一種半導(dǎo)體設(shè)備超溫與斷偶報(bào)警的處理裝置及方法
【專利摘要】一種半導(dǎo)體熱處理設(shè)備超溫與斷偶報(bào)警的處理裝置及方法，該方法包括：溫度監(jiān)控表根據(jù)采集每個(gè)溫區(qū)熱電偶采集的溫度信息，產(chǎn)生超溫?zé)崤嫉臏匦盘?hào)和/或斷偶信號(hào)：當(dāng)溫度監(jiān)控表的一個(gè)輸出端有某一段或多段溫區(qū)的超溫報(bào)警信號(hào)產(chǎn)生，該溫區(qū)對(duì)應(yīng)的溫控表超溫報(bào)警延時(shí)繼電器開始計(jì)時(shí)，同時(shí)如果溫度監(jiān)控表的另一輸出端在延時(shí)時(shí)間周期中，沒有斷偶信號(hào)輸出，則使?fàn)t體加熱繼電器得電其常閉觸點(diǎn)斷開，從而控制加熱使能繼電器失電而斷掉加熱，并向PLC發(fā)出超溫報(bào)警信號(hào)；若延時(shí)時(shí)間周期中有斷偶信號(hào)輸出，則斷偶報(bào)警繼電器的常閉觸點(diǎn)斷開，溫控表超溫報(bào)警延時(shí)繼電器計(jì)時(shí)復(fù)位，并向PLC發(fā)出斷偶報(bào)警。因此，本發(fā)明通過硬件電路的方式對(duì)超溫報(bào)警斷加熱，而非通過上位機(jī)軟件或PLC程序處理，提高了設(shè)備的可靠性。
【專利說明】一種半導(dǎo)體設(shè)備超溫與斷偶報(bào)警的處理裝置及方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及集成電路制造【技術(shù)領(lǐng)域】，更具體地說，涉及一種半導(dǎo)體設(shè)備超溫與斷偶報(bào)警的處理裝置及方法。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，半導(dǎo)體器件的設(shè)計(jì)向高密度、高集成度的方向迅速發(fā)展，對(duì)半導(dǎo)體集成電路新工藝、新技術(shù)、新設(shè)備提出了越來越高的要求。作為集成電路生產(chǎn)線前工序的工藝設(shè)備之一的半導(dǎo)體熱處理設(shè)備，在擴(kuò)散、退火、合金、氧化、薄膜生長(zhǎng)等硅片生產(chǎn)制造工藝中扮演著重要的角色，其要求精確控制的溫度為硅片表面溫度。
[0003]通常，半導(dǎo)體熱處理設(shè)備中包括爐體、工藝管和熱電偶。其中，爐體內(nèi)分5個(gè)恒溫區(qū)，四組熱電偶均包括5個(gè)分布在不同控溫區(qū)的熱電偶；上述四組熱電偶均由自己的溫度控制系統(tǒng)控制，執(zhí)行不同的功效。
[0004]本領(lǐng)域技術(shù)人員清楚，硅片表面溫度控制精度會(huì)直接影響到工藝條件的穩(wěn)定性，最終會(huì)直接影響到硅片的質(zhì)量。目前大部分國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備采用“上位機(jī)PC+下位機(jī)”的控制架構(gòu)。下位機(jī)通常采用可編程邏輯控制器(Programmable Logic Controller,簡(jiǎn)稱PLC)實(shí)現(xiàn)。
[0005]在實(shí)際使用過程中，PLC通過熱電偶檢測(cè)模塊對(duì)各溫區(qū)的溫度信號(hào)進(jìn)行采集，并將采集到的模擬量信號(hào)轉(zhuǎn)換成數(shù)字量存儲(chǔ)在PLC的CPU寄存器中，最后通過PLC或者上位機(jī)程序?qū)ζ溥M(jìn)行判斷，所得到的故障判斷結(jié)果可以包括如下兩種:
[0006]①、當(dāng)采集到的溫度大于設(shè)定值時(shí)PLC發(fā)出超溫報(bào)警信號(hào)；
