專利名稱：RF激勵(lì)全金屬CO₂波導(dǎo)激光器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種激光發(fā)生器。
背景技術(shù)：
目前，國(guó)內(nèi)外中小功率RF激勵(lì)波導(dǎo)(X)2激光器采用風(fēng)冷或在諧振腔外鑲嵌銅管水冷的方式進(jìn)行激光器工作物質(zhì)的散熱，由于銅管不能與金屬腔體良好的接觸，并且接觸面積較小，所以會(huì)產(chǎn)生一定的熱阻，導(dǎo)熱效果不理想，對(duì)激光器件的工作性能和壽命產(chǎn)生較大的影響。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的發(fā)明目的在于提供一種能夠有效地將工作氣體產(chǎn)生的熱量快速傳導(dǎo)出腔外，降低和穩(wěn)定工作氣體的溫度，改善激光器的工作特性，提高了激光器輸出功率和穩(wěn)定性的RF激勵(lì)全金屬C02波導(dǎo)激光器。本實(shí)用新型是這樣實(shí)現(xiàn)的，包括激光腔體、設(shè)置在激光腔體內(nèi)的電感、連接在電感下面的金屬板上電極、連接在金屬板上電極下面的金屬板(放電區(qū)側(cè)擋板)、連接在金屬板下面的金屬板下電極，金屬板包括兩塊以上的子金屬板側(cè)擋板，在子金屬板間設(shè)置有放電區(qū)，激光腔體容腔內(nèi)的除電感、金屬板上電極、金屬板、金屬板下電極、放電區(qū)外的部分為密閉的儲(chǔ)氣室，儲(chǔ)氣室內(nèi)是能放電發(fā)出激光的氣體，其特別之處在于在儲(chǔ)氣室的外側(cè)的上下四個(gè)角的激光腔體的腔壁內(nèi)設(shè)置有循環(huán)水冷卻通道，在激光腔體的外側(cè)壁上設(shè)置有散熱翼片。工作時(shí)，一是將激光工作氣體的一部分熱量通過(guò)散熱片直接散熱出去；二是通過(guò)激光器的內(nèi)部水冷循環(huán)系統(tǒng)，有效地將工作氣體產(chǎn)生的熱量快速吸收散出，達(dá)到很高的散熱效果， 增大和穩(wěn)定了激光器的輸出功率和工作性能。這里循環(huán)水冷卻通道呈圓柱形，相應(yīng)的儲(chǔ)氣室的外側(cè)的上下四個(gè)角的腔壁呈圓弧形，這樣，既增大了腔壁吸取工作氣體產(chǎn)生的熱量的面積，同時(shí)，有利于迅速地將熱能傳遞到通道內(nèi)的冷卻水上。這里，帶有循環(huán)水冷卻通道、墻體的激光腔體用金屬整體擠壓成型而成。金屬是鋁
I=I 巫 O本實(shí)用新型與已有技術(shù)相比，由于采用了在儲(chǔ)氣室的外側(cè)的上下四個(gè)角的激光腔體的腔壁內(nèi)設(shè)置有循環(huán)水冷卻通道，因此，具有能夠有效地將工作氣體產(chǎn)生的熱量快速傳導(dǎo)出腔外，降低和穩(wěn)定工作氣體的溫度，改善激光器的工作特性，提高了激光器輸出功率和穩(wěn)定性的優(yōu)點(diǎn)。


圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)橫剖面示意圖；圖2為本實(shí)用新型的循環(huán)水冷卻通道的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
現(xiàn)結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步詳細(xì)描述
