本申請涉及吸取工具的，具體而言，涉及一種真空吸筆。

背景技術(shù)：

1、在晶圓生產(chǎn)技術(shù)行業(yè)，會(huì)使用真空吸筆來對晶圓(硅晶片)取出或者放置，真空吸筆整體形狀和大小與一般鋼筆類似，一端需要連接外部的壓縮空氣源，另一端設(shè)置吸嘴。常見的硅片真空吸筆通常包括依次連接的握持部、筆桿部和吸盤，握持部具有管腔，管腔連通真空負(fù)壓，吸盤的吸孔經(jīng)筆桿部所設(shè)氣道與所述管腔連通，握持部的管壁上設(shè)有連通管腔的泄壓孔，操作人員通過開閉泄壓孔實(shí)現(xiàn)負(fù)壓吸附。

2、現(xiàn)有的真空吸筆(例如：申請公布號為：cn106449508a，名稱為：一種吸取硅電池片的可伸縮真空吸筆)在常見的硅片真空吸筆的基礎(chǔ)上引入可伸縮氣體通道管，可伸縮氣體通道管分別與握持部和吸盤相連接，然而這種真空吸筆在調(diào)節(jié)長度時(shí)，操作人員需要分別對握持部和吸盤施加力，才能拉長或壓縮可伸縮氣體通道管，這就使得操作收到限制，并且可伸縮氣體管道容易發(fā)生偏移導(dǎo)致吸取不精確。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本申請?zhí)峁┝艘环N真空吸筆，以解決現(xiàn)有技術(shù)中不易對真空吸筆的長度進(jìn)行調(diào)節(jié)的問題。

2、根據(jù)本申請?zhí)峁┑囊环N真空吸筆，包括：真空發(fā)生器、吸附結(jié)構(gòu)和管道結(jié)構(gòu)。管道結(jié)構(gòu)第一端與真空發(fā)生器相連通，管道結(jié)構(gòu)第二端與吸附結(jié)構(gòu)相連通，管道結(jié)構(gòu)包括負(fù)壓管道、第一套管和第二套管，負(fù)壓管道套設(shè)在第一套管與第二套管內(nèi)，第一套管可移動(dòng)地套設(shè)在第二套管內(nèi)，第一套管壁上開設(shè)有多個(gè)卡槽，第二套管上設(shè)置有與卡槽相配合的卡制按鈕。

3、在一些實(shí)施例中，卡制按鈕包括操作部和卡制部，卡制部和操作部相連接，卡制部朝向卡槽的方向，操作部可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在第二套管壁上，卡制部的厚度沿遠(yuǎn)離操作部的方向逐漸減小，真空吸筆具有卡制部位于卡槽內(nèi)的卡制狀態(tài)，或卡制部脫離卡槽的伸縮狀態(tài)。

4、在一些實(shí)施例中，管道結(jié)構(gòu)還包括第一連接管道和第二連接管道，第一連接管道設(shè)置在第一套管的頂壁上，與負(fù)壓管道對應(yīng)設(shè)置，第二連接管道設(shè)置在第二套管的底部，與負(fù)壓管道對應(yīng)設(shè)置。

5、在一些實(shí)施例中，負(fù)壓管道為鐵氟龍波紋伸縮管或鐵氟龍彈簧伸縮管。

6、在一些實(shí)施例中，吸附結(jié)構(gòu)包括吸附管道和吸附腔，吸附管道第一端與第一連接管道相連通，吸附管道第二端與吸附腔相連通。

7、在一些實(shí)施例中，吸附管道第一端具有第一外螺紋，第一連接管道具有與第一外螺紋相配合的第一內(nèi)螺紋。

8、在一些實(shí)施例中，吸附腔上開設(shè)有多個(gè)吸附孔。

9、在一些實(shí)施例中，管道結(jié)構(gòu)還包括第三套管，第三套管具有連通部，連通部第一端與第二連接管道相連通，連通部第二端與真空發(fā)生器相連通。