[0007]②、當(dāng)采集到的溫度大于熱偶量程最大值時(shí)發(fā)出斷偶報(bào)警。
[0008]對(duì)于超溫報(bào)警則需要斷掉加熱，而對(duì)于斷偶報(bào)警則只需要發(fā)出提示性報(bào)警。然而，在采用“上位機(jī)PC+下位機(jī)”的控制架構(gòu)下，往往會(huì)出現(xiàn)在上位機(jī)軟件當(dāng)機(jī)或PLC程序更新的過程中，超溫時(shí)無法及時(shí)斷掉加熱單元的加熱，造成安全隱患，降低了設(shè)備的安全性和可靠性。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0009]本發(fā)明的主要目在于提供一種半導(dǎo)體設(shè)備超溫與斷偶報(bào)警的處理系統(tǒng)及方法，可以從硬件上實(shí)現(xiàn)超溫時(shí)斷掉加熱，而不再依賴于PLC或上位機(jī)程序控制，提高設(shè)備的安全性和可靠性。
[0010]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案如下:
[0011]一種半導(dǎo)體熱處理設(shè)備超溫與斷偶報(bào)警的處理裝置，所述半導(dǎo)體熱處理設(shè)備中包括多個(gè)控溫區(qū)，每個(gè)控溫區(qū)分別包括熱電偶、溫度控制單元和加熱單元，其包括溫度監(jiān)控表、超溫報(bào)警延時(shí)繼電器、斷偶繼電器、爐體加熱繼電器和PLC數(shù)字量輸入模塊；溫度監(jiān)控表包括第一輔助輸出常開觸點(diǎn)和第二輔助輸出常開觸點(diǎn)；其中，當(dāng)有超溫報(bào)警信號(hào)輸出時(shí)，第一輔助輸出常開觸點(diǎn)閉合，當(dāng)有斷偶信號(hào)輸出時(shí)，第二輔助輸出常開觸點(diǎn)閉合。[0012]超溫報(bào)警延時(shí)繼電器為常閉繼電器；其中，使用其常閉觸點(diǎn)作為PLC報(bào)警信號(hào)輸入，使用其常開觸點(diǎn)作為加熱繼電器線圈控制開關(guān)。
[0013]斷偶繼電器為常開型繼電器；其中，使用其常閉觸點(diǎn)作為PLC報(bào)警信號(hào)輸入，使用其常開觸點(diǎn)作為加熱繼電器線圈控制開關(guān)。
[0014]爐體加熱繼電器為常閉繼電器；PLC數(shù)字量輸入模塊，用作報(bào)警信號(hào)的處理；其中，所述第一輔助輸出觸點(diǎn)輸出超溫?zé)崤嫉某瑴匦盘?hào)，且與所述超溫報(bào)警延時(shí)繼電器線圈相連，所述第二輸出觸點(diǎn)輸出斷偶信號(hào)，且與所述斷偶繼電器線圈相連；所述超溫報(bào)警延時(shí)繼電器的常閉觸點(diǎn)和斷偶繼電器的常開觸點(diǎn)分別接到PLC數(shù)字量輸入模塊；所述超溫報(bào)警延時(shí)繼電器的常開觸點(diǎn)并聯(lián)后接到爐體加熱繼電器線圈；所述爐體加熱繼電器的常閉觸點(diǎn)串接到各溫區(qū)加熱使能的主干路上各使能繼電器的觸點(diǎn)上，以控制所述接觸器加熱的通斷。
[0015]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明還包括又一技術(shù)方案如下:
[0016]一種半導(dǎo)體熱處理設(shè)備超溫與斷偶報(bào)警的處理方法，其特征在于，所述半導(dǎo)體熱處理設(shè)備中包括多個(gè)控溫區(qū)，每個(gè)控溫區(qū)分別包括熱電偶、溫度控制單元和加熱單元；所述方法具體包括如下步驟:
[0017]步驟S1:溫度監(jiān)控表根據(jù)采集每個(gè)溫區(qū)熱電偶采集的溫度信息，產(chǎn)生超溫?zé)崤嫉臏匦盘?hào)和/或斷偶信號(hào)；其中，所述超溫?zé)崤嫉臏囟刃盘?hào)和斷偶信號(hào)分別從所述溫度監(jiān)控表的兩個(gè)不同輸出端發(fā)出；
