基板支撐裝置及裝卸載腔室的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種基板支撐裝置及裝卸載腔室，裝置包括支撐組件、定位組件和校準(zhǔn)件；支撐組件具有第一支撐部，定位組件具有導(dǎo)向部和第二支撐部；第一支撐部的端面與第二支撐部的端面形成用于支撐基板的支撐面；導(dǎo)向部安裝在第二支撐部的端面上，與第二支撐部的端面之間的連接邊界為基板的定位邊界；校準(zhǔn)件嵌入第一支撐部和/或第二支撐部?jī)?nèi)，并部分凸出于第一支撐部和/或第二支撐部的端面，能夠在第一支撐部和/或第二支撐部?jī)?nèi)滾動(dòng)；當(dāng)基板沿導(dǎo)向部運(yùn)動(dòng)至支撐面時(shí)，校準(zhǔn)件與基板接觸后滾動(dòng)，并通過(guò)滾動(dòng)將基板移動(dòng)至定位邊界處。其通過(guò)在第一支撐部和/或第二支撐部?jī)?nèi)嵌入校準(zhǔn)件實(shí)現(xiàn)基板位置的校準(zhǔn)，有效解決了傳統(tǒng)的校準(zhǔn)裝置結(jié)構(gòu)復(fù)雜的問(wèn)題。
【專利說(shuō)明】
基板支撐裝置及裝卸載腔室
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制備技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種基板支撐裝置及裝卸載腔室。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，半導(dǎo)體器件制備設(shè)備(如:磁控濺射設(shè)備)通常包括裝卸載腔室和制程腔室。其中，裝卸載腔室用于進(jìn)行基板的裝載和拆卸。制程腔室則用于對(duì)由裝卸載腔室傳送過(guò)來(lái)的基板進(jìn)行工藝加工處理，從而得到相應(yīng)的半導(dǎo)體器件。由于基板由裝卸載腔室傳送至制程腔室時(shí)，其在裝卸載腔室中的位置對(duì)工藝處理具有較大的影響，一旦基板在裝卸載腔室內(nèi)的位置有所偏移，則很有可能會(huì)使得基板經(jīng)過(guò)傳送裝置進(jìn)入制成腔室后因位置偏移而導(dǎo)致基板破損的現(xiàn)象。因此，裝卸載腔室內(nèi)通常安裝有校準(zhǔn)裝置，通過(guò)校準(zhǔn)裝置對(duì)進(jìn)入裝卸載腔室內(nèi)的基板的位置進(jìn)行校準(zhǔn)，以防止基板在裝卸載腔室內(nèi)的位置偏移。但是，傳統(tǒng)的安裝在裝卸載腔室內(nèi)的校準(zhǔn)裝置結(jié)構(gòu)較為復(fù)雜，不利于實(shí)現(xiàn)。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]基于此，有必要針對(duì)傳統(tǒng)的安裝在裝卸載腔室內(nèi)的校準(zhǔn)裝置結(jié)構(gòu)復(fù)雜的問(wèn)題，提供一種基板支撐裝置及裝卸載腔室。
[0004]為實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型目的提供的一種基板支撐裝置，用于支撐進(jìn)入裝卸載腔室內(nèi)的基板并校準(zhǔn)所述基板的位置，包括支撐組件、定位組件和校準(zhǔn)件；
[0005]所述支撐組件和所述定位組件均安裝在所述裝卸載腔室內(nèi)；且
[0006]所述支撐組件具有第一支撐部，所述定位組件具有導(dǎo)向部和第二支撐部；
[0007]所述第一支撐部的端面與所述第二支撐部的端面相配合，形成用于支撐所述基板的支撐面；
[0008]所述導(dǎo)向部安裝在所述第二支撐部的端面上，且所述導(dǎo)向部與所述第二支撐部的端面之間的連接邊界為所述基板的定位邊界；
[0009]所述校準(zhǔn)件嵌入所述第一支撐部和/或所述第二支撐部?jī)?nèi)，并部分凸出于所述第一支撐部的端面和/或所述第二支撐部的端面，能夠在所述第一支撐部和/或所述第二支撐部?jī)?nèi)滾動(dòng);且
[0010]所述校準(zhǔn)件，用于當(dāng)所述基板沿所述導(dǎo)向部運(yùn)動(dòng)至所述支撐面時(shí)，與所述基板相接觸后滾動(dòng)，并通過(guò)滾動(dòng)將所述基板移動(dòng)至所述定位邊界處。
