專利名稱：射頻發(fā)生器的離線檢測裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及對射頻發(fā)生器進行檢測的裝置。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體薄膜淀積工藝中，常常需要使用射頻發(fā)生器。在物理氣相沉積(PVD)中，
采用射頻發(fā)生器，通過匹配電路，對陰極靶材施加高/中頻電壓，用以使所生長的材料由固
體轉(zhuǎn)化為氣體，所生長材料的蒸汽經(jīng)過一個低壓區(qū)域，在襯底表面上凝結(jié)，形成薄膜。而在
等離子體化學(xué)氣相沉積(CVD)中，射頻發(fā)生器提供高/中頻電壓，用以使電離的混合氣體加
速，創(chuàng)造等離子體氣體環(huán)境。申請?zhí)枮?2105328. 6、名稱為"降低對電纜長度的敏感性的射
頻功率發(fā)生器的控制器"的中國專利申請中就公開了一種射頻功率發(fā)生器，該射頻功率發(fā)
生器與負載相連接，產(chǎn)生一個正向功率反饋信號以及一個反向功率反饋信號。 在半導(dǎo)體薄膜淀積工藝中，大多數(shù)射頻發(fā)生器只有在正常運作時，可以通過微處
理器在線地對其狀態(tài)或參數(shù)進行監(jiān)控，例如，檢測輸出功率是否正常等。然而，當(dāng)射頻發(fā)生
器處于離線狀態(tài)下，例如說，出現(xiàn)故障或者需要校準(zhǔn)時，很難對射頻發(fā)生器進行監(jiān)測，更無
從校準(zhǔn)。盡管有的射頻發(fā)生器上具有可輸出信號的接口，但是由于接口類型和外型的限制，
測量極為不方便， 一種現(xiàn)有技術(shù)通過導(dǎo)線將可輸出信號引出進行測量，但此種方式對于多
次測量而言，存在較多困難。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的問題是提供一種可對處于離線狀態(tài)下的射頻發(fā)生器方便地、多次 進行及時檢測的裝置。 基于上述目的，本發(fā)明提供了一種射頻發(fā)生器的離線檢測裝置，包括接口件，用 于連接待測射頻發(fā)生器并提供信號的傳輸通道；控制單元，耦接于所述接口件，用于產(chǎn)生控 制待測射頻發(fā)生器的工作狀態(tài)及其輸出的信號的控制信號。 可選的，所述控制單元包括開關(guān)單元，用于控制所述待測射頻發(fā)生器高頻部分開 始工作或者停止工作；控制電壓單元，用于根據(jù)所述工作電壓，獲得多等級的控制電壓；分 級控制單元，用于從所述控制電壓單元獲得的多等級的控制電壓中進行選擇，根據(jù)選擇結(jié) 果產(chǎn)生控制信號的分級信號。 可選的，所述控制單元還包括校正單元，用于校正所述選擇結(jié)果對應(yīng)的分級信號。
可選的，所述校正開關(guān)包括測試單元，用于測試所述分級信號的實際值；調(diào)整單 元，耦接于所述分級控制單元，用于根據(jù)所述測試單元的結(jié)果，調(diào)節(jié)所述分級信號的實際 值，將其調(diào)節(jié)至預(yù)定值。 可選的，所述校正開關(guān)包括測試單元，用于測試所述分級信號的實際值；調(diào)整單 元，耦接于所述控制電壓單元，用于根據(jù)所述選擇結(jié)果調(diào)整控制電壓，以將所述分級信號的 實際值調(diào)節(jié)至預(yù)定值。 可選的，所述分級控制單元包括分級旋鈕開關(guān)，用于選擇控制電壓的等級。