[0018]步驟S2:當(dāng)溫度監(jiān)控表的一個(gè)輸出端有某一段或多段溫區(qū)的超溫報(bào)警信號(hào)產(chǎn)生，所述溫區(qū)對(duì)應(yīng)的溫控表超溫報(bào)警延時(shí)繼電器開始計(jì)時(shí)，同時(shí)，檢測(cè)溫度監(jiān)控表的另一輸出端在所述延時(shí)時(shí)間周期中是否有斷偶信號(hào)輸出；
[0019]步驟S3:若所述延時(shí)時(shí)間周期中沒有斷偶信號(hào)輸出，則使?fàn)t體加熱繼電器得電其常閉觸點(diǎn)斷開，從而控制加熱使能繼電器失電，使其常開觸點(diǎn)斷開，導(dǎo)致對(duì)應(yīng)溫區(qū)的接觸器失電而斷掉加熱，向PLC發(fā)出超溫報(bào)警信號(hào)；
[0020]步驟S4:若所述延時(shí)時(shí)間周期中有斷偶信號(hào)輸出，則斷偶報(bào)警繼電器的常閉觸點(diǎn)斷開，所述溫控表超溫報(bào)警延時(shí)繼電器計(jì)時(shí)復(fù)位，并向PLC發(fā)出斷偶報(bào)警。
[0021]優(yōu)選地，所述超溫報(bào)警和斷偶報(bào)警信號(hào)是通過比較在延時(shí)時(shí)間設(shè)置內(nèi)升溫速率的區(qū)別產(chǎn)生。
[0022]優(yōu)選地，所述延時(shí)時(shí)間設(shè)置T為60秒。
[0023]從上述技術(shù)方案可以看出，本發(fā)明提供的半導(dǎo)體熱處理設(shè)備超溫與斷偶報(bào)警的處理方法，其是通過硬件電路的方式對(duì)超溫報(bào)警斷加熱，而非通過上位機(jī)軟件或PLC程序處理，提高設(shè)備的可靠性；并且，通過延時(shí)繼電器的使用并設(shè)定較小的時(shí)間(例如，60秒)實(shí)現(xiàn)升溫速率的比較，從而通過升溫速率區(qū)別產(chǎn)生超溫報(bào)警和斷偶報(bào)警信號(hào)。因此，本發(fā)明的方法具有實(shí)現(xiàn)簡(jiǎn)單、成本低和效果良好的特點(diǎn)。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0024]圖1所示為本發(fā)明半導(dǎo)體熱處理設(shè)備超溫與斷偶報(bào)警的處理裝置一較佳實(shí)施例的電路結(jié)構(gòu)示意圖
[0025]圖2為本發(fā)明實(shí)施例中超溫報(bào)警延時(shí)繼電器的常閉觸點(diǎn)和斷偶繼電器的常開觸點(diǎn)分別接到PLC數(shù)字量輸入模塊用作報(bào)警信號(hào)的具體電路圖
[0026]圖3所示為本發(fā)明實(shí)施例中超溫報(bào)警延時(shí)繼電器的常開觸點(diǎn)并聯(lián)后接到爐體超溫報(bào)警繼電器線圈的具體電路圖
[0027]圖4所示為本發(fā)明實(shí)施例中半導(dǎo)體熱處理設(shè)備超溫與斷偶報(bào)警的處理方法的流程示意圖
【具體實(shí)施方式】
[0028]需要說明的是，本發(fā)明提出一種半導(dǎo)體熱處理設(shè)備超溫與斷偶報(bào)警的處理裝置即方法，其通過硬件電路的方式對(duì)超溫報(bào)警并控制加熱單元的啟閉，取代了傳統(tǒng)的通過上位機(jī)軟件或PLC程序處理，提高設(shè)備的可靠性，并應(yīng)用至實(shí)際熱處理設(shè)備。
[0029]下面結(jié)合附圖，對(duì)本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】作進(jìn)一步的詳細(xì)說明。
