專利名稱：從狹縫狀噴口噴出涂布液的涂布法用的涂布液的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種從狹縫狀噴口噴出涂布液的涂布法中使用的涂布液。
背景技術(shù)：
作為形成構(gòu)成有機(jī)電致發(fā)光元件(以下有時(shí)簡(jiǎn)稱為“有機(jī)EL元件”。)的發(fā)光層 等薄膜的方法，已知毛細(xì)管涂布法等從狹縫狀噴口噴出涂布液的涂布法。作為該涂布法中 使用的涂布液，已知含有作為薄膜的材料的有機(jī)化合物和丙酮、甲乙酮、甲基異丁基酮、環(huán) 己酮、甲醇、乙醇、異丙醇、醋酸乙酯、醋酸丁酯、甲苯、二甲苯、氯仿、水等具有小于170°C的 沸點(diǎn)的溶劑的涂布液(例如，參照日本特開(kāi)2004-164873號(hào)公報(bào))。

發(fā)明內(nèi)容
但是，使用上述涂布液通過(guò)上述涂布法形成薄膜時(shí)，得到的薄膜的平坦性未必充 分。本發(fā)明的目的在于，提供一種在形成薄膜時(shí)，可以使薄膜的平坦性足夠高的從狹 縫狀噴口噴出涂布液的涂布法用的涂布液。即，本發(fā)明提供以下的涂布液、涂布方法、有機(jī)EL元件的制造方法及有機(jī)EL元件。[1] 一種涂布液，其是從狹縫狀噴口噴出涂布液的涂布法用的涂布液，其含有在 20°C為固體的有機(jī)化合物、具有小于170°C的沸點(diǎn)的第1溶劑和具有170°C以上的沸點(diǎn)的第 2溶劑。[2]如[1]所述的涂布液，其中，狹縫狀噴口為大致長(zhǎng)方形，該大致長(zhǎng)方形的短邊 方向的寬度為0.01 10mm。[3]如[1]或[2]所述的涂布液，其為毛細(xì)管涂布用涂布液。[4]如[1] [3]中任一項(xiàng)所述的涂布液，其中，有機(jī)化合物為有機(jī)電致發(fā)光元件 中使用的有機(jī)化合物。[5]如[1] [4]中任一項(xiàng)所述的涂布液，其中，第2溶劑的重量相對(duì)于涂布液的 總重量為0.5 99重量％。[6]如[5]所述的涂布液，其中，第2溶劑的重量相對(duì)于涂布液的總重量為0. 5
30重量％。[7]如[1] [6]中任一項(xiàng)所述的涂布液，其中，第1溶劑為芳香族化合物。[8]如[7]所述的涂布液，其中，第1溶劑為二甲苯、茴香?；蚓谆?。[9]如[1] [8]中任一項(xiàng)所述的涂布液，其中，第2溶劑為芳香族化合物。[10]如[9]所述的涂布液，其中，第2溶劑為環(huán)己基苯或四氫化萘。[11]如[1] [10]中任一項(xiàng)所述的涂布液，其中，有機(jī)化合物的重量相對(duì)于涂布 液的總重量為0.01 10重量％。[12]如[1] [11]中任一項(xiàng)所述的涂布液，其中，粘度為1 20mPa s。[13]如[1] [12]中任一項(xiàng)所述的涂布液，其中，表面張力為10 70mN/m。
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[14] 一種涂布方法，其利用從狹縫狀噴口噴出涂布液的涂布法，涂布[1] [13] 中任一項(xiàng)所述的涂布液。[15] 一種有機(jī)電致發(fā)光元件的制造方法，其包含利用從狹縫狀噴口噴出涂布液的 涂布法，涂布[1] [13]中任一項(xiàng)所述的涂布液的工序。[16] 一種有機(jī)電致發(fā)光元件的制造方法，其具有利用從狹縫狀噴口噴出涂布液 的涂布法涂布[1] [13]中任一項(xiàng)所述的涂布液，從而形成第1薄膜的工序；以及在該第1 薄膜上，再利用從狹縫狀噴口噴出涂布液的涂布法涂布涂布液，從而形成第2薄膜的工序。[17]如[16]所述的制造方法，其中，形成第1薄膜的工序中使用的涂布液和形成 第2薄膜的工序中使用的涂布液不同。[18] 一種有機(jī)電致發(fā)光元件，其是通過(guò)[15] [17]中任一項(xiàng)所述的制造方法來(lái) 制造的。


圖1是表示使用毛細(xì)管涂布用涂布液3進(jìn)行成膜的薄膜及使用毛細(xì)管涂布用涂布 液4進(jìn)行成膜的薄膜的膜厚分布的圖。
