At切割水晶片、水晶振子及水晶振蕩器的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種AT切割水晶片、水晶振子及水晶振蕩器。在所述AT切割水晶片中，與水晶的晶軸的Z′軸相交的兩個側面，是由第1面～第3面三個面所構成。而且，第1面是相當于使所述AT切割水晶片的主面以水晶的X軸為旋轉(zhuǎn)軸而旋轉(zhuǎn)4°±3°的面的面，第2面是相當于使主面以水晶的X軸為旋轉(zhuǎn)軸而旋轉(zhuǎn)?57°±3°的面的面，第3面是相當于使主面以水晶的X軸為旋轉(zhuǎn)軸而旋轉(zhuǎn)?42°±3°的面的面。所述AT切割水晶片與現(xiàn)有技術相比，可抑制AT切割水晶振子本來的振動以外的多余振動，從而，與現(xiàn)有技術相比可改善振子的阻抗。
【專利說明】
AT切割水晶片、水晶振子及水晶振蕩器
技術領域
[0001] 本發(fā)明設及一種AT切割水晶片、及使用所述AT切割水晶片的水晶振子（crystal resonator)。
【背景技術】
[0002] 隨著AT切割水晶振子的小型化發(fā)展，通過利用機械式加工的制造方法，難W制造 水晶振子用的水晶片。因此，已開發(fā)出利用光刻(photolithogra地y)技術及濕式蝕刻技術 而制造的AT切割水晶片。
[0003] 例如在專利文獻1、專利文獻2中，分別掲示有利用所述技術而制造的AT切割水晶 片及水晶振子。具體而言，在專利文獻1中，掲示有與水晶的X軸相交的側面(X面)至少包含 四個面的AT切割水晶片、W及利用所述AT切割水晶片的水晶振子。此外，在專利文獻2中，掲 示有與水晶的Z/軸相交的側面(Z/面)至少包含四個面的AT切割水晶片、W及利用所述AT切 割水晶片的水晶振子。
[0004] 在所有情況下，均是在水晶基板上形成外形形成用的耐蝕刻性掩模，利用濕式蝕 刻使所述水晶基板的未經(jīng)掩模覆蓋的部分溶解，而形成水晶片的粗略外形。其次，從所述水 晶基板去除掩模之后，對所述水晶基板進行濕式蝕刻，W在所述側面(所述X面或Z/面)上至 少形成四個面。通過如上所述而形成的水晶片，可實現(xiàn)振動泄漏少、并且特性優(yōu)異的AT切割 水晶振子。
[0005] [現(xiàn)有技術文獻]
[0006] [專利文獻]
[0007] [專利文獻1]日本專利特開2014-27505號公報 [000引[專利文獻2]日本專利特開2014-27506號公報

【發(fā)明內(nèi)容】

[0009] [發(fā)明所要解決的問題]
[0010] 但是，本申請的發(fā)明人經(jīng)潛屯、研究的結果發(fā)現(xiàn)，尚有使AT切割水晶振子的特性改 善的余地。
[0011] 本申請是鑒于如上所述的方面而完成，本申請的目的在于，提供一種與現(xiàn)有技術 相比，可改善特性的新穎的AT切割水晶片及水晶振子。
[001^ [解決問題的技術手段]
[0013] 為了達成所述目的，本發(fā)明的AT切割水晶片的特征在于：與水晶的晶軸 (CTystallographic axis)的軸相交的兩個側面（即面）中的至少一個，是由第1面~第 3面Ξ個面所構成。
[0014] 當實施本發(fā)明時，優(yōu)選的是，將所述第1面設為相當于使所述AT切割水晶片的主面 W水晶的X軸為旋轉(zhuǎn)軸而旋轉(zhuǎn)4° ±3.5°的面的面。再者，在運里，W上所謂的主面，是指:所 述AT切割水晶片的W水晶的晶軸表示的X-Z/面下相同）。