[0030]請(qǐng)參閱圖1、圖2和圖3，圖1所示為本發(fā)明半導(dǎo)體熱處理設(shè)備超溫與斷偶報(bào)警的處理裝置一較佳實(shí)施例的電路結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明實(shí)施例中超溫報(bào)警延時(shí)繼電器的常閉觸點(diǎn)和斷偶繼電器的常開觸點(diǎn)分別接到PLC數(shù)字量輸入模塊用作報(bào)警信號(hào)的具體電路圖；圖3所示為本發(fā)明實(shí)施例中超溫報(bào)警延時(shí)繼電器的常開觸點(diǎn)并聯(lián)后接到爐體超溫報(bào)警繼電器線圈的具體電路圖。
[0031]本領(lǐng)域技術(shù)人員清楚，半導(dǎo)體熱處理設(shè)備中可以包括多個(gè)控溫區(qū)，每個(gè)控溫區(qū)分別包括熱電偶、溫度控制單元和加熱單元，在本實(shí)施例中，以爐體五段溫區(qū)Z0NE1、Z0NE2、Z0NE3、Z0NE4和Z0NE5加熱為例，進(jìn)行詳細(xì)說明。
[0032]如圖所示，半導(dǎo)體熱處理設(shè)備中包括:溫度監(jiān)控表(圖未示)、五個(gè)超溫報(bào)警延時(shí)繼電器 KT131、KT132、KT133、KT134 和 ΚΤ135、五個(gè)斷偶繼電器 ΚΑ136、ΚΑ137、ΚΑ138、ΚΑ139 和ΚΑ140, 一個(gè)爐體加熱繼電器ΚΑ130和PLC數(shù)字量輸入模塊。
[0033]其中，溫度監(jiān)控表包括溫度監(jiān)控表包括第一輔助輸出常開觸點(diǎn)和第二輔助輸出常開觸點(diǎn)；其中，當(dāng)有超溫報(bào)警信號(hào)輸出時(shí)，第一輔助輸出常開觸點(diǎn)閉合，當(dāng)有斷偶信號(hào)輸出時(shí)，第二輔助輸出常開觸點(diǎn)閉合；超溫報(bào)警延時(shí)繼電器為常閉繼電器；其中，使用其常閉觸點(diǎn)作為PLC報(bào)警信號(hào)輸入，使用其常開觸點(diǎn)作為加熱繼電器線圈控制開關(guān)。斷偶繼電器為常開型繼電器；其中，使用其常閉觸點(diǎn)作為PLC報(bào)警信號(hào)輸入，使用其常開觸點(diǎn)作為加熱繼電器線圈控制開關(guān)。爐體加熱繼電器為常閉繼電器；PLC數(shù)字量輸入模塊，用作報(bào)警信號(hào)的處理。需要說明的是，圖中的數(shù)字或字母7、8、9、10、11、12、14、15、16、A1和A2，僅用于表示接線端子，符號(hào)相同，端點(diǎn)相連接。
[0034]溫度監(jiān)控表第一輔助輸出觸點(diǎn)用于輸出超溫?zé)崤嫉某瑴匦盘?hào)，且與超溫報(bào)警延時(shí)繼電器線圈相連；溫度監(jiān)控表第二輸出觸點(diǎn)用于輸出斷偶信號(hào)，且與斷偶繼電器線圈相連；超溫報(bào)警延時(shí)繼電器的常閉觸點(diǎn)和斷偶繼電器的常開觸點(diǎn)分別接到PLC數(shù)字量輸入模塊；所述超溫報(bào)警延時(shí)繼電器的常開觸點(diǎn)并聯(lián)后接到爐體加熱繼電器線圈；爐體加熱繼電器的常閉觸點(diǎn)串接到各溫區(qū)加熱使能的主干路上各使能繼電器的觸點(diǎn)上，以控制接觸器加熱單元的通斷。
[0035]下面結(jié)合附圖4對(duì)上述裝置的工作流程進(jìn)行說明。
[0036]請(qǐng)參閱圖4，圖4所示為本發(fā)明實(shí)施例中半導(dǎo)體熱處理設(shè)備超溫與斷偶報(bào)警的處理方法的流程示意圖。在下述實(shí)施例中，該方法可以具體包括如下步驟:[0037]步驟S1:溫度監(jiān)控表根據(jù)采集每個(gè)溫區(qū)熱電偶采集的溫度信息，產(chǎn)生超溫?zé)崤嫉臏匦盘?hào)和/或斷偶信號(hào)，其中，超溫?zé)崤嫉臏囟刃盘?hào)和斷偶信號(hào)分別從溫度監(jiān)控表的兩個(gè)不同輸出端發(fā)出。
