一種水冷式三螺釘調(diào)配器的制造方法
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型涉及一種水冷式三螺釘調(diào)配器，包括：三個(gè)銷(xiāo)釘調(diào)節(jié)系統(tǒng)，并排設(shè)置在矩形波導(dǎo)上；銷(xiāo)釘調(diào)節(jié)系統(tǒng)包括：扼流結(jié)構(gòu)、介質(zhì)塊、調(diào)節(jié)螺母、銷(xiāo)釘、軸承及冷卻水管組；扼流結(jié)構(gòu)與矩形波導(dǎo)固定連接；介質(zhì)塊設(shè)置在扼流結(jié)構(gòu)中的扼流槽內(nèi)；銷(xiāo)釘穿設(shè)在扼流結(jié)構(gòu)中，底部伸入矩形波導(dǎo)；調(diào)節(jié)螺母套設(shè)在銷(xiāo)釘上；調(diào)節(jié)螺母的底端與扼流結(jié)構(gòu)螺紋連接；軸承夾持固定在調(diào)節(jié)螺母與銷(xiāo)釘之間；冷卻水管組設(shè)置在銷(xiāo)釘內(nèi)部，將循環(huán)冷卻水通入銷(xiāo)釘內(nèi)部。該水冷式三螺釘調(diào)配器的工作溫度低，微波泄漏小，操作簡(jiǎn)單，滿(mǎn)足高功率微波傳輸線調(diào)節(jié)要求。
【專(zhuān)利說(shuō)明】
一種水冷式三螺釘調(diào)配器
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及波導(dǎo)調(diào)配器技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種水冷式三螺釘調(diào)配器。
【背景技術(shù)】
[0002]金剛石擁有眾多優(yōu)異的性質(zhì)，比如硬度、穩(wěn)定性、熱導(dǎo)率、禁帶寬度、透光率等等，因此它在各個(gè)領(lǐng)域都有著廣泛的應(yīng)用前景。近年來(lái)，隨著中國(guó)經(jīng)濟(jì)社會(huì)的飛速發(fā)展，高質(zhì)量大面積的金剛石膜的制備技術(shù)引起了越來(lái)越多的人的關(guān)注，而MPCVD法因其無(wú)電極污染，放電穩(wěn)定，便于控制等優(yōu)點(diǎn)成為制備高質(zhì)量大面積金剛石膜的首選方法。完整的MPCVD系統(tǒng)由微波電源、傳輸線、諧振腔以及相應(yīng)的調(diào)節(jié)裝置即三螺釘調(diào)配器組成，而傳統(tǒng)三螺釘調(diào)配器由于微波泄漏高、工作溫度高等原因難以實(shí)現(xiàn)對(duì)915MHz高功率微波傳輸線的有效調(diào)節(jié)。針對(duì)微波泄漏問(wèn)題，中國(guó)發(fā)明專(zhuān)利說(shuō)明書(shū)CN 102569967B公開(kāi)了一種波導(dǎo)調(diào)配器中抑制電磁場(chǎng)泄漏的方法，該結(jié)構(gòu)中具有兩層扼流槽結(jié)構(gòu)，能有效抑制微波能量輻射，防止微波泄漏，但依然沒(méi)有解決由于介質(zhì)損耗等原因在高功率工作過(guò)程中總是會(huì)出現(xiàn)工作溫度過(guò)高的問(wèn)題。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)中三螺釘調(diào)配器在高功率工作過(guò)程中容易出現(xiàn)工作溫度過(guò)高，導(dǎo)致設(shè)備工作性能不穩(wěn)定。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]本申請(qǐng)?zhí)峁┑囊环N水冷式三螺釘調(diào)配器，解決了或部分解決了現(xiàn)有技術(shù)中三螺釘調(diào)配器在高功率工作過(guò)程中容易出現(xiàn)工作溫度過(guò)高的技術(shù)問(wèn)題，實(shí)現(xiàn)了工作溫度低，微波泄漏小，操作簡(jiǎn)單，滿(mǎn)足高功率微波傳輸線調(diào)節(jié)要求的技術(shù)效果。
