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一種采用光刻膠作保護(hù)層的led白光芯片的制作方法

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一種采用光刻膠作保護(hù)層的led白光芯片的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及LED領(lǐng)域,具體涉及一種采用光刻膠作保護(hù)層的LED白光芯片。
【背景技術(shù)】
[0002]LED燈是現(xiàn)在廣泛應(yīng)用的照明燈具,具有體積小、亮度高、耗電量低、發(fā)熱少、使用壽命長(zhǎng)、環(huán)保等優(yōu)點(diǎn),并且具有繁多的顏色種類(lèi),深受消費(fèi)者的喜愛(ài)。其中白光和黃光的LED燈主要用于日常照明。
[0003]LED燈的生產(chǎn)可大致分為三個(gè)步驟:一是LED發(fā)光芯片的制作,二是線路板的制作和LED發(fā)光芯片的封裝,三是LED燈的組裝。LED燈內(nèi)最重要的部件是LED發(fā)光芯片,LED發(fā)光芯片的主體是一個(gè)發(fā)光PN結(jié),主要由N型半導(dǎo)體、P型半導(dǎo)體和夾在兩者之間的發(fā)光層組成,N型半導(dǎo)體和P型半導(dǎo)體上分別設(shè)置有金屬電極,并在通電后發(fā)光。LED發(fā)光芯片發(fā)出的光線顏色主要由芯片材料決定,如現(xiàn)有的LED發(fā)光芯片大多采用氮化鎵半導(dǎo)體材料制作,發(fā)出藍(lán)光。采用藍(lán)光LED發(fā)光芯片制作白光LED燈時(shí),需要在封裝步驟中滲入黃色熒光粉,黃色熒光粉受激發(fā)后發(fā)出黃光,與LED發(fā)光芯片的藍(lán)光混合后成為人眼中的白光。
[0004]此外,現(xiàn)有的LED發(fā)光芯片一般在發(fā)光PN結(jié)外覆蓋一層鈍化層(Si02層),起保護(hù)作用,鈍化層外設(shè)置有光阻層,光阻層由光刻膠形成。由于現(xiàn)有的LED發(fā)光芯片在制作過(guò)程中需要分別添加鈍化層和光阻層,之后還需對(duì)金屬電極上方的光阻層和鈍化層分別進(jìn)行蝕亥IJ,使金屬電極外露,工序繁瑣,制作麻煩,且當(dāng)芯片最終制作完成后,還需用去膠液把光阻層去掉,增加成本;同時(shí),由于Si02是硬性材料,抗沖擊、抗壓的能力較差,鈍化層不能很好起到保護(hù)作用。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]為克服現(xiàn)有技術(shù)的不足,本發(fā)明的目的在于提供一種采用光刻膠作保護(hù)層的LED白光芯片,利用軟性材料的光刻膠取代鈍化層對(duì)芯片主體進(jìn)行保護(hù),同時(shí)在光刻膠內(nèi)滲入熒光粉,使LED發(fā)光芯片發(fā)出白光。
[0006]本發(fā)明為解決其技術(shù)問(wèn)題采用的技術(shù)方案是:
一種采用光刻膠作保護(hù)層的LED白光芯片,包括襯底,所述襯底上依次設(shè)置有N型半導(dǎo)體層、發(fā)光層和P型半導(dǎo)體層,形成LED晶圓,所述N型半導(dǎo)體層和P型半導(dǎo)體層上分別設(shè)置有金屬電極,還包括直接覆蓋在LED晶圓外的光阻層,所述光阻層由透明絕緣的光刻膠通過(guò)光刻工藝形成,所述光刻膠內(nèi)均勻混合有熒光粉。
[0007]作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn),所述LED晶圓采用氮化鎵材料制作并發(fā)出藍(lán)光。
[0008]作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn),所述光刻膠內(nèi)均勻混合有黃色熒光粉。
[0009]作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn),所述光刻膠內(nèi)還混合有紅色熒光粉。
[0010]作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn),所述光阻層上設(shè)置有使金屬電極外露的缺口。
[0011]本發(fā)明的有益效果是:
本發(fā)明采用滲有熒光粉的光刻膠制成的光阻層覆蓋LED晶圓,由于光刻膠是軟性材料,抗沖擊、抗壓的能力比硬性材料的Si02更為優(yōu)秀,因此光阻層可取代鈍化層更好的起到保護(hù)作用;光阻層取代鈍化層還減少了設(shè)置鈍化層和蝕刻鈍化層兩道工序,提高了 LED發(fā)光芯片的生產(chǎn)效率,并降低制造成本;同時(shí)由于光阻層內(nèi)帶有熒光粉,可將LED晶圓發(fā)出的光線調(diào)節(jié)為白光,得到LED白光芯片。
【附圖說(shuō)明】
[0012]以下結(jié)合附圖和實(shí)例作進(jìn)一步說(shuō)明。