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可選的，所述控制單元還包括用于接收電源信號，提供所述離線檢測裝置各單元 工作的工作電壓。 可選的，所述電壓處理單元耦接于所述接口件，所述電源信號由所述待測射頻發(fā) 生器提供。 可選的，所述電壓處理單元，還包括電源信號單元，用于接收電源信號，提供所述 離線檢測裝置各單元工作的工作電壓；電路保護單元，耦接于所述電源信號單元，用于避免 所述離線檢測裝置由于過流現(xiàn)象而產(chǎn)生損壞。 可選的，所述離線檢測裝置還包括測量接口件，耦接于所述接口件，用于提供待 測射頻發(fā)生器輸出信號的測量通道。 可選的，所述輸出信號包括正向輸出信號和反饋輸出信號。 可選的，所述測量接口件包括正向測量接口，用于提供正向輸出信號的測量通 道；反饋測量接口，用于提供反饋輸出信號的測量通道。
可選的，所述接口件包括9針的D型超小型接口 。 可選的，所述離線檢測裝置還可包括顯示單元，用于與所述測量接口件相連接， 顯示所述測量接口件的輸出結(jié)果。 相較于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明提供可連接至射頻發(fā)生器的用戶端口的接口件，以及產(chǎn) 生控制信號的控制單元，所述控制信號可以通過接口件傳輸至射頻發(fā)生器，實現(xiàn)對射頻發(fā) 生器工作狀態(tài)以及所輸出的信號的控制。因此，在本發(fā)明的輔助下，可以在離線狀態(tài)下對射 頻發(fā)生器進行檢測和校準(zhǔn)，不僅可以掌握射頻發(fā)生器是否正常工作，而且可以對其輸出進 行校準(zhǔn)。 另外，本發(fā)明利用待測射頻發(fā)生器自身的用戶端口進行工作，有效地利用了待測 射頻發(fā)生器的輔助電壓，并且也可方便地多次對射頻發(fā)生器進行檢測，操作簡便。


圖1是本發(fā)明射頻發(fā)生器的離線檢測裝置實施方式的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2是本發(fā)明射頻發(fā)生器的離線檢測裝置具體實施方式
的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖3是圖2中電壓處理單元的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖4是圖2中控制單元的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖5是圖4中校正單元的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖6是本發(fā)明射頻發(fā)生器的離線檢測裝置另一種實施方式的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖7是本發(fā)明射頻發(fā)生器的離線檢測裝置又一種實施方式的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖8是本發(fā)明射頻發(fā)生器的離線檢測裝置具體實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式
本發(fā)明的實施方式提供了一種射頻發(fā)生器的離線檢測裝置，可提供檢測射頻發(fā)生 器所需的控制信號，以控制所述射頻發(fā)生器的穩(wěn)定輸出，可實現(xiàn)方便地對射頻發(fā)生器反復(fù) 進行檢測，操作簡便；并且，離線檢測裝置還可提供待測射頻發(fā)生器正向輸出信號和反饋輸 出信號的測量通道；此外，本發(fā)明射頻發(fā)生器的離線檢測裝置利用射頻發(fā)生器自身的輔助 電壓，不需要額外的外部電源，實施簡單。
下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明的具體實施方式
作詳細地說明。
參考圖l，本發(fā)明實施方式提供一種射頻發(fā)生器的離線檢測裝置，包括接口件
Dl，用于連接待測射頻發(fā)生器并提供信號的傳輸通道；控制單元D2，耦接于所述接口件Dl，