[0005]本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N水冷式三螺釘調(diào)配器，包括:
[0006]三個(gè)銷(xiāo)釘調(diào)節(jié)系統(tǒng)，并排設(shè)置在矩形波導(dǎo)上；
[0007]所述銷(xiāo)釘調(diào)節(jié)系統(tǒng)包括:扼流結(jié)構(gòu)、介質(zhì)塊、調(diào)節(jié)螺母、銷(xiāo)釘、軸承及冷卻水管組；
[0008]所述扼流結(jié)構(gòu)與所述矩形波導(dǎo)固定連接，所述扼流結(jié)構(gòu)上開(kāi)設(shè)扼流槽；
[0009]所述介質(zhì)塊設(shè)置在所述扼流槽內(nèi)；
[0010]所述銷(xiāo)釘穿設(shè)在所述扼流結(jié)構(gòu)中，底部伸入所述矩形波導(dǎo)；
[0011]所述調(diào)節(jié)螺母套設(shè)在所述銷(xiāo)釘上；所述調(diào)節(jié)螺母的底端與所述扼流結(jié)構(gòu)螺紋連接；
[0012]所述軸承夾持固定在所述調(diào)節(jié)螺母與所述銷(xiāo)釘之間；
[0013]所述冷卻水管組設(shè)置在所述銷(xiāo)釘內(nèi)部，將循環(huán)冷卻水通入所述銷(xiāo)釘內(nèi)部。
[0014]作為優(yōu)選，所述扼流結(jié)構(gòu)通過(guò)連接螺釘與所述矩形波導(dǎo)固定連接。
[0015]作為優(yōu)選，所述介質(zhì)塊與所述銷(xiāo)釘?shù)膬?nèi)壁過(guò)渡配合。
[0016]作為優(yōu)選，所述介質(zhì)塊為陶瓷介質(zhì)塊。
[0017]作為優(yōu)選，所述扼流槽的深度LI與深度L2的和等于915MHz微波在該同軸線中傳輸?shù)南嗖ㄩL(zhǎng)的一半，即Ll+L2 = 0.5Ag;其中Ag為所述915MHz微波在該同軸線中傳輸?shù)南嗖ㄩL(zhǎng)。
[0018]作為優(yōu)選，所述軸承為向心軸承。
[0019]作為優(yōu)選，所述軸承的外環(huán)面與所述調(diào)節(jié)螺母頂部的光滑內(nèi)壁為過(guò)盈配合；
[0020]所述軸承的內(nèi)環(huán)面與所述銷(xiāo)釘?shù)耐獗谶^(guò)盈配合。
[0021 ]作為優(yōu)選，所述冷卻水管組包括:進(jìn)水管及出水管；
[0022]所述進(jìn)水管及出水管設(shè)置在所述銷(xiāo)釘內(nèi)部；
[0023]所述進(jìn)水管端部的位置低于所述出水管端部的位置。
[0024]作為優(yōu)選，所述銷(xiāo)釘?shù)捻敳颗c端蓋螺紋連接；
[0025]所述進(jìn)水管及所述出水管與所述端蓋焊接固定。
[0026]作為優(yōu)選，所述進(jìn)水管端部位于所述銷(xiāo)釘?shù)牡撞浚?br>[0027]所述出水管端部位于所述銷(xiāo)釘?shù)捻敳浚?br>[0028]冷卻水從所述進(jìn)水管端部進(jìn)入所述銷(xiāo)釘內(nèi)部，并從所述出水管排出。
[0029]本申請(qǐng)中提供的一個(gè)或多個(gè)技術(shù)方案，至少具有如下技術(shù)效果或優(yōu)點(diǎn):
[0030]由于采用了扼流結(jié)構(gòu)，銷(xiāo)釘，軸承，冷卻水管組，調(diào)節(jié)螺母，介質(zhì)塊組成的銷(xiāo)釘調(diào)節(jié)系統(tǒng)，通過(guò)旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)螺母來(lái)控制銷(xiāo)釘插入矩形波導(dǎo)的深度進(jìn)而調(diào)節(jié)反射的微波功率;通過(guò)冷卻水管組向銷(xiāo)釘內(nèi)部通入循環(huán)冷卻水，冷卻水通過(guò)銷(xiāo)釘從熱源處吸收熱量，降低整個(gè)三螺釘調(diào)配器的溫度;這樣，有效解決了現(xiàn)有技術(shù)中三螺釘調(diào)配器在高功率工作過(guò)程中容易出現(xiàn)工作溫度過(guò)高的技術(shù)問(wèn)題，實(shí)現(xiàn)了工作溫度低，微波泄漏小，操作簡(jiǎn)單，滿(mǎn)足高功率微波傳輸線調(diào)節(jié)要求的技術(shù)效果。
