本發(fā)明涉及半導(dǎo)體產(chǎn)品制作，尤其涉及一種硅片盒配件更換設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、目前在半導(dǎo)體行業(yè)，前開式晶圓出貨盒fosb的回收和再利用備受關(guān)注，其在成本降低方面具有巨大優(yōu)勢(shì)。然而對(duì)于回收的fosb往往會(huì)出現(xiàn)門板上filter(過(guò)濾器)失效、gasket(墊片)變形或老化等現(xiàn)象，極易帶來(lái)品質(zhì)方面的隱患。由于filter和gasket與門板之間結(jié)合的非常緊密，手動(dòng)更換困難，還有可能造成人為破壞。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提供一種硅片盒配件更換設(shè)備，解決人工更換困難等問(wèn)題。

2、為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明實(shí)施例采用的技術(shù)方案是：一種硅片盒配件更換設(shè)備，包括：

3、拆卸裝置，用于拆卸所述硅片盒上的配件；

4、控制裝置，用于控制所述拆卸組件自動(dòng)拆卸所述硅片盒上的配件；

5、回收裝置，用于收納被拆卸的配件。

6、可選的，所述硅片盒的配件包括通過(guò)卡扣固定于硅片盒門板上的過(guò)濾器，所述拆卸裝置包括過(guò)濾器更換結(jié)構(gòu)，所述過(guò)濾器更換結(jié)構(gòu)包括：

7、撐開臂，用于撐開所述卡扣，以增大卡扣與門板之間的卡扣空間；

8、夾持臂，用于在所述撐開臂撐開所述卡扣時(shí)，夾取所述過(guò)濾器以脫離所述卡扣空間。

9、可選的，所述過(guò)濾器通過(guò)在第一方向上相對(duì)設(shè)置的兩個(gè)所述卡扣固定在所述門板上，所述過(guò)濾器更換結(jié)構(gòu)包括兩個(gè)所述撐開臂，以及控制兩個(gè)所述撐開臂相向或相背運(yùn)動(dòng)的第一控制單元；

10、兩個(gè)所述撐開臂能夠伸入到相對(duì)的兩個(gè)所述卡扣之間，并在所述第一控制單元的控制下控制兩個(gè)所述撐開臂相背運(yùn)動(dòng)，以撐開兩個(gè)所述卡口，或者制兩個(gè)所述撐開臂相向運(yùn)動(dòng)，以使得兩個(gè)所述卡扣恢復(fù)原位。

11、可選的，還包括第一移動(dòng)控制結(jié)構(gòu)，用于控制所述撐開臂的工作狀態(tài)，以撐開所述卡扣。

12、可選的，所述回收裝置包括：

13、收納盒，用于收納被拆卸的所述過(guò)濾器；

14、第二移動(dòng)控制結(jié)構(gòu)，用于控制所述夾持臂和/或所述收納盒的運(yùn)動(dòng)，以將夾取的過(guò)濾器放置于所述收納盒內(nèi)。

15、可選的，所述回收裝置還包括回收載臺(tái)，所述回收裝置還包括第三移動(dòng)控制結(jié)構(gòu)，用于取走滿載的所述收納盒，或者將空的所述收納盒放置于所述回收載臺(tái)。

16、可選的，所述硅片盒配件還包括與硅片盒的門板連接的墊片，所述拆卸裝置還包括墊片更換結(jié)構(gòu)，所述墊片更換結(jié)構(gòu)包括加熱件和撐開件；

17、所述加熱件用于對(duì)熱膨脹系數(shù)不同的所述門板和所述墊片進(jìn)行加熱，使得所述門板和所述墊片產(chǎn)生形變；

18、所述撐開件用于插入到加熱形變的所述門板和所述墊片之間，以將所述墊片從所述門板中取下，或者將所述墊片組裝于所述門板上。

19、可選的，所述加熱件為環(huán)形加熱件，在對(duì)待拆卸或待組裝的所述門板和所述墊片進(jìn)行加熱時(shí)，所述環(huán)形加熱件在所述門板上的正投影位于所述門板的外圍。

