一種機(jī)器真空腔內(nèi)使用的陶瓷支撐銷(xiāo)裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及支撐銷(xiāo)裝置領(lǐng)域，特別是一種機(jī)器真空腔內(nèi)使用的陶瓷支撐銷(xiāo)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有技術(shù)中的支撐銷(xiāo)不帶密封圈，請(qǐng)參考圖1、2，圖1為現(xiàn)有支撐銷(xiāo)結(jié)構(gòu)示意圖，圖2為現(xiàn)有支撐銷(xiāo)安裝狀態(tài)圖，如圖所示，陶瓷支撐銷(xiāo)與安裝孔之間存在縫隙，承重臺(tái)在升降時(shí)，陶瓷支撐銷(xiāo)容易滑動(dòng)，導(dǎo)致晶片滑出平臺(tái)，由于縫隙的存在，陶瓷支撐銷(xiāo)與安裝孔之間易產(chǎn)生磨擦，產(chǎn)生“微顆粒”(Particle);而且現(xiàn)有的支撐銷(xiāo)沒(méi)有排氣孔，當(dāng)腔體從真空狀態(tài)恢復(fù)到常壓狀態(tài)時(shí)，承重臺(tái)在升降時(shí)，陶瓷支撐銷(xiāo)容易被所產(chǎn)生的氣流推出槽，導(dǎo)致晶片偏離位子；當(dāng)薄圓片被機(jī)械手臂放在承載臺(tái)上方，承載臺(tái)上升從機(jī)械手臂頂出薄圓片時(shí)，由于支撐銷(xiāo)中心無(wú)小孔排氣，導(dǎo)致薄圓片與支撐銷(xiāo)之間存在空氣隔膜，造成薄圓片在接觸支撐銷(xiāo)時(shí)產(chǎn)生移動(dòng)，使得薄圓片偏離其中心。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)不足，本實(shí)用新型提供了一種機(jī)器真空腔內(nèi)使用的陶瓷支撐銷(xiāo)裝置，可使晶片的破損率及支撐銷(xiāo)上“微顆?！钡臄?shù)量明顯下降，降低機(jī)器故障率，提高機(jī)器產(chǎn)會(huì)K。
[0004]本實(shí)用新型解決上述技術(shù)問(wèn)題采用的技術(shù)方案為:一種機(jī)器真空腔內(nèi)使用的陶瓷支撐銷(xiāo)裝置，包括陶瓷支撐銷(xiāo)、承重臺(tái)，所述承重臺(tái)上設(shè)置安裝孔用于安裝所述陶瓷支撐銷(xiāo)，陶瓷支撐銷(xiāo)用于支撐晶片，所述陶瓷支撐銷(xiāo)軸向設(shè)置有排氣通孔，用于導(dǎo)出氣流，所述陶瓷支撐銷(xiāo)下部設(shè)置有密封圈，用于限制陶瓷支撐銷(xiāo)在安裝孔內(nèi)的位置。
[0005]進(jìn)一步地，所述陶瓷支撐銷(xiāo)為圓柱形。
[0006]進(jìn)一步地，所述陶瓷支撐銷(xiāo)的數(shù)量為7個(gè)。
[0007]進(jìn)一步地，所述陶瓷支撐銷(xiāo)呈正八邊形頂點(diǎn)排列，所空出的一個(gè)位置用于機(jī)械臂的進(jìn)出，可以安放晶片。
[0008]進(jìn)一步地，所述排氣通孔設(shè)置于陶瓷支撐銷(xiāo)軸向中心位置。
[0009]本實(shí)用新型具備的優(yōu)點(diǎn):一種機(jī)器真空腔內(nèi)使用的陶瓷支撐銷(xiāo)裝置，通過(guò)在陶瓷支撐銷(xiāo)上添加密封圈及排氣通孔，有效穩(wěn)固了支撐銷(xiāo)，防止置于支撐銷(xiāo)上的晶片出現(xiàn)滑動(dòng)，同時(shí)避免了支撐銷(xiāo)上因其與安裝孔之間因磨擦產(chǎn)生的“微顆?！?，以及真空腔從真空狀態(tài)恢復(fù)到常壓狀態(tài)時(shí)由于承重臺(tái)的升降，支撐銷(xiāo)因沒(méi)有排氣孔而被氣流推出槽而導(dǎo)致的晶片移位，從而降低晶片的破損率及機(jī)器的故障率，提高機(jī)器產(chǎn)能，延長(zhǎng)陶瓷支撐銷(xiāo)的使用壽命。
【附圖說(shuō)明】
[0010]圖1為現(xiàn)有支撐銷(xiāo)結(jié)構(gòu)示意圖；
[0011]圖2為現(xiàn)有支撐銷(xiāo)安裝狀態(tài)圖；
[0012]圖3為本實(shí)用新型陶瓷支撐銷(xiāo)結(jié)構(gòu)示意圖；
[0013]圖4、5為本實(shí)用新型使用狀態(tài)圖；