[0015] 此外，當實施本發(fā)明時，優(yōu)選的是，所述第1面、所述第2面及所述第3面是依此順序 相交，而且，所述第1面是相當于使所述主面W水晶的X軸為旋轉(zhuǎn)軸而旋轉(zhuǎn)4° ±3.5°的面的 面，W上所述的第2面是相當于使所述主面W水晶的X軸為旋轉(zhuǎn)軸而旋轉(zhuǎn)-57° ±5°的面的 面，所述第3面是相當于使所述主面W水晶的X軸為旋轉(zhuǎn)軸而旋轉(zhuǎn)-42° ±5°的面的面。在運 里，-57°或-42°的負號，是指:使所述主面WX軸為旋轉(zhuǎn)軸沿順時針方向旋轉(zhuǎn)（W下相同）。
[0016] 更優(yōu)選的是，所述第1面、所述第2面及所述第3面是依此順序相交，而且，所述第1 面是相當于使所述主面W水晶的X軸為旋轉(zhuǎn)軸而旋轉(zhuǎn)4° ±3°的面的面，W上所述的第2面是 相當于使所述主面W水晶的X軸為旋轉(zhuǎn)軸而旋轉(zhuǎn)-57° ±3°的面的面，所述第3面是相當于使 所述主面W水晶的X軸為旋轉(zhuǎn)軸而旋轉(zhuǎn)-42° ±3°的面的面。
[0017] 此外，當實施本發(fā)明時，優(yōu)選的是，所述AT切割水晶片的與水晶的晶軸的Z/軸相交 的兩個側面兩個，是由所述第1面~第3面Ξ個面所構成。更優(yōu)選的是，將所述兩個側面設 為：W所述AT切割水晶片的中屯、點為中屯、成點對稱的關系（圖1B)。
[0018] 并且，本發(fā)明的水晶振子的特征在于包括:所述本發(fā)明的AT切割水晶片；W及激振 電極，用于對所述水晶片進行激振。更具體而言，所述水晶振子是在所述水晶片的表面及背 面的主面(所述X-Z/面)上分別包含激振電極，并且包含從所述激振電極引出的引出電極。 當然，還包括:對包含運些電極的水晶振子進行收納的容器的形態(tài)的水晶振蕩器，也屬于本 發(fā)明中所謂的水晶振子。
[0019] 再者，在本發(fā)明中所謂的AT切割水晶片中，也包括如下水晶片下也稱作帶框水 晶片），其包括:所述本發(fā)明的水晶片;框部，與所述水晶片形成為一體而隔著貫通部包圍所 述水晶片的全部或一部分；W及一個或兩個W上的連結部，同樣地與所述水晶片形成為一 體而將所述水晶片與框部加 W連結（圖11A及圖11B)。并且，在本發(fā)明中所謂的水晶振子中， 也包括:具有所述帶框水晶片、激振電極及引出電極的水晶振子，及還包含對所述水晶振子 進行收納的容器的水晶振蕩器。
[0020] [發(fā)明的效果]
[0021] 根據(jù)本發(fā)明的AT切割水晶片，其ZM則面包含規(guī)定的Ξ個面，因此，可實現(xiàn)在所述水 晶片的Z/方向上的端部當進行剖視時，具有獨特的嘴狀的構造部的水晶片。因此，可W利用 所述獨特的構造部，使AT切割本來的振動W外的多余振動衰減，所W，可W使AT切割水晶振 子本來的振動優(yōu)先產(chǎn)生。因此，可實現(xiàn)與現(xiàn)有技術相比，特性得到改善的AT切割水晶振子。
【附圖說明】
[0022] 圖1A、圖1B及圖1C是實施方式的AT切割水晶片11的說明圖。
[0023] 圖2A及圖2B是說明實施方式的水晶片11及使用所述水晶片11的水晶振子的一個 制法例的圖。
[0024] 圖3A及圖3B是繼圖2A及圖2B之后的制法例的說明圖。
[0025] 圖4A及圖4B是繼圖3A及圖3B之后的制法例的說明圖。
[0026] 圖5A、圖5B及圖5C是繼圖4A及圖4B之后的制法例的說明圖。
[0027] 圖6是繼圖5A、圖5B及圖5C之后的制法例的說明圖。
[002引圖7A、圖7B及圖7C是繼圖6之后的制法例的說明圖。
