半導(dǎo)體激光器腔面鍍膜夾具的制作方法
【專利摘要】半導(dǎo)體激光器腔面鍍膜夾具，該夾具為一種傾斜固定激光器Bar條的特殊鍍膜夾具，該夾具是由底板、中板、蓋板、滑塊、Bar條組成；采用帶斜面的滑塊是實現(xiàn)激光器Bar條傾斜安裝固定的關(guān)鍵，當(dāng)完成激光器一面鍍膜后，進行另一面腔面鍍膜前，需要將激光器Bar條沿另一方向傾斜θ角，操作方法是將滑塊B反面，并將半導(dǎo)體激光器Bar條順滑塊B斜面傾斜安裝，然后卸蓋板A，將滑塊A反面，重新裝上蓋板A，固定激光器Bar條，最后完成另一面的鍍膜。本發(fā)明采用將激光器Bar條傾斜固定的鍍膜夾具的技術(shù)方案，有效解決了激光器腔面鍍膜過程中的遮擋技術(shù)問題，也避免激光器Bar條的二次污染。
【專利說明】
半導(dǎo)體激光器腔面鍍膜夾具
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明屬于半導(dǎo)體激光器領(lǐng)域，是一種半導(dǎo)體激光器研制和生產(chǎn)過程中有重要應(yīng)用鍍膜裝置，應(yīng)用于半導(dǎo)體激光器腔面鍍膜。
【背景技術(shù)】
[0002]腔面鍍膜技術(shù)是半導(dǎo)體激光器研制和生產(chǎn)過程中的核心技術(shù)之一，鍍制的腔面光學(xué)膜反射率等性能直接影響和決定半導(dǎo)體激光器的性能，對半導(dǎo)體激光器制備有重要影響。
[0003]為了提高半導(dǎo)體激光器腔面光學(xué)膜反射率和鍍膜質(zhì)量的控制，通常采用高真空條件下離子輔助物理氣相沉積鍍膜技術(shù)，采用石英晶體膜厚控制儀和光學(xué)膜厚控制儀對光學(xué)膜生長過程中的厚度進行控制。理論上，可以實現(xiàn)需要反射率的半導(dǎo)體激光器腔面光學(xué)膜，但是實際工藝中，鍍制的腔面光學(xué)膜反射率與設(shè)計值存在較大的差異，主要的原因在于:工藝過程中，需要鍍膜夾具對半導(dǎo)體激光器Bar條進行固定，而半導(dǎo)體激光器有源區(qū)離P面電極垂直距離在I?2μπι，在激光器Bar條固定過程中，因激光器Bar條腔長或多或少存在數(shù)μπι以上的差異，且安裝Bar條的夾具表面不平整，激光器有源區(qū)部分很容易被相鄰的激光器Bar條或夾具部件表面遮擋，這樣鍍膜過程中，激光器有源區(qū)位置生長的膜厚與實際要求的值有差異，而且與當(dāng)時的固定Bar條的狀態(tài)有關(guān)，存在很大的不確定性。為了解決該技術(shù)問題，需要從激光器Bar條固定方式進行突破，本發(fā)明采用傾斜激光器Bar條的技術(shù)方案解決這種鍍膜過程中的不確定問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]為了解決激光器腔面鍍膜過程中，有源區(qū)被遮擋，有源區(qū)位置光學(xué)膜膜厚不可控的問題，本發(fā)明從固定激光器Bar條夾具設(shè)計方案入手，提出了對激光器Bar條傾斜安裝固定技術(shù)方案，目的在于鍍膜過程中，需要鍍膜的激光器腔面有源區(qū)區(qū)域全部裸露于鍍膜環(huán)境下，保證淀積到激光器有源區(qū)位置的膜厚可測、可控。
