一種針測(cè)機(jī)光學(xué)影像系統(tǒng)降溫裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種針測(cè)機(jī)光學(xué)影像系統(tǒng)降溫裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅芯片，由于其形狀為圓形，故稱(chēng)為晶圓。半導(dǎo)體的生產(chǎn)和制造在不斷的發(fā)展中形成了完善的生產(chǎn)流程。一般是芯片電路設(shè)計(jì)-晶圓的制造-晶圓的測(cè)試-晶圓的切割研磨-芯片的封裝-成品芯片的測(cè)試。通常晶圓測(cè)試會(huì)需要承載托盤(pán)提供一個(gè)高溫環(huán)境，承載托盤(pán)可能將晶圓加熱到135攝氏度。當(dāng)承載托盤(pán)將晶圓移動(dòng)到光學(xué)影像系統(tǒng)下接受定位監(jiān)測(cè)時(shí)，晶圓與光學(xué)影像系統(tǒng)之間只有不到500um的間距，光學(xué)影像系統(tǒng)受到承載托盤(pán)的高溫烘烤，會(huì)導(dǎo)致光學(xué)影像誤差。光學(xué)影像系統(tǒng)在光信號(hào)轉(zhuǎn)成數(shù)字信號(hào)時(shí)，轉(zhuǎn)換信號(hào)受到溫度影響會(huì)存在一定的誤差，這些誤差會(huì)使得測(cè)試過(guò)程中晶圓本身、探針卡本身及測(cè)試結(jié)果的準(zhǔn)確性受到相當(dāng)大的影響，會(huì)出現(xiàn)晶圓刮傷、探針卡針撞傷及測(cè)試結(jié)果不準(zhǔn)確等問(wèn)題。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型的目的針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)的問(wèn)題，提供一種針測(cè)機(jī)光學(xué)影像系統(tǒng)降溫裝置，在針測(cè)機(jī)的光學(xué)影像系統(tǒng)內(nèi)部加裝了一個(gè)主動(dòng)散熱的降溫裝置，使得光學(xué)影像系統(tǒng)內(nèi)部一旦工作起來(lái)就會(huì)有急速的常溫空氣流過(guò)，帶走光學(xué)影像系統(tǒng)內(nèi)部的熱量，不會(huì)因?yàn)槌休d托盤(pán)的烘烤而在光學(xué)影像系統(tǒng)內(nèi)部囤積熱量，發(fā)生測(cè)量誤差。
[0004]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是:
[0005]一種針測(cè)機(jī)光學(xué)影像系統(tǒng)降溫裝置，包括直流電源、光信號(hào)傳感器、光敏電阻R2、三極管Tl、繼電器、電磁氣壓閥，所述直流電源通過(guò)電阻Rl與光信號(hào)傳感器相連，所述繼電器的線圈與直流電源相連，所述光信號(hào)傳感器與光敏電阻R2相連，所述光敏電阻R2的兩端分別與晶體管Tl的基極b和發(fā)射極e相連，所述晶體管Tl的集電極c與繼電器的線圈相連，所述繼電器的開(kāi)關(guān)與電磁氣壓閥相連。
[0006]進(jìn)一步地，所述電磁氣壓閥上設(shè)有進(jìn)氣口和出氣口。
[0007]進(jìn)一步地，所述進(jìn)氣口通過(guò)氣管與風(fēng)機(jī)相連，所述出氣口通過(guò)氣管與光學(xué)影像系統(tǒng)相連。
[0008]進(jìn)一步地，所述風(fēng)機(jī)為變頻風(fēng)機(jī)。
[0009]進(jìn)一步地，所述直流電源為12V電源。
[0010]進(jìn)一步地，有電阻R3與二極管Dl串聯(lián)后并聯(lián)在所述繼電器的線圈上。
[0011]進(jìn)一步地，所述三極管Tl為NPN三極管。
