專利名稱：低溫探針臺(tái)防熱輻射鋁箔屏及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種防止熱輻射的裝置，特別涉及一種低溫探針臺(tái)防熱輻射鋁箔屏及 其制造方法。
背景技術(shù)：
'迄今為止，硅基集成電路取得了巨大的成功并主導(dǎo)著市場(chǎng)，但在輝煌成功的背后， 必須要認(rèn)識(shí)到硅M0S技術(shù)所面臨的嚴(yán)峻問題，尤其是尺度縮小和集成度提高帶來的功 耗和量子效應(yīng)問題。因此，基于新材料(如納米材料、有機(jī)分子材料等)和新原理(如 量子隧穿、自旋等)的器件研究方興未艾，而對(duì)于這些新器件，其中的一個(gè)關(guān)鍵或難 點(diǎn)在于某些物理現(xiàn)象和物理機(jī)制的研究需要在低溫下才能開展。由此可以看出，不僅 變溫(低溫-高溫)條件下的物性測(cè)試與分析十分重要，而且極端條件下的學(xué)科交叉 研究也越來越引起人們的興趣和重視。與此同時(shí)科研人員對(duì)新材料、新器件為主的多 功能變溫物性分析測(cè)試也提出了越來越高的要求。從上所述可以看出，在研究層次， 低溫的獲得顯得非常重要。
從技術(shù)發(fā)展的角度看，基于極低溫下的設(shè)備微型化、多功能化是這方面科研儀器 發(fā)展的趨勢(shì)，因此如果能在高真空、極低溫的腔體中集成有射頻、光電、電磁等功能 的低溫物性測(cè)試系統(tǒng)已成為一個(gè)必然的選擇。然而，多種功能的集成相對(duì)容易，但多 功能集成后極低溫的獲得與操持卻有相當(dāng)?shù)碾y度。
但目前在高真空、極低溫的基礎(chǔ)上以探針測(cè)試的方式集成多種功能的商品化設(shè)備 國(guó)際上只有美國(guó)、日本、德國(guó)這幾個(gè)國(guó)家的不超過五家公司在生產(chǎn)，國(guó)內(nèi)沒有一家廠 家可生產(chǎn)低溫真空探針設(shè)備。但國(guó)外設(shè)備在低溫獲得與保持方面能力各不相同。目前 來說，美國(guó)Lakeshore公司的低溫探針設(shè)備優(yōu)勢(shì)最為明顯，他能獲得1(TtoiT的高真 空，而且依據(jù)液氦致冷，其低溫可達(dá)5K，是一個(gè)非常好的低溫平臺(tái)。但當(dāng)溫度到達(dá)5K 時(shí)，再降低溫度變的困難，而且維持這么低的溫度需要消耗掉大量昂貴的液氦。因此， 如何維持低溫及減少液氦的消耗量，對(duì)于降低實(shí)驗(yàn)成本及獲得更好測(cè)試結(jié)果方面顯得 尤為重要。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供了一種低溫探針臺(tái)防熱輻射鋁箔屏，用來防止外界的熱輻射對(duì)低溫環(huán) 境的擾動(dòng)。
所述技術(shù)方案如下
本發(fā)明的低溫探針臺(tái)防熱輻射鋁箔屏，所述鋁箔屏包括固定項(xiàng)圈以及至少2條鋁 箔條；所述固定項(xiàng)圈的直徑與所述低溫探針臺(tái)內(nèi)真空腔室的內(nèi)徑相匹配；所述鋁箔條 均勻固定在所述固定項(xiàng)圈上。
本發(fā)明的低溫探針臺(tái)防熱輻射鋁箔屏，所述鋁箔條的形狀為寬2至5毫米、長(zhǎng)50 至100毫米的長(zhǎng)方形。
本發(fā)明的的低溫探針臺(tái)防熱輻射鋁箔屏，所述鋁箔條的厚度為80微米至120微米。
本發(fā)明的低溫探針臺(tái)防熱輻射鋁箔屏，所述鋁箔條在與所述固定項(xiàng)圈固定處的角 度與垂直方向呈25度至35度夾角。
本發(fā)明的低溫探針臺(tái)防熱輻射鋁箔屏，所述與所述低溫探針臺(tái)內(nèi)探針臂相對(duì)應(yīng)的 位置不設(shè)置鋁箔條。
此外，本發(fā)明還提供了一種低溫探針臺(tái)防熱輻射鋁箔屏的制備方法。
所述技術(shù)方案如下