[0005]本發(fā)明解決激光器腔面鍍膜有源區(qū)被遮擋問題所采用的技術(shù)方案是，半導(dǎo)體激光器腔面鍍膜夾具，該夾具為一種傾斜固定激光器Bar條的特殊鍍膜夾具，該夾具是由底板1、中板2、蓋板3、滑塊4、Bar條5組成；
[0006]底板I與中板2接觸面為光滑平面，底板I的中間開有長方形通孔，激光器的Bar條5與該長方形通孔相配合，并透過該長方形通孔鍍制其所需光學(xué)膜，底板I中空部分邊緣厚度Cl1較薄，該面板作為鍍膜夾具底部支撐板使用，底板I兩邊開有內(nèi)螺紋通孔；
[0007]中板2的兩面均為光滑的金屬板，中板2與底板I的尺寸相一致，中板2的中間掏空成長方形，長方形寬度W2比底板中空的長方形寬度Wi寬0.5mm-1.5mm，中板2的厚度與激光器的腔長一致以鎖緊激光器的Bar條5，中板2的兩邊開有無內(nèi)螺紋的通孔；
[0008]蓋板3和底板I的尺寸相一致，蓋板3被分割成蓋板A、蓋板B兩部分，蓋板3中間開有中空的長方形金屬板即為蓋板B，蓋板3的另外部分為蓋板A，蓋板A、蓋板B相配合以便拆卸；另外在蓋板B部分內(nèi)空的兩邊對稱開了長方形切口，以便于激光器的Bar條5拆裝；蓋板A和B兩側(cè)開有內(nèi)陷螺帽的無內(nèi)置螺紋通孔，以便將底板1、中板2、蓋板3組裝成一體，形成完整夾具，蓋板3與底板I結(jié)合將激光器的Bar條5上下固定。
[0009]滑塊4一面的傾斜底角為Θ，滑塊4的寬度W2為中板2內(nèi)的長方形寬度，滑塊4需成對與中板2相配合，滑塊4的斜面與激光器電極面相接觸，每對滑塊4中間固定有一組激光器的Bar 條5 ο
[0010]激光器的Bar條5是鍍膜的主體，通過蓋板3的內(nèi)空邊緣切口劃入，通過對稱的兩個滑塊4固定到鍍膜夾具的內(nèi)槽中，激光器Bar條能夠根據(jù)需要依次平行排列，安裝Bar條5的過程中，保證鍍膜面的有源區(qū)部分沒有遮擋地置露鍍膜環(huán)境中。
[0011]滑塊4采用不銹鋼金屬材料，傾斜底角Θ為45°至75°，
[0012]采用帶斜面的滑塊是實現(xiàn)激光器Bar條傾斜安裝固定的關(guān)鍵，當(dāng)完成激光器一面鍍膜后，進行另一面腔面鍍膜前，需要將激光器Bar條沿另一方向傾斜Θ角，操作方法是將滑塊B反面，并將半導(dǎo)體激光器Bar條順滑塊B斜面傾斜安裝，然后卸蓋板A，將滑塊A反面，重新裝上蓋板A，固定激光器Bar條，最后完成另一面的鍍膜。
[0013]綜上所述，本發(fā)明采用將激光器Bar條傾斜固定的鍍膜夾具的技術(shù)方案，有效解決了激光器腔面鍍膜過程中的遮擋技術(shù)問題，從以上技術(shù)方案可以看出，本發(fā)明半導(dǎo)體激光器鍍膜夾具設(shè)計方案具有以下有益效果:
[0014](I)該方案通過采用傾斜滑塊設(shè)計，能有效實現(xiàn)激光器Bar條鍍膜前傾斜放置，鍍膜過程中，激光器有源區(qū)能無遮擋置于鍍膜環(huán)境中，避免因激光器Bar條不齊或滑塊對激光器有源區(qū)部分的遮擋，從而實現(xiàn)對有源區(qū)鍍膜厚度和膜系的精確控制；
[0015](2)該設(shè)計方案，通過將蓋板分成兩部分設(shè)計，當(dāng)完成一面鍍膜后，能方便通過拆卸蓋板A部分調(diào)整激光器Bar條傾斜角度，實現(xiàn)另一面鍍膜，能節(jié)省大量的激光器Bar條拆裝時間，也避免激光器Bar條的二次污染。
【附圖說明】
[0016]圖1.1為本發(fā)明的立面裝配圖。