具體實(shí)施例方式<從狹縫狀噴口噴出涂布液的涂布法用的涂布液>本發(fā)明的從狹縫狀噴口噴出涂布液的涂布法用的涂布液(以下有時(shí)簡(jiǎn)稱為本發(fā) 明的涂布液)含有在20°C下為固體的有機(jī)化合物、具有小于170°C的沸點(diǎn)的第1溶劑和具 有170°C以上的沸點(diǎn)的第2溶劑。本發(fā)明的涂布液中所含的有機(jī)化合物可以為1種也可以 為2種以上。本發(fā)明的涂布液中所含的第1溶劑可以為1種也可以2種以上，本發(fā)明的涂 布液中所含的第2溶劑可以為1種也可以為2種以上。作為從狹縫狀噴口噴出涂布液的涂布法，可以舉出利用毛細(xì)管現(xiàn)象使涂布液噴 出的毛細(xì)管涂布法、通過(guò)利用靜壓或液面差進(jìn)行的擠壓使涂布液噴出的涂布法、利用泵使 涂布液噴出的涂布法、組合它們中的任一種的涂布法等，優(yōu)選毛細(xì)管涂布法。作為狹縫狀噴 口的形狀，可以舉出大致長(zhǎng)方形狀、梯形狀等，優(yōu)選大致長(zhǎng)方形狀，更優(yōu)選長(zhǎng)方形狀、圓角長(zhǎng) 方形(角為圓形的長(zhǎng)方形)狀，進(jìn)一步優(yōu)選長(zhǎng)方形狀。狹縫狀噴口的形狀為大致長(zhǎng)方形狀 時(shí)，大致長(zhǎng)方形的短邊方向的寬度優(yōu)選為0. 01 10mm，更優(yōu)選為0. 01 1. 0mm。大致長(zhǎng)方 形的長(zhǎng)度方向的寬度通常在10 1500mm的范圍。作為本發(fā)明的涂布液，優(yōu)選毛細(xì)管涂布用涂布液。所謂本發(fā)明中的毛細(xì)管涂布用 涂布液，是指根據(jù)毛細(xì)管涂布法的涂布中使用的涂布液。所謂毛細(xì)管涂布法，是從朝上方的 噴嘴向基板的下面噴出涂布液而在基板的下面涂布涂布液的方法，其特征在于，利用毛細(xì) 管現(xiàn)象使涂布液吸附在基板的下面。<有機(jī)化合物>本發(fā)明的涂布液所含的有機(jī)化合物為在20°C下為固體的有機(jī)化合物。將該涂布液 用于有機(jī)EL元件的制造時(shí)，作為該有機(jī)化合物的例子，可以舉出有機(jī)發(fā)光材料、有機(jī)空穴 傳輸材料、有機(jī)空穴注入材料、有機(jī)電子阻擋材料、有機(jī)電子傳輸材料、有機(jī)電子注入材料、 有機(jī)空穴阻擋材料等。這些材料中，有機(jī)發(fā)光材料為有機(jī)EL元件所必須的材料，從制造成本方面考慮，優(yōu)選使用本發(fā)明的涂布液來(lái)制造含有有機(jī)發(fā)光材料的薄膜。作為有機(jī)發(fā)光材料，可以舉出發(fā)出熒光的材料、發(fā)出磷光的材料等。發(fā)出熒光的 材料有高分子熒光材料和低分子熒光材料。作為發(fā)出磷光的材料，可以舉出主鏈、側(cè)鏈或 末端具有包含金屬絡(luò)合物的基團(tuán)的高分子化合物、金屬絡(luò)合物等。<高分子熒光材料>作為高分子熒光材料，通?？梢耘e出聚苯乙烯換算的重均分子量為1X103 IX 108且具有亞芳基、2價(jià)的雜環(huán)基、2價(jià)的芳香族胺基等作為重復(fù)單元的高分子化合物。該 高分子熒光材料具有的重復(fù)單元可以為1種也可以2種以上。作為高分子熒光材料的具體 例，可以舉出聚亞苯基、具有亞萘基作為重復(fù)單元的高分子化合物、具有亞蒽基作為重復(fù) 單元的高分子化合物、具有亞芘基作為重復(fù)單元的高分子化合物、具有亞芴基作為重復(fù)單 元的高分子化合物、具有亞苯并芴基作為重復(fù)單元的高分子化合物、具有亞噻吩基作為重 復(fù)單元的高分子化合物、具有亞二苯并噻吩基作為重復(fù)單元的高分子化合物、具有亞二苯 并呋喃基作為重復(fù)單元的高分子化合物、具有亞咔唑基作為重復(fù)單元的高分子化合物等。<低分子熒光材料>作為低分子熒光材料，可以舉出萘衍生物、蒽或其衍生物、茈或其衍生物、多次甲 基系、咕噸系、香豆素系、酞菁系等色素類；8-羥基喹啉或其衍生物的金屬絡(luò)合物、芳香族 胺、四苯基環(huán)戊二烯或其衍生物、或四苯基丁二烯或其衍生物等。<發(fā)出磷光的化合物>作為發(fā)出磷光的化合物，可以舉出銥絡(luò)合物、鉬絡(luò)合物、鎢絡(luò)合物、銪絡(luò)合物、金 絡(luò)合物、鋨絡(luò)合物、錸絡(luò)合物等金屬絡(luò)合物；主鏈、側(cè)鏈或末端具有包含這些金屬絡(luò)合物的 基團(tuán)的高分子化合物等。使用本發(fā)明的涂布液制造包含有機(jī)發(fā)光材料的薄膜時(shí)，從涂布液的粘度的觀點(diǎn)考 慮，該涂布液優(yōu)選包含高分子熒光材料，或主鏈、側(cè)鏈或末端具有包含金屬絡(luò)合物的基團(tuán)的 高分子化合物。< 溶劑 >本發(fā)明的涂布液所含的第1溶劑的沸點(diǎn)小于170°C，從保存穩(wěn)定性的觀點(diǎn)考慮，優(yōu) 選沸點(diǎn)為35°C以上，更優(yōu)選為100°C以上。本發(fā)明的涂布液所含的第2溶劑的沸點(diǎn)為170°C以上，從減少狹縫堵塞的觀點(diǎn)考 慮，優(yōu)選為180°C以上。從使溶劑揮發(fā)的工序的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選沸點(diǎn)為300°C以下，更優(yōu)選為 280°C以下，進(jìn)一步優(yōu)選為250°C以下。