[0011]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述校準(zhǔn)件呈球形結(jié)構(gòu)。
[0012]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述校準(zhǔn)件為金屬球，且所述金屬球的球面光滑。
[0013]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述第一支撐部開設(shè)有第一凹槽;所述校準(zhǔn)件置于所述第一凹槽內(nèi)，并與所述第一凹槽相匹配；
[0014]和/或，所述第二支撐部開設(shè)有第二凹槽;所述校準(zhǔn)件置于所述第二凹槽內(nèi)，并與所述第二凹槽相匹配。
[0015]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述校準(zhǔn)件凸出于所述第一支撐部和/或所述第二支撐部的端面的垂直距離為2mm—5mm。
[0016]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述支撐組件還具有第一安裝部;所述第一安裝部與所述第一支撐部相連接；
[0017]所述第一安裝部遠(yuǎn)離所述第一支撐部的一端適用于安裝在所述裝卸載腔室的底部；
[0018]其中，所述第一安裝部和所述第一支撐部的主體結(jié)構(gòu)均為柱狀結(jié)構(gòu);且
[0019]所述第一安裝部的橫截面面積小于所述第一支撐部的橫截面面積。
[0020]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述導(dǎo)向部為楔形塊;所述第二支撐部的主體為柱形結(jié)構(gòu)。[0021 ]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述定位組件的個(gè)數(shù)為四個(gè)；四個(gè)所述定位組件圍成長(zhǎng)方形形狀;且
[0022]四個(gè)所述定位組件分別位于所述長(zhǎng)方形的四個(gè)頂點(diǎn)位置處。
[0023]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述支撐組件的個(gè)數(shù)為多個(gè)；多個(gè)所述支撐組件均勻分散設(shè)置在所述裝卸載腔室內(nèi)。
[0024]相應(yīng)的，本實(shí)用新型還提供了一種裝卸載腔室，包括如上任一所述的基板支撐裝置。
[0025]上述基板支撐裝置，通過(guò)設(shè)置支撐組件、定位組件和校準(zhǔn)件。由支撐組件的第一支撐部的端面與定位組件的第二支撐部的端面相配合，形成用于支撐進(jìn)入裝卸載腔室內(nèi)的基板的支撐面。同時(shí)，還設(shè)置定位組件包括安裝在第二支撐部的端面上的導(dǎo)向部，通過(guò)導(dǎo)向部與第二支撐部的端面之間的連接邊界作為基板的定位邊界，從而作為基板放置位置的標(biāo)準(zhǔn)。并且，還通過(guò)將校準(zhǔn)件嵌入第一支撐部和/或第二支撐部?jī)?nèi)，并部分凸出于第一支撐部和/或第二支撐部的端面，能夠在第一支撐部和/或第二支撐部?jī)?nèi)滾動(dòng)。由此，當(dāng)基板進(jìn)入裝卸載腔室內(nèi)后，沿導(dǎo)向部運(yùn)動(dòng)至支撐面時(shí)，由校準(zhǔn)件與基板相接觸并發(fā)生滾動(dòng)，從而通過(guò)校準(zhǔn)件的滾動(dòng)將基板自動(dòng)移動(dòng)至定位邊界處，實(shí)現(xiàn)了基板放置過(guò)程中的自動(dòng)校準(zhǔn)功能。其只需在第一支撐部和/或第二支撐部?jī)?nèi)嵌入校準(zhǔn)件即可實(shí)現(xiàn)，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易于實(shí)現(xiàn)。有效解決了傳統(tǒng)的安裝在裝卸載腔室內(nèi)的校準(zhǔn)裝置結(jié)構(gòu)復(fù)雜的問(wèn)題。
【附圖說(shuō)明】

[0026]圖1為本實(shí)用新型的基板支撐裝置的實(shí)施例一的正視剖面示意圖；
