一種用于真空設(shè)備的寬量程控壓系統(tǒng)及方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及真空技術(shù)領(lǐng)域，具體地說是一種能自動(dòng)調(diào)壓的寬量程真空控壓系統(tǒng)及方法。
【背景技術(shù)】
[0002]傳統(tǒng)的真空設(shè)備氣體控制系統(tǒng)，只是在執(zhí)行工藝中，在充入工作氣體時(shí)，同時(shí)啟動(dòng)真空泵對(duì)真空室進(jìn)行抽氣操作，真空室的氣體壓力是一個(gè)動(dòng)態(tài)的變化值。然而在實(shí)際應(yīng)用中，客戶的工藝要求并非是想要一個(gè)真空壓力范圍，客戶會(huì)有不同的工藝條件，往往需要將真空腔體保持在一定的真空度。
[0003]現(xiàn)有的技術(shù)一般是客戶設(shè)備上增加各種閥門，通過設(shè)定閥門的開度(且閥門在設(shè)定好開度后就不會(huì)再動(dòng)作)，將真空室控制在一定的范圍內(nèi)波動(dòng)，系統(tǒng)本身不對(duì)真空度進(jìn)行監(jiān)測(cè)和控制。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]針對(duì)上述問題，本發(fā)明提供一種可以根據(jù)客戶需要的真空度，進(jìn)行抽速自動(dòng)調(diào)整，達(dá)到想要的真空度，并且在真空室內(nèi)溫度發(fā)生變化時(shí)，也可保證恒定壓力，能自動(dòng)調(diào)壓的寬量程控壓系統(tǒng)和方法。
[0005]本發(fā)明為實(shí)現(xiàn)上述目的所采用的技術(shù)方案是:
[0006]一種用于真空設(shè)備的寬量程控壓系統(tǒng)，其特征在于:
[0007]真空計(jì)連接真空室，采集真空室的真空度信號(hào)；
[0008]調(diào)節(jié)閥控制系統(tǒng)連接真空計(jì)，采集真空度信號(hào)，并對(duì)真空室的真空度進(jìn)行調(diào)節(jié)；
[0009]真空調(diào)節(jié)系統(tǒng)一端連接真空計(jì)，采集真空度信號(hào)，并對(duì)真空室的真空度進(jìn)行調(diào)節(jié);
[0010]質(zhì)量流量計(jì)連接真空室，用于對(duì)真空室充入氣體。
[0011]所述調(diào)節(jié)閥控制系統(tǒng)包括相連的調(diào)節(jié)閥控制器和調(diào)節(jié)閥；其中調(diào)節(jié)閥控制器連接真空計(jì)，調(diào)節(jié)閥連接真空室。
[0012]所述真空調(diào)節(jié)系統(tǒng)包括依次連接的調(diào)節(jié)儀表、變頻器、真空泵電機(jī)和真空泵；其中調(diào)節(jié)儀表連接真空計(jì)，真空泵連接真空室。
[0013]一種用于真空設(shè)備的寬量程控壓方法，質(zhì)量流量計(jì)對(duì)真空室充入氣體；
[0014]真空計(jì)采集真空室的真空度信號(hào)，并將真空度信號(hào)傳遞到調(diào)節(jié)閥控制器和調(diào)節(jié)儀表;
[0015]調(diào)節(jié)閥控制器將接收到的真空度信號(hào)進(jìn)行PID調(diào)節(jié)，并由調(diào)節(jié)后的信號(hào)來控制調(diào)節(jié)閥的閥板開啟角度，控制真空室內(nèi)壓力；
[0016]調(diào)節(jié)儀表將接收到的真空度信號(hào)與調(diào)節(jié)儀表上已設(shè)定的工作需要壓力信號(hào)進(jìn)行比較，將比較結(jié)果數(shù)據(jù)反饋到變頻器，變頻器發(fā)出變頻信號(hào)，調(diào)節(jié)真空泵電機(jī)的轉(zhuǎn)速，通過真空泵電機(jī)轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)來控制真空泵的抽速，控制真空室內(nèi)壓力。