20、可選的，所述門板為矩形，所述撐開件包括四個(gè)子撐開件，所述子撐開件的形狀為與所述門板的邊角的形狀相符的l形。

21、可選的，還包括溫度感應(yīng)器，用于感應(yīng)所述門板和/或所述墊片的溫度。

22、可選的，所述墊片更換結(jié)構(gòu)還包括位移傳感器和力矩傳感器，所述位移傳感器和所述力矩傳感器相配合以感應(yīng)所述子撐開件的位移和受力情況。

23、本發(fā)明的有益效果是：通過(guò)本發(fā)明提供的硅片盒配件更換設(shè)備，可以實(shí)現(xiàn)硅片盒配件的自動(dòng)更換，提高更換效率，降低了更換難度。且本申請(qǐng)中的回收裝置的設(shè)置，可以將拆卸下的配件進(jìn)行單獨(dú)存放，以免混用。

技術(shù)特征：

1.一種硅片盒配件更換設(shè)備，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片盒配件更換設(shè)備，其特征在于，所述硅片盒的配件包括通過(guò)卡扣固定于硅片盒門板上的過(guò)濾器，所述拆卸裝置包括過(guò)濾器更換結(jié)構(gòu)，所述過(guò)濾器更換結(jié)構(gòu)包括：

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅片盒配件更換設(shè)備，其特征在于，所述過(guò)濾器通過(guò)在第一方向上相對(duì)設(shè)置的兩個(gè)所述卡扣固定在所述門板上，所述過(guò)濾器更換結(jié)構(gòu)包括兩個(gè)所述撐開臂，以及控制兩個(gè)所述撐開臂相向或相背運(yùn)動(dòng)的第一控制單元；

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅片盒配件更換設(shè)備，其特征在于，還包括第一移動(dòng)控制結(jié)構(gòu)，用于控制所述撐開臂的工作狀態(tài)，以撐開所述卡扣。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅片盒配件更換設(shè)備，其特征在于，所述回收裝置包括：

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的硅片盒配件更換設(shè)備，其特征在于，所述回收裝置還包括回收載臺(tái)，所述回收裝置還包括第三移動(dòng)控制結(jié)構(gòu)，用于取走滿載的所述收納盒，或者將空的所述收納盒放置于所述回收載臺(tái)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片盒配件更換設(shè)備，其特征在于，所述硅片盒配件還包括與硅片盒的門板連接的墊片，所述拆卸裝置還包括墊片更換結(jié)構(gòu)，所述墊片更換結(jié)構(gòu)包括加熱件和撐開件；

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的硅片盒配件更換設(shè)備，其特征在于，所述加熱件為環(huán)形加熱件，在對(duì)待拆卸或待組裝的所述門板和所述墊片進(jìn)行加熱時(shí)，所述環(huán)形加熱件在所述門板上的正投影位于所述門板的外圍。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的硅片盒配件更換設(shè)備，其特征在于，所述門板為矩形，所述撐開件包括四個(gè)子撐開件，所述子撐開件的形狀為與所述門板的邊角的形狀相符的l形。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的硅片盒配件更換設(shè)備，其特征在于，還包括溫度感應(yīng)器，用于感應(yīng)所述門板和/或所述墊片的溫度；所述墊片更換結(jié)構(gòu)還包括位移傳感器和力矩傳感器，所述位移傳感器和所述力矩傳感器相配合以感應(yīng)所述子撐開件的位移和受力情況。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種硅片盒配件更換設(shè)備，包括：拆卸裝置，用于拆卸所述硅片盒上的配件；控制裝置，用于控制所述拆卸組件自動(dòng)拆卸所述硅片盒上的配件；回收裝置，用于收納被拆卸的配件。通過(guò)本發(fā)明提供的硅片盒配件更換設(shè)備，可以實(shí)現(xiàn)硅片盒配件的自動(dòng)更換，提高更換效率，降低了更換難度。且本申請(qǐng)中的回收裝置的設(shè)置，可以將拆卸下的配件進(jìn)行單獨(dú)存放，以免混用。

技術(shù)研發(fā)人員：賈超鋒
受保護(hù)的技術(shù)使用者：西安奕斯偉材料科技股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/10/21