(cè)壁檢驗位置被相對于彼此相對地設(shè)置。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中所述的一組側(cè)壁分束器包括至少一對側(cè)壁分束器，其相對于通過所述側(cè)壁檢驗區(qū)域限定的軸線被相對地設(shè)置在所述側(cè)壁檢驗區(qū)域的不同側(cè)面上。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的裝置，其中所述至少一對相對設(shè)置的側(cè)壁分束器包括第一側(cè)壁分束器和第二側(cè)壁分束器，其中所述第一側(cè)壁分束器被配置成用于傳遞穿過其中的具有第一光波長或第一光帶寬的第一側(cè)壁照明，并且所述第二側(cè)壁分束器被配置成用于傳遞穿過其中的具有不同的第二光波長或第二光帶寬的第二側(cè)壁照明，其中所述第一側(cè)壁分束器被配置成用于接收和重新定向來自第一部件側(cè)壁的第一反射的側(cè)壁照明和通過所述第二側(cè)壁分束器傳遞的第二外來側(cè)壁照明中的每一個，所述第二側(cè)壁分束器已經(jīng)行進跨越所述側(cè)壁檢驗區(qū)域，并且其中所述第二側(cè)壁分束器被配置成用于接收和重新定向來自第二部件側(cè)壁的第二反射的側(cè)壁照明和通過所述第一側(cè)壁分束器傳遞的第一外來壁側(cè)壁照明中的每一個，所述第一側(cè)壁分束器已經(jīng)行進跨越所述側(cè)壁檢驗區(qū)域。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的裝置，其還包括: 圖像捕捉設(shè)備，其被配置成用于(a)在單個圖像捕捉操作中捕捉單個圖像，其包括對應(yīng)于所述第一反射的側(cè)壁照明和所述第二外來側(cè)壁照明的第一圖像區(qū)域，以及對應(yīng)于所述第二反射的側(cè)壁照明和所述第一外來側(cè)壁照明的第二圖像區(qū)域，并且(b)產(chǎn)生對應(yīng)于所述單個圖像的圖像數(shù)據(jù)；以及 處理單元，其被配置成用于處理所述圖像數(shù)據(jù)，使得對應(yīng)于所述第二外來側(cè)壁照明的像素值從對應(yīng)于所述第一圖像區(qū)域的圖像數(shù)據(jù)被數(shù)字過濾，并且對應(yīng)于所述第一外來側(cè)壁照明的像素值從對應(yīng)于所述第二圖像區(qū)域的圖像數(shù)據(jù)被數(shù)字過濾。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中所述的一組側(cè)壁照明器包括多個側(cè)壁照明器，其中(a)每個側(cè)壁照明器輸出相同的光學(xué)中心波長或帶寬的照明，或者(b)側(cè)壁照明器的第一子集輸出具有相對于由側(cè)壁照明器的第二子集輸出的照明不同的光學(xué)中心波長或帶寬的照明。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中所述的一組側(cè)壁照明器內(nèi)的側(cè)壁照明器的特定子集可被選擇性地激活，用于輸出側(cè)壁照明，而所述的一組側(cè)壁照明器內(nèi)的側(cè)壁照明器的其它子集保持非激活。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其還包括明視野照明器和/或暗視野照明器，其被配置成用于朝底表面或設(shè)置在所述側(cè)壁檢驗位置的部件的所述底表面和側(cè)壁選擇性地定向照明，其中所述部件側(cè)壁在所述底表面和所述部件底表面之間延伸。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的裝置，其還包括圖像捕捉分束器，其被配置成用于 (a)接收由所述明視野照明器輸出的照明，并且傳遞穿過其中的明視野照明； (b)接收從所述部件底表面和/或部件側(cè)壁反射的明視野和/或暗視野的照明； (C)接收已經(jīng)由所述的一組側(cè)壁分束器重新定向的從部件側(cè)壁反射的側(cè)壁照明；以及 (d)重新定向?qū)?yīng)于(b)和(C)的所接收的反射的照明沿光學(xué)路徑朝向透鏡組件。11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的裝置，其還包括被配置成接收由所述透鏡組件輸出的照明的圖像捕捉設(shè)備。