10、在一些實(shí)施例中，連通部第一端具有第二外螺紋，第二連接管道具有與第二外螺紋相配合的第二內(nèi)螺紋。

11、在一些實(shí)施例中，第三套管還具有握持部，連通部穿設(shè)在握持部內(nèi)。

12、應(yīng)用本申請的技術(shù)方案，管道結(jié)構(gòu)第一端與真空發(fā)生器相連通，管道結(jié)構(gòu)第二端與吸附結(jié)構(gòu)相連通，這就使得吸附結(jié)構(gòu)維持了負(fù)壓的環(huán)境，能夠?qū)A進(jìn)行吸取，管道結(jié)構(gòu)包括負(fù)壓管道、第一套管和第二套管，負(fù)壓管道套設(shè)在第一套管和第二套管內(nèi)，第一套管可移動(dòng)地套設(shè)在第二套管內(nèi)，通過第一套管在第二套管內(nèi)的移動(dòng)進(jìn)行高度的調(diào)節(jié)，第一套管壁上開設(shè)有多個(gè)卡槽，第二套管上設(shè)置有與卡槽相配合的卡制按鈕，卡制按鈕與卡槽相抵頂時(shí)，第一套管在第二套管內(nèi)的移動(dòng)受到限制，卡制按鈕與卡槽相分離時(shí)，第一套管可在第二套管內(nèi)移動(dòng)，根據(jù)不同的需求將第一套管移至不同的位置，并通過卡槽和卡制按鈕的配合，實(shí)現(xiàn)第一套管的固定。操作人員通過操作卡制按鈕，移動(dòng)第一套管即可實(shí)現(xiàn)對真空吸筆的長度調(diào)節(jié)。本申請的技術(shù)方案有效地解決了現(xiàn)有技術(shù)中不易對真空吸筆的長度進(jìn)行調(diào)節(jié)的問題。

技術(shù)特征：

1.一種真空吸筆，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空吸筆，其特征在于，所述卡制按鈕包括操作部(331)和卡制部(332)，所述卡制部(332)和所述操作部(331)相連接，所述卡制部(332)朝向所述卡槽(321)的方向，所述操作部(331)可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在所述第二套管(33)壁上，所述卡制部(332)的厚度沿遠(yuǎn)離所述操作部(331)的方向逐漸減小，所述真空吸筆具有所述卡制部(332)位于所述卡槽(321)內(nèi)的卡制狀態(tài)，或所述卡制部(332)脫離所述卡槽(321)的伸縮狀態(tài)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的真空吸筆，其特征在于，所述管道結(jié)構(gòu)(30)還包括第一連接管道(34)和第二連接管道(35)，所述第一連接管道(34)設(shè)置在所述第一套管(32)的頂壁上，與所述負(fù)壓管道(31)對應(yīng)設(shè)置，所述第二連接管道(35)設(shè)置在所述第二套管(33)的底部，與所述負(fù)壓管道(31)對應(yīng)設(shè)置。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的真空吸筆，其特征在于，所述負(fù)壓管道(31)為鐵氟龍波紋伸縮管或鐵氟龍彈簧伸縮管。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的真空吸筆，其特征在于，所述吸附結(jié)構(gòu)(20)包括吸附管道(21)和吸附腔(22)，所述吸附管道(21)第一端與所述第一連接管道(34)相連通，所述吸附管道(21)第二端與所述吸附腔(22)相連通。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的真空吸筆，其特征在于，所述吸附管道(21)第一端具有第一外螺紋，所述第一連接管道(34)具有與所述第一外螺紋相配合的第一內(nèi)螺紋。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的真空吸筆，其特征在于，所述吸附腔(22)上開設(shè)有多個(gè)吸附孔。

8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的真空吸筆，其特征在于，所述管道結(jié)構(gòu)(30)還包括第三套管(36)，所述第三套管(36)具有連通部(361)，所述連通部(361)第一端與所述第二連接管道(35)相連通，所述連通部(361)第二端與所述真空發(fā)生器(10)相連通。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的真空吸筆，其特征在于，所述連通部(361)第一端具有第二外螺紋，所述第二連接管道(35)具有與所述第二外螺紋相配合的第二內(nèi)螺紋。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的真空吸筆，其特征在于，所述第三套管(36)還具有握持部(362)，所述連通部(361)穿設(shè)在所述握持部(362)內(nèi)。

技術(shù)總結(jié)
本申請涉及一種真空吸筆，包括：真空發(fā)生器、吸附結(jié)構(gòu)和管道結(jié)構(gòu)。管道結(jié)構(gòu)第一端與真空發(fā)生器相連通，管道結(jié)構(gòu)第二端與吸附結(jié)構(gòu)相連通，管道結(jié)構(gòu)包括負(fù)壓管道、第一套管和第二套管，負(fù)壓管道套設(shè)在第一套管與第二套管內(nèi)，第一套管可移動(dòng)地套設(shè)在第二套管內(nèi)，第一套管壁上開設(shè)有多個(gè)卡槽，第二套管上設(shè)置有與卡槽相配合的卡制按鈕。本申請的技術(shù)方案有效地解決了現(xiàn)有技術(shù)中不易對真空吸筆的長度進(jìn)行調(diào)節(jié)的問題。

技術(shù)研發(fā)人員：袁廷云,賈釗,胡恒廣
受保護(hù)的技術(shù)使用者：青島旭芯互聯(lián)科技研發(fā)有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240126
技術(shù)公布日：2024/10/21