用于產(chǎn)生控制待測射頻發(fā)生器的工作狀態(tài)及其輸出的信號的控制信號。 在本發(fā)明的另一種射頻發(fā)生器離線檢測裝置的實施方式中，參考圖2，可包括 接口件201，用于連接待測射頻發(fā)生器并傳輸信號。 具體地來說，所述接口件201可為與待測射頻發(fā)生器的用戶端口相匹配的接口，
用于與待測射頻發(fā)生器相連接，并傳輸與待測射頻發(fā)生器之間通信的信號。 電壓處理單元202，耦接于所述接口件201，用于接收電源信號，提供使離線檢測
裝置正常工作的穩(wěn)定電壓。 參考圖3，所述電壓處理單元202可包括電源信號單元300，耦接于所述接口件 201 ，用于接收電源信號，提供所述離線檢測裝置各單元工作的工作電壓。進一步地，所述電 壓處理單元202還可包括電路保護單元301 ，耦接于電源信號單元300，用于避免所述離線 檢測裝置由于過流現(xiàn)象而產(chǎn)生損壞。具體地，所述電源信號可由待測射頻發(fā)生器提供，這樣 在檢測操作中，不必額外提供所述離線檢測裝置的外部電源，從而使檢測操作更加方便。所 述電路保護單元301可為分壓電阻。 控制單元203，用于產(chǎn)生檢測待測射頻發(fā)生器的控制信號。其中，所述控制信號可 包括用于控制所述待測射頻發(fā)生器開始工作的開啟信號或者控制所述待測射頻發(fā)生器停 止工作的關(guān)閉信號，以及用于控制所述待測射頻發(fā)生器輸出功率或電壓的分級信號。在檢 測過程中，控制單元203將所述控制信號通過接口件201發(fā)送至待測射頻發(fā)生器，控制待測 射頻發(fā)生器，以進行檢測。 具體地來說，參考圖4，所述控制單元203可進一步包括開關(guān)單元400 ，用于控制該 待測射頻發(fā)生器高頻部分開始工作或者停止工作。其中，所述開關(guān)單元400可包括開關(guān)按 鈕和開關(guān)電路，其中開關(guān)按鈕包括開啟和關(guān)閉兩種狀態(tài)。當(dāng)開關(guān)按鈕處于開啟狀態(tài)時，開關(guān) 電路通過接口件向所述待測射頻發(fā)生器發(fā)送開啟信號，使待測射頻發(fā)生器的高頻部分開始 工作，所述待測射頻發(fā)生器通過所述接口件向所述離線檢測裝置傳輸信號；當(dāng)開關(guān)按鈕處 于關(guān)閉狀態(tài)時，開關(guān)電路通過接口件向所述待測射頻發(fā)生器發(fā)送關(guān)閉信號，使待測射頻發(fā) 生器的高頻部分停止工作，并停止通過所述接口件向所述待測射頻發(fā)生器傳輸信號。
所述控制單元203還可包括控制電壓單元401，用于根據(jù)來自電壓處理單元202 的工作電壓，獲得多等級的控制電壓Vc ;分級控制單元402，所述分級控制單元402用于從 多等級的控制電壓中進行選擇，根據(jù)選擇結(jié)果產(chǎn)生作為控制信號的分級信號。在檢測過程 中，分級控制單元402將所述分級信號通過接口件201發(fā)送至所述待測射頻發(fā)射器。所述 分級信號為基于所選擇的不同等級控制電壓的不同等級控制信號，用于控制所述待測射頻 發(fā)生器的輸出功率或電壓。 檢測所述待測射頻發(fā)生器的輸出是否穩(wěn)定，通常，只需要檢測在一定范圍的功率 內(nèi)，待測射頻發(fā)生器是否可以保持穩(wěn)定輸出。 一般地，可采用線性測試的方法，即將待測射 頻發(fā)生器在一定范圍內(nèi)的輸出信號可近似地以若干個等級的線性輸出的組合來代替，通過 檢測待測射頻發(fā)生器的輸出信號是否可跟隨其控制信號的線性變化進行線性穩(wěn)定輸出，進 而檢測該待測射頻發(fā)生器是否可以穩(wěn)定輸出。因此，具體來說，控制電壓單元401所輸出的
5控制電壓被劃分為若干個等間距的等級，分級控制單元402選擇不同等級的控制電壓，根 據(jù)所述選擇結(jié)果，產(chǎn)生分級信號，并將所述分級信號發(fā)送至所述待測射頻發(fā)生器，使所述待 測射頻發(fā)生器輸出與所述分級信號相對應(yīng)的功率信號。在具體實施中，可包括產(chǎn)生控制電