作為本發(fā)明的涂布液所含的溶劑，可以舉出以下溶劑。作為第1溶劑，例如可以舉出以下溶劑中具有小于170°C的沸點(diǎn)的溶劑，作為第2 溶劑，例如可以舉出以下溶劑中具有170°C以上的沸點(diǎn)的溶劑。可以例示氯仿(沸點(diǎn)ere)、二氯甲烷(沸點(diǎn)4o°c)、i，i-二氯乙烷(沸點(diǎn) 57°C )、1，2_ 二氯乙烷(沸點(diǎn)83°0、1，1，1_三氯乙烷(沸點(diǎn)74°C )、1，1，2_三氯乙烷(沸 點(diǎn)113°C)等脂肪族氯系溶劑；氯苯(沸點(diǎn)132°C)、鄰二氯苯(沸點(diǎn)180°C)、間二氯苯(沸 點(diǎn)173°C)、對(duì)二氯苯(沸點(diǎn)174°C)等芳香族氯系溶劑；四氫呋喃(沸點(diǎn)66°C)、1，4-二噁 烷(沸點(diǎn)101°C )等脂肪族醚系溶劑；茴香酰(沸點(diǎn)154°C )、乙氧基苯(沸點(diǎn)170°C )等芳 香族醚系溶劑；甲苯(沸點(diǎn)lilt)、鄰二甲苯(沸點(diǎn)144°C )、間二甲苯(沸點(diǎn)139°C )、對(duì)二甲苯(沸點(diǎn)138°C)、乙基苯(沸點(diǎn)136°C)、對(duì)二乙基苯(沸點(diǎn)184°C)、均三甲基苯(沸 點(diǎn)211°C )、正丙基苯(沸點(diǎn)159°C )、異丙基苯(沸點(diǎn)152°C)、正丁基苯(沸點(diǎn)183°C )、異 丁基苯(沸點(diǎn)173°C )、仲丁基苯(沸點(diǎn)173°C )、四氫化萘(沸點(diǎn)208°C )、環(huán)己基苯(沸點(diǎn) 235°C ；在737mmHg下測(cè)定)等芳香族烴系溶劑；環(huán)己烷(沸點(diǎn)81°C )、甲基環(huán)己烷(沸點(diǎn) 101°C)、正戊烷(沸點(diǎn)36°C)、正己烷(沸點(diǎn)69°C)、正庚烷(沸點(diǎn)98°C)、正辛烷(沸點(diǎn) 126°C )、正壬烷(沸點(diǎn)151°C )、正癸烷(沸點(diǎn)174°C )、十氫化萘(順式體的沸點(diǎn)為196°C， 反式體的沸點(diǎn)為187°C )、雙環(huán)己烷(沸點(diǎn)217 233°C )等脂肪族烴系溶劑；丙酮(沸點(diǎn) 56°C )、甲乙酮(沸點(diǎn)80°C )、甲基異丁基酮(沸點(diǎn)117°C )、環(huán)己酮(沸點(diǎn)156°C )、2_庚酮 (沸點(diǎn)150°C )、3-庚酮(沸點(diǎn)147°C;在765mmHg下測(cè)定)、4_庚酮(沸點(diǎn)144°C )、2_辛酮 (沸點(diǎn)174°C )、2_壬酮(沸點(diǎn)195°C )、2_癸酮(沸點(diǎn)209°C )等脂肪族酮系溶劑；苯乙酮 (沸點(diǎn)202°C)等芳香族酮系溶劑；醋酸乙酯(沸點(diǎn)77°C)、醋酸丁酯(沸點(diǎn)120 125°C) 等脂肪族酯系溶劑；苯甲酸甲酯(沸點(diǎn)200°C)、苯甲酸丁酯(沸點(diǎn)213°C)、醋酸苯酯(沸 點(diǎn)196°C )等芳香族酯系溶劑；乙二醇(沸點(diǎn)198°C )、乙二醇單丁基醚(沸點(diǎn)171°C )、乙 二醇單乙基醚(沸點(diǎn)135°C )、乙二醇單甲基醚(沸點(diǎn)125°C )、1，2_ 二甲氧基乙烷(沸點(diǎn) 85°C)、丙二醇(沸點(diǎn)188°C)、1，2-二乙氧基甲烷(沸點(diǎn)124°C)、三乙二醇二乙基醚(沸點(diǎn) 222°C ) ,2,5-己二醇(沸點(diǎn)218°C )等脂肪族多元醇系溶劑及包含脂肪族多元醇的衍生物 的溶劑；甲醇(沸點(diǎn)65°C)、乙醇(沸點(diǎn)78°C)、丙醇(沸點(diǎn)97°C)、異丙醇(沸點(diǎn)82°C )、 環(huán)己醇(沸點(diǎn)161°C )等脂肪族醇系溶劑；二甲基亞砜(沸點(diǎn)37°C )等脂肪族亞砜系溶劑； N-甲基-2-吡咯烷酮(沸點(diǎn)202°C )、N, N- 二甲基甲酰胺(沸點(diǎn)153°C )等脂肪族酰胺系 溶劑。 作為本發(fā)明的涂布液所含的溶劑，從有機(jī)化合物的溶解性、薄膜的平坦性、粘度特 性等觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選芳香族烴系溶劑、脂肪族烴系溶劑、芳香族酯系溶劑、脂肪族酯系溶劑、 芳香族酮系溶劑、脂肪族酮系溶劑、芳香族醚系溶劑、脂肪族醚系溶劑。