一種固定性好的藍(lán)寶石襯底的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體材料技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種固定性好的藍(lán)寶石襯底。
【背景技術(shù)】
[0002]LED照明產(chǎn)業(yè)技術(shù)發(fā)展的基石是襯底材料，目前能用于LED照明生產(chǎn)的襯底主要時(shí)藍(lán)寶石襯底，通常，GaN基材料和器件的外延層主要生長(zhǎng)在藍(lán)寶石襯底上，藍(lán)寶石襯底有許多的優(yōu)點(diǎn)，首先，藍(lán)寶石襯底的生產(chǎn)技術(shù)成熟、器件質(zhì)量較好;其次，藍(lán)寶石的穩(wěn)定性很好，能夠運(yùn)用在高溫生長(zhǎng)過(guò)程中；最后，藍(lán)寶石的機(jī)械強(qiáng)度高，易于處理和清洗。因此，大多數(shù)工藝一般都以藍(lán)寶石作為襯底，隨著白光LED照明進(jìn)入到每個(gè)家庭逐步取代了傳統(tǒng)照明，對(duì)藍(lán)寶石襯底的要求越來(lái)越高，一般的藍(lán)寶石襯底的固定性較差，出光率不高，從而導(dǎo)致其性能不穩(wěn)定，為此，我們提出一種固定性好的藍(lán)寶石襯底。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實(shí)用新型的目的在于提供一種固定性好的藍(lán)寶石襯底，以解決上述【背景技術(shù)】中提出的問(wèn)題。
[0004]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案:一種固定性好的藍(lán)寶石襯底，包括透明導(dǎo)電槽體，所述透明導(dǎo)電槽體的內(nèi)腔包裹有藍(lán)寶石襯底，所述藍(lán)寶石襯底的底部沉積有梯形塊，所述梯形塊的頂部豎直沉積有錐頂，所述梯形塊為相同的三塊，且相鄰兩梯形塊之間設(shè)置有GaN生長(zhǎng)基槽，所述藍(lán)寶石襯底的頂部通過(guò)隱形切割工藝處理開(kāi)有T型凹槽，所述藍(lán)寶石襯底的底部設(shè)置有金屬反射層，所述金屬反射層的底部沉積有銀膠固晶層，所述透明導(dǎo)電槽體的底部設(shè)置有焊腳，所述藍(lán)寶石襯底的相對(duì)外壁經(jīng)多線切割開(kāi)有矩形截面。
[0005]優(yōu)選的，所述透明導(dǎo)電槽體為兩端開(kāi)口的矩形槽體，且透明導(dǎo)電槽體的頂部與梯形塊的傾斜面貼合。
[0006]優(yōu)選的，所述T型凹槽最少為三組相同的倒T型槽體，且T型凹槽的頂部槽口與GaN生長(zhǎng)基槽的內(nèi)腔聯(lián)通。
[0007]優(yōu)選的，所述錐頂為相同的六組，且每組錐頂?shù)牡撞繉挾仁歉叨鹊奈宸种弧?br>[0008]優(yōu)選的，所述矩形截面與透明導(dǎo)電槽體的相對(duì)內(nèi)壁貼合。
[0009]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是:該固定性好的藍(lán)寶石襯底，具有很好的穩(wěn)固性，性能可靠，在藍(lán)寶石襯底的下表面設(shè)有金屬反射層，同時(shí)配合使用具有良好導(dǎo)熱特性的銀膠固晶材料，提高了 LED的出光效率，而且性能可靠，兩端開(kāi)口的透明導(dǎo)電槽體，可以提高LED發(fā)光電流的均勻度，并且使得藍(lán)寶石襯底具有很好的固定性，GaN生長(zhǎng)基槽給在藍(lán)寶石襯底頂部生長(zhǎng)的GaN重結(jié)晶提供生長(zhǎng)環(huán)境，在向上生長(zhǎng)的過(guò)程中，與T型凹槽的配合使得藍(lán)寶石襯底具有很好的穩(wěn)固性能，最終橫向生長(zhǎng)超過(guò)梯形塊的頂部，與錐頂形成錐形空氣空隙，這些嵌入環(huán)形空氣的錐形空隙增強(qiáng)了光的散射，顯著提高的光的提取率，從而提高LED的亮度，矩形截面的開(kāi)設(shè)，使得在生長(zhǎng)過(guò)程中，石墨基座的轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)藍(lán)寶石襯底的轉(zhuǎn)動(dòng)，減少藍(lán)寶石襯底與石墨基座凹槽邊緣接觸的同時(shí)，給轉(zhuǎn)動(dòng)提供穩(wěn)定性。
【附圖說(shuō)明】
[00?0]圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)不意圖；
[0011 ]圖2為本實(shí)用新型的藍(lán)寶石襯底結(jié)構(gòu)示意圖。
[0012]圖中:I透明導(dǎo)電槽體、2藍(lán)寶石襯底、21矩形截面、3梯形塊、4錐頂、5GaN生長(zhǎng)基槽、6 T型凹槽、7金屬反射層、8銀膠固晶層、9焊腳。
【具體實(shí)施方式】
[0013]下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
