光伏擴(kuò)散工序中石英舟裝載硅片工藝的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種光伏擴(kuò)散工序中石英舟裝載硅片工藝，所述工藝步驟為：步驟一、將裝有硅片的兩個(gè)花籃并排放置，且兩個(gè)花籃一正一反放置；步驟二、將一個(gè)花籃中的硅片水平推進(jìn)進(jìn)入另一個(gè)花籃中，從而使得第二個(gè)花籃中的每一個(gè)槽內(nèi)均具有背靠背設(shè)置的兩片硅片；步驟三、將第二個(gè)花籃中的硅片推導(dǎo)進(jìn)入石英舟內(nèi)。本發(fā)明一種光伏擴(kuò)散工序中石英舟裝載硅片工藝，效率高且碎片率低。
【專利說明】光伏擴(kuò)散工序中石英舟裝載硅片工藝

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種石英舟上硅片的裝載工藝，尤其是涉及一種在光伏擴(kuò)散工序中對石墨舟進(jìn)行硅片裝載的工藝，屬于太陽能光伏【技術(shù)領(lǐng)域】。

【背景技術(shù)】
[0002]太陽能電池板生產(chǎn)工藝中的擴(kuò)散是指:一種在硅片兩面通過化學(xué)反應(yīng)制備PN結(jié)的工藝，是光伏電池生產(chǎn)過程中最重要的工序之一；石英舟是擴(kuò)散工序所使用的治具，一般是分成100個(gè)槽，但是由于對應(yīng)的花籃由兩組50個(gè)槽的模塊構(gòu)成，因此需要重復(fù)操作兩次才能進(jìn)行裝卸片，在石英舟的每個(gè)槽內(nèi)背對背放置2片硅片，即一個(gè)石英舟一次共可以擴(kuò)散200片硅片；在擴(kuò)散工序進(jìn)行前，需要將200片硅片裝載進(jìn)入石英舟內(nèi)；
目前，石英舟裝卸片有兩種方式:人工和機(jī)器；
一、依靠人工操，此方式勞動(dòng)強(qiáng)度大，效率低，碎片率高；
二、依靠機(jī)械，行業(yè)內(nèi)目前使用的一種石英舟自動(dòng)化裝卸片的設(shè)備，都是采取伺服和吸盤實(shí)現(xiàn)裝卸片(如中國專利201310506596公布的“擴(kuò)散石英舟的新型插片裝置”)，每次操作裝卸一個(gè)石英舟，但是由于其采用的花籃的兩組模塊之間有一定的間隔(該間隔大于花籃節(jié)距，因此無法整體操作，需要分成兩次進(jìn)行作業(yè))，兩次操作才能完成一次裝卸片200片，最快速度每小時(shí)可以同時(shí)裝片或者卸片7600片；并且目前設(shè)備不僅速度慢，并且機(jī)器制造的成本高，故障率高，定位和碎片問題都不理想。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的在于克服上述不足，提供一種效率高且碎片率低的光伏擴(kuò)散工序中石英舟裝載硅片工藝。
[0004]本發(fā)明的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的:
一種光伏擴(kuò)散工序中石英舟裝載硅片工藝，所述工藝步驟為:
步驟一、將裝有硅片的兩個(gè)花籃并排放置，且兩個(gè)花籃一正一反放置；
步驟二、將一個(gè)花籃中的硅片水平推進(jìn)進(jìn)入另一個(gè)花籃中，從而使得第二個(gè)花籃中的每一個(gè)槽內(nèi)均具有背靠背設(shè)置的兩片硅片；
步驟三、將第二個(gè)花籃中的硅片推導(dǎo)進(jìn)入石英舟內(nèi)。