壓，然后以控制電壓的10%為間隔，將控制電壓劃分為十個等級，分級控制單元402選擇不 同等級的控制電壓，基于所選擇的控制電壓，產(chǎn)生分級信號，并將所述分級信號發(fā)送至所述 待測射頻發(fā)生器，使待測射頻發(fā)生器輸出不同的功率。 其中，具體來說，控制電壓單元401可為電位器；分級控制單元402可包括分級旋 鈕開關(guān)，用于選擇指定等級的控制電壓，作為分級信號。 控制單元203還可包括校正單元403，用于校正所述選擇結(jié)果對應(yīng)的分級信號?？?制電壓單元401將所述控制電壓分為若干等級，分級控制單元402從所獲得的多等級控制 電壓中進行選擇，并根據(jù)選擇結(jié)果產(chǎn)生指定等級的分級信號，但隨著使用時間的增加，每個 所述分級信號的實際輸出值可能會較其預(yù)定值有所偏離。所述校正單元403正是用于校正 分級信號可能存在的偏離值。參考圖5，所述校正單元403可包括測試單元501和調(diào)整單 元502。在具體實施例中，所述測試單元501，用于測試所述分級信號的實際值；所述調(diào)整單 元502，耦接于所述分級控制單元，用于根據(jù)所述測試單元501的結(jié)果，調(diào)節(jié)所述分級信號 的實際值，將其調(diào)節(jié)至預(yù)定值。在其它的實施例中，所述調(diào)整單元502可與所述控制電壓單 元401相連，并通過調(diào)節(jié)控制電壓的偏離值，使所述分級控制單元402選擇不同等級時，分 級信號的實際輸出值與其預(yù)定值相符。 舉個例子，分級信號為電壓信號，當(dāng)分級控制單元402處于等級4時，分級信號對 應(yīng)于4伏的電壓值，也就是說在正常工作情況下，所述離線檢測裝置應(yīng)該對應(yīng)地向所述待 測射頻檢測裝置輸出4伏電壓。接下來，測試單元501對所述離線檢測裝置向所述待測射 頻檢測裝置輸出的電壓值進行檢測，若檢測結(jié)果為4伏，則表明分級控制單元中等級4所對 應(yīng)的分級信號工作正常；若檢測結(jié)果低于或者高于4伏，則可通過調(diào)節(jié)所述調(diào)整單元502進 行調(diào)整。 在一種具體實施例中，控制電壓單元401包括轉(zhuǎn)柄式電位器，分級控制單元402包 括旋鈕式波段開關(guān)，調(diào)整單元502可包括轉(zhuǎn)柄式電位器的轉(zhuǎn)柄。將所接收的工作電壓經(jīng)過 轉(zhuǎn)柄式電位器進行分壓，根據(jù)旋鈕式波段開關(guān)的等級，選擇對應(yīng)的控制電壓，并輸出對應(yīng)的 分級信號。當(dāng)所輸出的分級信號與預(yù)定值有偏差時，通過轉(zhuǎn)柄調(diào)節(jié)旋鈕式波段開關(guān)該等級 在電位器中所對應(yīng)的阻值，使得所對應(yīng)的分級信號為預(yù)定值。 所述調(diào)整單元502還可包括與所述轉(zhuǎn)柄式電位器相連的螺絲。當(dāng)所述旋鈕式波段 開關(guān)位于每個等級位置時，在所對應(yīng)的控制電壓都為預(yù)定值的情況下，采用螺絲對設(shè)定好 的轉(zhuǎn)柄式電位器進行鎖定，從而保證了校正之后，當(dāng)所述旋鈕式波段開關(guān)位于每個等級位 置時，都對應(yīng)穩(wěn)定、準(zhǔn)確的控制電壓值。 參考圖6，本發(fā)明離線檢測裝置的其它實施方式中，還可包括測量接口件603，耦 接于所述接口件D1，用于提供所述待測射頻發(fā)生器輸出信號的測量通道。其中，所述輸出信 號包括正向輸出信號和反饋輸出信號。 待測射頻發(fā)生器的輸出信號通過接口件傳輸至所述離線檢測裝置，測量接口件 603提供了所述輸出信號的測量通道。根據(jù)測量得到的所述正向輸出信號以及反饋輸出信 號的大小，可通過所述反饋輸出信號值占所述正向輸出信號值的比例，判斷所述待測射頻