【附圖說(shuō)明】

[0031]圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的水冷式三螺釘調(diào)配器中銷(xiāo)釘調(diào)節(jié)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示圖；
[0032]圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的水冷式三螺釘調(diào)配器的結(jié)構(gòu)示圖。
[0033](圖示中各標(biāo)號(hào)代表的部件依次為:I介質(zhì)塊、2扼流結(jié)構(gòu)、3調(diào)節(jié)螺母、4冷卻水管組、5軸承、6銷(xiāo)釘、7銷(xiāo)釘調(diào)節(jié)系統(tǒng)、8矩形波導(dǎo))
【具體實(shí)施方式】
[0034]本申請(qǐng)實(shí)施例提供的一種水冷式三螺釘調(diào)配器，解決了或部分解決了現(xiàn)有技術(shù)中三螺釘調(diào)配器在高功率工作過(guò)程中容易出現(xiàn)工作溫度過(guò)高的技術(shù)問(wèn)題，通過(guò)扼流結(jié)構(gòu)，銷(xiāo)釘，軸承，冷卻水管組，調(diào)節(jié)螺母，介質(zhì)塊組成的銷(xiāo)釘調(diào)節(jié)系統(tǒng)，冷卻水管組向銷(xiāo)釘內(nèi)部通入循環(huán)冷卻水降低整個(gè)三螺釘調(diào)配器的溫度，實(shí)現(xiàn)了工作溫度低，微波泄漏小，操作簡(jiǎn)單，滿(mǎn)足高功率微波傳輸線調(diào)節(jié)要求的技術(shù)效果。
[0035]參見(jiàn)附圖1和2，本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N水冷式三螺釘調(diào)配器，包括:三個(gè)銷(xiāo)釘調(diào)節(jié)系統(tǒng)7，并排設(shè)置在矩形波導(dǎo)8上。
[0036]銷(xiāo)釘調(diào)節(jié)系統(tǒng)7包括:扼流結(jié)構(gòu)2、介質(zhì)塊1、調(diào)節(jié)螺母3、銷(xiāo)釘6、軸承5及冷卻水管組4;扼流結(jié)構(gòu)2與矩形波導(dǎo)8固定連接，扼流結(jié)構(gòu)2上開(kāi)設(shè)扼流槽;作為優(yōu)選，扼流結(jié)構(gòu)2通過(guò)連接螺釘與矩形波導(dǎo)8固定連接;介質(zhì)塊I設(shè)置在扼流槽內(nèi)；用于減小電磁波在扼流結(jié)構(gòu)2中傳播的相波長(zhǎng)，即減小扼流結(jié)構(gòu)2的尺寸，同時(shí)，介質(zhì)塊I內(nèi)壁光滑且與銷(xiāo)釘6緊密配合以達(dá)到潤(rùn)滑和保證銷(xiāo)釘6同心度的目的。
[0037]介質(zhì)塊I與銷(xiāo)釘6的內(nèi)壁過(guò)渡配合。介質(zhì)塊I為陶瓷介質(zhì)塊。扼流槽的深度LI與深度L2的和等于915MHz微波在該同軸線中傳輸?shù)南嗖ㄩL(zhǎng)的一半，S卩Ll+L2 = 0.5Ag;Ag為915MHz微波在該同軸線中傳輸?shù)南嗖ㄩL(zhǎng)。
[0038]銷(xiāo)釘6穿設(shè)在扼流結(jié)構(gòu)2中，底部伸入矩形波導(dǎo)；銷(xiāo)釘6用于調(diào)節(jié)傳輸線的阻抗，以達(dá)到與負(fù)載阻抗匹配降低反射功率的目的，它通過(guò)調(diào)節(jié)螺母3調(diào)節(jié)深入矩形波導(dǎo)8的深度來(lái)改變傳輸線的阻抗。