[0005]本發(fā)明一種光伏擴(kuò)散工序中石英舟裝載硅片工藝，上述步驟一和步驟二依靠裝片機(jī)實(shí)現(xiàn)，該裝片機(jī)包含有裝片機(jī)架，所述裝片機(jī)架的工作臺(tái)面上安裝有花籃固定架，所述花籃固定架內(nèi)并排放置有兩個(gè)花籃，且所述裝片機(jī)架的工作臺(tái)面上通過直線導(dǎo)軌滑動(dòng)設(shè)置有裝片推進(jìn)架，該裝片推進(jìn)架位于上述花籃固定架旁，且裝片推進(jìn)架靠近花籃固定架的一側(cè)豎向設(shè)置有導(dǎo)條。
[0006]本發(fā)明一種光伏擴(kuò)散工序中石英舟裝載硅片工藝，上述步驟三依靠導(dǎo)片機(jī)實(shí)現(xiàn)，該導(dǎo)片機(jī)包含有導(dǎo)片機(jī)架，所述導(dǎo)片機(jī)架的工作臺(tái)面斜向設(shè)置，所述導(dǎo)片機(jī)架的工作臺(tái)面上并排設(shè)置有導(dǎo)片花籃固定架和石英舟固定座，所述導(dǎo)片花籃固定架旁設(shè)置有利用直線導(dǎo)軌滑動(dòng)設(shè)置于導(dǎo)片機(jī)架工作臺(tái)面上的移動(dòng)條，所述移動(dòng)條朝向?qū)ɑ@固定架的一面設(shè)置有推動(dòng)條，所述石英舟固定座旁設(shè)置有利用直線導(dǎo)軌滑動(dòng)設(shè)置于導(dǎo)片機(jī)架工作臺(tái)面上的移動(dòng)引導(dǎo)條，所述移動(dòng)引導(dǎo)條朝向石英舟固定座的一面設(shè)置有引導(dǎo)梳齒。
[0007]本發(fā)明一種光伏擴(kuò)散工序中石英舟裝載硅片工藝，上述步驟三依靠石英舟裝載機(jī)實(shí)現(xiàn)，所述石英舟裝載機(jī)包含有機(jī)架，所述機(jī)架的工作臺(tái)面上并排設(shè)置有定位座一和定位座二，所述定位座一旁設(shè)置有推桿，所述定位座二旁設(shè)置有導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)包含有一位于定位座二底部的下導(dǎo)向梳齒板，以及位于定位座二上方的上導(dǎo)向梳齒板，所述上導(dǎo)向梳齒板的下表面和下導(dǎo)向梳齒板的上表面均設(shè)置有供娃片插入的齒槽；
本發(fā)明一種光伏擴(kuò)散工序中石英舟裝載硅片工藝，所述上導(dǎo)向梳齒板連接與一橫桿上，該橫桿通過一豎向設(shè)置的直線導(dǎo)軌滑接于機(jī)架上，且橫桿位于一豎向安裝的擱置架的頂部凹槽內(nèi)。
[0008]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是:
本發(fā)明工藝簡單，有效的降低了整個(gè)工藝的流程的復(fù)雜性，能夠有效降低硅片在工藝中的破片率，且實(shí)現(xiàn)工藝的裝置結(jié)構(gòu)簡單，制造成本低廉，操作方便，能夠一次性對100+100片硅片轉(zhuǎn)移至石英舟內(nèi)，從而極大的提高了生產(chǎn)效率。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0009]圖1為本發(fā)明一種光伏擴(kuò)散工序中石英舟裝載硅片工藝中所用的裝片機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0010]圖2為本發(fā)明一種光伏擴(kuò)散工序中石英舟裝載硅片工藝中所用的導(dǎo)片機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0011]圖3為本發(fā)明一種光伏擴(kuò)散工序中石英舟裝載硅片工藝中所用的石英舟裝載機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖(石英舟處于裝片狀態(tài))。