作為第1溶劑，從薄 膜的平坦性的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選為選自芳香族烴系溶劑、芳香族酯系溶劑、芳香族酮系溶劑及 芳香族醚系溶劑中的芳香族化合物，優(yōu)選甲苯、二甲苯、乙基苯、異丙基苯、茴香酰、均三甲 基苯，更優(yōu)選二甲苯、茴香酰、均三甲基苯。作為第2溶劑，從薄膜的平坦性的觀點(diǎn)考慮，優(yōu) 選為選自芳香族烴系溶劑、芳香族酯系溶劑、芳香族酮系溶劑及芳香族醚系溶劑中的芳香 族化合物，優(yōu)選正丁基苯、異丁基苯、環(huán)己基苯及四氫化萘，更優(yōu)選環(huán)己基苯、四氫化萘。作 為第1溶劑和第2溶劑的組合，優(yōu)選第1溶劑為二甲苯、第2溶劑為環(huán)己基苯的情況；第1 溶劑為二甲苯、第2溶劑為四氫化萘的情況；第1溶劑為茴香酰、第2溶劑為環(huán)己基苯的情 況；第1溶劑為茴香酰、第2溶劑為四氫化萘的情況；第1溶劑為均三甲基苯、第2溶劑為環(huán) 己基苯的情況；第1溶劑為均三甲基苯、第2溶劑為四氫化萘的情況。從涂布液的粘度的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選第1溶劑和第2溶劑均為在60°C下溶解有1重 量％以上的有機(jī)化合物的溶劑，優(yōu)選第1溶劑及第2溶劑中的至少一種溶劑為在25°C下溶 解有1重量％以上的有機(jī)化合物的溶劑。從減少狹縫堵塞的觀點(diǎn)、薄膜的平坦性的觀點(diǎn)考慮，本發(fā)明的涂布液中所含的第2 溶劑的重量?jī)?yōu)選相對(duì)于涂布液的總重量為0. 5 99重量％，更優(yōu)選為5 90重量％。在本發(fā)明中，薄膜的平坦性在除去剛開(kāi)始涂布時(shí)形成的部分和涂布結(jié)束時(shí)形成的 部分、距涂布從狹縫狀噴口的長(zhǎng)度方向的端部噴出的涂布液的區(qū)域5mm以上的區(qū)域進(jìn)行評(píng)價(jià)。在涂布本發(fā)明的涂布液而形成的膜中，除去剛開(kāi)始涂布時(shí)形成的部分和涂布結(jié)束 時(shí)形成的部分、涂布從狹縫狀噴口的長(zhǎng)度方向的端部噴出的涂布液的區(qū)域的膜厚(以下有 時(shí)稱為“邊緣部的膜厚”)有時(shí)發(fā)生大的改變。為涂布含有有機(jī)發(fā)光材料的涂布液而得到的 涂布膜時(shí)，上述膜厚差成為亮度不均的主要原因，因此，優(yōu)選減少該膜厚差及產(chǎn)生該膜厚差 的區(qū)域。從減少該膜厚差及產(chǎn)生該膜厚差的區(qū)域的觀點(diǎn)考慮，本發(fā)明的涂布液中所含的第 2溶劑的重量?jī)?yōu)選相對(duì)于涂布液的總重量為0. 5 30重量％。本發(fā)明的涂布液中所含的第1溶劑的重量在將涂布液中所含的20°C下為固體的 有機(jī)化合物的重量設(shè)定為100重量份時(shí)優(yōu)選為500 50000重量份，更優(yōu)選為1000 10000
重量份。本發(fā)明的涂布液中所含的第2溶劑的重量在將涂布液中所含的有機(jī)化合物的重 量設(shè)定為100重量份時(shí)優(yōu)選為500 50000重量份，更優(yōu)選為1000 10000重量份。從防止涂布時(shí)與基板的涂布液的剝離的觀點(diǎn)考慮，本發(fā)明的涂布液的粘度優(yōu)選為 1 20mPa s,更優(yōu)選為2 15mPa s。從薄膜的平坦性的觀點(diǎn)考慮，本發(fā)明的涂布液的表面張力優(yōu)選為10 70mN/m，更 優(yōu)選為20 50mN/m。本發(fā)明的涂布液中所含的有機(jī)化合物的重量?jī)?yōu)選相對(duì)于涂布液的總重量為 0. 01 10重量％，更優(yōu)選為0. 1 5重量％。小于0. 01重量％時(shí)，有時(shí)用于得到膜厚的涂 布量增大，大于10重量％時(shí)，有時(shí)粘度變高。從防止狹縫中的固體成分的附著、除去涂布后的溶劑的觀點(diǎn)考慮，本發(fā)明的涂布 液的蒸汽壓優(yōu)選在25°C下為0. 001 50mmHg，更優(yōu)選為0. 005 50mmHg。使用本發(fā)明的涂布液制造含有有機(jī)發(fā)光材料的薄膜時(shí)，該涂布液除含有有機(jī)發(fā)光 材料以外，還可以含有空穴傳輸材料、電子傳輸材料、無(wú)機(jī)發(fā)光材料、穩(wěn)定劑等添加劑。作為 該添加劑，適當(dāng)組合用于增大粘度的高分子量的高分子化合物(增粘劑)或不良溶劑、用于 減小粘度的低分子量的化合物、用于降低表面張力的表面活性劑等使用即可。作為上述高 分子量的高分子化合物，為可與本發(fā)明的高分子熒光材料溶于相同的溶劑中、且不阻礙發(fā) 光或電荷傳輸?shù)母叻肿踊衔锛纯?。例如，可以使用高分子量的聚苯乙烯、聚甲基丙烯酸?酯、或本發(fā)明的高分子發(fā)光材料中分子量大的化合物。