[0039]調(diào)節(jié)螺母3套設(shè)在銷(xiāo)釘6上;調(diào)節(jié)螺母3的底端與扼流結(jié)構(gòu)2螺紋連接;調(diào)節(jié)螺母3通過(guò)旋轉(zhuǎn)相對(duì)扼流結(jié)構(gòu)2上升或下降，進(jìn)而帶動(dòng)軸承5及銷(xiāo)釘6上升或下降，以改變銷(xiāo)釘6深入矩形波導(dǎo)8的深度。
[0040]軸承5夾持固定在調(diào)節(jié)螺母3與銷(xiāo)釘6之間；作為一種優(yōu)選的實(shí)施例，軸承5為向心軸承，軸承5的外環(huán)面與調(diào)節(jié)螺母3頂部的光滑內(nèi)壁為過(guò)盈配合;軸承5的內(nèi)環(huán)面與銷(xiāo)釘6的外壁過(guò)盈配合。向心軸承能保證銷(xiāo)釘6在上下運(yùn)動(dòng)的過(guò)程中自身不會(huì)發(fā)生旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，以避免水管打結(jié)或者是對(duì)調(diào)節(jié)螺母3調(diào)節(jié)行為產(chǎn)生干涉。
[0041]冷卻水管組4設(shè)置在銷(xiāo)釘6內(nèi)部，將循環(huán)冷卻水通入銷(xiāo)釘6內(nèi)部，以保證三螺釘調(diào)配器正常的工作溫度。
[0042]其中，該水冷式三螺釘調(diào)配器通過(guò)旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)螺母3來(lái)控制銷(xiāo)釘6插入矩形波導(dǎo)8的深度進(jìn)而調(diào)節(jié)反射的微波功率;通過(guò)冷卻水管組4向銷(xiāo)釘6內(nèi)部通入循環(huán)冷卻水，冷卻水通過(guò)銷(xiāo)釘6從熱源處吸收熱量，降低整個(gè)三螺釘調(diào)配器的溫度;具有工作溫度低，微波泄漏小，操作簡(jiǎn)單，解決了915MHz高功率微波傳輸線調(diào)節(jié)中的難題。
[0043]進(jìn)一步的，冷卻水管組4包括:進(jìn)水管及出水管；進(jìn)水管及出水管設(shè)置在銷(xiāo)釘6內(nèi)部;進(jìn)水管端部的位置低于出水管端部的位置。進(jìn)水管端部位于銷(xiāo)釘6的底部；出水管端部位于銷(xiāo)釘6的頂部;冷卻水從進(jìn)水管端部進(jìn)入銷(xiāo)釘6內(nèi)部，水位線不斷上升，并從出水管排出。銷(xiāo)釘6的頂部與端蓋螺紋連接;進(jìn)水管及出水管與端蓋焊接固定。作為優(yōu)選的實(shí)施例，進(jìn)水管及出水管選用軟管。
[0044]本申請(qǐng)中提供的一個(gè)或多個(gè)技術(shù)方案，至少具有如下技術(shù)效果或優(yōu)點(diǎn):
[0045]由于采用了扼流結(jié)構(gòu)2，銷(xiāo)釘6，軸承5，冷卻水管組4，調(diào)節(jié)螺母3，介質(zhì)塊I組成的銷(xiāo)釘調(diào)節(jié)系統(tǒng)7，通過(guò)旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)螺母3來(lái)控制銷(xiāo)釘6插入矩形波導(dǎo)8的深度進(jìn)而調(diào)節(jié)反射的微波功率;通過(guò)冷卻水管組4向銷(xiāo)釘6內(nèi)部通入循環(huán)冷卻水，冷卻水通過(guò)銷(xiāo)釘6從熱源處吸收熱量，降低整個(gè)三螺釘調(diào)配器的溫度;這樣，有效解決了現(xiàn)有技術(shù)中三螺釘調(diào)配器在高功率工作過(guò)程中容易出現(xiàn)工作溫度過(guò)高的技術(shù)問(wèn)題，實(shí)現(xiàn)了工作溫度低，微波泄漏小，操作簡(jiǎn)單，滿(mǎn)足高功率微波傳輸線調(diào)節(jié)要求的技術(shù)效果。