[0027]圖2為基板進(jìn)入安裝有本實(shí)用新型的基板支撐裝置的裝卸載腔室后，沿導(dǎo)向部朝向第一支撐部運(yùn)動(dòng)時(shí)的示意圖；
[0028]圖3為基板進(jìn)入安裝有本實(shí)用新型的基板支撐裝置的裝卸載腔室后，基板位置存在有偏移時(shí)與第一校準(zhǔn)件相接觸時(shí)的示意圖；
[0029]圖4為基板與第一校準(zhǔn)件相接觸后，通過(guò)第一校準(zhǔn)件的滾動(dòng)移動(dòng)至定位邊界后的示意圖；
[0030]圖5為本實(shí)用新型的基板支撐裝置的實(shí)施例二的正視剖面示意圖；
[0031 ]圖6為本實(shí)用新型的基板支撐裝置的實(shí)施例三的俯視示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0032]為使本實(shí)用新型技術(shù)方案更加清楚，以下結(jié)合附圖及具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。
[0033]首先，應(yīng)當(dāng)說(shuō)明的是，本實(shí)用新型的基板支撐裝置，用于安裝在裝卸載腔室的內(nèi)部，支撐進(jìn)入裝卸載腔室內(nèi)的基板并對(duì)進(jìn)入裝卸載腔室內(nèi)的基板的放置位置進(jìn)行校準(zhǔn)。
[0034]參見(jiàn)圖1和圖2，作為本實(shí)用新型的基板支撐裝置100的實(shí)施例一，其包括支撐組件110、定位組件120和校準(zhǔn)件130。其中，支撐組件110和定位組件120均適用于安裝在裝卸載腔室(圖中未示出)內(nèi)。同時(shí)，支撐組件110具有第一支撐部111，定位組件120具有導(dǎo)向部121和第二支撐部122。其中，第一支撐部111的端面與第二支撐部122的端面相配合，形成用于支撐進(jìn)入裝卸載腔室內(nèi)的基板200的支撐面。此處，需要說(shuō)明的是，通常進(jìn)入裝卸載腔室內(nèi)的基板200放置時(shí)為水平放置。因此，作為本實(shí)用新型的基板支撐裝置100的一具體實(shí)施例，參見(jiàn)圖1，第一支撐部111的端面與第二支撐部122的端面在同一平面內(nèi)，并且第一支撐部111的端面與第二支撐部122的端面形成的平面即為用于放置基板200的支撐面，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)基板200的支撐功能。
[0035]定位組件120中的導(dǎo)向部121則與第二支撐部122相連接。具體的，導(dǎo)向部121安裝在第二支撐部122的端面上。并且，導(dǎo)向部121與第二支撐部122的端面之間的連接邊界作為基板200的定位邊界。即，當(dāng)基板200置于第一支撐部111的端面與第二支撐部122的端面所形成的支撐面上時(shí)，為了實(shí)現(xiàn)對(duì)基板200放置位置的精確定位，以導(dǎo)向部121與第二支撐部122的端面之間的連接邊界作為定位邊界。其中，當(dāng)基板200的邊緣置于定位邊界處時(shí)，表明基板200位置放置準(zhǔn)確，未出現(xiàn)偏移。當(dāng)基板200的邊緣偏離定位邊界時(shí)，則表明基板200位置放置失誤，需要對(duì)基板200放置位置進(jìn)行調(diào)整。通過(guò)設(shè)置導(dǎo)向部121和第二支撐部122相連接作為定位組件120的主體結(jié)構(gòu)，以導(dǎo)向部121與第二支撐部122的端面之間的連接邊界作為基板200的定位邊界，有效實(shí)現(xiàn)了基板200的定位功能。
[0036]同時(shí)，將校準(zhǔn)件130嵌入第一支撐部111和第二支撐部122內(nèi)，并部分凸出于第一支撐部111和第二支撐部122的端面，能夠在第一支撐部111和第二支撐部122內(nèi)滾動(dòng)。此處，需要說(shuō)明的是，校準(zhǔn)件130嵌入第一支撐部111和第二支撐部122內(nèi)，并部分凸出于第一支撐部111的端面和第二支撐部122的端面具體指的是:校準(zhǔn)件130的端面部分凸出于第一支撐部111的端面，同時(shí)校準(zhǔn)件130的表面部分凸出于第二支撐部122的端面。由此，當(dāng)基板200沿定位組件120的導(dǎo)向部121運(yùn)行至支撐面時(shí)，其首先與校準(zhǔn)件130的表面相接觸。此時(shí)，如果基板200的放置位置有偏移或傾斜，其與校準(zhǔn)件130之間的接觸面會(huì)產(chǎn)生牽引校準(zhǔn)件130發(fā)生滾動(dòng)的牽引力，從而使得校準(zhǔn)件130與基板200相接觸后發(fā)生滾動(dòng)，進(jìn)而通過(guò)校準(zhǔn)件130的滾動(dòng)將基板200移動(dòng)至定位邊界處。