[0017]圖1.2為本發(fā)明的平面不意圖。
[0018]圖1.3為本發(fā)明的A向剖面圖。
[0019]圖1.4為本發(fā)明的B向剖面圖。
[0020]圖2.1為底板的平面不意圖。
[0021]圖2.2為底板的A向剖面圖。
[0022]圖2.3為底板的B向剖面圖。
[0023]圖3.1為中板的平面不意圖
[0024]圖3.2為中板的A向剖面圖。
[0025]圖3.3為中板的B向剖面圖。
[0026]圖4.1為滑塊的平面示意圖
[0027]圖4.2為滑塊的A向剖面圖。
[0028]圖4.3為滑塊的B向剖面圖。
[0029]圖5.1為鍍膜夾具滑塊圖。
[0030]圖5.2為鍍膜夾具滑塊A向剖面圖。
[0031]圖5.3為鍍膜夾具滑塊B向剖面圖。
【具體實施方式】
[0032]為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清晰明白，以下結(jié)合具體實施例，并參照附圖，對本發(fā)明進一步詳細說明。
[0033]如圖1.1-5.3所示為本發(fā)明提供的半導(dǎo)體激光器鍍膜夾具整體即各組件的示意圖；本發(fā)明的鍍膜夾具包括底板、中板、蓋板(A和B)、滑塊四部分，其中:
[0034]底板I采用不銹鋼金屬材料，長方體設(shè)計，寬W在20mm至50mm之間，長L在30mm至120mm之間，厚度d為1.5mm至4.0mm之間，中間開一長方形通孔，通孔寬度Wi為1mm至30mm之間，長Li在15mm至90mm之間，通孔邊緣厚度di為0.5mm，與中板接觸面平整光滑。
[0035]中板2采用不銹鋼金屬材料，長方體設(shè)計，外形長寬與底板一致，厚度出與激光器腔長一致，內(nèi)開長方形通孔，面板成U字形，開孔的寬度W2比底板寬度W1tl.0mm，上下兩面平行且平整光滑。
[0036]蓋板3采用不銹鋼金屬材料，長方體設(shè)計外形長L寬W厚d與底板一致，中間開長方形通孔，通孔尺寸與底板一致，蓋板底面與中板接觸面為平整光滑表面。蓋板有A、B兩部分組成，蓋板A的長度L3比滑塊A長度Lo長l-3mm即可。在蓋板B靠蓋板中空邊緣處兩邊各開一個方形通孔，通孔的寬W2的0.5mm，長L4為激光器腔長2倍左右。
[0037]滑塊4采用不銹鋼金屬材料，傾斜底角Θ為45°至75°，滑塊寬度《2與中板長方形通孔寬度W2—樣，厚度出與激光器Bar條腔長一致，上下左右四面光亮平整，每次使用時，需要成對安裝固定激光器Bar條。
[0038]底板1、中板2、蓋板3兩邊設(shè)計通過螺釘固定的對齊通孔，其中，底板開內(nèi)置螺紋孔，中板開無螺紋通孔，蓋板開內(nèi)陷螺帽的無內(nèi)置螺紋通孔。
[0039]在本發(fā)明一優(yōu)選實例中，所述寬度Wi為1mm或14mm，長度Li為30mm，L為50mm，w為30mm，滑塊底角Θ為60°。
[0040]綜上所述，本實施例提出了一種半導(dǎo)體激光器腔面鍍膜夾具設(shè)計，有效解決了激光器腔面鍍膜過程中，因激光器相互遮擋導(dǎo)致的半導(dǎo)體激光器腔面光學(xué)膜鍍制過程中反射率不可控的問題，能明顯提高半導(dǎo)體激光器腔面鍍膜的成品率。