聚苯乙烯換算的重均分子量?jī)?yōu)選為 50萬(wàn)以上，更優(yōu)選為100萬(wàn)以上。為了改善保存穩(wěn)定性，本發(fā)明的涂布液可以含有抗氧化 劑。作為抗氧化劑，為可與高分子熒光材料溶于相同的溶劑中、且不阻礙發(fā)光或電荷傳輸?shù)?高分子化合物即可，可以例示酚系抗氧化劑、磷系抗氧化劑等。<有機(jī)EL元件>下面對(duì)本發(fā)明的有機(jī)EL元件進(jìn)行說(shuō)明。本發(fā)明的有機(jī)EL元件是通過(guò)包含利用從狹縫狀噴口噴出涂布液的涂布法涂布本 發(fā)明的涂布液的工序的制造方法制造的有機(jī)EL元件。作為本發(fā)明的有機(jī)EL元件的結(jié)構(gòu)，是 在由至少一方為透明或半透明的一對(duì)陽(yáng)極及陰極構(gòu)成的電極間具有發(fā)光層的結(jié)構(gòu)，其中， 優(yōu)選在發(fā)光層中含有有機(jī)化合物的結(jié)構(gòu)，更優(yōu)選在發(fā)光層中含有有機(jī)發(fā)光材料(低分子熒 光材料、高分子熒光材料、發(fā)出磷光的化合物)的結(jié)構(gòu)。在有機(jī)EL元件中，作為陰極、陽(yáng)極、發(fā)光層以外的層，可以舉出設(shè)置在陰極和發(fā)光
8層之間的層、設(shè)置在陽(yáng)極和發(fā)光層之間的層。作為設(shè)置在陰極和發(fā)光層之間的層，可以舉 出電子注入層、電子傳輸層、空穴阻擋層等。例如，在陰極和發(fā)光層之間僅設(shè)置一層的情況 下為電子注入層，在陰極和發(fā)光層之間設(shè)置兩層以上的情況下，將與陰極接觸的層設(shè)定為 電子注入層，其以外的層稱為電子傳輸層。電子注入層是具有改善從陰極的電子注入效率的功能的層，電子傳輸層是具有改 善從電子注入層或更靠近陰極的電子傳輸層的電子注入的功能的層。電子注入層、或電子傳輸層具有阻擋空穴的傳輸?shù)墓δ軙r(shí)，有時(shí)將這些層稱為空 穴阻擋層。具有阻擋空穴的傳輸?shù)墓δ?，例如可以制作僅流過(guò)空穴電流的元件、通過(guò)其電流 值的減少確認(rèn)阻擋的效果。作為設(shè)置在陽(yáng)極和發(fā)光層之間的層，可以舉出空穴注入層 空穴傳輸層、電子阻 擋層等。在陽(yáng)極和發(fā)光層之間僅設(shè)置一層的情況下為空穴注入層，在陽(yáng)極和發(fā)光層之間設(shè) 置兩層以上的情況下，將與陽(yáng)極接觸的層設(shè)定為空穴注入層，其以外的層稱為空穴傳輸層。 空穴注入層是具有改善從陰極的空穴注入效率的功能的層，空穴傳輸層是具有改善從空穴 注入層或更靠近陽(yáng)極的空穴傳輸層的空穴注入的功能的層?？昭ㄗ⑷雽印⒒蚩昭▊鬏攲泳?有阻擋電子的傳輸?shù)墓δ軙r(shí)，有時(shí)將這些層稱為電子阻擋層。具有阻擋電子的傳輸?shù)墓δ埽?例如可以制作僅流過(guò)電子電流的元件、通過(guò)其電流值的減少確認(rèn)阻擋的效果。作為本發(fā)明的有機(jī)EL元件的結(jié)構(gòu)的例子，可以舉出以下的a) d)的結(jié)構(gòu)。a)陽(yáng)極/發(fā)光層/陰極b)陽(yáng)極/空穴傳輸層/發(fā)光層/陰極c)陽(yáng)極/發(fā)光層/電子傳輸層/陰極d)陽(yáng)極/空穴傳輸層/發(fā)光層/電子傳輸層/陰極(在次，/表示各層鄰接而層壓。以下相同。)在此，所謂發(fā)光層，是具有發(fā)光的功能的層，所謂空穴傳輸層，是具有傳輸空穴的 功能的層，所謂電子傳輸層，是具有傳輸電子的功能的層。需要說(shuō)明的是，將電子傳輸層和 空穴傳輸層統(tǒng)稱為電荷傳輸層。發(fā)光層、空穴傳輸層、電子傳輸層可以分別獨(dú)立地使用2層 以上。在鄰接電極而設(shè)置的電荷傳輸層中，具有改善從電極的電荷注入效率的功能、且 具有降低元件的驅(qū)動(dòng)電壓的效果的層有時(shí)一般特別稱為電荷注入層(空穴注入層、電子注 入層)。進(jìn)而，為了提高與電極的密合性及改善從電極的電荷注入，可以鄰接電極設(shè)置上 述電荷注入層或膜厚2nm以下的絕緣層，為了提高界面的密合性及防止混合等，還可以在 電荷傳輸層或發(fā)光層的界面插入薄的緩沖層。對(duì)于層壓的層的順序或數(shù)目、及各層的厚度， 可以考慮發(fā)光效率及元件壽命而適當(dāng)使用。本發(fā)明中，作為設(shè)置有電荷注入層(電子注入層、空穴注入層)的有機(jī)EL元件，可 以舉出鄰接陰極而設(shè)置有電荷注入層的有機(jī)EL元件、鄰接陽(yáng)極而設(shè)置有電荷注入層的有 機(jī)EL元件。例如，具體可以舉出以下的e) p)的結(jié)構(gòu)。e)陽(yáng)極/電荷注入層/發(fā)光層/陰極f)陽(yáng)極/發(fā)光層/電荷注入層/陰極