[0037]其通過(guò)在第一支撐部111和第二支撐部122內(nèi)嵌入可滾動(dòng)的校準(zhǔn)件130，通過(guò)校準(zhǔn)件130在受力不平衡時(shí)的滾動(dòng)對(duì)基板200的位置進(jìn)行相應(yīng)的移動(dòng)，實(shí)現(xiàn)了對(duì)基板200的自動(dòng)校準(zhǔn)功能。其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，并且易于實(shí)現(xiàn)。
[0038]具體的，為更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型的基板支撐裝置100對(duì)基板200的支撐與校準(zhǔn)功能，以下對(duì)基板200進(jìn)入裝卸載腔室內(nèi)后的運(yùn)動(dòng)過(guò)程進(jìn)行說(shuō)明。
[0039]參見(jiàn)圖2，當(dāng)基板200進(jìn)入裝卸載腔室內(nèi)后，沿著定位組件120的導(dǎo)向部121朝向支撐面運(yùn)動(dòng)。在運(yùn)動(dòng)過(guò)程中，若基板200出現(xiàn)傾斜或位置偏差，參見(jiàn)圖3，此時(shí)基板200的背面首先與校準(zhǔn)件130的表面相接觸。同時(shí)，校準(zhǔn)件130在受到基板200的壓力后，由于受力不平衡自動(dòng)發(fā)生滾動(dòng)，從而帶動(dòng)基板200進(jìn)行水平方向上的移動(dòng)。當(dāng)基板200的邊緣隨著校準(zhǔn)件130的滾動(dòng)而移動(dòng)至定位邊界后，參見(jiàn)圖4，此時(shí)基板200的邊緣受到定位組件120的導(dǎo)向部121的卡位作用而停止移動(dòng)，由此使得基板200的放置位置得到校準(zhǔn)，保證了基板200位置的準(zhǔn)確性，從而實(shí)現(xiàn)了對(duì)基板200的支撐及位置校準(zhǔn)功能。
[0040]此處，需要說(shuō)明的是，由于校準(zhǔn)件130是通過(guò)其自身的滾動(dòng)來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)基板200的移動(dòng)，因此其表面凸出于第一支撐部111的端面和第二支撐部122的端面時(shí)，只需要細(xì)微的凸出，能夠帶動(dòng)基板200移動(dòng)即可。優(yōu)選的，校準(zhǔn)件130凸出于第一支撐部111的端面和第二支撐部122的端面垂直距離為2mm—5mm即可。
[0041]同時(shí)，參見(jiàn)圖1，作為本實(shí)用新型的基板支撐裝置100的實(shí)施例，由于校準(zhǔn)件130是依靠其自身在第一支撐部111和第二支撐部122內(nèi)的滾動(dòng)來(lái)移動(dòng)基板200的，因此，優(yōu)選的，校準(zhǔn)件130呈球形結(jié)構(gòu)。如:金屬球。并且，為了保證校準(zhǔn)件130與基板200相接觸并滾動(dòng)時(shí)不會(huì)對(duì)基板200的端面產(chǎn)生任何影響，球形結(jié)構(gòu)的校準(zhǔn)件130的球面優(yōu)選為光滑球面，以盡可能的減小其與基板200之間的摩擦，保證了基板200的可靠性。
[0042]具體的，當(dāng)將校準(zhǔn)件130嵌入第一支撐部111時(shí)，為了進(jìn)一步簡(jiǎn)化本實(shí)用新型的基板支撐裝置100的結(jié)構(gòu)，并進(jìn)一步降低生產(chǎn)成本，參見(jiàn)圖1，可通過(guò)在第一支撐部111上開設(shè)第一凹槽，將校準(zhǔn)件130置于第一凹槽內(nèi)，并設(shè)置第一凹槽與校準(zhǔn)件130的結(jié)構(gòu)相匹配。由此，不需要另外設(shè)置其他安裝部件即可實(shí)現(xiàn)校準(zhǔn)件130與第一支撐部111之間的配合。