12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的裝置，其中所述圖像捕捉設(shè)備包括單色圖像傳感器或彩色圖像傳感器。13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的裝置，其還包括部件固定器，所述部件固定器被配置成用于在所述側(cè)壁檢驗位置或僅僅底表面檢驗位置選擇性地定位部件，在所述位置，每個側(cè)壁分束器之間的光學(xué)路徑的部件隔斷被避免。14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的裝置，其中所述部件固定器被配置成用于選擇性地定位由此固定在所述側(cè)壁檢驗區(qū)域內(nèi)的多個側(cè)壁檢驗位置的部件，所述側(cè)壁檢驗位置包括第一側(cè)壁檢驗位置和第二側(cè)壁檢驗位置，在所述第一側(cè)壁檢驗位置，部件中心點被定位成比側(cè)壁分束器的不同的第二子集更靠近側(cè)壁分束器的第一子集，在所述第二側(cè)壁檢驗位置，所述部件中心點被定位成比側(cè)壁分束器的所述第一子集更靠近側(cè)壁分束器的所述第二子集。15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的裝置，其還包括控制單元，所述控制單元被配置成用于選擇性地控制所述的一組側(cè)壁照明器內(nèi)的側(cè)壁照明器的子集的激活，在所述檢驗區(qū)域內(nèi)的一個或多個檢驗位置定位所述部件，以及通過所述圖像傳感器的部件表面的一個或多個圖像的捕捉。16.一種用于部件檢驗的方法，其包括: 提供一組側(cè)壁照明器，所述照明器被配置成用于在一個或多個中心波長或波長范圍輸出側(cè)壁照明； 提供一組側(cè)壁分束器，所述側(cè)壁分束器被配置成用于接收由所述的一組側(cè)壁照明器輸出的側(cè)壁照明； 在第一側(cè)壁檢驗位置設(shè)置部件，使得部件側(cè)壁至少部分地隔斷所述的一組側(cè)壁分束器內(nèi)的各個側(cè)壁分束器之間至少一些光學(xué)路徑； 通過傳遞由穿過其中的所述的一組側(cè)壁分束器接收的側(cè)壁照明，朝部件側(cè)壁定向由所述的一組側(cè)壁照明器輸出的側(cè)壁照明； 當(dāng)所述部件駐留在所述第一側(cè)壁檢驗位置時，接收由在多個部件側(cè)壁的所述的一組側(cè)壁分束器輸出的側(cè)壁照明； 接收從在所述多個側(cè)壁分束器的所述多個部件側(cè)壁反射的側(cè)壁照明；以及 沿對應(yīng)于圖像捕捉設(shè)備的光學(xué)路徑重新定向由所述多個側(cè)壁分束器接收的反射的側(cè)壁照明。17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的方法，其還包括朝部件的側(cè)壁的第一子集選擇性地定向側(cè)壁照明，同時避免在第一圖像捕捉操作期間朝部件側(cè)壁的第二子集定向側(cè)壁照明。18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的方法，其還包括朝部件的側(cè)壁的第二子集選擇性地定向側(cè)壁照明，同時避免在第二圖像捕捉操作期間朝部件側(cè)壁的第一子集定向側(cè)壁照明。19.根據(jù)權(quán)利要求16所述的方法，其還包括: 捕捉第一圖像，所述第一圖像包括對應(yīng)于部件側(cè)壁的第一子集的像素區(qū)域；以及 捕捉第二圖像，所述第二圖像包括對應(yīng)于部件側(cè)壁的第二子集的像素區(qū)域。20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的方法，其還包括通過將對應(yīng)于部件側(cè)壁的所述第一子集的所述第一圖像的部分和對應(yīng)于部件側(cè)壁的所述第二子集的所述第二圖像的部分數(shù)字地拼接在一起，產(chǎn)生合成圖像。21.根據(jù)權(quán)利要求19所述的方法，其中當(dāng)所述部件被設(shè)置在所述的一組側(cè)壁分束器之間可限定的側(cè)壁檢驗區(qū)域內(nèi)的所述第一側(cè)壁檢驗位置時，捕捉所述第一圖像發(fā)生，并且當(dāng)所述部件被設(shè)置在所述側(cè)壁檢驗區(qū)域內(nèi)的不同的第二側(cè)壁檢驗位置時，捕捉所述第二圖像發(fā)生。22.