[0012]圖4為本發(fā)明一種光伏擴(kuò)散工序中石英舟裝載硅片工藝中所用的石英舟裝載機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖(石英舟處于卸片狀態(tài))。
[0013]其中:
裝片機(jī)1、導(dǎo)片機(jī)2、石英舟裝載機(jī)3 ；
裝片機(jī)架1.1、花籃固定架1.2、花籃1.3、裝片推進(jìn)架1.4、導(dǎo)條1.5 ；
導(dǎo)片機(jī)架2.1、導(dǎo)片花籃固定架2.2、移動(dòng)條2.3、推動(dòng)條2.4、移動(dòng)引導(dǎo)條2.5、引導(dǎo)梳齒
2.6、石英舟固定座2.7 ;
機(jī)架3.1、定位座一 3.2、定位座二 3.3、推桿3.4、導(dǎo)向機(jī)構(gòu)3.5 ；
橫桿3.5.1、上導(dǎo)向梳齒板3.5.2、下導(dǎo)向梳齒板3.5.3、擱置架3.5.4。

【具體實(shí)施方式】
[0014]參見圖1，本發(fā)明涉及的一種光伏擴(kuò)散工序中石英舟裝載硅片工藝，所述工藝步驟為:
步驟一、將裝有硅片的兩個(gè)花籃并排放置，且兩個(gè)花籃一正一反放置；
步驟二、將一個(gè)花籃中的硅片水平推進(jìn)進(jìn)入另一個(gè)花籃中，從而使得第二個(gè)花籃中的每一個(gè)槽內(nèi)均具有背靠背設(shè)置的兩片硅片； 步驟三、將第二個(gè)花籃中的硅片推導(dǎo)進(jìn)入石英舟內(nèi)；
上述步驟一和步驟二依靠裝片機(jī)I實(shí)現(xiàn)，該裝片機(jī)I包含有裝片機(jī)架1.1，所述裝片機(jī)架1.1的工作臺(tái)面上安裝有花籃固定架1.2，所述花籃固定架1.2內(nèi)并排放置有兩個(gè)花籃
1.3，且所述裝片機(jī)架1.1的工作臺(tái)面上通過直線導(dǎo)軌滑動(dòng)設(shè)置有裝片推進(jìn)架1.4，該裝片推進(jìn)架1.4位于上述花籃固定架1.2旁，且裝片推進(jìn)架1.4靠近花籃固定架1.2的一側(cè)豎向設(shè)置有導(dǎo)條1.5 ；
使用時(shí)，通過裝片推進(jìn)架1.4推動(dòng)導(dǎo)條1.5移動(dòng)，從而利用導(dǎo)條1.5將一個(gè)花籃1.3內(nèi)的硅片進(jìn)入另一花籃內(nèi)，上述花籃1.3具有100個(gè)槽，且100個(gè)槽均勻布置；
上述步驟三依靠導(dǎo)片機(jī)2實(shí)現(xiàn)，該導(dǎo)片機(jī)2包含有導(dǎo)片機(jī)架2.1，所述導(dǎo)片機(jī)架2.1的工作臺(tái)面斜向設(shè)置，所述導(dǎo)片機(jī)架2.1的工作臺(tái)面上并排設(shè)置有導(dǎo)片花籃固定架2.2和石英舟固定座2.7，所述導(dǎo)片花籃固定架2.2旁設(shè)置有利用直線導(dǎo)軌滑動(dòng)設(shè)置于導(dǎo)片機(jī)架2.1工作臺(tái)面上的移動(dòng)條2.3，所述移動(dòng)條2.3朝向?qū)ɑ@固定架2.2的一面設(shè)置有推動(dòng)條
2.4，所述石英舟固定座2.7旁設(shè)置有利用直線導(dǎo)軌滑動(dòng)設(shè)置于導(dǎo)片機(jī)架2.1工作臺(tái)面上的移動(dòng)引導(dǎo)條2.5,所述移動(dòng)引導(dǎo)條2.5朝向石英舟固定座2.7的一面設(shè)置有引導(dǎo)梳齒2.6 ；