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g)陽(yáng)極/‘電荷注入層/1發(fā)光層/電荷注入層/‘陰極
h)陽(yáng)極/丨電荷注入層/丨空穴傳輸層/發(fā)光層/‘陰極
i)陽(yáng)極/丨空穴傳輸層/1發(fā)光層/電荷注入層/‘陰極
j)陽(yáng)極/1電荷注入層/丨空穴傳輸層/發(fā)光層/丨電荷注入層/‘陰極
k)陽(yáng)極/丨電荷注入層/1發(fā)光層/電荷傳輸層/‘陰極
1)陽(yáng)極/‘發(fā)光層/電子傳輸層/電荷注入層/‘陰極
m)陽(yáng)極/丨電荷注入層/1發(fā)光層/電子傳輸層/丨電荷注入層/‘陰極
n)陽(yáng)極/丨電荷注入層/1空穴傳輸層/發(fā)光層/丨電荷傳輸層/‘陰極
o)陽(yáng)極/丨空穴傳輸層/1發(fā)光層/電子傳輸層/丨電荷注入層/‘陰極
P)陽(yáng)極/丨電荷注入層/1空穴傳輸層/發(fā)光層/1電子傳輸層/‘電荷注入層/陰極<有機(jī)EL元件的制造方法>使用本發(fā)明的涂布液，利用通過(guò)從狹縫狀噴口噴出涂布液的涂布法涂布涂布液的 涂布方法形成的薄膜的平坦性足夠高，可以優(yōu)選用于有機(jī)EL元件具有的薄膜的制造。該涂 布液還具有減少狹縫堵塞的效果，可以進(jìn)行重復(fù)涂布。本發(fā)明的有機(jī)EL元件的制造方法是包含通過(guò)從狹縫狀噴口噴出涂布液的涂布法 涂布本發(fā)明的涂布液的工序的有機(jī)EL元件的制造方法。利用通過(guò)從狹縫狀噴口噴出涂布液的涂布法涂布本發(fā)明的涂布液的工序，可以制 造有機(jī)EL元件具有的薄膜。作為該薄膜，可以用于發(fā)光層、空穴傳輸層、空穴注入層、電子 阻擋層、電子傳輸層、電子注入層、空穴阻擋層等中。有機(jī)EL元件的制造工序可以具有以下工序通過(guò)從狹縫狀噴口噴出涂布液的涂 布法涂布本發(fā)明的涂布液，形成第1薄膜的工序；在該第1薄膜上再通過(guò)從狹縫狀噴口噴 出涂布液的涂布法涂布涂布液，形成第2薄膜的工序。形成第1薄膜時(shí)使用的涂布液和形 成第2薄膜時(shí)使用的涂布液可以相同也可以不同，從提高有機(jī)EL元件的元件特性的觀點(diǎn)考 慮，優(yōu)選不同。作為上述第1薄膜和第2薄膜的組合，可以舉出第1薄膜為空穴注入層、第2薄 膜為發(fā)光層的組合；第1薄膜為空穴傳輸層、第2薄膜為發(fā)光層的組合；第1薄膜為電子阻 擋層、第2薄膜為發(fā)光層的組合；第1薄膜為空穴注入層、第2薄膜為空穴傳輸層的組合；第 1薄膜為發(fā)光層、第2薄膜為電子傳輸層的組合。在通過(guò)從狹縫狀噴口噴出涂布液的涂布法涂布本發(fā)明的涂布液來(lái)形成第1薄膜 的工序、和在該第1薄膜上再通過(guò)從狹縫狀噴口噴出涂布液的涂布法涂布本發(fā)明涂布液來(lái) 形成第2薄膜的工序之間，還可以對(duì)該第1薄膜進(jìn)行加熱、UV照射等處理。在該第2薄膜 上還可以進(jìn)一步形成薄膜。
實(shí)施例以下，為了進(jìn)一步詳細(xì)地說(shuō)明本發(fā)明，例示實(shí)施例?！凑扯鹊臏y(cè)定方法〉涂布液的粘度利用LV DV-II+Pro CP (BR00KFIELD公司制)測(cè)定20°C下的值?！幢砻鎻埩Φ臏y(cè)定方法〉涂布液的表面張力利用0CA20(英弘精機(jī)公司制)測(cè)定20°C下的值。
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<玻璃基板>對(duì)于玻璃基板，用SPBC-200M自旋洗滌器(Micro技研公司制)清洗1713玻璃、大 小190mmX190mm(corning公司制)而使用。在要進(jìn)行涂布之前，使用Model208UV_03Clea ningSystem(TCHN0VIS0N公司制)實(shí)施玻璃基板的UV清洗。〈涂布方法〉作為毛細(xì)管涂布法用的涂布裝置，使用CAP Coaterlll (HIRANOTECSEED公司制)。 本涂布裝置的噴口為長(zhǎng)方形狀，長(zhǎng)邊的長(zhǎng)度為240mm，短邊的長(zhǎng)度為0. 3mm。<薄膜的平坦性的評(píng)價(jià)方法>用alpha-st印250 (TENCOR INSTRUMENTS 制)觀察涂布在玻璃基板上、在 1 X l(T2Pa 以下的減壓下干燥5分鐘而形成的膜的平坦性。在Alpha-St印中，除去剛開(kāi)始涂布時(shí)形成 的部分和涂布結(jié)束時(shí)形成的部分及涂布從狹縫狀噴口的長(zhǎng)度方向的端部噴出的涂布液的 區(qū)域，對(duì)200 u m寬的任意的3個(gè)地方進(jìn)行測(cè)定，評(píng)價(jià)中心線平均粗糙度Ra和最大的凹凸高 度。