[0043]相應(yīng)的，當(dāng)將校準(zhǔn)件130嵌入第二支撐部122時(shí)，第二支撐部122同樣開設(shè)有第二凹槽。校準(zhǔn)件置于第二凹槽內(nèi)，與第二凹槽相匹配并部分凸出于第二支撐部122的端面。同時(shí)，校準(zhǔn)件同樣能夠在第二凹槽內(nèi)滾動(dòng)。
[0044]另外，還需要說(shuō)明的是，上述實(shí)施例為第一支撐部111和第二支撐部122內(nèi)均安裝有校準(zhǔn)件130。參見(jiàn)圖5，作為本實(shí)用新型的基板200支撐裝置的實(shí)施例二，校準(zhǔn)件130還可只嵌入第一支撐部111內(nèi)，或只嵌入第二支撐部122內(nèi)。
[0045]優(yōu)選的，第一支撐部111和第二支撐部122內(nèi)均嵌入校準(zhǔn)件130，由此當(dāng)基板200進(jìn)入裝卸載腔室內(nèi)，并沿定位組件120的導(dǎo)向部121向支撐面滑動(dòng)時(shí)，如果基板200位置存在有偏移或傾斜的情況，此時(shí)校準(zhǔn)件130的表面首先與基板200相接觸，并在基板200的壓力下發(fā)生滾動(dòng)，使得基板200在嵌入第一支撐部111的校準(zhǔn)件130和嵌入第二支撐部122的校準(zhǔn)件130的滾動(dòng)下發(fā)生水平方向的移動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)放置位置的校準(zhǔn)和糾正。其由嵌入第一支撐部111的校準(zhǔn)件130和嵌入第二支撐部122的校準(zhǔn)件130相互協(xié)同作用，使得基板200的移動(dòng)更加順暢，從而更進(jìn)一步的保證了基板200放置位置校準(zhǔn)的準(zhǔn)確性。
[0046]另外，作為本實(shí)用新型的基板支撐裝置100的另一具體實(shí)施例，參見(jiàn)圖1，支撐組件110還具有第一安裝部112。其中，第一安裝部112與第一支撐部111相連接。并且，第一安裝部112遠(yuǎn)離第一支撐部111的一端適用于安裝在裝卸載腔室的底部。即，第一安裝部112未與第一支撐部111相連接的一端，適用于固定安裝在裝卸載腔室的底部，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)第一支撐部111的固定作用。同時(shí)，優(yōu)選的，第一安裝部112和第一支撐部111的主體結(jié)構(gòu)均為柱狀結(jié)構(gòu)，如:圓柱或方柱結(jié)構(gòu)。并且第一安裝部112的橫截面面積應(yīng)當(dāng)小于第一支撐部111的橫截面面積。通過(guò)設(shè)置第一安裝部112和第一支撐部111的主體結(jié)構(gòu)為柱狀結(jié)構(gòu)，簡(jiǎn)化了支撐組件110的結(jié)構(gòu)，并且還有效降低了支撐組件110的生產(chǎn)成本。這也就更進(jìn)一步的使得基板支撐裝置100的結(jié)構(gòu)更加簡(jiǎn)單。此處，需要說(shuō)明的是，第一安裝部112與第一支撐部111之間的連接可為固定連接或可拆卸連接。同時(shí)，當(dāng)?shù)谝话惭b部112與第一支撐部111之間為固定連接時(shí)，第一安裝部112與第一支撐部111可為一體成型結(jié)構(gòu)。
[0047]另外，應(yīng)當(dāng)說(shuō)明的是，由于定位組件120中的導(dǎo)向部121具有引導(dǎo)基板200運(yùn)動(dòng)的作用，g卩，對(duì)基板200向裝卸載腔室內(nèi)的運(yùn)動(dòng)起一個(gè)導(dǎo)向作用。因此，參見(jiàn)圖1和圖5，導(dǎo)向部121優(yōu)選為楔形塊。其中，楔形塊的楔形面為下滑面。由此，當(dāng)基板200由裝卸載腔室的入口向下運(yùn)動(dòng)至支撐面的過(guò)程中，可通過(guò)基板200的邊緣沿楔形塊的楔形面逐漸下滑，直至與校準(zhǔn)件130相接觸來(lái)實(shí)現(xiàn)。其通過(guò)采用楔形塊作為定位組件120的導(dǎo)向部121，使得定位組件120的結(jié)構(gòu)也更加簡(jiǎn)單，并且更進(jìn)一步的降低了生產(chǎn)成本，且易于實(shí)現(xiàn)。