[0017]本發(fā)明具有以下有益效果及優(yōu)點(diǎn):
[0018]本發(fā)明可以根據(jù)真空度設(shè)置值，自動(dòng)調(diào)整，達(dá)到客戶想要的恒定的真空度。
【附圖說明】
[0019]圖1是本發(fā)明的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0020]下面結(jié)合附圖及實(shí)施例對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步的詳細(xì)說明。
[0021]本發(fā)明一種用于真空設(shè)備的能自動(dòng)調(diào)節(jié)的寬量程控壓系統(tǒng)，真空泵、真空泵電機(jī)、變頻器、調(diào)節(jié)儀表、調(diào)節(jié)閥、調(diào)節(jié)閥控制器、真空計(jì)、質(zhì)量流量計(jì)。其中質(zhì)量流量計(jì)在工作時(shí)會(huì)對(duì)真空室充入恒定量的工作氣體，使真空室內(nèi)壓力發(fā)生變化，或是真空室內(nèi)溫度發(fā)生變化也可導(dǎo)致真空室內(nèi)壓力的波動(dòng)，真空計(jì)采集真空腔體的真空度信號(hào)，并同時(shí)將真空度信號(hào)傳遞到調(diào)節(jié)閥控制器、調(diào)節(jié)儀表，此時(shí)調(diào)節(jié)閥控制器會(huì)與真空度信號(hào)進(jìn)行PID調(diào)節(jié)，并由調(diào)節(jié)后的信號(hào)來調(diào)節(jié)調(diào)節(jié)閥閥板開啟的角度，從而達(dá)到控壓的目的；而另一路進(jìn)入調(diào)節(jié)儀表的信號(hào)，與調(diào)節(jié)儀表上已設(shè)定的工作需要壓力進(jìn)行比對(duì)，并將數(shù)據(jù)反饋到變頻器，通過變頻器來調(diào)節(jié)真空泵電機(jī)的轉(zhuǎn)速，通過真空泵電機(jī)轉(zhuǎn)速的變化來調(diào)節(jié)真空泵的抽速，通過真空泵的抽速變化達(dá)到控壓的目的。
[0022]且兩套控壓系統(tǒng)，可同時(shí)進(jìn)行控壓操作，實(shí)現(xiàn)寬量程的控壓系統(tǒng)，也可以選其一進(jìn)行控壓操作。
[0023]真空泵，工作時(shí)，對(duì)真空室進(jìn)行抽氣操作。
[0024]真空泵電機(jī)，電機(jī)的轉(zhuǎn)速變化控制真空泵的抽速。
[0025]變頻器，驅(qū)動(dòng)真空泵電機(jī)，調(diào)整電機(jī)的旋轉(zhuǎn)速度，進(jìn)而調(diào)整真空泵的抽速，達(dá)到自動(dòng)調(diào)壓的目的。
[0026]調(diào)節(jié)儀表，可在其表盤設(shè)定理想壓力值，并與從真空計(jì)采集來的壓力值進(jìn)行比對(duì)，并將對(duì)比結(jié)果反饋給變頻器。
[0027]調(diào)節(jié)閥，通過閥板的開啟角度達(dá)到調(diào)節(jié)真空泵抽速。
[0028]調(diào)節(jié)閥控制器，PID調(diào)節(jié)，與從真空計(jì)采集來的壓力值進(jìn)行比對(duì)來調(diào)節(jié)調(diào)節(jié)閥閥板的開啟角度。
[0029]真空計(jì)，測(cè)量真空室內(nèi)壓力，具有模擬信號(hào)輸出和通信信號(hào)輸出，信號(hào)輸出給調(diào)節(jié)儀表及調(diào)節(jié)閥控制器，達(dá)到真空度實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)的目的。