[0012]本實(shí)用新型的有益效果:一種針測(cè)機(jī)光學(xué)影像系統(tǒng)降溫裝置，在針測(cè)機(jī)的光學(xué)影像系統(tǒng)內(nèi)部加裝了一個(gè)主動(dòng)散熱的降溫裝置，使得光學(xué)影像系統(tǒng)內(nèi)部一旦工作起來(lái)就會(huì)有急速的常溫空氣流過(guò)，帶走光學(xué)影像系統(tǒng)內(nèi)部的熱量，不會(huì)因?yàn)槌休d托盤(pán)的烘烤而在光學(xué)影像系統(tǒng)內(nèi)部囤積熱量，發(fā)生測(cè)量誤差；確保光學(xué)影像系統(tǒng)在高溫環(huán)境下的精確度和穩(wěn)定性，改善晶圓測(cè)試質(zhì)量；避免光學(xué)影像系統(tǒng)因承載托盤(pán)烘烤造成的量測(cè)誤差導(dǎo)致的晶圓刮傷、探針卡撞傷及測(cè)試結(jié)果不準(zhǔn)確等問(wèn)題。
【附圖說(shuō)明】
[0013]圖1為本實(shí)用新型降溫裝置原理圖。
【具體實(shí)施方式】
[0014]為了使本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)的技術(shù)手段、創(chuàng)作特征、達(dá)成目的與功效易于明白了解，下面結(jié)合具體圖示，進(jìn)一步闡述本實(shí)用新型。
[0015]具體實(shí)施時(shí)，結(jié)合圖1，一種針測(cè)機(jī)光學(xué)影像系統(tǒng)降溫裝置，包括直流電源、光信號(hào)傳感器、光敏電阻R2、三極管Tl、繼電器、電磁氣壓閥。直流電源通過(guò)電阻Rl與光信號(hào)傳感器相連，繼電器的線圈與直流電源相連。光信號(hào)傳感器與光敏電阻R2相連，光敏電阻R2的兩端分別與晶體管Tl的基極b和發(fā)射極e相連，晶體管Tl的集電極c與繼電器的線圈相連，繼電器的開(kāi)關(guān)與電磁氣壓閥相連。電磁氣壓閥上設(shè)有進(jìn)氣口和出氣口。電磁氣壓閥的進(jìn)氣口通過(guò)氣管與風(fēng)機(jī)相連，電磁氣壓閥的出氣口通過(guò)氣管與光學(xué)影像系統(tǒng)相連。直流電源為12V電源。三極管Tl為NPN三極管。
[0016]為了節(jié)約能源，風(fēng)機(jī)可以采用變頻風(fēng)機(jī)。
[0017]為了便于繼電器的線圈放電，有電阻R3與二極管Dl串聯(lián)后并聯(lián)在所述繼電器的線圈上。
[0018]具體工作時(shí)，光信號(hào)傳感器安裝在光學(xué)影像系統(tǒng)內(nèi)，攝像頭啟動(dòng)光源發(fā)光位置，以接受系統(tǒng)開(kāi)始工作的光信號(hào)。光信號(hào)由信號(hào)放大器將光源開(kāi)啟和關(guān)閉的信息轉(zhuǎn)換成O和I的數(shù)字信號(hào)接入繼電器。繼電器接電磁氣壓閥電源，用于控制開(kāi)啟和閉合電磁氣壓閥。電磁氣壓閥進(jìn)氣口接針測(cè)機(jī)本身的壓縮空氣風(fēng)機(jī)，出氣口接入光學(xué)影像系統(tǒng)內(nèi)部，實(shí)現(xiàn)了光學(xué)影像系統(tǒng)一啟動(dòng)就會(huì)有干燥常溫的急速氣流開(kāi)啟穿過(guò)整個(gè)系統(tǒng)內(nèi)部，系統(tǒng)定位結(jié)束后，自動(dòng)關(guān)閉氣流，節(jié)省資源，能有效的控制系統(tǒng)內(nèi)的溫度隨承載托盤(pán)的烘烤而上升。
[0019]針測(cè)機(jī)光學(xué)影像系統(tǒng)降溫裝置，在針測(cè)機(jī)的光學(xué)影像系統(tǒng)內(nèi)部加裝了一個(gè)主動(dòng)散熱的降溫裝置，使得光學(xué)影像系統(tǒng)內(nèi)部一旦工作起來(lái)就會(huì)有急速的常溫空氣流過(guò)，帶走光學(xué)影像系統(tǒng)內(nèi)部的熱量，不會(huì)因?yàn)槌休d托盤(pán)的烘烤而在光學(xué)影像系統(tǒng)內(nèi)部囤積熱量，發(fā)生測(cè)量誤差；確保光學(xué)影像系統(tǒng)在高溫環(huán)境下的精確度和穩(wěn)定性，改善晶圓測(cè)試質(zhì)量；避免光學(xué)影像系統(tǒng)因承載托盤(pán)烘烤造成的量測(cè)誤差導(dǎo)致的晶圓刮傷、探針卡撞傷及測(cè)試結(jié)果不準(zhǔn)確等問(wèn)題。