[0048]另外，還需要說(shuō)明的是，定位組件120的第二支撐部122的主體結(jié)構(gòu)同樣為柱形結(jié)構(gòu)。并且，優(yōu)選的，參見(jiàn)圖1，第二支撐部122的主體為扁柱形。同時(shí)，第二支撐部122的固定安裝即可通過(guò)將第二支撐部122的側(cè)壁與裝卸載腔室的側(cè)壁固定連接來(lái)實(shí)現(xiàn)，也可通過(guò)在定位組件120中增設(shè)第二安裝部123，通過(guò)第二安裝部123的一端與第二支撐部122相連接，第二安裝部123的另一端適用于安裝在裝卸載腔室的底部來(lái)實(shí)現(xiàn)。具體的，參見(jiàn)圖5，當(dāng)采用第二安裝部123進(jìn)行第二支撐部122的固定安裝時(shí)，第二安裝部123同樣優(yōu)選為柱形結(jié)構(gòu)，以達(dá)到簡(jiǎn)化定位組件120結(jié)構(gòu)的目的。
[0049]更進(jìn)一步的，由于基板200通常為矩形或圓形形狀，因此，優(yōu)選的，參見(jiàn)圖6，作為本實(shí)用新型的基板支撐裝置100的實(shí)施例三，定位組件120的個(gè)數(shù)為四個(gè)。并且，四個(gè)定位組件120分散設(shè)置并圍成長(zhǎng)方形形狀。同時(shí)，四個(gè)定位組件120分別位于長(zhǎng)方向的四個(gè)頂點(diǎn)位置處。由此使得四個(gè)定位組件120能夠?qū)?00的四個(gè)頂角均進(jìn)行定位，這也就更加有效的保證了基板200的精確定位，從而有效提高了本實(shí)用新型的基板支撐裝置100的定位精確度和可靠性。并且，每個(gè)定位組件120的第二支撐面上均嵌入有校準(zhǔn)件130。
[0050]同時(shí)，還需要說(shuō)明的是，由于用于生產(chǎn)工藝的基板200的面積較大，為了保證基板200置于第一支撐部111與第二支撐部122所形成的支撐面上時(shí)更加穩(wěn)定，作為本實(shí)用新型的基板支撐裝置100—具體實(shí)施例，參見(jiàn)圖6，優(yōu)選的，支撐組件110的個(gè)數(shù)可為多個(gè)。相應(yīng)的，每個(gè)支撐組件110的第一支撐部111均嵌入有校準(zhǔn)件130。并且，多個(gè)支撐組件110均勻分散設(shè)置。如:多個(gè)支撐組件110中的部分支撐組件110均勻分散設(shè)置在每相鄰兩個(gè)定位組件120之間，而另外的部分支撐組件110則均勻分散設(shè)置在四個(gè)定位組件120所形成的矩形圖形的中心。通過(guò)設(shè)置多個(gè)支撐組件110均勻分散設(shè)置，使得基板200置于第一支撐部111與第二支撐部122形成的支撐面時(shí)，能夠增大基板200的支撐面積，從而保證了基板200放置的平穩(wěn)性，這也就更進(jìn)一步的提高了本實(shí)用新型的基板支撐裝置100的可靠性。
[0051]相應(yīng)的，本實(shí)用新型還提供了一種裝卸載腔室，其包括如上任一所述的基板支撐裝置100。通過(guò)將上述任一種基板支撐裝置100安裝在裝卸載腔室內(nèi)，使得進(jìn)入裝卸載腔室內(nèi)的基板200的放置位置不會(huì)出現(xiàn)偏移，保證了基板200放置位置的準(zhǔn)確性，從而避免了基板200的破損。
[0052]以上所述實(shí)施例僅表達(dá)了本實(shí)用新型的幾種實(shí)施方式，其描述較為具體和詳細(xì)，但并不能因此而理解為對(duì)本實(shí)用新型專利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本實(shí)用新型構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。