上述步驟三還可依靠石英舟裝載機(jī)3實(shí)現(xiàn)，所述石英舟裝載機(jī)3包含有機(jī)架3.1，所述機(jī)架3.1的工作臺(tái)面上并排設(shè)置有定位座一 3.2和定位座二 3.3，所述定位座一 3.2旁設(shè)置有推桿3.4，所述定位座二 3.3旁設(shè)置有導(dǎo)向機(jī)構(gòu)3.5，所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)3.5包含有一位于定位座二 3.3底部的下導(dǎo)向梳齒板3.5.3，以及位于定位座二 3.3上方的上導(dǎo)向梳齒板
3.5.2,所述上導(dǎo)向梳齒板3.5.2的下表面和下導(dǎo)向梳齒板3.5.3的上表面均設(shè)置有供娃片插入的齒槽；所述上導(dǎo)向梳齒板3.5.2連接與一橫桿3.5.1上,該橫桿3.5.1通過一豎向設(shè)置的直線導(dǎo)軌滑接于機(jī)架3.1上，且橫桿3.5.1位于一豎向安裝的擱置架3.5.4的頂部凹槽內(nèi)；
參見圖3，上述石英舟裝載機(jī)3進(jìn)行裝片時(shí)，上導(dǎo)向梳齒板3.5.2和下導(dǎo)向梳齒板
3.5.3均設(shè)置有兩塊，定位座一 3.2上用于安放花籃，定位座二 3.3上用于安放石英舟，橫桿3.5.1在豎向設(shè)置的直線導(dǎo)軌的導(dǎo)向作用下上升，然后利用推桿3.4將花籃內(nèi)的硅片在上導(dǎo)向梳齒板3.5.2和下導(dǎo)向梳齒板3.5.3的導(dǎo)向作用下引導(dǎo)進(jìn)入石英舟內(nèi)即可；
參見圖4，上述石英舟裝載機(jī)3還可用于卸片，上導(dǎo)向梳齒板3.5.2和下導(dǎo)向梳齒板
3.5.3均設(shè)置為單塊，此時(shí)定位座一 3.2上用于安放石英舟，定位座二 3.3上用于安放花籃，橫桿3.5.1在豎向設(shè)置的直線導(dǎo)軌的導(dǎo)向作用下上升，然后利用推桿3.4將石英舟內(nèi)的硅片在上導(dǎo)向梳齒板3.5.2和下導(dǎo)向梳齒板3.5.3的導(dǎo)向作用下引導(dǎo)進(jìn)入花籃內(nèi)即可；從而使得利用石英舟裝載機(jī)3該一種結(jié)構(gòu)即可對石英舟實(shí)現(xiàn)裝片和卸片作業(yè)；
使用時(shí)，引導(dǎo)梳齒2.6對硅片起到定位引導(dǎo)作用，推動(dòng)條2.4推動(dòng)硅片在引導(dǎo)梳齒2.6的引導(dǎo)作用下進(jìn)入石英舟的槽內(nèi)；且導(dǎo)片花籃固定架2.2上的花籃具有100個(gè)槽，且100個(gè)槽均勻布置，從而使得本專利可以一次進(jìn)行轉(zhuǎn)移；
另外:需要注意的是，上述【具體實(shí)施方式】僅為本專利的一個(gè)優(yōu)化方案，本領(lǐng)域的技術(shù)人員根據(jù)上述構(gòu)思所做的任何改動(dòng)或改進(jìn)，均在本專利的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種光伏擴(kuò)散工序中石英舟裝載硅片工藝，其特征在于:所述工藝步驟為: 步驟一、將裝有硅片的兩個(gè)花籃并排放置，且兩個(gè)花籃一正一反放置； 步驟二、將一個(gè)花籃中的硅片水平推進(jìn)進(jìn)入另一個(gè)花籃中，從而使得第二個(gè)花籃中的每一個(gè)槽內(nèi)均具有背靠背設(shè)置的兩片硅片； 步驟三、將第二個(gè)花籃中的硅片推導(dǎo)進(jìn)入石英舟內(nèi)。
