本公開(kāi)涉及使用聲波諧振器的射頻濾波器，具體涉及用于通信設(shè)備的濾波器。

背景技術(shù)：

1、射頻(rf)濾波器是雙端口器件，該雙端口器件被配置為使某些頻率通過(guò)并阻止其他頻率，其中，“通過(guò)”意味著以相對(duì)較低的信號(hào)損失進(jìn)行傳輸，而“阻止”意味著阻擋或顯著地衰減。濾波器所通過(guò)的頻率范圍被稱為濾波器的“通帶”。這種濾波器所阻止的頻率范圍被稱為濾波器的“阻帶”。典型的rf濾波器具有至少一個(gè)通帶和至少一個(gè)阻帶。對(duì)通帶或阻帶的具體要求可以取決于具體應(yīng)用。例如，在一些情況下，“通帶”可以被定義為濾波器的插入損失優(yōu)于諸如1db、2db或3db之類的定義值的頻率范圍，而“阻帶”可以被定義為濾波器的抑制大于諸如20db、30db、40db或更大值之類的定義值的頻率范圍，這取決于應(yīng)用。

2、rf濾波器用于通過(guò)無(wú)線鏈路來(lái)傳輸信息的通信系統(tǒng)。例如，rf濾波器可以出現(xiàn)在蜂窩基站、移動(dòng)電話和計(jì)算設(shè)備、衛(wèi)星收發(fā)器和地面站、iot(物聯(lián)網(wǎng))設(shè)備、膝上型計(jì)算機(jī)和平板計(jì)算機(jī)、固定點(diǎn)無(wú)線電鏈路和其他通信系統(tǒng)的rf前端中。rf濾波器也用于雷達(dá)、電子和信息戰(zhàn)系統(tǒng)。

3、無(wú)線系統(tǒng)中rf濾波器的性能增強(qiáng)可以對(duì)系統(tǒng)性能產(chǎn)生廣泛影響。rf濾波器的改進(jìn)可以用于提供系統(tǒng)性能改進(jìn)，例如更大的單元尺寸、更長(zhǎng)的電池壽命、更高的數(shù)據(jù)速率、更大的網(wǎng)絡(luò)容量、更低的成本、增強(qiáng)的安全性、更高的可靠性等。這些改進(jìn)可以在無(wú)線系統(tǒng)的多個(gè)級(jí)別(例如，在rf模塊、rf收發(fā)器、移動(dòng)或固定子系統(tǒng)、或網(wǎng)絡(luò)級(jí)別)處單獨(dú)和組合地實(shí)現(xiàn)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、因此，根據(jù)示例性方面，提供了一種濾波器裝置，該濾波器裝置包括：基板；至少一個(gè)壓電板，具有相對(duì)的第一表面和第二表面，并且附接到基板；導(dǎo)體圖案，在至少一個(gè)壓電板的第一表面處，并且包括多個(gè)諧振器各自的多個(gè)叉指換能器(idt)，每個(gè)叉指換能器在至少一個(gè)壓電板的相應(yīng)振膜處具有交錯(cuò)指狀物，該振膜懸置在一個(gè)或多個(gè)空腔上方，其中，多個(gè)諧振器包括并聯(lián)諧振器和串聯(lián)諧振器；至少一個(gè)第一介電涂層，在idt的至少交錯(cuò)指狀物上方以及至少一個(gè)壓電板的第一表面上；以及至少一個(gè)第二介電涂層，在至少一個(gè)壓電板的與第一表面相對(duì)的第二表面上。在該方面，并聯(lián)諧振器的至少一個(gè)第二介電涂層的厚度比串聯(lián)諧振器的至少一個(gè)第二介電涂層的厚度大。

2、此外，在示例性方面，并聯(lián)諧振器的至少一個(gè)第二介電涂層的厚度被配置為使得并聯(lián)諧振器的反諧振頻率與串聯(lián)諧振器的諧振頻率大致相同。又此外，并聯(lián)諧振器的至少一個(gè)第二介電涂層的厚度可以是串聯(lián)諧振器的至少一個(gè)第二介電涂層厚度的約十倍。另外，第二介電涂層的厚度大于第一介電涂層的厚度。此外，至少一個(gè)第二介電涂層是均勻的，并且具有與至少一個(gè)壓電板的第二表面平行的相對(duì)表面。

3、在另一示例性方面，提供了一種聲學(xué)諧振器裝置，該聲學(xué)諧振器裝置包括：具有表面的基板；壓電板，除了壓電板的形成跨越空腔的振膜的部分之外，附接到基板的表面；叉指換能器(idt)，在壓電板的第一表面處，并且在振膜處具有交錯(cuò)指狀物；第一介電涂層，在idt的至少交錯(cuò)指狀物上方以及壓電板的第一表面上；以及第二介電涂層，在壓電板的與第一表面相對(duì)的第二表面上。此外，第二介電涂層的厚度大于第一介電涂層的厚度。另外，第二介電涂層是均勻的，并且具有與配置聲學(xué)諧振器裝置的諧振頻率的壓電板第二表面平行的相對(duì)表面。