[0029]圖8A、圖8B、圖8C、圖8D及圖8E是安裝水晶片11而制造的水晶振子的一例的說明 圖。
[0030] 圖9是本發(fā)明的實驗結果的說明圖。
[0031] 圖10是本發(fā)明的實驗結果的繼圖9之后的說明圖。
[0032] 圖11A及圖11B是本發(fā)明的水晶振子的另一實施方式的說明圖。
[0033] 附圖標記：
[0034] 11:實施方式的水晶片
[0035] 11a:第1面
[0036] 1化:第2面
[0037] 11c:第3面
[003引 11 d: AT切割水晶片的主面(X-Z/面）
[0039 ] llw:水晶晶片
[0040] 1 lx:連結部
[oow lly:貫通部
[0042] llz:框部
[0043] 13:耐蝕刻性掩模
[0044] 15:電極圖案
[0045] 15a:激振電極
[0046] 15b:引出電極
[0047] 17:水晶振子
[004引 21:容器(例如陶瓷封裝體）
[0049] 21a:凹部
[(K)加]2化：凸塊
[0化1] 21c:安裝端子
[0化2] 23:導電性粘接材料
[0化3] 25:蓋
[0化4] D:長度
[0055] 0:中屯、點
[0056] P:水晶晶片的一部分
[0057] t、T:厚度
[0化引Θ1~Θ3:使AT切割的主面W水晶的X軸為旋轉(zhuǎn)軸而旋轉(zhuǎn)的角度
【具體實施方式】
[0059] W下，參照附圖對本發(fā)明的AT切割水晶片、及使用所述AT切割水晶片的水晶振子 的實施方式進行說明。再者，用于說明的各圖只是W能夠理解本發(fā)明的程度概略性地進行 表示。并且，在用于說明的各圖中，對相同的構成成分標注相同的編號來表示，有時還省略 對其說明。并且，W下說明中所述的形狀、尺寸、材質(zhì)等只是本發(fā)明的范圍內(nèi)的優(yōu)選例。因 此，本發(fā)明并不只限于W下的實施方式。
[0060] [1.AT切割水晶片的構造]
[0061] 圖1A~圖1C是實施方式的AT切割水晶片11的說明圖。特別是，圖1A是水晶片11的 平面圖，圖1B是沿圖ΙΑ中的IB-IB線的水晶片11的剖視圖，圖1C是放大地表示圖1B中的N部 分的剖視圖。
[0062] 在運里，圖1A、圖1C中所示的座標軸Χ、Υ/、Ζ/分別表示AT切割水晶片中的水晶的晶 軸。再者，AT切割水晶片自身的詳細情況已記載于例如文獻《水晶裝置的解說及應用》，日本 水晶裝置工業(yè)會2002年3月第4版第7頁等中，因此，在運里省略其說明。
[0063] 本發(fā)明的AT切割水晶片11的特征在于：與水晶的Z/軸相交的側面(Z/面)的形狀。 即，特別是如圖1B及圖1C所示，所述AT切割水晶片11是利用第1面11a、第2面11b及第3面11c Ξ個面，來構成與水晶的Z/軸相交的兩個側面(Z/面)的每一個。而且，第1面11a是與所述水 晶片11的主面lid相交的面，而且，第1面11a是相當于使主面lldW水晶的X軸為旋轉(zhuǎn)軸而旋 轉(zhuǎn)91的面的面。
[0064] 此外，在所述水晶片11中，第1面11a、第2面1化及第3面11c是依此順序相交。而且， 第2面Ub是相當于使主面lldW水晶的X軸為旋轉(zhuǎn)軸而旋轉(zhuǎn)Θ2的面的面，第3面11c是相當于 使主面lid W水晶的X軸為旋轉(zhuǎn)軸而旋轉(zhuǎn)Θ3的面的面。所述角度Θ1、角度Θ2、角度Θ3的詳細情 況，將在下述"3.實驗結果的說明"的項目中說明，已獲知優(yōu)選如下。Θ1 = 4° ±3.5°，Θ2 = - 57° ±5°，目3 = -42° ±5° ;更優(yōu)選的是，目 1=4° ±3°，目2 = -57° ±3°，目3 = -42° ±3°。