[0020]上面所述的實(shí)施例僅僅是對(duì)本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式進(jìn)行描述，并非對(duì)本實(shí)用新型的構(gòu)思和范圍進(jìn)行限定。在不脫離本實(shí)用新型設(shè)計(jì)構(gòu)思的前提下，本領(lǐng)域普通人員對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案做出的各種變型和改進(jìn)，均應(yīng)落入到本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種針測(cè)機(jī)光學(xué)影像系統(tǒng)降溫裝置，其特征在于:包括直流電源、光信號(hào)傳感器、光敏電阻R2、三極管Tl、繼電器、電磁氣壓閥，所述直流電源通過(guò)電阻Rl與光信號(hào)傳感器相連，所述繼電器的線圈與直流電源相連，所述光信號(hào)傳感器與光敏電阻R2相連，所述光敏電阻R2的兩端分別與晶體管Tl的基極b和發(fā)射極e相連，所述晶體管Tl的集電極c與繼電器的線圈相連，所述繼電器的開(kāi)關(guān)與電磁氣壓閥相連。2.按照權(quán)利要求1所述的一種針測(cè)機(jī)光學(xué)影像系統(tǒng)降溫裝置，其特征在于:所述電磁氣壓閥上設(shè)有進(jìn)氣口和出氣口。3.按照權(quán)利要求2所述的一種針測(cè)機(jī)光學(xué)影像系統(tǒng)降溫裝置，其特征在于:所述進(jìn)氣口通過(guò)氣管與風(fēng)機(jī)相連，所述出氣口通過(guò)氣管與光學(xué)影像系統(tǒng)相連。4.按照權(quán)利要求3所述的一種針測(cè)機(jī)光學(xué)影像系統(tǒng)降溫裝置，其特征在于:所述風(fēng)機(jī)為變頻風(fēng)機(jī)。5.按照權(quán)利要求1所述的一種針測(cè)機(jī)光學(xué)影像系統(tǒng)降溫裝置，其特征在于:所述直流電源為12V電源。6.按照權(quán)利要求1所述的一種針測(cè)機(jī)光學(xué)影像系統(tǒng)降溫裝置，其特征在于:有電阻R3與二極管Dl串聯(lián)后并聯(lián)在所述繼電器的線圈上。7.按照權(quán)利要求1所述的一種針測(cè)機(jī)光學(xué)影像系統(tǒng)降溫裝置，其特征在于:所述三極管Tl為NPN三極管。
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種針測(cè)機(jī)光學(xué)影像系統(tǒng)降溫裝置，包括直流電源、光信號(hào)傳感器、光敏電阻R2、三極管T1、繼電器、電磁氣壓閥，所述直流電源通過(guò)電阻R1與光信號(hào)傳感器相連，所述繼電器的線圈與直流電源相連，所述光信號(hào)傳感器與光敏電阻R2相連，所述光敏電阻R2的兩端分別與晶體管T1的基極b和發(fā)射極e相連，所述晶體管T1的集電極c與繼電器的線圈相連，所述繼電器的開(kāi)關(guān)與電磁氣壓閥相連。本實(shí)用新型降溫裝置，在光學(xué)影像系統(tǒng)內(nèi)部加裝了一個(gè)主動(dòng)散熱的降溫裝置，使得光學(xué)影像系統(tǒng)內(nèi)部一旦工作起來(lái)就會(huì)有急速的常溫空氣流過(guò)，帶走光學(xué)影像系統(tǒng)內(nèi)部的熱量，不會(huì)因?yàn)槌休d托盤(pán)的烘烤而在光學(xué)影像系統(tǒng)內(nèi)部囤積熱量、發(fā)生測(cè)量誤差。
【IPC分類(lèi)】H01L21/66
【公開(kāi)號(hào)】CN205177789
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520828731
【發(fā)明人】沈順金
【申請(qǐng)人】安徽超元半導(dǎo)體有限公司
【公開(kāi)日】2016年4月20日
【申請(qǐng)日】2015年10月22日