一種聲學(xué)掃描顯微鏡檢測系統(tǒng)分離式器件定位裝置的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型是一種聲學(xué)掃描顯微鏡檢測系統(tǒng)分離式器件定位裝置。該定位裝置包括一個(gè)底座(5)和成排地安裝在底座(5)上的樣品盒(2)，每個(gè)樣品盒(2)上加工有三個(gè)在水平方向構(gòu)成等邊三角形的螺紋通孔(10)，這三個(gè)螺紋通孔(10)與加工在底座(5)的上表面上的三個(gè)盲孔相對應(yīng)，在每一個(gè)盲孔內(nèi)安裝一個(gè)頂部帶V型槽的定位塊(4)，前端為半圓形的螺釘(3)穿過樣品盒(2)上的螺紋通孔(10)插裝在盲孔內(nèi)并夾裝在定位塊(4)的V型槽內(nèi)，旋轉(zhuǎn)三個(gè)螺釘(3)帶動(dòng)樣品盒(2)上下移動(dòng)來調(diào)整樣品盒(2)表面的水平，在樣品盒(2)的表面的硅膠防滑墊(1)上放置待檢的塑封電子元器件，該裝置可以有效解決塑封器件在聲學(xué)掃描檢測系統(tǒng)調(diào)節(jié)階段浸水性及檢測探頭快速移動(dòng)引起器件浮起、錯(cuò)位的問題。
【專利說明】
一種聲學(xué)掃描顯微鏡檢測系統(tǒng)分離式器件定位裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型是一種聲學(xué)掃描顯微鏡檢測系統(tǒng)分離式器件定位裝置，屬于產(chǎn)品的結(jié)構(gòu)技術(shù)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]塑料封裝是當(dāng)前電子元器件封裝的主要形式。塑封電子元器件質(zhì)量輕、體積小、成本低、制造工藝簡單，該種封裝形式的采用，使得電子元器件生產(chǎn)效率得到顯著提高。但塑料封裝的非氣密性會(huì)帶來潛在的可靠性問題，最常見的失效模式為封裝分層，封裝分層通常引起塑封電子元器件封裝體斷裂、芯片及引線框架材料的腐蝕、金屬化斷裂、鈍化層破損、焊球移動(dòng)或引線斷裂等失效。目前，通常使用聲學(xué)掃描顯微鏡檢測系統(tǒng)檢測塑封電子元器件封裝分層。
[0003]塑封電子元器件聲學(xué)掃描顯微鏡檢測通常在檢測媒介(例如:去離子水或酒精)中進(jìn)行，即器件需要全部浸入媒介放置于檢測平臺上進(jìn)行檢測。對于體積及質(zhì)量較小的器件，在檢測過程中由于探頭快速移動(dòng)，造成器件受力不均，出現(xiàn)器件浮起、錯(cuò)位等現(xiàn)象，影響檢測正常進(jìn)行；同時(shí)，當(dāng)一次檢測器件數(shù)量較多時(shí)，器件需在媒介中浸泡較長時(shí)間。由于塑封材料的浸水性，對于存在封裝分層的器件，隨著器件在媒介中浸泡的時(shí)間增長，聲學(xué)掃描顯微鏡檢測系統(tǒng)所能檢測出的分層面積逐漸減少，甚至不能完全檢測。目前，由于缺少合適的聲學(xué)掃描顯微鏡檢測定位裝置，通常將所有被檢器件同時(shí)放置于檢測媒介中，檢測結(jié)果的判斷主要依賴于檢測人員的經(jīng)驗(yàn)和主觀認(rèn)識，往往會(huì)存在一定偏差。因此，迫切需要為檢測人員提供一種適用于多種塑封電子元器件、可多自由度調(diào)節(jié)的操作性強(qiáng)、適應(yīng)性高、可重復(fù)利用的分離式聲學(xué)掃描檢測系統(tǒng)定位裝置。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]本實(shí)用新型正是針對上述現(xiàn)有裝置存在的不足而設(shè)計(jì)提供了一種聲學(xué)掃描顯微鏡檢測系統(tǒng)分離式器件定位裝置，其目的是能夠滿足同時(shí)對多種尺寸、多個(gè)塑封電子元器件進(jìn)行聲學(xué)掃描檢測。
