專利名稱：高速取放微小輕小物體的高速擺桿組件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及吸氣取放組件，特別涉及一種高速擺桿取放吸氣組件。
背景技術(shù)：
在對(duì)晶片進(jìn)行檢測(cè)時(shí)，通常是將晶片利用真空吸氣的方式，將晶片從供料機(jī)構(gòu)中吸取，然后利用正壓氣體吹放在檢測(cè)平臺(tái)上的檢測(cè)工位，進(jìn)行一系列的晶片檢測(cè)項(xiàng)目。隨著晶體向小型化發(fā)展，晶體內(nèi)的晶片越來(lái)越小，由于晶片過(guò)于微小重量非常輕，在放置晶片的時(shí)候正壓空氣非常容易把晶片吹飛，嚴(yán)重偏離檢測(cè)位置，并且吹氣量難以調(diào)整和控制，當(dāng)把吹氣量調(diào)小時(shí)，由于晶片靜電以及晶片表面污染等因素，用傳統(tǒng)的方式小晶片非常容易附著在吸頭上，使放料失敗。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服已有技術(shù)的不足，提供一種可以實(shí)現(xiàn)小晶片的良好定位的高速取放微小輕小物體的高速擺桿組件。為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是本發(fā)明的高速取放微小輕小物體的高速擺桿組件，它包括安裝在高速擺桿上的吸嘴，所述的吸嘴通過(guò)安裝有真空閥的真空回路連接管與真空泵相連，安裝在馬達(dá)安裝板上的擺桿馬達(dá)的馬達(dá)轉(zhuǎn)軸與高速擺桿垂直相連，所述的擺桿馬達(dá)與升降驅(qū)動(dòng)裝置相連，升降驅(qū)動(dòng)裝置安裝在組件安裝架上。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于本組件可以應(yīng)用到晶體設(shè)備中用于晶片的高速取放，實(shí)現(xiàn)了小晶片的良好定位。


附圖是本發(fā)明的高速取放微小輕小物體的高速擺桿組件的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)描述。本發(fā)明的高速取放微小輕小物體的高速擺桿組件，它包括安裝在高速擺桿3上的吸嘴1，所述的吸嘴通過(guò)安裝有真空閥的真空回路連接管與真空泵相連，安裝在馬達(dá)安裝板5上的擺桿馬達(dá)4的馬達(dá)轉(zhuǎn)軸與高速擺桿垂直相連，所述的擺桿馬達(dá)與升降驅(qū)動(dòng)裝置相連，升降驅(qū)動(dòng)裝置安裝在組件安裝架9上。使用時(shí)所述的組件安裝架固定安裝在設(shè)備基臺(tái)上。優(yōu)選的所述的升降驅(qū)動(dòng)裝置包括擺桿升降馬達(dá)8，所述的擺桿升降馬達(dá)8的轉(zhuǎn)軸通過(guò)凸輪連接件與凸輪固定安裝，凸輪與安裝在雙滑軌上的凸輪槽板配合安裝組成凸輪連桿機(jī)構(gòu)7，帶動(dòng)擺桿馬達(dá)及馬達(dá)安裝板和擺桿做升降運(yùn)動(dòng)，所述的雙滑軌沿豎直方向安裝在擺桿馬達(dá)4側(cè)壁上。當(dāng)然所述的升降驅(qū)動(dòng)裝置也可以采用氣缸推桿等結(jié)構(gòu)。優(yōu)選的沿豎直方向設(shè)置的平衡彈簧2的一端固定在凸輪連桿機(jī)構(gòu)上并且平衡彈簧2的另一端固定安裝在組件安裝架上，用于抵消擺桿馬達(dá)及馬達(dá)安裝板的重量減少擺桿升降馬達(dá)8的負(fù)重，并保持凸輪連桿機(jī)構(gòu)緊密配合。采用本組件的工作過(guò)程如下特制吸嘴I與高速擺桿3連接，通過(guò)真空回路連接真空閥產(chǎn)生真空負(fù)壓吸取微小物體(在本設(shè)備中為晶片)；當(dāng)要取放晶片時(shí)，特制吸嘴I通過(guò)真空閥產(chǎn)生真空負(fù)壓，在供料平臺(tái)上吸取晶片，通過(guò)擺桿馬達(dá)4和擺 桿升降馬達(dá)8把晶片高速移動(dòng)到檢測(cè)位置，真空閥切換為正壓吹氣，破壞吸嘴內(nèi)部真空，使晶片掉落在檢測(cè)平臺(tái)上，進(jìn)行放料動(dòng)作，循環(huán)往復(fù)。
權(quán)利要求
1.高速取放微小輕小物體的高速擺桿組件，其特征在于它包括安裝在高速擺桿上的吸嘴，所述的吸嘴通過(guò)安裝有真空閥的真空回路連接管與真空泵相連，安裝在馬達(dá)安裝板上的擺桿馬達(dá)的馬達(dá)轉(zhuǎn)軸與高速擺桿垂直相連，所述的擺桿馬達(dá)與升降驅(qū)動(dòng)裝置相連，升降驅(qū)動(dòng)裝置安裝在組件安裝架上。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的高速取放微小輕小物體的高速擺桿組件，其特征在于所述的升降驅(qū)動(dòng)裝置包括擺桿升降馬達(dá)，所述的擺桿升降馬達(dá)的轉(zhuǎn)軸通過(guò)凸輪連接件與凸輪固定安裝，凸輪與安裝在雙滑軌上的凸輪槽板配合安裝組成凸輪連桿機(jī)構(gòu)，所述的雙滑軌沿豎直方向安裝在擺桿馬達(dá)側(cè)壁上。
全文摘要
本發(fā)明公開了高速取放微小輕小物體的高速擺桿組件，它包括安裝在高速擺桿上的吸嘴，所述的吸嘴通過(guò)安裝有真空閥的真空回路連接管與真空泵相連，安裝在馬達(dá)安裝板上的擺桿馬達(dá)的馬達(dá)轉(zhuǎn)軸與高速擺桿垂直相連，所述的擺桿馬達(dá)與升降驅(qū)動(dòng)裝置相連，升降驅(qū)動(dòng)裝置安裝在組件安裝架上。本組件可以應(yīng)用到晶體設(shè)備中用于晶片的高速取放，實(shí)現(xiàn)了小晶片的良好定位。
文檔編號(hào)H01L21/687GK102832159SQ20121034505
公開日2012年12月19日 申請(qǐng)日期2012年9月14日 優(yōu)先權(quán)日2012年9月14日
發(fā)明者李建平, 房桂磊 申請(qǐng)人:天津必利優(yōu)科技發(fā)展有限公司