[0065] 并且，在所述實施方式的水晶片11中，與水晶的Z/軸相交的兩個側面(Z/面）的各 個，是處于W水晶片11的中屯、點〇(參照圖1(B))為中屯、成點對稱的關系。再者，在運里所謂 的點對稱，也包括:即使存在若干的形狀差，實質(zhì)上也可W視為相同的點對稱狀態(tài)。
[0066] 并且，所述實施方式的水晶片11的平面形狀是設為:將沿水晶的X軸的方向設為長 邊，將沿水晶的Z/軸的方向設為短邊的矩形的形狀。
[0067] [ 2. AT切割水晶片11的制法例]
[006引其次，參照圖2A及圖2B~圖8A至圖8E，對實施方式的AT切割水晶片11的制法例進 行說明。所述水晶片11可通過光刻技術及濕式蝕刻技術由水晶晶片制造多個。因此，在圖2A 及圖2B~圖8A至圖8E中，表示有水晶晶片llw的平面圖，W及將其一部分P加 W放大的平面 圖。此外，在圖2A及圖2B~圖8A至圖8E中的一部分附圖中，還并用了水晶晶片1 Iw的一部分P 的沿IIB-IIB線、IIIB-IIIB線、IVB-IVB線、VB-VB線與VIIB-VIIB線的剖視圖及R部分(參照 圖5B)的放大圖。
[0069] 在所述制法例中，首先，準備水晶晶片llw(圖2A及圖2B)"AT切割水晶片11的振蕩 頻率如眾所周知，大致取決于水晶片11的主面(X-Z/面)的厚度，水晶晶片llw是設為比最終 的水晶片11的厚度t(圖5B)更厚的厚度T的晶片（圖2B)。
[0070] 其次，在所述水晶晶片llw的表面及背面兩面上，利用眾所周知的光刻技術，形成 用于形成水晶片的外形的耐蝕刻性掩模13。在所述實施方式的情況下的耐蝕刻性掩模13是 設為包括：與水晶片的外形相對應的部分、保持各水晶片的框架(打ame)部分、W及將水晶 片與框架部分加 W連結的部分(圖2A中Wllx表示的部分）。并且，耐蝕刻性掩模13是在水晶 晶片的表面及背面上，W相對向的方式而形成。
[0071] 將耐蝕刻性掩模13形成完畢的水晶晶片llw，在W氨氣酸化ydrofluoric acid)為 主的蝕刻液中浸潰規(guī)定的時間。通過所述處理，使水晶晶片llw的未經(jīng)耐蝕刻性掩模13覆蓋 的部分溶解，而獲得水晶片11的粗略外形(圖3A及圖3B)。
[0072] 其次，從水晶晶片llw去除耐蝕刻掩模13。此時，在所述制法例中，只去除耐蝕刻性 掩模13的相當于水晶片11的部分，而殘留相當于框架部及連結部的部分（圖4A及圖4B)。其 目的是維持框架部及連結部的強度。當然，根據(jù)設計，也可W去除框架部及連結部各自的全 部或一部分上的耐蝕刻掩模。
[0073] 其次，將所述水晶晶片llw再次在W氨氣酸為主的蝕刻液中浸潰規(guī)定的時間。在運 里，所謂規(guī)定的時間，是指W下的時間：水晶片11的形成預定區(qū)域的厚度t(圖5B)可滿足所 述水晶片11所要求的振蕩頻率的規(guī)格，并且所述水晶片11的ZM則面可包含本發(fā)明中所謂的 第1面11a~第3面11c。運些時間可W通過事前的實驗來確定。根據(jù)發(fā)明人的實驗獲知，水晶 片11的Z/面隨著蝕刻推進，而如圖9所示，依此順序，即，突起殘留的狀態(tài)、包含第1面~第4 面四個面的狀態(tài)(產(chǎn)生第4面的狀態(tài)）、接著包含本發(fā)明中所謂的第1面~第3面Ξ個面的狀 態(tài)(本發(fā)明的狀態(tài))進行變化。而且獲知，為了獲得包含本發(fā)明中所謂的第1面~第3面Ξ個 面的側面，需要在規(guī)定蝕刻液及蝕刻溫度等的情況下，對水晶晶片llw的初始厚度T進行蝕 刻直至55%~25%的范圍的厚度為止。因此，W可獲得振蕩頻率的規(guī)格及第1面~第3面Ξ 個面的方式，來確定初始厚度T及所述蝕刻時間等。