因此，本實(shí)用新型專利的保護(hù)范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準(zhǔn)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種基板支撐裝置，其特征在于，用于支撐進(jìn)入裝卸載腔室內(nèi)的基板并校準(zhǔn)所述基板的位置，包括支撐組件、定位組件和校準(zhǔn)件； 所述支撐組件和所述定位組件均安裝在所述裝卸載腔室內(nèi)；且 所述支撐組件具有第一支撐部，所述定位組件具有導(dǎo)向部和第二支撐部； 所述第一支撐部的端面與所述第二支撐部的端面相配合，形成用于支撐所述基板的支撐面； 所述導(dǎo)向部安裝在所述第二支撐部的端面上，且所述導(dǎo)向部與所述第二支撐部的端面之間的連接邊界為所述基板的定位邊界； 所述校準(zhǔn)件嵌入所述第一支撐部和/或所述第二支撐部?jī)?nèi)，并部分凸出于所述第一支撐部的端面和/或所述第二支撐部的端面，能夠在所述第一支撐部和/或所述第二支撐部?jī)?nèi)滾動(dòng);且 所述校準(zhǔn)件，用于當(dāng)所述基板沿所述導(dǎo)向部運(yùn)動(dòng)至所述支撐面時(shí)，與所述基板相接觸后滾動(dòng)，并通過(guò)滾動(dòng)將所述基板移動(dòng)至所述定位邊界處。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板支撐裝置，其特征在于，所述校準(zhǔn)件呈球形結(jié)構(gòu)。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板支撐裝置，其特征在于，所述校準(zhǔn)件為金屬球，且所述金屬球的球面光滑。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板支撐裝置，其特征在于，所述第一支撐部開設(shè)有第一凹槽;所述校準(zhǔn)件置于所述第一凹槽內(nèi)，并與所述第一凹槽相匹配； 和/或，所述第二支撐部開設(shè)有第二凹槽;所述校準(zhǔn)件置于所述第二凹槽內(nèi)，并與所述第二凹槽相匹配。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板支撐裝置，其特征在于，所述校準(zhǔn)件凸出于所述第一支撐部和/或所述第二支撐部的端面的垂直距離為2mm—5mm。6.根據(jù)權(quán)利要求1至5任一項(xiàng)所述的基板支撐裝置，其特征在于，所述支撐組件還具有第一安裝部;所述第一安裝部與所述第一支撐部相連接； 所述第一安裝部遠(yuǎn)離所述第一支撐部的一端適用于安裝在所述裝卸載腔室的底部； 其中，所述第一安裝部和所述第一支撐部的主體結(jié)構(gòu)均為柱狀結(jié)構(gòu);且 所述第一安裝部的橫截面面積小于所述第一支撐部的橫截面面積。7.根據(jù)權(quán)利要求1至5任一項(xiàng)所述的基板支撐裝置，其特征在于，所述導(dǎo)向部為楔形塊；所述第二支撐部的主體為柱形結(jié)構(gòu)。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板支撐裝置，其特征在于，所述定位組件的個(gè)數(shù)為四個(gè)；四個(gè)所述定位組件圍成長(zhǎng)方形形狀;且 四個(gè)所述定位組件分別位于所述長(zhǎng)方形的四個(gè)頂點(diǎn)位置處。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板支撐裝置，其特征在于，所述支撐組件的個(gè)數(shù)為多個(gè)；多個(gè)所述支撐組件均勻分散設(shè)置在所述裝卸載腔室內(nèi)。10.一種裝卸載腔室，其特征在于，包括權(quán)利要求1至9任一項(xiàng)所述的基板支撐裝置。
【文檔編號(hào)】H01L21/68GK205692817SQ201620650893
【公開日】2016年11月16日
【申請(qǐng)日】2016年6月27日 公開號(hào)201620650893.9, CN 201620650893, CN 205692817 U, CN 205692817U, CN-U-205692817, CN201620650893, CN201620650893.9, CN205692817 U, CN205692817U
【發(fā)明人】張楊
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