[0014]圖6為本實(shí)用新型使用狀態(tài)下的側(cè)視圖。
[0015]圖中，1、陶瓷支撐銷(xiāo)，2、承重臺(tái)，3、晶片，4、機(jī)械臂，5、排氣通孔，6、密封圈，11、安裝孔。
【具體實(shí)施方式】
[0016]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步的說(shuō)明，如圖4、5及6所示，一種機(jī)器真空腔內(nèi)使用的陶瓷支撐銷(xiāo)裝置，包括陶瓷支撐銷(xiāo)1、承重臺(tái)2，所述承重臺(tái)上設(shè)置安裝孔11用于安裝所述陶瓷支撐銷(xiāo)1，陶瓷支撐銷(xiāo)I用于支撐晶片3 ;如圖3所示，所述陶瓷支撐銷(xiāo)I軸向設(shè)置排氣通孔5，用于導(dǎo)出氣流，所述陶瓷支撐銷(xiāo)I下部設(shè)置有密封圈6，用于限制陶瓷支撐銷(xiāo)I在安裝孔11內(nèi)的位置。
[0017]進(jìn)一步地，所述陶瓷支撐銷(xiāo)I為圓柱形，所述陶瓷支撐銷(xiāo)的數(shù)量為7個(gè)，所述7個(gè)陶瓷支撐銷(xiāo)呈正八邊形頂點(diǎn)排列，所空出的一個(gè)位置用于機(jī)械臂4的進(jìn)出，可以安放所述晶片3，所述排氣通孔5設(shè)置于陶瓷支撐銷(xiāo)I軸向中心位置。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種機(jī)器真空腔內(nèi)使用的陶瓷支撐銷(xiāo)裝置，包括陶瓷支撐銷(xiāo)、承重臺(tái)，其特征在于，所述承重臺(tái)上設(shè)置安裝孔用于安裝所述陶瓷支撐銷(xiāo)，陶瓷支撐銷(xiāo)用于支撐晶片，所述陶瓷支撐銷(xiāo)軸向設(shè)置有排氣通孔，用于導(dǎo)出氣流，所述陶瓷支撐銷(xiāo)下部設(shè)置有密封圈，用于限制陶瓷支撐銷(xiāo)在安裝孔內(nèi)的位置。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種機(jī)器真空腔內(nèi)使用的陶瓷支撐銷(xiāo)裝置，其特征在于:所述陶瓷支撐銷(xiāo)為圓柱形。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種機(jī)器真空腔內(nèi)使用的陶瓷支撐銷(xiāo)裝置，其特征在于:所述陶瓷支撐銷(xiāo)的數(shù)量為7個(gè)。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種機(jī)器真空腔內(nèi)使用的陶瓷支撐銷(xiāo)裝置，其特征在于:所述陶瓷支撐銷(xiāo)呈正八邊形頂點(diǎn)排列，所空出的一個(gè)位置用于安放晶片的機(jī)械臂的進(jìn)出。5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種機(jī)器真空腔內(nèi)使用的陶瓷支撐銷(xiāo)裝置，其特征在于:所述排氣通孔設(shè)置于陶瓷支撐銷(xiāo)軸向中心位置。
【專(zhuān)利摘要】一種機(jī)器真空腔內(nèi)使用的陶瓷支撐銷(xiāo)裝置，包括陶瓷支撐銷(xiāo)、承重臺(tái)，所述承重臺(tái)上設(shè)置安裝孔用于安裝所述陶瓷支撐銷(xiāo)，陶瓷支撐銷(xiāo)用于支撐晶片，所述陶瓷支撐銷(xiāo)軸向設(shè)置有排氣通孔，用于導(dǎo)出氣流，所述陶瓷支撐銷(xiāo)下部設(shè)置有密封圈，用于限制陶瓷支撐銷(xiāo)在安裝孔內(nèi)的位置。本實(shí)用新型的裝置可使晶片的破損率及支撐銷(xiāo)上“微顆?！钡臄?shù)量明顯下降，降低晶片的破損率及機(jī)器的故障率，提高機(jī)器產(chǎn)能，延長(zhǎng)陶瓷支撐銷(xiāo)的使用壽命。
【IPC分類(lèi)】H01L21/683
【公開(kāi)號(hào)】CN204760365
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520338525
【發(fā)明人】黃金順, 林清華
【申請(qǐng)人】無(wú)錫易比達(dá)半導(dǎo)體科技有限公司
【公開(kāi)日】2015年11月11日
【申請(qǐng)日】2015年5月25日