6發(fā)生器的輸出狀態(tài)。如果反饋輸出信號小于正向輸出信號的1 % ，則該待測射頻發(fā)生器輸出 正常，如果反饋輸出信號過大，例如大于正向輸出信號的功率的50%，也就是說該待測射頻 發(fā)生器的大部分正向輸出信號都被反饋回來，而沒有消耗在負載上，說明該待測射頻發(fā)生 器的輸出存在問題。 在具體的實施方式中，待測射頻發(fā)生器將輸出的功率信號轉(zhuǎn)化為對應(yīng)的電壓信 號，通過接口件D1輸出至所述離線檢測裝置。所述測量接口件603可包括正向測量接口，用 于提供正向輸出信號的測量通道，以及反饋測量接口，用于提供反饋輸出信號的測量通道。 一般地，所述正向輸出信號與所述反饋輸出信號都為兩路信號。其中，所述正向輸出信號兩 路信號中，一路為正向輸出信號，一路為參考信號，即為所述正向輸出信號提供一個公共參 考電位；所述反饋輸出信號的兩路信號中，一路為反饋輸出信號，一路為參考信號，即為所 述反饋輸出信號提供一個公共參考電位。 參考圖7，在本發(fā)明的其它實施方式中，所述離線檢測裝置除了包括接口件D1、控 制單元D2、測量接口件D3之外，還可包括顯示單元D4，用于與所述測量接口件D3相連接， 顯示所述測量接口件D3的輸出結(jié)果。具體地來說，所述顯示單元D4可包括顯示電路和顯 示屏。當(dāng)通過所述接口件，接收到來自待測射頻發(fā)生器的所述正向輸出信號和所述反饋輸 出信號之后，控制單元D2將正向輸出信號和反饋輸出信號通過所述顯示電路在所述顯示 屏上顯示出來，還可以實現(xiàn)對所述正向輸出信號以及反饋輸出信號大小的比較，并顯示比 較結(jié)果。 下面以射頻發(fā)生器PDX1400為例，進一步介紹本發(fā)明離線檢測裝置具體實施例的 工作過程。PDX1400常用于PVD或CVD過程中，用以輸出范圍在235KHz到375KHz之間的頻率。 參考圖8，以射頻發(fā)生器PDX1400為例，采用本發(fā)明離線檢測裝置的具體實施例對 其進行離線檢測。 首先，待測的射頻發(fā)生器PDX1400通電，并與負載730相連接。PDX1400機身上包括 一個用戶端口 720，提供輔助電源信號，以及PDX1400的正向輸出信號和反饋輸出信號，將 此用戶端口與本實施例離線檢測裝置的接口 701相連，接口 701可為與PDX1400的用戶接 口 720所匹配的9針的D型超小型接口 。本實施例離線檢測裝置通過接口 701從PDX1400 所接收到的電源信號為使所述離線檢測裝置工作的直流電壓。所述直流電壓經(jīng)過控制電壓 單元702，產(chǎn)生所述待測射頻發(fā)生器的控制電壓。 PDX1400的前面板上具有顯示屏721，通過顯示電路722與用戶端口 720相連接， 可顯示是否開始進行射頻輸出以及輸出功率大小。打開離線檢測裝置上的開關(guān)703，開關(guān) 電路704通過接口 701向PDX1400發(fā)送開啟信號，使PDX1400的高頻部分723開始工作，并 通過接口 701向所述離線檢測裝置傳輸信號。如果PDX1400顯示屏721上無顯示，則說明 PDX1400的供電出現(xiàn)問題；如果PDX1400顯示屏721有顯示，則繼續(xù)檢測。
接下來，通過調(diào)節(jié)分級控制單元705選擇不同等級的控制電壓，作為分級信號，并 將所述分級信號通過接口 701傳輸至待測射頻發(fā)生器PDX1400，對其輸出功率進行調(diào)節(jié)。通 過PDX1400面板上的顯示屏721觀察當(dāng)前輸出信號的功率值與所設(shè)定的分級對應(yīng)的輸出信 號的功率值，兩者一致表明輸出正常，反之則不能穩(wěn)定輸出。例如，當(dāng)分級控制單元705位 于2V的位置時，表示此時的控制電壓應(yīng)為2V，對應(yīng)PDX1400的輸出功率應(yīng)為280W，若面板顯示屏中顯示數(shù)據(jù)與此相同，則表明輸出正常。 