[0041]以上所述的具體實施例，對本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和有益效果進行了進一步詳細說明，所應(yīng)理解的是，以上所述僅為本發(fā)明的具體實施例而已，并不用于限制本發(fā)明，凡是在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進等，均應(yīng)包括在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.半導(dǎo)體激光器腔面鍍膜夾具，該夾具為一種傾斜固定激光器Bar條的特殊鍍膜夾具，其特征在于:該夾具是由底板(1)、中板(2)、蓋板⑶、滑塊⑷、Bar條(5)組成； 底板(I)與中板(2)接觸面為光滑平面，底板(I)的中間開有長方形通孔，激光器的Bar條(5)與該長方形通孔相配合，并透過該長方形通孔鍍制其所需光學(xué)膜，底板(I)中空部分邊緣厚度CU較薄，該面板作為鍍膜夾具底部支撐板使用，底板(I)兩邊開有內(nèi)螺紋通孔； 中板(2)的兩面均為光滑的金屬板，中板(2)與底板(I)的尺寸相一致，中板(2)的中間掏空成長方形，長方形寬度W2比底板中空的長方形寬度Wi寬0.5mm-1.5mm，中板(2)的厚度與激光器的腔長一致以鎖緊激光器的Bar條(5)，中板(2)的兩邊開有無內(nèi)螺紋的通孔； 蓋板(3)和底板(I)的尺寸相一致，蓋板(3)被分割成蓋板A、蓋板B兩部分，蓋板(3)中間開有中空的長方形金屬板即為蓋板B，蓋板(3)的另外部分為蓋板A，蓋板A、蓋板B相配合以便拆卸；另外在蓋板B部分內(nèi)空的兩邊對稱開了長方形切口，以便于激光器的Bar條(5)拆裝;蓋板A兩側(cè)開有內(nèi)陷螺帽的無內(nèi)置螺紋通孔，以便將底板(1)、中板(2)、蓋板(3)組裝成一體，形成完整夾具，蓋板(3)與底板(I)結(jié)合將激光器的Bar條(5)上下固定； 滑塊(4)一面的傾斜底角為Θ，滑塊(4)的寬度W2為中板(2)內(nèi)的長方形寬度，滑塊(4)需成對與中板(2)相配合，滑塊(4)的斜面與激光器電極面相接觸，每對滑塊(4)中間固定有一組激光器的Bar條(5)； 激光器的Bar條(5)是鍍膜的主體，通過蓋板(3)的內(nèi)空邊緣切口劃入，通過對稱的兩個滑塊(4)固定到鍍膜夾具的內(nèi)槽中，激光器Bar條能夠根據(jù)需要依次平行排列，安裝Bar條(5)的過程中，保證鍍膜面的有源區(qū)部分沒有遮擋地置露鍍膜環(huán)境中。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體激光器腔面鍍膜夾具，其特征在于:滑塊(4)采用不銹鋼金屬材料，傾斜底角Θ為45°至75°。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體激光器腔面鍍膜夾具，其特征在于:采用帶斜面的滑塊是實現(xiàn)激光器Bar條傾斜安裝固定的關(guān)鍵，當(dāng)完成激光器一面鍍膜后，進行另一面腔面鍍膜前，需要將激光器Bar條沿另一方向傾斜Θ角，操作方法是將滑塊B反面，并將半導(dǎo)體激光器Bar條順滑塊B斜面傾斜安裝，然后卸蓋板A，將滑塊A反面，重新裝上蓋板A，固定激光器Bar條，最后完成另一面的鏈月旲。
【文檔編號】H01S5/028GK105938976SQ201610131483
【公開日】2016年9月14日
【申請日】2016年3月8日
【發(fā)明人】譚祖雄, 郭偉玲
【申請人】北京工業(yè)大學(xué)