[0005]本實(shí)用新型的目的是通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)的:
[0006]該種聲學(xué)掃描顯微鏡檢測系統(tǒng)分離式器件定位裝置，其特征在于:該定位裝置包括一個(gè)底座(5)和成排地安裝在底座(5)上的樣品盒(2)，每個(gè)樣品盒(2)上加工有三個(gè)用于水平調(diào)整的豎直的螺紋通孔(10)，這三個(gè)螺紋通孔(10)的位置在水平方向構(gòu)成一個(gè)等邊三角形，這三個(gè)螺紋通孔(10)與加工在底座(5)的上表面上的三個(gè)盲孔相對應(yīng)，在每一個(gè)盲孔內(nèi)安裝一個(gè)頂部帶V型槽的定位塊(4)，前端為半圓形的螺釘(3)穿過樣品盒(2)上的螺紋通孔(10)插裝在盲孔內(nèi)，螺釘(3)前端的半圓形球面夾裝在定位塊(4)的V型槽內(nèi)，三個(gè)螺釘
(3)在螺紋通孔(10)內(nèi)旋轉(zhuǎn)并帶動(dòng)樣品盒(2)上下移動(dòng)來調(diào)整樣品盒(2)表面的水平，在樣品盒(2)的表面設(shè)置一塊硅膠防滑墊(I)，在硅膠防滑墊(I)上放置待檢的塑封電子元器件；
[0007]在樣品盒(2)和底座(5)的中心處加工有一個(gè)上、下位置相對應(yīng)的凹槽，該凹槽內(nèi)設(shè)置有一個(gè)磁鐵塊(7)，每個(gè)磁鐵塊(7)的底部通過一個(gè)緊固螺栓(6)固定，上、下兩個(gè)磁鐵塊(7)吸合使樣品盒(2)能夠固定在底座(5)上。
[0008]本實(shí)用新型的有益效果是:
[0009]第一，檢測人員通過使用聲學(xué)掃描顯微鏡檢測系統(tǒng)分離式器件定位裝置，可滿足各種尺寸和質(zhì)量體積塑封電子元器件檢測，尤其對于小質(zhì)量體積的塑封電子元器件。硅膠防滑墊(I)可與各種尺寸塑封電子元器件緊密貼合固定，防止塑封電子元器件置于媒介中時(shí)移動(dòng)或浮起。硅膠防滑墊(I)可自由取放，且可重復(fù)使用。
[0010]第二，首次使用時(shí)，樣品盒(2)表面通過半圓形的螺釘(3)和帶V型槽的定位塊(4)調(diào)整水平，后續(xù)不再需要調(diào)平。對于大批量塑封電子元器件檢測，使用時(shí)可先將用于設(shè)置檢測參數(shù)的樣品盒(2)置于媒介，設(shè)置完成后再將其余放置塑封電子元器件的樣品盒(2)置于媒介，縮短塑封電子元器件在媒介中浸泡時(shí)間，可有效解決被檢塑封電子元器件媒介浸入問題。
[0011]第三，分離式聲學(xué)掃描檢測系統(tǒng)定位裝置硅膠防滑墊(I)的材料為硅膠，樣品盒
(2)和底座(5)采用有機(jī)玻璃，半圓形的螺釘(3)和定位塊(4)采用不銹鋼，緊固螺栓(6)和磁鐵塊(7)采用釹磁體，這些材料可重復(fù)使用，均不會(huì)與媒介發(fā)生反應(yīng)。
【附圖說明】
[0012]圖1是本實(shí)用新型裝置的立體結(jié)構(gòu)示意圖
[0013]圖2是本實(shí)用新型裝置的剖視圖
【具體實(shí)施方式】
[0014]以下將結(jié)合附圖和實(shí)施例對本實(shí)用新型裝置作進(jìn)一步地詳述:
[0015]參見附圖1?2所示，該種聲學(xué)掃描顯微鏡檢測系統(tǒng)分離式器件定位裝置，其特征在于:該定位裝置包括一個(gè)底座5和成排地安裝在底座5上的樣品盒2，每個(gè)樣品盒2上加工有三個(gè)用于水平調(diào)整的豎直的螺紋通孔10，這三個(gè)螺紋通孔10的位置在水平方向構(gòu)成一個(gè)等邊三角形，這三個(gè)螺紋通孔10與加工在底座5的上表面上的三個(gè)盲孔相對應(yīng)，在每一個(gè)盲孔內(nèi)安裝一個(gè)頂部帶V型槽的定位塊4，前端為半圓形的螺釘3穿過樣品盒2上的螺紋通孔10插裝在盲孔內(nèi)，螺釘3前端的半圓形球面夾裝在定位塊4的V型槽內(nèi)，三個(gè)螺釘3在螺紋通孔10內(nèi)旋轉(zhuǎn)并帶動(dòng)樣品盒2上下移動(dòng)來調(diào)整樣品盒2表面的水平，在樣品盒2的表面設(shè)置一塊硅膠防滑墊I，在硅膠防滑墊I上放置待檢的塑封電子元器件；
[0016]在樣品盒2和底座5的中心處加工有一個(gè)上、下位置相對應(yīng)的凹槽，該凹槽內(nèi)設(shè)置有一個(gè)磁鐵塊7，每個(gè)磁鐵塊7的底部通過一個(gè)緊固螺栓6固定，上、下兩個(gè)磁鐵塊7吸合使樣品盒2能夠固定在底座5上。
[0017]該裝置中，硅膠防滑墊I可自由取放，其上表面固定被檢塑封電子元器件，保證被檢器件浸入媒介后在檢測過程中不會(huì)移動(dòng)或浮起，底面粘接于樣品盒2上表面，可自由取放和重復(fù)使用；半圓形的螺釘3通過螺紋通孔10固定在樣品盒2上;頂部帶V型槽的定位塊4安裝在底座5表面的三個(gè)盲孔中；樣品盒2通過半圓形的螺釘3和頂部帶V型槽的定位塊4與底座5連接;半圓形的螺釘3和頂部帶V型槽的定位塊4組成運(yùn)動(dòng)耦合裝置，采用三點(diǎn)定位法則，通過調(diào)節(jié)半圓形的螺釘3保證樣品盒2定位精度，且精度首次調(diào)節(jié)后可重復(fù)使用;樣品盒2和底座5的中心處上、下位置相對應(yīng)磁鐵塊7底部通過一個(gè)緊固螺栓6固定，使用時(shí)上、下兩個(gè)磁鐵塊7吸合使樣品盒2能夠固定在底座5上，保證樣品盒2在檢測過程中保持穩(wěn)定;每個(gè)樣品盒2之間相互獨(dú)立，可自由取放，即檢測時(shí)將樣品盒2固定于底座上，檢測完成之后可將樣品盒2取出，解決被檢塑封電子元器件媒介浸入問題。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種聲學(xué)掃描顯微鏡檢測系統(tǒng)分離式器件定位裝置，其特征在于:該定位裝置包括一個(gè)底座(5)和成排地安裝在底座(5)上的樣品盒(2)，每個(gè)樣品盒(2)上加工有三個(gè)用于水平調(diào)整的豎直的螺紋通孔(10)，這三個(gè)螺紋通孔(10)的位置在水平方向構(gòu)成一個(gè)等邊三角形，這三個(gè)螺紋通孔(10)與加工在底座(5)的上表面上的三個(gè)盲孔相對應(yīng)，在每一個(gè)盲孔內(nèi)安裝一個(gè)頂部帶V型槽的定位塊(4)，前端為半圓形的螺釘(3)穿過樣品盒(2)上的螺紋通孔(10)插裝在盲孔內(nèi)，螺釘(3)前端的半圓形球面夾裝在定位塊(4)的V型槽內(nèi)，三個(gè)螺釘(3)在螺紋通孔(10)內(nèi)旋轉(zhuǎn)并帶動(dòng)樣品盒(2)上下移動(dòng)來調(diào)整樣品盒(2)表面的水平，在樣品盒(2)的表面設(shè)置一塊硅膠防滑墊(I)，在硅膠防滑墊(I)上放置待檢的塑封電子元器件；在樣品盒(2)和底座(5)的中心處加工有一個(gè)上、下位置相對應(yīng)的凹槽，該凹槽內(nèi)設(shè)置有一個(gè)磁鐵塊(7)，每個(gè)磁鐵塊(7)的底部通過一個(gè)緊固螺栓(6)固定，上、下兩個(gè)磁鐵塊(7)吸合使樣品盒(2)能夠固定在底座(5)上。
【文檔編號】G01N29/26GK205506764SQ201521133694
【公開日】2016年8月24日
【申請日】2015年12月30日
【發(fā)明人】梁媛, 蔡良續(xù), 盧曉青, 楊洋, 李鵬, 路浩天
【申請人】中國航空綜合技術(shù)研究所