[0074] 其次，從所述蝕刻已結束的水晶晶片去除耐蝕刻掩模，露出水晶面(圖6)。其后，在 所述水晶晶片整個面上，利用眾所周知的成膜方法，形成水晶振子的激振電極及引出電極 形成用的金屬膜(未圖示）。其次，利用眾所周知的光刻技術及金屬蝕刻技術，將所述金屬膜 圖案化成電極形狀，而形成包含激振電極15a及引出電極15b的電極圖案15 (圖7A、圖7B及圖 7C)。由此，可獲得包括水晶片11、激振電極15a及引出電極15b的水晶振子17(圖7A、圖7B及 圖 7C)。
[0075] 再者，一般多數(shù)情況下，是將使水晶振子17安裝至適當?shù)娜萜髦械臉嬙煳锓Q作水 晶振蕩器。W下利用圖8A至圖8E對其典型例進行說明。再者，圖8A至圖8E是通過平面圖W及 沿其VIIIC-VIIIC線、VIIIE-VIIIE線的剖視圖，來表示將水晶振子17安裝至容器21中的順 序。
[0076] 在圖7A、圖7B及圖7C所示的狀態(tài)下，水晶振子17是經(jīng)由連結部llx與水晶晶片llw 結合的狀態(tài)。因此，首先，對連結部1 lx施加適當?shù)耐饬Γ瑢⑺д褡?7從水晶晶片1 Iw分離， 而加 W單片化（圖8A)。另一方面，例如，準備眾所周知的陶瓷封裝體(ceramic package)21， 作為容器。此時的陶瓷封裝體21包括收納水晶振子17的凹部21a(圖8B、圖8C)、設置于所述 凹部21a的底面上的水晶振子固定用的凸塊(bump)2化、W及設置于封裝體21的背面上的安 裝端子21c。凸塊2化與安裝端子21c通過通路配線(via wiringK未圖示)而電性連接。
[0077] 在所述封裝體21的凹部21a內(nèi)，安裝水晶振子17。詳細而言，在凸塊2化上涂布導電 性粘接材料23(圖8E)，通過所述導電性粘接材料23,在凸塊2化上將水晶振子17固定在引出 電極15b的部位。然后，利用眾所周知的方法將水晶片11的振蕩頻率調(diào)整成規(guī)定值，其次，將 封裝體21的凹部21a內(nèi)設為適度的真空或惰性氣體環(huán)境等之后，利用蓋25通過眾所周知的 方法對凹部21a進行密封。W如上所述的方式而獲得在封裝體21內(nèi)收納有水晶振子的構造 的水晶振子。
[0078] [3.實驗結果的說明]
[0079] 其次，參照圖9、圖10說明實驗結果。圖9是通過水晶片的Z/面的形狀的不同，來說 明使用所述水晶片而構成的水晶振子17的阻抗（impedance)如何不同的圖。橫軸表示用于 實驗的水晶片的試料編號及各試料的Z/面的形狀的特征，縱軸選取阻抗來表示。再者，實驗 試料的振蕩頻率為38MHz左右。頻率、阻抗的詳細情況示于表1。
[0080] [表U
[0081]
[0082] 如由圖9所知，在水晶片的Z/面上殘留有突起的試料中的阻抗約為150 Ω~400 Ω 左右。并且，水晶片的Z/面包含第1面~第4面四個面的試料的阻抗約為200 Ω~600 Ω左右。 與運些相對，水晶片的Z/面包含第1面~第3面Ξ個面，并且各面相對于AT切割主面的角度Θ 1~角度Θ3(參照圖1A、圖1B及圖1C)為規(guī)定角度的本發(fā)明范圍的試料的阻抗約為80 Ω左右， 從而，可知與前兩者相比降低至一半W下的值。