4、在另一示例性方面，提供了一種制造濾波器裝置的方法。在該方面，該方法包括：將具有相對(duì)的第一表面和第二表面的至少一個(gè)壓電板附接到基板；形成導(dǎo)體圖案，導(dǎo)體圖案在至少一個(gè)壓電板的第一表面處并且包括多個(gè)諧振器各自的多個(gè)叉指換能器(idt)，每個(gè)叉指換能器在至少一個(gè)壓電板的相應(yīng)振膜處具有交錯(cuò)指狀物，該振膜懸置在一個(gè)或多個(gè)空腔上方，其中，多個(gè)諧振器包括并聯(lián)諧振器和串聯(lián)諧振器；在idt的至少交錯(cuò)指狀物上方以及壓電板的第一表面上沉積至少一個(gè)第一介電涂層；在壓電板的與第一表面相對(duì)的第二表面上沉積至少一個(gè)第二介電涂層；以及修整至少一個(gè)第二介電涂層以調(diào)整并聯(lián)諧振器和串聯(lián)諧振器中的至少一個(gè)的諧振頻率。

5、以上示例方面的簡(jiǎn)化概述用于提供對(duì)本公開(kāi)的基本理解。該概述不是對(duì)所有設(shè)想的方面的廣泛概述，并且既不旨在確定所有方面的關(guān)鍵或決定性要素，也不旨在劃定本公開(kāi)的任何或所有方面的范圍。其唯一目的是以簡(jiǎn)化形式呈現(xiàn)一個(gè)或多個(gè)方面，作為隨后對(duì)本公開(kāi)的更詳細(xì)描述的前言。

技術(shù)特征：

1.一種濾波器裝置，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濾波器裝置，其中，所述并聯(lián)諧振器的所述至少一個(gè)第二介電涂層的厚度被配置為使得所述并聯(lián)諧振器具有的反諧振頻率與所述串聯(lián)諧振器的諧振頻率大致相同。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濾波器裝置，其中，所述多個(gè)idt全部被配置為：響應(yīng)于施加到每個(gè)idt的相應(yīng)射頻信號(hào)，在所述至少一個(gè)壓電板中激發(fā)剪切聲波。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濾波器裝置，其中，所述基板中的所述一個(gè)或多個(gè)空腔是所述多個(gè)idt中的每個(gè)idt的相應(yīng)空腔。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濾波器裝置，其中，所述至少一個(gè)壓電板是z切鈮酸鋰壓電板。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濾波器裝置，其中，所述基板包括基底和中間介電層，并且所述一個(gè)或多個(gè)空腔在所述中間介電層中延伸。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濾波器裝置，其中，所述至少一個(gè)壓電板的第一表面附接到所述基板，使得所述導(dǎo)體圖案面對(duì)所述一個(gè)或多個(gè)空腔。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濾波器裝置，其中，所述至少一個(gè)第一介電涂層在所述idt的交錯(cuò)指狀物和所述至少一個(gè)壓電板的第一表面上方被平坦化。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濾波器裝置，其中，所述并聯(lián)諧振器的所述至少一個(gè)第二介電涂層的厚度是所述串聯(lián)諧振器的所述至少一個(gè)第二介電涂層的厚度的約十倍。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濾波器裝置，其中，所述至少一個(gè)第二介電涂層是均勻的，并且具有與所述至少一個(gè)壓電板的第二表面平行的相對(duì)表面。

11.一種聲學(xué)諧振器裝置，包括：

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的聲學(xué)諧振器裝置，其中，所述idt被配置為：響應(yīng)于施加到每個(gè)idt的相應(yīng)射頻信號(hào)，在所述壓電板中激發(fā)剪切聲波。

13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的聲學(xué)諧振器裝置，其中，所述壓電板是z切鈮酸鋰壓電板。

14.根據(jù)權(quán)利要求11所述的聲學(xué)諧振器裝置，其中，所述基板包括基底和中間介電層，并且所述空腔在所述中間介電層中延伸。

15.根據(jù)權(quán)利要求11所述的聲學(xué)諧振器裝置，其中，所述壓電板的第一表面附接到所述基板，使得所述idt面對(duì)所述空腔。

16.根據(jù)權(quán)利要求11所述的聲學(xué)諧振器裝置，其中，所述第一介電涂層在所述idt的交錯(cuò)指狀物和所述壓電板的第一表面上方被平坦化。

17.一種制造濾波器裝置的方法，所述方法包括：

18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的方法，其中，所述至少一個(gè)第二介電涂層被修整為使得所述并聯(lián)諧振器比所述串聯(lián)諧振器的所述至少一個(gè)第二介電涂層的厚度大。

19.根據(jù)權(quán)利要求17所述的方法，其中，所述并聯(lián)諧振器的所述至少一個(gè)第二介電涂層的厚度被配置為使得所述并聯(lián)諧振器的反諧振頻率與所述串聯(lián)諧振器的諧振頻率大致相同。

20.根據(jù)權(quán)利要求17所述的方法，其中，所述并聯(lián)諧振器的所述至少一個(gè)第二介電涂層的厚度是所述串聯(lián)諧振器的所述至少一個(gè)第二介電涂層厚度的約十倍。

技術(shù)總結(jié)
提供了一種濾波器裝置，該濾波器裝置包括基板和附接到該基板的壓電板。導(dǎo)體圖案(638a、638b、738a、738b)形成在壓電板的第一表面上，并且包括串聯(lián)諧振器和并聯(lián)諧振器的叉指換能器，每個(gè)叉指換能器在懸置板的相應(yīng)振膜處具有交錯(cuò)指狀物。第一介電涂層(612、712)形成在IDT的交錯(cuò)指狀物上方以及壓電板的第一表面上；以及第二介電涂層(614、714)形成在壓電板的與第一表面相對(duì)的第二表面上。并聯(lián)諧振器的第二介電涂層(714)的厚度(tbd7)比串聯(lián)諧振器的至少一個(gè)第二介電涂層(614)的厚度(tbd6)大。

技術(shù)研發(fā)人員：肖恩·麥克休
受保護(hù)的技術(shù)使用者：株式會(huì)社村田制作所
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/9/29