根據(jù)權(quán)利要求21所述的方法，其中當(dāng)所述部件被設(shè)置在所述第一側(cè)壁檢驗位置時，所述部件的中心點更靠近側(cè)壁分束器的第一子集，并且當(dāng)所述部件被設(shè)置在所述第二側(cè)壁檢驗位置時，所述部件的所述中心點更靠近不同的第二組側(cè)壁分束器。23.根據(jù)權(quán)利要求16所述的方法，其中所述側(cè)壁照明包括第一側(cè)壁照明和第二側(cè)壁照明，并且所述反射的側(cè)壁照明包括第一反射的側(cè)壁照明和第二反射的側(cè)壁照明，并且其中所述第一側(cè)壁照明和所述第二側(cè)壁照明顯示不同的帶寬限制的光波長范圍，并且/或者所述第一反射的側(cè)壁照明和所述第二反射的側(cè)壁照明顯示不同的帶寬限制的光波長范圍。24.根據(jù)權(quán)利要求23所述的方法，其還包括捕捉作為單個視圖的圖像，所述圖像包括多個不同的像素區(qū)域，對應(yīng)于不同的部件側(cè)壁的每個像素區(qū)域，對應(yīng)于至少兩個不同帶寬限制的光學(xué)路徑范圍中的一個的每個像素區(qū)域。25.根據(jù)權(quán)利要求24所述的方法，其還包括在捕捉所述圖像之前執(zhí)行波長分離的校準程序，所述波長分離的校準程序確定至少一個校準因素，其可被施加到對應(yīng)于特定部件側(cè)壁的像素區(qū)域，從而在所述捕捉的圖像中有效地消除外來側(cè)壁照明的影響。26.根據(jù)權(quán)利要求16所述的方法，其還包括: 當(dāng)部件駐留在所述側(cè)壁檢驗位置時，捕捉包括對應(yīng)于至少兩個部件側(cè)壁的像素區(qū)域的至少一個圖像； 將所述部件移位到僅僅底表面的檢驗位置，在所述位置避免每個側(cè)壁分束器之間的光學(xué)路徑的部件隔斷； 當(dāng)所述部件駐留在所述僅僅底表面檢驗位置時，朝所述部件的底表面定向明視野照明和/或暗視野照明；以及 捕捉對應(yīng)于所述部件的所述底表面的圖像。27.—種用于檢驗具有多個側(cè)壁的部件的方法，所述側(cè)壁包括沿第一軸線面對相對于彼此的相對方向的第一部件側(cè)壁和第二部件側(cè)壁，所述方法包括: 在多個側(cè)壁分束器之間的側(cè)壁檢測區(qū)域內(nèi)的側(cè)壁檢驗位置定位所述部件，所述多個側(cè)壁分束器包括沿所述第一軸線被設(shè)置在所述側(cè)壁檢驗區(qū)域的相對側(cè)面上的第一側(cè)壁分束器和第二側(cè)壁分束器； 通過所述多個側(cè)壁分束器同時傳遞側(cè)壁照明，使得所述第一部件側(cè)壁和所述第二部件側(cè)壁在不同的光學(xué)中心波長或不同的光學(xué)帶寬分別接收其上的第一入射側(cè)壁照明和第二入射側(cè)壁照明； 在所述第一側(cè)壁分束器接收(a)在第一入射側(cè)壁照明到達其上或從其反射之后行進遠離所述第一部件側(cè)壁的第一反射的側(cè)壁照明，以及(b)已經(jīng)通過跨越所述側(cè)壁檢驗區(qū)域的所述第二側(cè)壁分束器傳遞的第二外來側(cè)壁照明；在所述第二側(cè)壁分速器接收(C)第二入射側(cè)壁照明到達其上以及從其反射之后的行進遠離所述第二部件側(cè)壁的第二反射的側(cè)壁照明，以及(d)已經(jīng)通過跨越所述側(cè)壁檢驗區(qū)域的所述第一側(cè)壁分束器傳遞的第一外來側(cè)壁照明； 朝圖像捕捉設(shè)備重新定向所述第一反射的側(cè)壁照明，所述第二外來側(cè)壁照明，所述第二反射的側(cè)壁照明，以及所述第一外來側(cè)壁照明中的每一個； 在單個圖像捕捉操作中捕捉作為單個圖像的所述第一反射的側(cè)壁照明和作為所述單個圖像的第一區(qū)域的所述第二外來側(cè)壁照明，以及作為所述單個圖像的第二區(qū)域的所述第二反射的側(cè)壁照明和所述第一外來側(cè)壁照明； 產(chǎn)生對應(yīng)于所述單個圖像的圖像數(shù)據(jù)；以及 處理所述圖像數(shù)據(jù)，從而數(shù)字過濾像素值，其對應(yīng)于來自所述單個圖像的所述第一區(qū)域的所述第二外來側(cè)壁照明，以及來自所述單個圖像的所述第二區(qū)域的所述第一外來側(cè)壁照明。
【文檔編號】G01B11/30GK106062509SQ201480063423
【公開日】2016年10月26日
【申請日】2014年11月20日
【發(fā)明人】阿曼努拉·阿杰亞拉里
【申請人】聯(lián)達科技設(shè)備私人有限公司