[0083] 并且，圖10是本發(fā)明的第1面1 la、第2面1化、第3面11c的說明圖。具體而旨，是表不 本申請的發(fā)明人等的實驗結果，即水晶的各種結晶面的對于氨氣酸系蝕刻劑(etchant)的 蝕刻速度的不同的圖。更詳細而言，橫軸選取WAT切割的主面為基準使所述面W水晶的X軸 為旋轉(zhuǎn)軸而旋轉(zhuǎn)的角度，縱軸選取如上所述使AT切割板旋轉(zhuǎn)而獲得的各水晶面的蝕刻速度 來表示。再者，各面的蝕刻速度是利用WAT切割面的蝕刻速度為基準的相對值來表示。
[0084] 如從所述圖10可知，可知在水晶中，在相當于使AT切割的主面旋轉(zhuǎn)Θ1的面的面、相 當于使AT切割的主面旋轉(zhuǎn)Θ2的面的面、相當于使AT切割的主面旋轉(zhuǎn)Θ3的面的各個面上，蝕 刻速度極大。并且，Θ1為4°左右，Θ2為-57°左右，Θ3為-42°左右，而且，根據(jù)發(fā)明人的實驗獲 知，在利用圖9而說明的阻抗為良好的區(qū)域內(nèi)，目1 = 4° ±3.5°，θ2 = -57° ±5°，θ3 = -42° ± 5°，更優(yōu)選的是目1=4° ±3°，θ2 = -57° ±3°，θ3 = -42° ±3°。從所述Θ1~Θ3規(guī)定的各個面相 當于本發(fā)明的第1面~第3面。
[0085] [4.其它實施方式]
[0086] 上述中，是對本發(fā)明的AT切割水晶片及使用所述AT切割水晶片的水晶振子的實施 方式進行說明，但本發(fā)明并不限于所述實施方式。例如，在所述示例中，是說明Z/方向上的 兩端的側面包含本發(fā)明的第1面~第3面Ξ個面的示例，但是根據(jù)情況，也可W存在只有一 側側面包含第1面~第3面Ξ個面的情況。但是，兩側面包含第1面~第3面Ξ個面的情況下， 水晶振子的特性更優(yōu)異。并且，在所述示例中是W38M監(jiān)左右的頻率的水晶振子的示例來進 行說明，但是也可w將本發(fā)明應用于其它頻率的水晶振子。
[0087] 并且，在所述制法例中，耐蝕刻性掩模13(參照圖2A及圖2B)的與水晶片的外形相 對應的部分，是在水晶晶片的表面及背面上W相對向的方式而形成。但是，耐蝕刻性掩模的 與水晶片的外形相對應的部分，也可W在水晶晶片的表面及背面上沿Z/方向挪動ΔΖ。挪動 方向是使設置于水晶片的+γ/面?zhèn)鹊哪臀g刻性掩模，相對于設置于-γ/面?zhèn)鹊乃鲅谀?沿+Ζ/方向偏移Δ Ζ的方式，使表面及背面的掩模相對地錯開。當如上所述進行了掩模挪動 時，與不進行掩模挪動的情況相比，可在短的蝕刻時間內(nèi)，將水晶片的Ζ/面形成為包含第1 面~第3面Ξ個面的形狀。并且，還存在如下優(yōu)點：可W通過所述挪動量來控制第1面11a的 Z/方向上的長度D(參照圖5C)。
[0088] 并且，本發(fā)明中所謂的AT切割水晶片及水晶振子也可W是圖11A及圖11B所示的構 造。首先，如圖11A所示，所述水晶片及水晶振子包括:本發(fā)明的水晶片11;框部llz，與所述 水晶片形成為一體而隔著貫通部lly包圍所述水晶片11的全部；W及一個連結部llx，同樣 地與所述水晶片形成為一體而將所述水晶片與框部加 W連結。并且，如圖11B所示，所述水 晶片及水晶振蕩器包括:本發(fā)明的水晶片11;框部llz，與所述水晶片形成為一體而隔著貫 通部lly包圍所述水晶片11的一部分；W及一個連結部llx，同樣地與所述水晶片形成為一 體而將所述水晶片與框部加 W連結。再者，連結部也可W為兩個W上。但是，連結部為一個 的情況更容易減輕從水晶片11向框部的振動泄漏、W及框部對水晶片的應力的影響。并且， 設置連結部llx的位置并不限于圖11A及圖11B的示例，可根據(jù)設計而變更。
