一種新型半導(dǎo)體元件連桿式測試機構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種新型半導(dǎo)體元件連桿式測試機構(gòu)，包括支撐機構(gòu)、微調(diào)機構(gòu)、電機、連桿轉(zhuǎn)動機構(gòu)、直線滑軌運動機構(gòu)、測試針機構(gòu)、安全位置檢測機構(gòu)。其特征在于：所述支撐機構(gòu)包括底板、立板、滑軌安裝板及電機固定板，所述微調(diào)機構(gòu)通過螺釘固定塊與支撐機構(gòu)連接，所述電機安裝在電機固板上，所述連桿轉(zhuǎn)動機構(gòu)通過轉(zhuǎn)軸夾緊塊與電機連接，所述直線滑軌運動機構(gòu)通過滑軌固定在支撐機構(gòu)上，并通過關(guān)節(jié)軸承與連桿轉(zhuǎn)動機構(gòu)連接，所述測試針機構(gòu)通過測試針安裝座固定在直線滑軌運動機構(gòu)上，所述安全位置檢測機構(gòu)通過感應(yīng)器安裝板固定在支撐機構(gòu)上。本實用新型一種半導(dǎo)體元件連桿式測試機構(gòu)采用剛性連接，將電機的旋轉(zhuǎn)運動轉(zhuǎn)化成測試針機構(gòu)的直線運動，并帶有安全位置檢測機構(gòu)與微調(diào)機構(gòu)，整體結(jié)構(gòu)簡單，測試機構(gòu)速度更快，更符合目前電子元器件的制作工藝，應(yīng)用性更廣。
【專利說明】
一種新型半導(dǎo)體元件連桿式測試機構(gòu)
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實用新型主要是涉及一種新型半導(dǎo)體元件連桿式測試機構(gòu)，進一步涉及一種對發(fā)光電子元件測試機構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體元件的生產(chǎn)環(huán)節(jié)中，半導(dǎo)體元體測試是重要的環(huán)節(jié)，半導(dǎo)體元件根據(jù)測試的結(jié)果進行分類。根據(jù)半導(dǎo)體引腳的方向不同，目前半導(dǎo)體元件的測試有分為底部測試、頂部測試與夾側(cè)測試。其中夾側(cè)測試因工藝簡單易實現(xiàn)，測試結(jié)果準(zhǔn)確度高被半導(dǎo)體元件測試設(shè)備廠商廣泛使用。
[0003]傳統(tǒng)的夾側(cè)測試機構(gòu)采用的是凸輪機構(gòu)，通過凸輪頂開軸承和拉伸彈簧復(fù)位的方式使測試針機構(gòu)做往復(fù)運動，凸輪與軸承靠拉伸彈簧拉力緊密接觸，結(jié)構(gòu)方式復(fù)雜，安裝與調(diào)節(jié)不方便;在位置控制中，控制電機停止轉(zhuǎn)動后由于拉伸彈簧存在阻尼運動而使測試針機構(gòu)無法立即精確到位，測試針機構(gòu)精確到位需要一個延時，限制了測試機構(gòu)的速度。
[0004]因此，測試機構(gòu)結(jié)構(gòu)的簡化與方便快捷的安裝調(diào)節(jié)方式，以及提升測試機構(gòu)的速度變得很重要。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]鑒于以上內(nèi)容，有必要提供一種采用結(jié)構(gòu)簡單、安裝調(diào)節(jié)方便快捷、速度又快的半導(dǎo)體元件測試機構(gòu)。
