本揭露的一些實(shí)施方式涉及一種光感測器陣列、一種制造近紅外光感測器裝置的方法及一種近紅外光感測器裝置。

背景技術(shù)：

1、以下內(nèi)容是關(guān)于半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)制造技術(shù)、半導(dǎo)體裝置制造技術(shù)、影像感測器技術(shù)及相關(guān)的先前技術(shù)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、根據(jù)一些實(shí)施方式，一種光感測器陣列包括多個(gè)光感測器的陣列、經(jīng)圖案化金屬層及多個(gè)嵌入光柵。光感測器的陣列包括用以偵測至少在設(shè)計(jì)基準(zhǔn)紅外波長下的紅外光的多個(gè)紅外光感測器。經(jīng)圖案化金屬層設(shè)置于光感測器的陣列上，經(jīng)圖案化金屬層包括設(shè)置于光感測器的陣列中的光感測器之間的多個(gè)金屬網(wǎng)格線及設(shè)置于各別的紅外光感測器的多個(gè)光接收表面上的多個(gè)金屬光柵。嵌入光柵形成于各別的紅外光感測器的光接收表面中并與各別的金屬光柵對(duì)準(zhǔn)且位于各別的金屬光柵之下。紅外光感測器的每一者的金屬光柵及對(duì)準(zhǔn)的嵌入光柵形成表面電漿極化子結(jié)構(gòu)，表面電漿極化子結(jié)構(gòu)用以與在設(shè)計(jì)基準(zhǔn)紅外波長下的光耦合，以在各別的紅外光感測器的光接收表面處形成表面電漿極化子。

2、根據(jù)一些實(shí)施方式，一種制造近紅外光感測器裝置的方法包括以下步驟。提供用以偵測至少在設(shè)計(jì)基準(zhǔn)紅外波長下的紅外光的近紅外光感測器。在近紅外光感測器的光接收表面中形成嵌入光柵。在嵌入光柵上形成金屬光柵。嵌入光柵與金屬光柵的組合形成表面電漿極化子結(jié)構(gòu)，表面電漿極化子結(jié)構(gòu)用以與在設(shè)計(jì)基準(zhǔn)紅外波長下的光耦合，以在近紅外光感測器的光接收表面處形成表面電漿極化子。

3、根據(jù)一些實(shí)施方式，一種近紅外光感測器裝置包括近紅外光感測器及表面電漿極化子結(jié)構(gòu)。近紅外光感測器用以偵測至少在設(shè)計(jì)基準(zhǔn)紅外波長下的紅外光。表面電漿極化子結(jié)構(gòu)至少包括嵌入于近紅外光感測器的光接收表面中的嵌入光柵，表面電漿極化子結(jié)構(gòu)用以與在設(shè)計(jì)基準(zhǔn)紅外波長下的光耦合，以在近紅外光感測器的光接收表面處形成表面電漿極化子。

技術(shù)特征：

1.一種光感測器陣列，其特征在于，包含：

2.如權(quán)利要求1所述的光感測器陣列，其特征在于，其中所述多個(gè)光感測器的該陣列包含形成于一硅基材料上及/或一硅基材料中的一互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體影像感測器。

3.如權(quán)利要求2所述的光感測器陣列，其特征在于，其中所述多個(gè)嵌入光柵包含嵌入于各別的所述多個(gè)紅外光感測器的所述多個(gè)光接收表面中的多個(gè)嵌入金屬光柵。

4.如權(quán)利要求3所述的光感測器陣列，其特征在于，其中各別的所述多個(gè)紅外光感測器的每一者的該嵌入金屬光柵為設(shè)置于各別的該紅外光感測器的該光接收表面上的該金屬光柵至該各別紅外光感測器的該光接收表面中的一延伸。

5.如權(quán)利要求2所述的光感測器陣列，其特征在于，其中所述多個(gè)嵌入光柵包含形成于各別的所述多個(gè)紅外光感測器的所述多個(gè)光接收表面中的多個(gè)溝槽，其中所述多個(gè)溝槽至少部分地填充有空氣。

6.如權(quán)利要求5所述的光感測器陣列，其特征在于，其中所述多個(gè)溝槽加襯有至少一個(gè)介電層。

7.如權(quán)利要求1所述的光感測器陣列，其特征在于，其中所述多個(gè)光感測器的該陣列進(jìn)一步包含用以偵測紅光的多個(gè)紅光感測器、用以偵測藍(lán)光的多個(gè)藍(lán)光感測器及用以偵測綠光的多個(gè)綠光感測器，且其中該光感測器陣列進(jìn)一步包含：

8.一種制造近紅外光感測器裝置的方法，其特征在于，包含：

9.一種近紅外光感測器裝置，其特征在于，包含：

10.如權(quán)利要求9所述的近紅外光感測器裝置，其特征在于，其中該嵌入光柵包含形成于該近紅外光感測器的該光接收表面中且至少部分地填充有空氣的多個(gè)溝槽。

技術(shù)總結(jié)
一種光感測器陣列與近紅外光感測器裝置及其制造方法。近紅外光感測器裝置包括用以偵測至少在設(shè)計(jì)基準(zhǔn)紅外波長下的紅外光的近紅外光感測器；及至少包括嵌入于近紅外光感測器的光接收表面中的嵌入光柵的表面電漿極化子結(jié)構(gòu)。表面電漿極化子結(jié)構(gòu)用以與在設(shè)計(jì)基準(zhǔn)紅外波長下的光耦合，以在近紅外光感測器的光接收表面處形成表面電漿極化子。表面電漿極化子結(jié)構(gòu)可更包括設(shè)置于近紅外光感測器的光接收表面上且與嵌入光柵對(duì)準(zhǔn)的金屬光柵。嵌入光柵可包括嵌入于近紅外光感測器的光接收表面中的嵌入金屬光柵或形成于近紅外光感測器的光接收表面中且至少部分地填充有空氣的溝槽。

技術(shù)研發(fā)人員：林俊豪,鄭允瑋,李國政,杜建男
受保護(hù)的技術(shù)使用者：臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/10/21