[0038]步驟S2:當(dāng)溫度監(jiān)控表的一個(gè)輸出端有某一段或多段溫區(qū)的超溫報(bào)警信號(hào)產(chǎn)生，溫區(qū)對(duì)應(yīng)的溫控表超溫報(bào)警延時(shí)繼電器開始計(jì)時(shí)，同時(shí)，檢測(cè)溫度監(jiān)控表的另一輸出端在延時(shí)時(shí)間周期T中是否有斷偶信號(hào)輸出；通常，延時(shí)時(shí)間設(shè)置T設(shè)置的比較小，例如為60秒。實(shí)現(xiàn)延時(shí)時(shí)間設(shè)置內(nèi)的升溫速率比較，并通過升溫速率區(qū)別產(chǎn)生超溫報(bào)警和斷偶報(bào)警信號(hào)。
[0039]步驟S3:若延時(shí)時(shí)間周期中沒有斷偶信號(hào)輸出，則使?fàn)t體加熱繼電器得電其常閉觸點(diǎn)斷開，從而控制加熱使能繼電器失電，使其常開觸點(diǎn)斷開，導(dǎo)致對(duì)應(yīng)溫區(qū)的接觸器失電而斷掉加熱，向PLC發(fā)出超溫報(bào)警信號(hào)；
[0040]步驟S4:若延時(shí)時(shí)間周期中有斷偶信號(hào)輸出，則斷偶報(bào)警繼電器的常閉觸點(diǎn)斷開，溫控表超溫報(bào)警延時(shí)繼電器計(jì)時(shí)復(fù)位，并向PLC發(fā)出斷偶報(bào)警。
[0041]也就是說，當(dāng)任意一段溫區(qū)有超溫報(bào)警信號(hào)產(chǎn)生(非斷偶)時(shí)，對(duì)應(yīng)的延時(shí)繼電器開始計(jì)時(shí)，計(jì)時(shí)時(shí)間到后:
[0042]①若沒有檢測(cè)到斷偶信號(hào)，則使?fàn)t體加熱繼電器KA130得電其常閉觸點(diǎn)斷開，從而使加熱使能繼電器失電其常開觸點(diǎn)斷開，導(dǎo)致對(duì)應(yīng)的接觸器失電而斷掉加熱，同時(shí)給PLC發(fā)出超溫報(bào)警；
[0043]②如計(jì)時(shí)設(shè)定時(shí)間內(nèi)檢測(cè)到斷偶信號(hào)，則斷偶報(bào)警繼電器的常閉觸點(diǎn)斷開，延時(shí)繼電器計(jì)時(shí)復(fù)位，僅向PLC發(fā)出斷偶報(bào)警。
[0044]綜上所述，本專利提供了一種簡(jiǎn)易可行且僅用硬件實(shí)現(xiàn)的半導(dǎo)體熱處理設(shè)備超溫與斷偶報(bào)警的處理裝置，能實(shí)時(shí)準(zhǔn)確地處理超溫與斷偶報(bào)警信號(hào)，具有實(shí)現(xiàn)簡(jiǎn)單、成本低和效果良好的特點(diǎn)。
[0045]以上所述的僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，所述實(shí)施例并非用以限制本發(fā)明的專利保護(hù)范圍，因此凡是運(yùn)用本發(fā)明的說明書及附圖內(nèi)容所作的等同結(jié)構(gòu)變化，同理均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種半導(dǎo)體熱處理設(shè)備超溫與斷偶報(bào)警的處理裝置，所述半導(dǎo)體熱處理設(shè)備中包括多個(gè)控溫區(qū)，每個(gè)控溫區(qū)分別包括熱電偶、溫度控制單元和加熱單元，其特征在于，包括: 溫度監(jiān)控表，包括第一輔助輸出常開觸點(diǎn)和第二輔助輸出常開觸點(diǎn)；其中，當(dāng)有超溫報(bào)警信號(hào)輸出時(shí)，第一輔助輸出常開觸點(diǎn)閉合，當(dāng)有斷偶信號(hào)輸出時(shí)，第二輔助輸出常開觸點(diǎn)閉合； 