[0006]本實用新型提供一種新型半導(dǎo)體元件連桿式測試機構(gòu)，包括支撐機構(gòu)、微調(diào)機構(gòu)、電機、連桿轉(zhuǎn)動機構(gòu)、直線滑軌運動機構(gòu)、測試針機構(gòu)、安全位置檢測機構(gòu)。其特征在于:所述支撐機構(gòu)包括底板、立板、滑軌安裝板及電機固定板，所述微調(diào)機構(gòu)通過螺釘固定塊與支撐機構(gòu)連接，所述電機安裝在電機固板上，所述連桿轉(zhuǎn)動機構(gòu)通過轉(zhuǎn)軸夾緊塊與電機連接，所述直線滑軌運動機構(gòu)通過滑軌固定在支撐機構(gòu)上，并通過關(guān)節(jié)軸承與連桿轉(zhuǎn)動機構(gòu)連接，所述測試針機構(gòu)通過測試針安裝座固定在直線滑軌運動機構(gòu)上，所述安全位置檢測機構(gòu)通過感應(yīng)器安裝板固定在支撐機構(gòu)上。
[0007]優(yōu)選的，所述連桿轉(zhuǎn)動機構(gòu)采用電機驅(qū)動的方式。
[0008]優(yōu)選的，所述直線滑軌運動機構(gòu)與連桿轉(zhuǎn)動機構(gòu)的連接采用關(guān)節(jié)軸承連接方式。
[0009]優(yōu)選的，所述安全位置檢測機構(gòu)包括感應(yīng)器片、感應(yīng)器和感應(yīng)器安裝板，用來檢測測試針機構(gòu)的安全位置，確保測試針機構(gòu)能在安全位置內(nèi)運動。
[0010]優(yōu)選的，所述測試針機構(gòu)的往復(fù)直線運動，是由電機驅(qū)動連桿轉(zhuǎn)動機構(gòu)帶動的方式。
[0011]優(yōu)選的，所述微調(diào)機構(gòu)的實現(xiàn)方式是通過旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)螺釘來微調(diào)整測試針機構(gòu)的前后、左右及上下的位置。
[0012]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的優(yōu)點在于:采用了從電機軸到測試機構(gòu)的剛性連接，往復(fù)運動由電機驅(qū)動的方式，速度更快;采用關(guān)節(jié)軸承聯(lián)接方式使安裝調(diào)節(jié)更加方便快捷，同時也簡化了結(jié)構(gòu);采用安全位置檢測機構(gòu)，能確保測試機構(gòu)運動的安全性。采用微調(diào)機構(gòu)，使測試針機構(gòu)位置的調(diào)整更加精確。
【附圖說明】
[0013]圖1是本實用新型一種新型半導(dǎo)體元件連桿式測試機構(gòu)的軸測視圖。
[0014]圖2是本實用新型一種新型半導(dǎo)體元件連桿式測試機構(gòu)的主視圖。
[0015]附圖標(biāo)記說明:1、底板2、立板3、滑軌安裝板4、測試針安裝座
[0016]5、測試針6、測試座蓋板7、測試座安裝架8、滑軌9、滑塊10、滑塊固定座11、關(guān)節(jié)軸承12、連桿13、調(diào)節(jié)螺釘14、電機15、電機固定板16、轉(zhuǎn)軸夾緊塊17、法蘭軸承18、軸承固定軸19、螺釘固定塊
[0017]20、感應(yīng)器21、感應(yīng)器片22、感應(yīng)器安裝板
【具體實施方式】
[0018]下面參照附圖結(jié)合實施例對本實用新型作進一步的描述。
[0019]如圖1-圖2所示，一種新型半導(dǎo)體元件連桿式測試機構(gòu)，包括支撐機構(gòu)、微調(diào)機構(gòu)、電機14、連桿轉(zhuǎn)動機構(gòu)、直線滑軌運動機構(gòu)、測試針機構(gòu)、安全位置檢測機構(gòu)。如圖1?圖2所示支撐機構(gòu)包括底板1、立板2、滑軌安裝板3和電機固定板15。微調(diào)機構(gòu)包括調(diào)節(jié)螺釘13、通過螺釘固定塊19與支撐機構(gòu)連接。連桿轉(zhuǎn)動機構(gòu)包括轉(zhuǎn)軸夾緊塊16、法蘭軸承17、軸承固定軸19、連桿12和關(guān)節(jié)軸承11，通過轉(zhuǎn)軸夾緊塊16與電機14連接。直線滑軌運動機構(gòu)包括滑塊固定座10、滑塊9、滑軌8和測試座安裝架8，通過關(guān)節(jié)軸承11與連桿轉(zhuǎn)動機構(gòu)連接，滑軌8固定在支撐機構(gòu)的滑軌安裝板3上。測試針機構(gòu)包括測試針安裝座4、測試針5和測試座蓋板6，通過測試針安裝座4固定在直線滑軌運動機構(gòu)的測試座安裝架8上。安全位置檢測機構(gòu)包括感應(yīng)器片21、感應(yīng)器20和感應(yīng)器安裝板22，感應(yīng)器片21安裝在直線滑軌運動機構(gòu)的滑塊固定座10上，感應(yīng)安裝板22固定在支撐機構(gòu)的滑軌安裝板3上。
