本申請(qǐng)涉及顯示面板和半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其是涉及一種噴淋組件以及濕法設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、目前顯示面板或半導(dǎo)體工藝制備中，濕法設(shè)備均采用通過(guò)在待加工器件上方噴灑化學(xué)藥品的方式，使化學(xué)處理液與待加工器件表面膜層進(jìn)行反應(yīng)和作用，達(dá)到去除膜層或膜層異物的效果。

2、但現(xiàn)有濕法設(shè)備在對(duì)待加工器件處理過(guò)程中，會(huì)在待加工器件上造成處理液殘留，從而影響產(chǎn)品質(zhì)量。

3、因此，現(xiàn)有技術(shù)亟待改進(jìn)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N噴淋組件以及濕法設(shè)備，其能夠有效改善處理液殘留問(wèn)題，保證產(chǎn)品質(zhì)量。

2、為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本申請(qǐng)?zhí)峁┑囊粋€(gè)技術(shù)方案為：提供一種噴淋組件，包括支撐座；擺臂，與所述支撐座連接；噴頭組件，與所述擺臂連接且與所述支撐座間隔設(shè)置；其中，所述擺臂與水平面具有夾角，使得所述噴頭組件與所述擺臂的連接部在垂直方向高于所述支撐座與所述擺臂的連接部。

3、在一實(shí)施例中，所述擺臂與所述支撐座可轉(zhuǎn)動(dòng)連接，以允許所述擺臂與所述水平面的夾角可變。

4、在一實(shí)施例中，所述夾角的取值范圍為30°-60°。

5、在一實(shí)施例中，所述擺臂包括本體部和位于所述本體部下側(cè)的引流部；所述引流部背離所述本體部的一端呈尖端設(shè)計(jì)。

6、在一實(shí)施例中，所述引流部的橫截面呈倒三角形設(shè)計(jì)，其中，所述橫截面與所述擺臂的延伸方向垂直；或，所述引流部包括與所述擺臂的延伸方向相同的第一側(cè)面和第二側(cè)面，所述第一側(cè)面和所述第二側(cè)面靠近所述本體部的一端間隔，所述第一側(cè)面和所述第二側(cè)面背離所述本體部的一端相接，且所述第一側(cè)面和/或所述第二側(cè)面為內(nèi)凹的曲面。

7、在一實(shí)施例中，所述擺臂與所述支撐座連接的一端還設(shè)置有集液裝置。

8、在一實(shí)施例中，所述擺臂包括相對(duì)的第一端和第二端，所述擺臂的第一端與所述支撐座連接；所述噴頭組件與所述擺臂的第二端連接，且所述噴頭組件的軸線與所述支撐座的軸線平行設(shè)置。

9、在一實(shí)施例中，所述噴頭組件包括伸縮結(jié)構(gòu)和噴頭，所述伸縮結(jié)構(gòu)的第一端與所述擺臂的第二端連接，所述伸縮結(jié)構(gòu)的第二端與所述噴頭連接；其中，所述伸縮結(jié)構(gòu)在平行于所述支撐座的軸線方向，帶動(dòng)所述噴頭靠近或遠(yuǎn)離所述擺臂的第二端移動(dòng)。

10、在一實(shí)施例中，所述伸縮結(jié)構(gòu)為伸縮桿或伸縮支架。

11、為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本申請(qǐng)?zhí)峁┑囊粋€(gè)技術(shù)方案為：提供一種濕法設(shè)備，包括：收容腔，所述收容腔的底部設(shè)置有卡盤(pán)，用于承載待加工器件；所述收容腔的頂部具有對(duì)應(yīng)所述卡盤(pán)設(shè)置的開(kāi)口；噴淋組件，所述噴淋組件為上述任一項(xiàng)所述的噴淋組件，所述噴頭組件在工作時(shí)位于所述卡盤(pán)的上方；優(yōu)選的，所述收容腔的側(cè)壁的高度可變。

12、區(qū)別于現(xiàn)有技術(shù)，本申請(qǐng)?zhí)峁┑膰娏芙M件以及濕法設(shè)備，通過(guò)設(shè)置擺臂與水平面具有夾角，使得噴頭組件與擺臂的連接部在垂直方向高于支撐座與擺臂的連接部，有利于將濺附在擺臂上的液體引流至擺臂底部，避免上述液體滴落至待加工器件表面，從而影響器件質(zhì)量；且設(shè)置擺臂在工作時(shí)靠近待加工器件的一側(cè)呈尖端設(shè)計(jì)，可以減少濺附在擺臂上的處理液與擺臂的接觸面積，從而降低液滴的形成，有利于處理液朝擺臂底部匯流；進(jìn)一步，設(shè)置噴頭組件包括伸縮結(jié)構(gòu)和噴頭，伸縮結(jié)構(gòu)在平行于支撐座的軸線方向，能夠帶動(dòng)噴頭靠近或遠(yuǎn)離擺臂的第二端移動(dòng)，以調(diào)節(jié)噴頭到待加工器件之間的距離，從而改善處理液飛濺狀況。

技術(shù)特征：

1.一種噴淋組件，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴淋組件，其特征在于，所述擺臂與所述支撐座可轉(zhuǎn)動(dòng)連接，以允許所述擺臂與所述水平面的夾角可變。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的噴淋組件，其特征在于，所述夾角的取值范圍為30°-60°。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴淋組件，其特征在于，所述擺臂包括本體部和位于所述本體部下側(cè)的引流部；所述引流部背離所述本體部的一端呈尖端設(shè)計(jì)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的噴淋組件，其特征在于，所述引流部的橫截面呈倒三角形設(shè)計(jì)，其中，所述橫截面與所述擺臂的延伸方向垂直；

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴淋組件，其特征在于，所述擺臂與所述支撐座連接的一端還設(shè)置有集液裝置。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴淋組件，其特征在于，所述擺臂包括相對(duì)的第一端和第二端，所述擺臂的第一端與所述支撐座連接；

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的噴淋組件，其特征在于，所述噴頭組件包括伸縮結(jié)構(gòu)和噴頭，所述伸縮結(jié)構(gòu)的第一端與所述擺臂的第二端連接，所述伸縮結(jié)構(gòu)的第二端與所述噴頭連接；

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的噴淋組件，其特征在于，所述伸縮結(jié)構(gòu)為伸縮桿或伸縮支架。

10.一種濕法設(shè)備，其特征在于，包括：

技術(shù)總結(jié)
本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N噴淋組件以及濕法設(shè)備，具體的，噴淋組件包括支撐座、擺臂和噴頭組件，擺臂與支撐座連接；噴頭組件與擺臂連接且與支撐座間隔設(shè)置；其中，擺臂與水平面具有夾角，使得噴頭組件與擺臂的連接部在垂直方向高于支撐座與擺臂的連接部。通過(guò)上述設(shè)置，有利于將濺附在擺臂上的液體引流至擺臂底部，避免上述液體滴落至待加工器件表面，從而影響器件質(zhì)量。

技術(shù)研發(fā)人員：黃貴華,曹軒
受保護(hù)的技術(shù)使用者：成都辰顯光電有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/10/21