所謂中心線平均粗糙度Ra，是從中心線折疊粗糙度曲線、由該粗糙度曲線和中心線得到 的面積除以測(cè)定的寬得到的值。<薄膜的連續(xù)涂布次數(shù)評(píng)價(jià)方法>作為噴嘴的堵塞頻率，在試樣臺(tái)上設(shè)置基板，重復(fù)10次毛細(xì)管涂布用涂布液的涂 布、基板的交換、毛細(xì)管涂布用涂布液的涂布的操作，測(cè)定可以連續(xù)實(shí)施多少?gòu)堈５耐坎肌?lt;涂布從狹縫狀噴口的長(zhǎng)度方向的端部噴出的涂布液的區(qū)域的膜厚的測(cè)定方法>邊緣部的膜厚使用TENCOR公司制觸針式膜厚計(jì)P-16+進(jìn)行測(cè)定?！磳?shí)施例1>在有機(jī)發(fā)光材料Lumation GP1300 (Greenl300) (sumation公司制)lg中加入茴香 酰(沸點(diǎn)154°C ) 50g及環(huán)己基苯(沸點(diǎn)235 236°C ) 50g，制備毛細(xì)管涂布用涂布液1。有 機(jī)發(fā)光材料的重量相對(duì)于毛細(xì)管涂布用涂布液的總重量為1.0重量％。毛細(xì)管涂布用涂布 液1的粘度為6. 3mPa *s，表面張力為32. lmN/m。在涂布速度0. 3m/min、液面高度10mm、涂 布間隙220 u m的條件下涂布毛細(xì)管涂布用涂布液1。連續(xù)涂布次數(shù)評(píng)價(jià)的結(jié)果，可以毫無(wú)問(wèn)題地涂布至第10次。對(duì)成膜后的膜的平坦 性進(jìn)行評(píng)價(jià)的結(jié)果示于表1。使用毛細(xì)管涂布用涂布液1時(shí)，涂布特性、成膜后的膜的平坦性也充分，達(dá)到實(shí)用 水平。〈比較例1>在有機(jī)發(fā)光材料Lumation GP1300 (Greenl300) (sumation公司制)lg中加入甲苯 (沸點(diǎn)lire )ioog，制備毛細(xì)管涂布用涂布液2。有機(jī)發(fā)光材料的重量相對(duì)于毛細(xì)管涂布 用涂布液的總重量為1. 0重量％。毛細(xì)管涂布用涂布液2的粘度為2. 5mPa *s，表面張力為 26.4mN/m。連續(xù)涂布次數(shù)評(píng)價(jià)的結(jié)果，從第1次涂布開(kāi)始，噴嘴發(fā)生堵塞，在涂布方向產(chǎn)生線 狀的涂布不均。第2次涂布以后，由于噴嘴堵塞，不能進(jìn)行涂布。對(duì)成膜后的膜的平坦性進(jìn) 行評(píng)價(jià)的結(jié)果示于表2。使用毛細(xì)管涂布用涂布液2時(shí)，從第1次涂布開(kāi)始，發(fā)生因溶質(zhì)的成長(zhǎng)導(dǎo)致的堵塞引起的涂布不均，且成膜后的膜的平坦性也差，達(dá)不到實(shí)用水平。表1
表2
〈實(shí)施例2>在混合有二甲苯80g和環(huán)己基苯20g的溶劑(二甲苯環(huán)己基苯=8 2(重量 比))中溶解有機(jī)發(fā)光材料Lumation GP1300 (Greenl300) (sumation公司制)lg，制備毛細(xì) 管涂布用涂布液3。該毛細(xì)管涂布用涂布液3的粘度為10. 3mPa *s。以干燥后的膜厚為約 lOOnm的方式，在涂布速度1. 5m/min、液面高度15mm、涂布間隙200 u m的條件下將毛細(xì)管涂 布用涂布液3涂布在基板上。使用毛細(xì)管涂布用涂布液3時(shí)，涂布特性、成膜后的膜的平坦性均充分，達(dá)到實(shí)用 水平?！磳?shí)施例3>在混合有二甲苯50g和環(huán)己基苯50g的溶劑(二甲苯環(huán)己基苯=5 5(重量 比))中溶解有機(jī)發(fā)光材料Lumation GP1300 (Greenl300) (sumation公司制)lg，制備毛細(xì) 管涂布用涂布液4。該毛細(xì)管涂布用涂布液4的粘度為9. OmPa s。以干燥后的膜厚為約 100nm的方式，在涂布速度1. 5m/min、液面高度15mm、涂布間隙200 u m的條件下將毛細(xì)管涂 布用涂布液4涂布在基板上。使用毛細(xì)管涂布用涂布液4時(shí)，涂布特性、成膜后的膜的平坦性均充分，達(dá)到實(shí)用 水平。<邊緣部的厚膜改變的幅度的評(píng)價(jià)>使用毛細(xì)管涂布用涂布液3進(jìn)行成膜的薄膜及使用毛細(xì)管涂布用涂布液4進(jìn)行成 膜的薄膜的膜厚分布如圖1所示。