[0089] 并且，在所述示例中是掲示將水晶的沿X軸的邊設為長邊，將沿Z/軸的邊設為短邊 的水晶片的示例，但是也可W將本發(fā)明應用于將水晶的沿X軸的邊設為短邊，將沿Z/軸的邊 設為長邊的水晶片。并且，在所述示例中是說明平面形狀為矩形的水晶片的示例，但是也可 W將本發(fā)明應用于角部經(jīng)R加工或C加工的水晶片。
【主權項】
1. 一種AT切割水晶片，其特征在于： 與水晶的晶軸的Z'軸相交的側面中的至少一個，是由第1面、第2面與第3面三個面所構 成。2. 根據(jù)權利要求1所述的AT切割水晶片，其特征在于： 所述第1面是相當于，使所述AT切割水晶片的以所述水晶的所述晶軸表示的X-Z'面，以 所述水晶的X軸為旋轉(zhuǎn)軸而旋轉(zhuǎn)4° ±3.5°的面的面，所述X-Z'面為主面。3. 根據(jù)權利要求1所述的AT切割水晶片，其特征在于： 所述第1面、所述第2面及所述第3面是依此順序相交，并且， 所述第1面是相當于，使主面以所述水晶的X軸為旋轉(zhuǎn)軸而旋轉(zhuǎn)4° ±3.5°的面的面，所 述主面是:使所述AT切割水晶片的以所述水晶的所述晶軸表示的Χ-f面， 所述第2面是相當于，使所述主面以所述水晶的X軸為旋轉(zhuǎn)軸而旋轉(zhuǎn)-57° ±5°的面的 面， 所述第3面是相當于，使所述主面以所述水晶的X軸為旋轉(zhuǎn)軸而旋轉(zhuǎn)-42° ±5°的面的 面。4. 根據(jù)權利要求1所述的AT切割水晶片，其特征在于： 所述第1面、所述第2面及所述第3面是依此順序相交，并且， 所述第1面是相當于，使主面以所述水晶的X軸為旋轉(zhuǎn)軸而旋轉(zhuǎn)4° ±3°的面的面，所述 主面是:使所述AT切割水晶片的以所述水晶的所述晶軸表示的Χ-f面， 所述第2面是相當于，使所述主面以所述水晶的X軸為旋轉(zhuǎn)軸而旋轉(zhuǎn)-57° ±3°的面的 面， 所述第3面是相當于，使所述主面以所述水晶的X軸為旋轉(zhuǎn)軸而旋轉(zhuǎn)-42° ±3°的面的 面。5. 根據(jù)權利要求1至4中任一項所述的AT切割水晶片，其特征在于： 所述AT切割水晶片的平面形狀為矩形狀，并且所述平面形狀的一邊沿著所述Z'軸。6. 根據(jù)權利要求1至4中任一項所述的AT切割水晶片，其特征在于： 所述側面的兩個分別包含:所述第1面、所述第2面與所述第3面三個面。7. 根據(jù)權利要求1至4中任一項所述的AT切割水晶片，其特征在于： 所述兩個側面彼此處于：以所述AT切割水晶片的中心點為中心成點對稱的關系。8. -種水晶振子，其特征在于包括： 根據(jù)權利要求1至7中任一項所述的AT切割水晶片； 激振電極，設置于所述AT切割水晶片的表面及背面；以及 引出電極，從所述激振電極引出。9. 一種水晶振蕩器，其特征在于包括： 根據(jù)權利要求8所述的水晶振子；以及 容器，收納所述水晶振子。
【文檔編號】H03H3/02GK106059527SQ201610196266
【公開日】2016年10月26日
【申請日】2016年3月31日 公開號201610196266.7, CN 106059527 A, CN 106059527A, CN 201610196266, CN-A-106059527, CN106059527 A, CN106059527A, CN201610196266, CN201610196266.7
【發(fā)明人】桑原貴之, 島尾憲治, 巖田浩一
【申請人】日本電波工業(yè)株式會社