[0013]圖1是本發(fā)明的一種采用光刻膠作保護(hù)層的LED白光芯片的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0014]參照?qǐng)D1,本發(fā)明提供的一種采用光刻膠作保護(hù)層的LED白光芯片,包括襯底10,所述襯底10上由下至上依次設(shè)置有N型半導(dǎo)體層20、發(fā)光層30和P型半導(dǎo)體層40,形成LED晶圓,其中N型半導(dǎo)體層20上設(shè)置有與電源負(fù)極連接的金屬電極52,P型半導(dǎo)體層40上設(shè)置有與電源正極連接的金屬電極51。本實(shí)施例的LED晶圓采用氮化鎵材料制作,通電激發(fā)后發(fā)出藍(lán)光。
[0015]LED晶圓外設(shè)置有光阻層60,光阻層60是采用滲有黃色熒光粉的光刻膠通過(guò)光刻工藝形成。光刻膠直接覆蓋LED晶圓,光阻層60上對(duì)應(yīng)兩個(gè)金屬電極51、52分別設(shè)置有使金屬電極51、52外露的缺口。進(jìn)一步,光刻膠內(nèi)還可以混合有紅色熒光粉。上述熒光粉都是均勻滲入光刻膠內(nèi)。
[0016]本發(fā)明采用滲有熒光粉的光刻膠制成的光阻層60覆蓋LED晶圓,由于光刻膠是軟性材料,抗沖擊、抗壓的能力比硬性材料的Si02更為優(yōu)秀,因此光阻層60可取代鈍化層更好的起到保護(hù)作用;光阻層60取代鈍化層還減少了設(shè)置鈍化層和蝕刻鈍化層兩道工序,提高了LED發(fā)光芯片的生產(chǎn)效率,并降低制造成本;同時(shí)由于光阻層內(nèi)帶有黃色熒光粉或者黃色和紅色熒光粉,可將LED晶圓發(fā)出的藍(lán)光調(diào)節(jié)為白光,得到LED白光芯片。
[0017]以上所述,只是本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已,本發(fā)明并不局限于上述實(shí)施方式,只要其以相同的手段達(dá)到本發(fā)明的技術(shù)效果,都應(yīng)屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種采用光刻膠作保護(hù)層的LED白光芯片,包括襯底(10),所述襯底(10)上依次設(shè)置有N型半導(dǎo)體層(20)、發(fā)光層(30)和P型半導(dǎo)體層(40),形成LED晶圓,所述N型半導(dǎo)體層(20)和P型半導(dǎo)體層(40)上分別設(shè)置有金屬電極(51 ;52),其特征在于:還包括直接覆蓋在LED晶圓外的光阻層(60),所述光阻層(60)由透明絕緣的光刻膠通過(guò)光刻工藝形成,所述光刻膠內(nèi)均勻混合有熒光粉。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種采用光刻膠作保護(hù)層的LED白光芯片,其特征在于:所述LED晶圓采用氮化鎵材料制作并發(fā)出藍(lán)光。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種采用光刻膠作保護(hù)層的LED白光芯片,其特征在于:所述光刻膠內(nèi)均勻混合有黃色熒光粉。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種采用光刻膠作保護(hù)層的LED白光芯片,其特征在于:所述光刻膠內(nèi)還混合有紅色熒光粉。5.根據(jù)權(quán)利要求1至4任一所述的一種采用光刻膠作保護(hù)層的LED白光芯片,其特征在于:所述光阻層(60)上設(shè)置有使金屬電極(51 ;52)外露的缺口。
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種采用光刻膠作保護(hù)層的LED白光芯片,包括襯底,襯底上依次設(shè)置有N型半導(dǎo)體層、發(fā)光層和P型半導(dǎo)體層,形成LED晶圓,其中半導(dǎo)體層上設(shè)置有金屬電極,LED晶圓外設(shè)置有光阻層,光阻層由透明絕緣的光刻膠通過(guò)光刻工藝形成,光刻膠內(nèi)均勻混合有熒光粉。采用光刻膠制成的光阻層覆蓋LED晶圓,由于光刻膠是軟性材料,抗沖擊、抗壓的能力比硬性材料的SiO2更為優(yōu)秀,因此光阻層可取代鈍化層更好的起到保護(hù)作用;光阻層取代鈍化層還減少了設(shè)置鈍化層和蝕刻鈍化層兩道工序,提高了LED發(fā)光芯片的生產(chǎn)效率,并降低制造成本;同時(shí)由于光阻層內(nèi)帶有熒光粉,可將LED晶圓發(fā)出的光線調(diào)節(jié)為白光,得到LED白光芯片。
【IPC分類(lèi)】H01L33/00, H01L33/44
【公開(kāi)號(hào)】CN105489730
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510860112
【發(fā)明人】郝銳, 易翰翔, 劉洋, 許徳裕
【申請(qǐng)人】廣東德力光電有限公司
【公開(kāi)日】2016年4月13日
【申請(qǐng)日】2015年11月30日
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