使用環(huán)己基苯的重量相對(duì)于涂布液的總重量為50重量％ 的毛細(xì)管涂布用涂布液4進(jìn)行成膜的薄膜的邊緣部的膜厚改變的區(qū)域?yàn)?mm，另一方面，使 用環(huán)己基苯的重量相對(duì)于涂布液的總重量為20重量％的毛細(xì)管涂布用涂布液3進(jìn)行成膜 的薄膜的邊緣部的膜厚改變的區(qū)域?yàn)?. 5mm以下，使用毛細(xì)管涂布用涂布液3進(jìn)行成膜的薄膜的涂布有從狹縫狀噴口的長(zhǎng)度方向的端部噴出的涂布液的區(qū)域的膜厚改變的區(qū)域更產(chǎn)業(yè)上的可利用性使用本發(fā)明的從狹縫狀噴口噴出涂布液的涂布法用的涂布液，通過(guò)該涂布法形成 薄膜時(shí)，可以使薄膜的平坦性足夠高。本發(fā)明的涂布液在有機(jī)電致發(fā)光元件等的制造中是 有用的，在工業(yè)上是極其有用的。
權(quán)利要求
一種涂布液，其中，所述涂布液是從狹縫狀噴口噴出涂布液的涂布法用的涂布液，其中，含有在20℃為固體的有機(jī)化合物、具有小于170℃的沸點(diǎn)的第1溶劑和具有170℃以上的沸點(diǎn)的第2溶劑。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的涂布液，其中，狹縫狀噴口為大致長(zhǎng)方形，該大致長(zhǎng)方形的短邊方向的寬度為0.01 10mm。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的涂布液，其中， 所述涂布液是毛細(xì)管涂布用涂布液。
4.根據(jù)權(quán)利要求1 3中任一項(xiàng)所述的涂布液，其中， 有機(jī)化合物為用于有機(jī)電致發(fā)光元件的有機(jī)化合物。
5.根據(jù)權(quán)利要求1 4中任一項(xiàng)所述的涂布液，其中，第2溶劑的重量相對(duì)于涂布液的總重量為0. 5 99重量％。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的涂布液，其中，第2溶劑的重量相對(duì)于涂布液的總重量為0. 5 30重量％。
7.根據(jù)權(quán)利要求1 6中任一項(xiàng)所述的涂布液，其中， 第1溶劑為芳香族化合物。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的涂布液，其中， 第1溶劑為二甲苯、茴香酰或均三甲基苯。
9.根據(jù)權(quán)利要求1 8中任一項(xiàng)所述的涂布液，其中， 第2溶劑為芳香族化合物。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的涂布液，其中， 第2溶劑為環(huán)己基苯或四氫化萘。
11.根據(jù)權(quán)利要求1 10中任一項(xiàng)所述的涂布液，其中，有機(jī)化合物的重量相對(duì)于涂布 液的總重量為0. 01 10重量％。
12.根據(jù)權(quán)利要求1 11中任一項(xiàng)所述的涂布液，其中，粘度為1 20mPa s。
13.根據(jù)權(quán)利要求1 12中任一項(xiàng)所述的涂布液，其中，表面張力為10 70mN/m。
14.一種涂布方法，其中，利用從狹縫狀噴口噴出涂布液的涂布法，涂布權(quán)利要求1 13中任一項(xiàng)所述的涂布液。
15.一種有機(jī)電致發(fā)光元件的制造方法，其中，包含利用從狹縫狀噴口噴出涂布液的涂布法，涂布權(quán)利要求1 13中任一項(xiàng)所述的 涂布液的工序。
16.一種有機(jī)電致發(fā)光元件的制造方法，其中， 具有利用從狹縫狀噴口噴出涂布液的涂布法，涂布權(quán)利要求1 13中任一項(xiàng)所述的涂布 液，從而形成第1薄膜的工序；和在該第1薄膜上，再利用從狹縫狀噴口噴出涂布液的涂布法涂布涂布液，從而形成第2 薄膜的工序。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的制造方法，其中，形成第1薄膜的工序中使用的涂布液和形成第2薄膜的工序中使用的涂布液不同。
18. 一種有機(jī)電致發(fā)光元件，其是通過(guò)權(quán)利要求15 17中任一項(xiàng)所述的制造方法來(lái)制 造的。
全文摘要
本發(fā)明提供一種涂布液，其是從狹縫狀噴口噴出涂布液的涂布法用的涂布液，其含有在20℃為固體的有機(jī)化合物、具有小于170℃的沸點(diǎn)的第1溶劑和具有170℃以上的沸點(diǎn)的第2溶劑。
文檔編號(hào)H01L51/50GK101855308SQ20088011553
公開(kāi)日2010年10月6日 申請(qǐng)日期2008年11月14日 優(yōu)先權(quán)日2007年11月16日
發(fā)明者松江照行, 海保昭雄 申請(qǐng)人:住友化學(xué)株式會(huì)社