[0046]以上所述的【具體實(shí)施方式】，對(duì)本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案和有益效果進(jìn)行了進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明，所應(yīng)理解的是，以上所述僅為本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】而已，并不用于限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種水冷式三螺釘調(diào)配器，其特征在于，所述水冷式三螺釘調(diào)配器包括: 三個(gè)銷(xiāo)釘調(diào)節(jié)系統(tǒng)，并排設(shè)置在矩形波導(dǎo)上； 所述銷(xiāo)釘調(diào)節(jié)系統(tǒng)包括:扼流結(jié)構(gòu)、介質(zhì)塊、調(diào)節(jié)螺母、銷(xiāo)釘、軸承及冷卻水管組； 所述扼流結(jié)構(gòu)與所述矩形波導(dǎo)固定連接，所述扼流結(jié)構(gòu)上開(kāi)設(shè)扼流槽； 所述介質(zhì)塊設(shè)置在所述扼流槽內(nèi)； 所述銷(xiāo)釘穿設(shè)在所述扼流結(jié)構(gòu)中，底部伸入所述矩形波導(dǎo)； 所述調(diào)節(jié)螺母套設(shè)在所述銷(xiāo)釘上;所述調(diào)節(jié)螺母的底端與所述扼流結(jié)構(gòu)螺紋連接； 所述軸承夾持固定在所述調(diào)節(jié)螺母與所述銷(xiāo)釘之間； 所述冷卻水管組設(shè)置在所述銷(xiāo)釘內(nèi)部，將循環(huán)冷卻水通入所述銷(xiāo)釘內(nèi)部。2.如權(quán)利要求1所述的水冷式三螺釘調(diào)配器，其特征在于， 所述扼流結(jié)構(gòu)通過(guò)連接螺釘與所述矩形波導(dǎo)固定連接。3.如權(quán)利要求1所述的水冷式三螺釘調(diào)配器，其特征在于， 所述介質(zhì)塊與所述銷(xiāo)釘?shù)膬?nèi)壁過(guò)渡配合。4.如權(quán)利要求1所述的水冷式三螺釘調(diào)配器，其特征在于， 所述介質(zhì)塊為陶瓷介質(zhì)塊。5.如權(quán)利要求1所述的水冷式三螺釘調(diào)配器，其特征在于， 所述扼流槽的深度LI與深度L2的和等于915MHz微波在同軸線中傳輸?shù)南嗖ㄩL(zhǎng)的一半，SP L1+L2 = 0.5Ag;其中Ag為所述915MHz微波在同軸線中傳輸?shù)南嗖ㄩL(zhǎng)。6.如權(quán)利要求1所述的水冷式三螺釘調(diào)配器，其特征在于， 所述軸承為向心軸承。7.如權(quán)利要求1所述的水冷式三螺釘調(diào)配器，其特征在于， 所述軸承的外環(huán)面與所述調(diào)節(jié)螺母頂部的光滑內(nèi)壁為過(guò)盈配合； 所述軸承的內(nèi)環(huán)面與所述銷(xiāo)釘?shù)耐獗谶^(guò)盈配合。8.如權(quán)利要求1所述的水冷式三螺釘調(diào)配器，其特征在于， 所述冷卻水管組包括:進(jìn)水管及出水管； 所述進(jìn)水管及出水管設(shè)置在所述銷(xiāo)釘內(nèi)部； 所述進(jìn)水管端部的位置低于所述出水管端部的位置。9.如權(quán)利要求8所述的水冷式三螺釘調(diào)配器，其特征在于， 所述銷(xiāo)釘?shù)捻敳颗c端蓋螺紋連接； 所述進(jìn)水管及所述出水管與所述端蓋焊接固定。10.如權(quán)利要求9所述的水冷式三螺釘調(diào)配器，其特征在于， 所述進(jìn)水管端部位于所述銷(xiāo)釘?shù)牡撞浚?所述出水管端部位于所述銷(xiāo)釘?shù)捻敳浚?冷卻水從所述進(jìn)水管端部進(jìn)入所述銷(xiāo)釘內(nèi)部，并從所述出水管排出。
【文檔編號(hào)】H01P3/00GK205723894SQ201620423076
【公開(kāi)日】2016年11月23日
【申請(qǐng)日】2016年5月11日
【發(fā)明人】劉輝, 汪建華, 翁俊, 吳驍, 陳義
【申請(qǐng)人】武漢工程大學(xué)