控制電壓單元702將所述的控制電壓，分為十個等距分布的等級，比如具有1級至 10級這樣的十個等級，所述分級控制單元705選擇對應(yīng)的等級，分別對應(yīng)得到控制電壓為1 伏、2伏、3伏、4伏、5伏、6伏、7伏、8伏、9伏和10伏，所述分級控制單元705將所得到的控 制電壓作為分級信號，并通過接口件輸出至PDX1400。當(dāng)分級信號呈線性變化時，如果待測 射頻發(fā)生器的輸出功率也隨之線性變化，也就是說，所述待測射頻發(fā)生器的輸出功率隨分 級信號的線性增加呈線性增加，或者輸出功率隨分級信號的線性減小呈線性減小，也就表 明，待測射頻發(fā)生器的線性輸出正常，則繼續(xù)進行檢測。如果待測射頻發(fā)生器的輸出功率不 隨控制電壓的線性變化而線性變化時，首先通過校正單元706確認所述分級控制單元705 各等級分級信號所對應(yīng)的控制電壓是否與設(shè)定值一致，如果有偏離，將其調(diào)整為預(yù)定值，然 后重新測試。如果待測射頻發(fā)生器的輸出功率仍然不隨分級信號的線性變化而線性變化， 則說明該待測的射頻發(fā)生器將不能穩(wěn)定輸出。 接下來，在該待測射頻發(fā)生器的線性輸出正常的情況下，進行一個半小時老化測 試之后，通過測試端口 707檢測該待測的射頻發(fā)生器正向輸出信號以及反饋輸出信號。由 于PDX1400自身具有顯示屏，因此可通過PDX1400自身的顯示屏721顯示PDX1400的輸出 信號，以監(jiān)測所述正向輸出信號的功率以及反饋輸出信號的功率是否正常；而當(dāng)待測射頻 發(fā)生器自身不具有顯示屏?xí)r，或者當(dāng)射頻發(fā)生器自身的顯示屏出現(xiàn)問題時，可采用萬用表 等外接檢測裝置708與測試端口 707相連接，測量PDX1400的輸出信號，或者通過測試端口 707外接顯示單元709，監(jiān)控PDX1400的輸出狀態(tài)。在PDX1400輸出正常的情況下，顯示結(jié) 果應(yīng)該與通過測試端口 707所得到的測量結(jié)果一致。 如果反饋輸出信號的功率接近于零，或者小于正向輸出信號的1%，則該待測射頻 發(fā)生器輸出正常，如果反饋輸出信號的功率很大，甚至大于或接近于正向輸出信號的功率 的50%，也就是說該待測射頻發(fā)生器的大部分正向輸出信號都被反饋回來，而沒有消耗在 負載730上，在負載730工作良好的情況下，說明該待測射頻發(fā)生器的輸出存在問題。
上述實施方式提供了一種射頻發(fā)生器的離線檢測裝置，提供產(chǎn)生控制信號的控制 單元以及連接射頻發(fā)生器、作為控制信號傳輸通道的接口件，實現(xiàn)對射頻發(fā)生器工作狀態(tài) 及其輸出的信號的控制。本發(fā)明實施方式可在離線狀態(tài)下，檢測射頻發(fā)生器是否正常工作， 并且還可以檢測其正向輸出信號和反饋輸出信號，操作方便。另外，本發(fā)明實施方式提供的 離線檢測裝置利用射頻發(fā)生器自身的用戶端口 ， 一方面可以獲得使離線檢測裝置工作的電 壓，不需要額外的外部電源，實施簡單，另一方面本發(fā)明的實施方式便于連接和拆卸，可方 便地對所述待測射頻發(fā)生器的輸出信號進行多次測量，從而對待測射頻發(fā)生器的輸出狀態(tài) 進行檢測和控制。 雖然本發(fā)明已通過較佳實施例說明如上，但這些較佳實施例并非用以限定本發(fā) 明。本領(lǐng)域的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，應(yīng)有能力對該較佳實施例做出各 種改正和補充，因此，本發(fā)明的保護范圍以權(quán)利要求書的范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
一種射頻發(fā)生器的離線檢測裝置，其特征在于，包括接口件，用于連接待測射頻發(fā)生器并提供信號的傳輸通道；控制單元，耦接于所述接口件，用于產(chǎn)生控制待測射頻發(fā)生器的工作狀態(tài)及其輸出的信號的控制信號。