2.如權(quán)利要求1所述一種光伏擴(kuò)散工序中石英舟裝載硅片工藝，其特征在于:上述步驟一和步驟二依靠裝片機(jī)(I)實(shí)現(xiàn)，該裝片機(jī)(I)包含有裝片機(jī)架(1.1)，所述裝片機(jī)架(1.1)的工作臺(tái)面上安裝有花籃固定架(1.2)，所述花籃固定架(1.2)內(nèi)并排放置有兩個(gè)花籃(1.3)，且所述裝片機(jī)架(1.1)的工作臺(tái)面上通過直線導(dǎo)軌滑動(dòng)設(shè)置有裝片推進(jìn)架(1.4)，該裝片推進(jìn)架(1.4)位于上述花籃固定架(1.2)旁，且裝片推進(jìn)架(1.4)靠近花籃固定架(1.2)的一側(cè)豎向設(shè)置有導(dǎo)條(1.5)。
3.如權(quán)利要求1或2所述一種光伏擴(kuò)散工序中石英舟裝載硅片工藝，其特征在于:上述步驟三依靠導(dǎo)片機(jī)(2)實(shí)現(xiàn)，該導(dǎo)片機(jī)(2)包含有導(dǎo)片機(jī)架(2.1)，所述導(dǎo)片機(jī)架(2.1)的工作臺(tái)面斜向設(shè)置，所述導(dǎo)片機(jī)架(2.1)的工作臺(tái)面上并排設(shè)置有導(dǎo)片花籃固定架(2.2)和石英舟固定座(2.7)，所述導(dǎo)片花籃固定架(2.2)旁設(shè)置有利用直線導(dǎo)軌滑動(dòng)設(shè)置于導(dǎo)片機(jī)架(2.1)工作臺(tái)面上的移動(dòng)條(2.3)，所述移動(dòng)條(2.3)朝向?qū)ɑ@固定架(2.2)的一面設(shè)置有推動(dòng)條(2.4)，所述石英舟固定座(2.7)旁設(shè)置有利用直線導(dǎo)軌滑動(dòng)設(shè)置于導(dǎo)片機(jī)架(2.1)工作臺(tái)面上的移動(dòng)引導(dǎo)條(2.5)，所述移動(dòng)引導(dǎo)條(2.5)朝向石英舟固定座(2.7)的一面設(shè)置有引導(dǎo)梳齒(2.6)。
4.如權(quán)利要求1或2所述一種光伏擴(kuò)散工序中石英舟裝載硅片工藝，其特征在于:上述步驟三依靠石英舟裝載機(jī)(3)實(shí)現(xiàn)，所述石英舟裝載機(jī)(3)包含有機(jī)架(3.1)，所述機(jī)架(3.1)的工作臺(tái)面上并排設(shè)置有定位座一(3.2)和定位座二(3.3)，所述定位座一(3.2)旁設(shè)置有推桿(3.4)，所述定位座二(3.3)旁設(shè)置有導(dǎo)向機(jī)構(gòu)(3.5)，所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)(3.5 )包含有一位于定位座二(3.3)底部的下導(dǎo)向梳齒板(3.5.3),以及位于定位座二(3.3)上方的上導(dǎo)向梳齒板(3.5.2),所述上導(dǎo)向梳齒板(3.5.2)的下表面和下導(dǎo)向梳齒板(3.5.3)的上表面均設(shè)置有供硅片插入的齒槽； 如權(quán)利要求4所述一種光伏擴(kuò)散工序中石英舟裝載硅片工藝，其特征在于:所述上導(dǎo)向梳齒板(3.5.2)連接與一橫桿(3.5.1)上,該橫桿(3.5.1)通過一豎向設(shè)置的直線導(dǎo)軌滑接于機(jī)架(3.1)上，且橫桿(3.5.1)位于一豎向安裝的擱置架(3.5.4)的頂部凹槽內(nèi)。
【文檔編號(hào)】H01L21/677GK104409403SQ201410612182
【公開日】2015年3月11日 申請日期:2014年11月5日 優(yōu)先權(quán)日:2014年11月5日
【發(fā)明者】李長英, 陳 光, 高玉良 申請人:江陰方艾機(jī)器人有限公司