3[0013]如圖所示，本實(shí)用新型包括激光腔體2、設(shè)置在激光腔體2內(nèi)的電感3、連接在電感 3下面的金屬板上電極4、連接在金屬板上電極4下面的金屬板側(cè)擋板7、連接在金屬板7下面的金屬板下電極5，金屬板7包括兩塊以上的子金屬板7a，在子金屬板7a間設(shè)置有放電區(qū)6，激光腔體2容腔內(nèi)的除電感3、金屬板上電極4、金屬板7、金屬板下電極5、放電區(qū)6外的部分為密閉的儲(chǔ)氣室8，儲(chǔ)氣室8內(nèi)是能放電發(fā)出激光的氣體，其特別之處在于在儲(chǔ)氣室 8的外側(cè)的上下四個(gè)角8a的激光腔體2的腔壁加內(nèi)設(shè)置有帶有進(jìn)口 la、出口 Ib的循環(huán)水冷卻通道1，在激光腔體2的外側(cè)壁上設(shè)置有散熱翼片9。循環(huán)水冷卻通道1截面呈圓柱形，相應(yīng)的儲(chǔ)氣室8的外側(cè)的上下四個(gè)角8a的腔壁加呈圓弧形.帶有循環(huán)水冷卻通道1、墻體的激光腔體2用金屬整體擠壓成型而成。金屬是鋁合金。
權(quán)利要求1.RF激勵(lì)全金屬C02波導(dǎo)激光器，包括激光腔體、設(shè)置在激光腔體內(nèi)的電感、連接在電感下面的金屬板上電極、連接在金屬板上電極下面的金屬板、連接在金屬板下面的金屬板下電極，金屬板包括兩塊以上的子金屬板，在子金屬板間設(shè)置有放電區(qū)，激光腔體容腔內(nèi)的除電感、金屬板上電極、金屬板側(cè)擋板、金屬板下電極、放電區(qū)外的部分為密閉的儲(chǔ)氣室， 儲(chǔ)氣室內(nèi)是能放電發(fā)出激光的氣體，其特征在于在儲(chǔ)氣室的外側(cè)的上下角的激光腔體的腔壁內(nèi)設(shè)置有循環(huán)水冷卻通道，在激光腔體的外側(cè)壁上設(shè)置有散熱翼片。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的RF激勵(lì)全金屬C02波導(dǎo)激光器，其特征在于這里循環(huán)水冷卻通道截面呈圓柱形，相應(yīng)的儲(chǔ)氣室的外側(cè)的上下角的腔壁呈圓弧形。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的RF激勵(lì)全金屬C02波導(dǎo)激光器，其特征在于帶有循環(huán)水冷卻通道、墻體的激光腔體用金屬整體擠壓成型而成。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的RF激勵(lì)全金屬C02波導(dǎo)激光器，其特征在于金屬是鋁合金。
專利摘要RF激勵(lì)全金屬CO2波導(dǎo)激光器,包括激光腔體、設(shè)置在激光腔體內(nèi)的電感、連接在電感下面的金屬板上電極、連接在金屬板上電極下面的金屬板、連接在金屬板下面的金屬板下電極，金屬板包括兩塊以上的子金屬板，在子金屬板間設(shè)置有放電區(qū)，激光腔體容腔內(nèi)的除電感、金屬板上電極、金屬板側(cè)擋板、金屬板下電極、放電區(qū)外的部分為密閉的儲(chǔ)氣室，儲(chǔ)氣室內(nèi)是能放電發(fā)出激光的氣體，其特征在于在儲(chǔ)氣室的外側(cè)的上下角的激光腔體的腔壁內(nèi)設(shè)置有循環(huán)水冷卻通道，在激光腔體的外側(cè)壁上設(shè)置有散熱翼片。本實(shí)用新型與已有技術(shù)相比，具有能夠有效地將工作氣體產(chǎn)生的熱量快速傳導(dǎo)出腔外，降低和穩(wěn)定工作氣體的溫度，改善激光器的工作特性，提高了激光器輸出功率和穩(wěn)定性的優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)H01S3/041GK202084777SQ201120152818
公開日2011年12月21日 申請(qǐng)日期2011年5月13日 優(yōu)先權(quán)日2011年5月13日
發(fā)明者劉玉華, 唐令西 申請(qǐng)人:佛山科學(xué)技術(shù)學(xué)院