2. 如權(quán)利要求1所述的離線檢測裝置，其特征在于，所述控制單元包括 開關(guān)單元，用于控制所述待測射頻發(fā)生器高頻部分開始工作或者停止工作； 控制電壓單元，用于根據(jù)所述工作電壓，獲得多等級的控制電壓；分級控制單元，用于從所述控制電壓單元獲得的多等級的控制電壓中進行選擇，根據(jù) 選擇結(jié)果產(chǎn)生控制信號的分級信號。
3. 如權(quán)利要求2所述的離線檢測裝置，其特征在于，所述控制單元還包括 校正單元，用于校正所述選擇結(jié)果對應(yīng)的分級信號。
4. 如權(quán)利要求3所述的離線檢測裝置，其特征在于，所述校正單元包括 測試單元，用于測試所述分級信號的實際值；調(diào)整單元，耦接于所述分級控制單元，用于根據(jù)所述選擇結(jié)果調(diào)節(jié)所述分級信號的實 際值，將其調(diào)節(jié)至預(yù)定值。
5. 如權(quán)利要求3所述的離線檢測裝置，其特征在于，所述校正單元包括 測試單元，用于測試所述分級信號的實際值；調(diào)整單元，耦接于所述控制電壓單元，用于根據(jù)所述選擇結(jié)果調(diào)整控制電壓，以將所述 分級信號的實際值調(diào)節(jié)至預(yù)定值。
6. 如權(quán)利要求2所述的離線檢測裝置，其特征在于，所述分級控制單元包括分級旋鈕 開關(guān)，用于選擇控制電壓的等級。
7. 如權(quán)利要求1所述的離線檢測裝置，其特征在于，所述控制單元還包括 電壓處理單元，用于接收電源信號，提供所述離線檢測裝置各單元工作的工作電壓。
8. 如權(quán)利要求7所述的離線檢測裝置，其特征在于，所述電壓處理單元耦接于所述接 口件，所述電源信號由所述待測射頻發(fā)生器提供。
9. 如權(quán)利要求7所述的離線檢測裝置，其特征在于，所述電壓處理單元包括 電源信號單元，用于接收電源信號，提供所述離線檢測裝置各單元工作的工作電壓； 電路保護單元，耦接于所述電源信號單元，用于避免所述離線檢測裝置由于過流現(xiàn)象而產(chǎn)生損壞。
10. 如權(quán)利要求l所述的離線檢測裝置，其特征在于，還包括測量接口件，耦接于所述接口件，用于提供待測射頻發(fā)生器輸出信號的測量通道。
11. 如權(quán)利要求IO所述的離線檢測裝置，其特征在于，所述測量接口件包括 正向測量接口，用于提供正向輸出信號的測量通道；反饋測量接口 ，用于提供反饋輸出信號的測量通道。
12. 如權(quán)利要求1所述的離線檢測裝置，其特征在于，所述接口件包括9針的D型超小 型接口。
13. 如權(quán)利要求1所述的離線檢測裝置，其特征在于，所述離線檢測裝置還包括顯示 單元，用于與所述測量接口件相連接，顯示所述測量接口件的輸出結(jié)果。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種射頻發(fā)生器的離線檢測裝置，提供產(chǎn)生控制信號的控制單元以及連接射頻發(fā)生器、作為控制信號傳輸通道的接口件，實現(xiàn)對射頻發(fā)生器工作狀態(tài)及其輸出的信號的控制。本發(fā)明射頻發(fā)生器的離線檢測裝置利用射頻發(fā)生器自身的用戶端口將射頻發(fā)生器自身的輔助電壓作為自身的工作電壓，不需要額外的外部電源，實施簡單。另外，本發(fā)明便于方便地對所述待測射頻發(fā)生器的輸出信號多次進行操作，從而對待測射頻發(fā)生器的輸出狀態(tài)進行檢測和控制。
文檔編號G05F1/66GK101736315SQ20081020353
公開日2010年6月16日 申請日期2008年11月27日 優(yōu)先權(quán)日2008年11月27日
發(fā)明者黃國偉 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司