[0020]以上所述為本實用新型的一個較佳實施例，在不脫離本實用新型的發(fā)明構(gòu)思的情況下，進行的任何顯而易見的變形和替換，均屬本實用新型的保護范圍內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種新型半導(dǎo)體元件連桿式測試機構(gòu)，包括支撐機構(gòu)、微調(diào)機構(gòu)、電機、連桿轉(zhuǎn)動機構(gòu)、直線滑軌運動機構(gòu)、測試針機構(gòu)、安全位置檢測機構(gòu)； 其特征在于:所述支撐機構(gòu)包括底板、立板、滑軌安裝板及電機固定板，所述微調(diào)機構(gòu)通過調(diào)節(jié)螺釘與支撐機構(gòu)連接，所述電機安裝在電機固板上，所述連桿轉(zhuǎn)動機構(gòu)通過轉(zhuǎn)軸夾緊塊與電機連接，所述直線滑軌運動機構(gòu)通過滑軌固定在支撐機構(gòu)上，并通過關(guān)節(jié)軸承與連桿轉(zhuǎn)動機構(gòu)連接，所述測試針機構(gòu)通過測試針安裝座固定在直線滑軌運動機構(gòu)上，所述安全位置檢測機構(gòu)通過感應(yīng)器安裝板固定在支撐機構(gòu)上。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種新型半導(dǎo)體元件連桿式測試機構(gòu)，其特征在于:所述連桿轉(zhuǎn)動機構(gòu)采用電機驅(qū)動的方式。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種新型半導(dǎo)體元件連桿式測試機構(gòu)，其特征在于:所述直線滑軌運動機構(gòu)與連桿轉(zhuǎn)動機構(gòu)的連接采用關(guān)節(jié)軸承連接方式。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種新型半導(dǎo)體元件連桿式測試機構(gòu)，其特征在于:所述安全位置檢測機構(gòu)包括感應(yīng)器片、感應(yīng)器和固定座，用來檢測測試針機構(gòu)的安全位置，確保測試針機構(gòu)能在安全位置內(nèi)運動。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種新型半導(dǎo)體元件連桿式測試機構(gòu)，其特征在于:所述測試針機構(gòu)的往復(fù)直線運動，是由電機驅(qū)動連桿轉(zhuǎn)動機構(gòu)帶動的方式。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種新型半導(dǎo)體元件連桿式測試機構(gòu)，其特征在于:所述微調(diào)機構(gòu)的實現(xiàn)方式是通過旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)螺釘來微調(diào)整測試針機構(gòu)的前后、左右及上下的位置。
【文檔編號】H01L21/66GK205645761SQ201620421986
【公開日】2016年10月12日
【申請日】2016年5月10日
【發(fā)明人】蔡建鎂, 黃新青, 劉駿, 張嘉鴻, 齊建
【申請人】深圳市華騰半導(dǎo)體設(shè)備有限公司