超溫報(bào)警延時(shí)繼電器，為常閉繼電器；其中，使用其常閉觸點(diǎn)作為PLC報(bào)警信號(hào)輸入，使用其常開觸點(diǎn)作為加熱繼電器線圈控制開關(guān)； 斷偶繼電器，為常開型繼電器；其中，使用其常閉觸點(diǎn)作為PLC報(bào)警信號(hào)輸入，使用其常開觸點(diǎn)作為加熱繼電器線圈控制開關(guān)； 爐體加熱繼電器，為常閉繼電器； PLC數(shù)字量輸入模塊，用作報(bào)警信號(hào)的處理；其中， 所述第一輔助輸出觸點(diǎn)輸出超溫?zé)崤嫉某瑴匦盘?hào)，且與所述超溫報(bào)警延時(shí)繼電器線圈相連，所述第二輸出觸點(diǎn)輸出斷偶信號(hào)，且與所述斷偶繼電器線圈相連；所述超溫報(bào)警延時(shí)繼電器的常閉觸點(diǎn)和斷偶繼電器的常開觸點(diǎn)分別接到PLC數(shù)字量輸入模塊；所述超溫報(bào)警延時(shí)繼電器的常開觸點(diǎn)并聯(lián)后接到爐體加熱繼電器線圈；所述爐體加熱繼電器的常閉觸點(diǎn)串接到各溫區(qū)加熱使能的主干路上，以控制所述接觸器加熱的通斷。
2.如權(quán)利要求1所述的超溫與斷偶報(bào)警的處理裝置，其特征在于，所述延時(shí)時(shí)間設(shè)置T為60秒。
3.一種半導(dǎo)體熱處理設(shè)備超溫與斷偶報(bào)警的處理方法，其特征在于，所述半導(dǎo)體熱處理設(shè)備中包括多個(gè)控溫區(qū)，每個(gè)控溫區(qū)分別包括熱電偶、溫度控制單元和加熱單元；所述方法具體包括如下步驟: 步驟S1:溫度監(jiān)控表根據(jù)采集每個(gè)溫區(qū)熱電偶采集的溫度信息，產(chǎn)生超溫?zé)崤嫉臏匦盘?hào)和/或斷偶信號(hào)，其中，所述超溫?zé)崤嫉臏囟刃盘?hào)和斷偶信號(hào)分別從所述溫度監(jiān)控表的兩個(gè)不同輸出端發(fā)出； 步驟S2:當(dāng)溫度監(jiān)控表的一個(gè)輸出端有某一段或多段溫區(qū)的超溫報(bào)警信號(hào)產(chǎn)生，所述溫區(qū)對(duì)應(yīng)的溫控表超溫報(bào)警延時(shí)繼電器開始計(jì)時(shí)，同時(shí)，檢測(cè)溫度監(jiān)控表的另一輸出端在所述延時(shí)時(shí)間周期中是否有斷偶信號(hào)輸出； 步驟S3:若所述延時(shí)時(shí)間周期中沒有斷偶信號(hào)輸出，則使?fàn)t體加熱繼電器通電，其常閉觸點(diǎn)斷開，從而控制加熱使能繼電器失電，使其常開觸點(diǎn)斷開，導(dǎo)致對(duì)應(yīng)溫區(qū)的接觸器失電而斷掉加熱，向PLC發(fā)出超溫報(bào)警信號(hào)； 步驟S4:若所述延時(shí)時(shí)間周期中有斷偶信號(hào)輸出，則斷偶報(bào)警繼電器的常閉觸點(diǎn)斷開，所述溫控表超溫報(bào)警延時(shí)繼電器計(jì)時(shí)復(fù)位，并向PLC發(fā)出斷偶報(bào)警。
4.如權(quán)利要求3所述的超溫與斷偶報(bào)警的處理方法，其特征在于，所述超溫報(bào)警和斷偶報(bào)警信號(hào)是通過比較在延時(shí)時(shí)間設(shè)置內(nèi)的升溫速率區(qū)別產(chǎn)生。
5.如權(quán)利要求3或4所述的超溫與斷偶報(bào)警的處理方法，其特征在于，所述延時(shí)時(shí)間設(shè)置T為60秒。
【文檔編號(hào)】G05D23/22GK103792972SQ201410072702
【公開日】2014年5月14日 申請(qǐng)日期:2014年2月28日 優(yōu)先權(quán)日:2014年2月28日
【發(fā)明者】王凱, 慕曉航 申請(qǐng)人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司