[0014]請(qǐng)參閱圖1-2，本實(shí)用新型提供一種技術(shù)方案:一種固定性好的藍(lán)寶石襯底，包括透明導(dǎo)電槽體I，其特征在于:透明導(dǎo)電槽體I的內(nèi)腔包裹有藍(lán)寶石襯底2，藍(lán)寶石襯底2的底部沉積有梯形塊3，透明導(dǎo)電槽體I為兩端開(kāi)口的矩形槽體，且透明導(dǎo)電槽體I的頂部與梯形塊3的傾斜面貼合，可以提高LED發(fā)光電流的均勻度，并且使得藍(lán)寶石襯底2具有很好的固定性，梯形塊3的頂部豎直沉積有錐頂4，錐頂4為相同的六組，且每組錐頂4的底部寬度是高度的五分之一，梯形塊3為相同的三塊，且相鄰兩梯形塊3之間設(shè)置有GaN生長(zhǎng)基槽5，使得藍(lán)寶石襯底具有很好的穩(wěn)固性能，藍(lán)寶石襯底2的頂部通過(guò)隱形切割工藝處理開(kāi)有T型凹槽6，T型凹槽6最少為三組相同的倒T型槽體，且T型凹槽6的頂部槽口與GaN生長(zhǎng)基槽5的內(nèi)腔聯(lián)通，藍(lán)寶石襯底2的底部設(shè)置有金屬反射層7，金屬反射層7的底部沉積有銀膠固晶層8，金屬反射層7配合使用具有良好導(dǎo)熱特性的銀膠固晶層8，提高了 LED的出光效率，而且性能可靠，透明導(dǎo)電槽體I的底部設(shè)置有焊腳9，藍(lán)寶石襯底2的相對(duì)外壁經(jīng)多線切割開(kāi)有矩形截面21，矩形截面21與透明導(dǎo)電槽體I的相對(duì)內(nèi)壁貼合，使得在生長(zhǎng)過(guò)程中，石墨基座的轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)藍(lán)寶石襯底2的轉(zhuǎn)動(dòng)，減少藍(lán)寶石襯底2與石墨基座凹槽邊緣接觸的同時(shí)，給轉(zhuǎn)動(dòng)提供穩(wěn)定性。
[0015]盡管已經(jīng)示出和描述了本實(shí)用新型的實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以理解在不脫離本實(shí)用新型的原理和精神的情況下可以對(duì)這些實(shí)施例進(jìn)行多種變化、修改、替換和變型，本實(shí)用新型的范圍由所附權(quán)利要求及其等同物限定。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種固定性好的藍(lán)寶石襯底，包括透明導(dǎo)電槽體(I)，其特征在于:所述透明導(dǎo)電槽體(I)的內(nèi)腔包裹有藍(lán)寶石襯底(2)，所述藍(lán)寶石襯底(2)的底部沉積有梯形塊(3)，所述梯形塊(3)的頂部豎直沉積有錐頂(4)，所述梯形塊(3)為相同的三塊，且相鄰兩梯形塊(3)之間設(shè)置有GaN生長(zhǎng)基槽(5)，所述藍(lán)寶石襯底(2)的頂部通過(guò)隱形切割工藝處理開(kāi)有T型凹槽(6)，所述藍(lán)寶石襯底(2)的底部設(shè)置有金屬反射層(7)，所述金屬反射層(7)的底部沉積有銀膠固晶層(8)，所述透明導(dǎo)電槽體(I)的底部設(shè)置有焊腳(9)，所述藍(lán)寶石襯底(2)的相對(duì)外壁經(jīng)多線切割開(kāi)有矩形截面(21)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種固定性好的藍(lán)寶石襯底，其特征在于:所述透明導(dǎo)電槽體(I)為兩端開(kāi)口的矩形槽體，且透明導(dǎo)電槽體(I)的頂部與梯形塊(3)的傾斜面貼合。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種固定性好的藍(lán)寶石襯底，其特征在于:所述T型凹槽(6)最少為三組相同的倒T型槽體，且T型凹槽(6)的頂部槽口與GaN生長(zhǎng)基槽(5)的內(nèi)腔聯(lián)通。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種固定性好的藍(lán)寶石襯底，其特征在于:所述錐頂(4)為相同的六組，且每組錐頂(4)的底部寬度是高度的五分之一。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種固定性好的藍(lán)寶石襯底，其特征在于:所述矩形截面(21)與透明導(dǎo)電槽體(I)的相對(duì)內(nèi)壁貼合。
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種固定性好的藍(lán)寶石襯底，包括透明導(dǎo)電槽體，所述透明導(dǎo)電槽體的內(nèi)腔包裹有藍(lán)寶石襯底，所述藍(lán)寶石襯底的底部沉積有梯形塊，所述梯形塊的頂部豎直沉積有錐頂，所述梯形塊為相同的三塊，且相鄰兩梯形塊之間設(shè)置有GaN生長(zhǎng)基槽，所述藍(lán)寶石襯底的頂部通過(guò)隱形切割工藝處理開(kāi)有T型凹槽，所述藍(lán)寶石襯底的底部設(shè)置有金屬反射層，所述金屬反射層的底部沉積有銀膠固晶層，所述透明導(dǎo)電槽體的底部設(shè)置有焊腳，所述藍(lán)寶石襯底的相對(duì)外壁經(jīng)多線切割開(kāi)有矩形截面，該固定性好的藍(lán)寶石襯底，具有很好的穩(wěn)固性，性能可靠。
【IPC分類(lèi)】H01L33/10, H01L33/02
【公開(kāi)號(hào)】CN205376560
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201620048701
【發(fā)明人】陳銘欣, 林木榕, 林仲和, 林永騰
【申請(qǐng)人】福建晶安光電有限公司
【公開(kāi)日】2016年7月6日
【申請(qǐng)日】2016年1月19日