[0030]質(zhì)量流量計(jì)，工作狀態(tài)時(shí)，對(duì)真空室充入一定量的工作氣體。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種用于真空設(shè)備的寬量程控壓系統(tǒng)，其特征在于: 真空計(jì)連接真空室，采集真空室的真空度信號(hào)； 調(diào)節(jié)閥控制系統(tǒng)連接真空計(jì)，采集真空度信號(hào)，并對(duì)真空室的真空度進(jìn)行調(diào)節(jié)； 真空調(diào)節(jié)系統(tǒng)一端連接真空計(jì)，采集真空度信號(hào)，并對(duì)真空室的真空度進(jìn)行調(diào)節(jié)； 質(zhì)量流量計(jì)連接真空室，用于對(duì)真空室充入氣體。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于真空設(shè)備的寬量程控壓系統(tǒng)，其特征在于:所述調(diào)節(jié)閥控制系統(tǒng)包括相連的調(diào)節(jié)閥控制器和調(diào)節(jié)閥；其中調(diào)節(jié)閥控制器連接真空計(jì)，調(diào)節(jié)閥連接真空室。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于真空設(shè)備的寬量程控壓系統(tǒng)，其特征在于: 所述真空調(diào)節(jié)系統(tǒng)包括依次連接的調(diào)節(jié)儀表、變頻器、真空泵電機(jī)和真空泵；其中調(diào)節(jié)儀表連接真空計(jì)，真空泵連接真空室。
4.一種用于真空設(shè)備的寬量程控壓方法，其特征在于: 質(zhì)量流量計(jì)對(duì)真空室充入氣體； 真空計(jì)采集真空室的真空度信號(hào)，并將真空度信號(hào)傳遞到調(diào)節(jié)閥控制器和調(diào)節(jié)儀表；調(diào)節(jié)閥控制器將接收到的真空度信號(hào)進(jìn)行PID調(diào)節(jié)，并由調(diào)節(jié)后的信號(hào)來控制調(diào)節(jié)閥的閥板開啟角度，控制真空室內(nèi)壓力； 調(diào)節(jié)儀表將接收到的真空度信號(hào)與調(diào)節(jié)儀表上已設(shè)定的工作需要壓力信號(hào)進(jìn)行比較，將比較結(jié)果數(shù)據(jù)反饋到變頻器，變頻器發(fā)出變頻信號(hào)，調(diào)節(jié)真空泵電機(jī)的轉(zhuǎn)速，通過真空泵電機(jī)轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)來控制真空泵的抽速，控制真空室內(nèi)壓力。
【專利摘要】本發(fā)明涉及真空技術(shù)領(lǐng)域，具體地說是一種能自動(dòng)調(diào)壓的寬量程真空控壓系統(tǒng)及方法，真空計(jì)連接真空室，采集真空室的真空度信號(hào)；調(diào)節(jié)閥控制系統(tǒng)連接真空計(jì)，采集真空度信號(hào)，并對(duì)真空室的真空度進(jìn)行調(diào)節(jié)；真空調(diào)節(jié)系統(tǒng)一端連接真空計(jì)，采集真空度信號(hào)，并對(duì)真空室的真空度進(jìn)行調(diào)節(jié)；質(zhì)量流量計(jì)連接真空室，用于對(duì)真空室充入氣體。本發(fā)明具自動(dòng)調(diào)節(jié)功能，在工作時(shí)，真空室充入氣體、真空室內(nèi)溫度發(fā)生變化時(shí)，都可以根據(jù)客戶需要的真空度，進(jìn)行自動(dòng)調(diào)整，達(dá)到想要的真空度。
【IPC分類】G05D16-20
【公開號(hào)】CN104635776
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201310574551
【發(fā)明人】佟輝, 李昌龍, 王宏宇, 傅景志, 戚暉, 黃曉霞
【申請(qǐng)人】中國(guó)科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器股份有限公司
【公開日】2015年5月20日
【申請(qǐng)日】2013年11月13日