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攝像裝置和電子設(shè)備的制作方法

文檔序號:39706955發(fā)布日期:2024-10-22 12:51閱讀:2來源:國知局
攝像裝置和電子設(shè)備的制作方法

本公開涉及攝像裝置和電子設(shè)備。


背景技術(shù):

1、近年來,為了實(shí)現(xiàn)攝像裝置的進(jìn)一步小型化,已經(jīng)提出了一種三維攝像裝置。作為示例,公開了下面專利文獻(xiàn)1中的攝像裝置。在專利文獻(xiàn)1所公開的技術(shù)中,設(shè)置有多個像素的基板和設(shè)置有驅(qū)動每個像素的多個像素晶體管的基板彼此堆疊,從而使攝像裝置小型化。

2、引文列表

3、專利文獻(xiàn)

4、專利文獻(xiàn)1:wo?2019/131965?a


技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、技術(shù)問題

2、然而,在傳統(tǒng)技術(shù)中,當(dāng)攝像裝置被進(jìn)一步小型化時(shí),由于傳輸晶體管進(jìn)一步的尺寸減小,噪聲可能會增加。結(jié)果,圖像質(zhì)量可能會劣化。

3、因此,本公開提出了一種能夠抑制圖像質(zhì)量劣化的攝像裝置和電子設(shè)備。

4、問題的解決方案

5、根據(jù)本公開,提供了一種攝像裝置,其包括:第一半導(dǎo)體基板;多個像素,其在所述第一半導(dǎo)體基板上沿著行方向和列方向配置;和像素分離部,其將所述第一半導(dǎo)體基板劃分為多個像素區(qū)域,在所述多個像素區(qū)域中分別配置有所述像素。所述多個像素彼此相鄰。在所述攝像裝置中,所述多個像素中的每個像素包括:光電轉(zhuǎn)換部,其位于由所述像素分離部劃分的一個所述像素區(qū)域中,并且產(chǎn)生與入射光相對應(yīng)的電荷;浮動擴(kuò)散部,其保持由所述光電轉(zhuǎn)換部產(chǎn)生的所述電荷;和傳輸晶體管,其將所述電荷從所述光電轉(zhuǎn)換部傳輸?shù)剿龈訑U(kuò)散部,并且所述傳輸晶體管具有柵電極,所述柵電極沿著所述第一半導(dǎo)體基板的厚度方向從所述第一半導(dǎo)體基板的第二面延伸到所述像素分離部中,所述第一半導(dǎo)體基板的所述第二面位于作為所述第一半導(dǎo)體基板的光入射面的第一面的相反側(cè)。

6、此外,根據(jù)本公開,提供了一種包括攝像裝置的電子設(shè)備。所述攝像裝置包括:第一半導(dǎo)體基板;多個像素,其在所述第一半導(dǎo)體基板上沿著行方向和列方向配置;和像素分離部,其將所述第一半導(dǎo)體基板劃分為多個像素區(qū)域,在所述多個像素區(qū)域中分別配置有所述像素。所述多個像素彼此相鄰。在所述攝像裝置中,所述多個像素中的每個像素包括:光電轉(zhuǎn)換部,其位于由所述像素分離部劃分的一個所述像素區(qū)域中,并且產(chǎn)生與入射光相對應(yīng)的電荷;浮動擴(kuò)散部,其保持由所述光電轉(zhuǎn)換部產(chǎn)生的所述電荷;和傳輸晶體管,其將所述電荷從所述光電轉(zhuǎn)換部傳輸?shù)剿龈訑U(kuò)散部,并且所述傳輸晶體管具有柵電極,所述柵電極沿著所述第一半導(dǎo)體基板的厚度方向從所述第一半導(dǎo)體基板的第二面延伸到所述像素分離部中,所述第一半導(dǎo)體基板的所述第二面位于作為所述第一半導(dǎo)體基板的光入射面的第一面的相反側(cè)。



技術(shù)特征:

1.一種攝像裝置,包括:

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的攝像裝置,其中

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的攝像裝置,其中

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的攝像裝置,其中

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的攝像裝置,還包括:

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的攝像裝置,其中

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的攝像裝置,其中

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的攝像裝置,其中

9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的攝像裝置,其中

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的攝像裝置,其中

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的攝像裝置,其中

12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的攝像裝置,其中

13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的攝像裝置,其中

14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的攝像裝置,其中

15.根據(jù)權(quán)利要求8所述的攝像裝置,其中

16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的攝像裝置,其中

17.根據(jù)權(quán)利要求1所述的攝像裝置,其中所述像素分離部包括在所述像素分離部中的絕緣層。

18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的攝像裝置,其中

19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的攝像裝置,其中所述導(dǎo)電材料包括多晶硅。

20.一種電子設(shè)備,其包括攝像裝置,所述攝像裝置包括:


技術(shù)總結(jié)
提供了一種包括多個像素的攝像裝置,所述多個像素中的每個像素包括:光電轉(zhuǎn)換部(101),其位于由像素分離部(120)劃分的像素區(qū)域中,并產(chǎn)生與入射光相對應(yīng)的電荷;浮動擴(kuò)散部(103),其保持由光電轉(zhuǎn)換部產(chǎn)生的電荷;以及傳輸晶體管,其將電荷從光電轉(zhuǎn)換部傳輸?shù)礁訑U(kuò)散部。傳輸晶體管具有柵電極(102a),該柵電極沿著第一半導(dǎo)體基板的厚度方向從第一半導(dǎo)體基板的第二面(11b)延伸到像素分離部中,所述第二面位于作為第一半導(dǎo)體基板(11)的光入射面的第一面(11a)的相反側(cè)。

技術(shù)研發(fā)人員:山下浩史
受保護(hù)的技術(shù)使用者:索尼半導(dǎo)體解決方案公司
技術(shù)研發(fā)日:
技術(shù)公布日:2024/10/21
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