本發(fā)明的低溫探針臺(tái)防熱輻射鋁箔屏的制造方法，所述方法包括下列步驟 步驟A、制作固定項(xiàng)圈； 步驟B、制作鋁箔條；
步驟C、將鋁箔條固定在固定項(xiàng)圈上。
步驟D、將低溫探針臺(tái)內(nèi)探針臂位置相對(duì)應(yīng)的鋁箔條去除。
本發(fā)明的低溫探針臺(tái)防熱輻射鋁箔屏的制造方法，所述步驟B具體為選用厚度
為100微米的鋁箔，將鋁箔剪裁成寬2至5毫米、長(zhǎng)50至100毫米的長(zhǎng)方形的鋁箔條。 本發(fā)明的低溫探針臺(tái)防熱輻射鋁箔屏的制造方法，其特征在于，所述步驟C中，
固定鋁箔條的方法采用直接將鋁箔條粘貼在固定項(xiàng)圈上，或利用鋁箔的自身應(yīng)力將鋁 箔條固定在固定項(xiàng)圈上。
本發(fā)明提供的技術(shù)方案的有益效果是
本發(fā)明的低溫探針臺(tái)防熱輻射鋁箔屏可以有效防止外界的熱輻射對(duì)低溫環(huán)境的擾
動(dòng)，使用本發(fā)明的低溫探針臺(tái)防熱輻射鋁箔屏可以有效地使溫度由5K降至4. 5K。由于 較為有效地反射了熱輻射，其消耗的液氮和液氦的量減少，節(jié)約了實(shí)驗(yàn)成本。
同時(shí)，本發(fā)明的低溫探針臺(tái)防熱輻射鋁箔屏的制造方法簡(jiǎn)單易行，易于加工制造。此外，使用本發(fā)明的低溫探針臺(tái)防熱輻射鋁箔屏的制造方法可對(duì)現(xiàn)有的類似的設(shè)備做 二次開發(fā)，因此具有普適性。


圖l是本發(fā)明提供的低溫探針臺(tái)防熱輻射鋁箔屏的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2是本發(fā)明提供的制備低溫探針臺(tái)防熱輻射鋁箔屏的方法的流程圖。
具體實(shí)施例方式
為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明實(shí)施方 式作進(jìn)一步地詳細(xì)描述。 實(shí)施例1
參見圖1。本發(fā)明的低溫探針臺(tái)防熱輻射鋁箔屏主要結(jié)構(gòu)包括固定項(xiàng)圈以及在設(shè) 置在固定項(xiàng)圈邊緣的鋁箔條。
固定項(xiàng)圈1可以選用具有一定彈性的鐵絲，按照低溫探針臺(tái)真空腔室的內(nèi)徑進(jìn)行 加工，保證固定項(xiàng)圈1的直徑與低溫探針臺(tái)真空腔室的內(nèi)徑相匹配。 一般情況下，固 定項(xiàng)圈1的直徑在12CM左右。用來加工固定項(xiàng)圈1的鐵絲要具有一定彈性，使其能夠 憑借自身彈性頂住低溫探針臺(tái)真空腔室的內(nèi)壁而不易滑落，起到固定、支撐鋁箔條的 作用。
在固定項(xiàng)圈1的邊緣固定有若干條鋁箔條2。鋁箔條2應(yīng)選用具有一定厚度和硬 度的鋁箔制成，如厚度為80微米至120微米厚的鋁箔，這樣可保證鋁箔條2易于成型 且易于固定。每條鋁箔條2基本形狀為寬度為2至5毫米、長(zhǎng)度為50至100毫米的長(zhǎng) 方形。
一般的鋁箔一面呈高度拋光，而另一面相對(duì)較粗糙。本發(fā)明的低溫探針臺(tái)防熱輻 射鋁箔屏固定在固定項(xiàng)圈1上的鋁箔條2的拋光面向外，用以更好地放射外部的熱輻 射進(jìn)入。
為達(dá)到反射熱輻射的最佳狀態(tài)，本發(fā)明的低溫探針臺(tái)防熱輻射鋁箔屏的鋁箔條2 與垂直方向呈一定角度，最佳角度為25度至35度左右。
因?yàn)樵诘蜏靥结樑_(tái)的內(nèi)部設(shè)置有若干探針，為防止鋁箔條干擾探針壁的移動(dòng)，在 探針活動(dòng)范圍3的鋁箔條被去除。
實(shí)施例2參見圖2。本發(fā)明還公開了一種制備低溫探針臺(tái)防熱輻射鋁箔屏的方法。主要包 括下列步驟
步驟101:制作固定項(xiàng)圈。
根據(jù)低溫探針臺(tái)防真空腔室內(nèi)徑的大小確定固定項(xiàng)圈的直徑。將鐵絲加工成確定 內(nèi)徑的圓形固定項(xiàng)圈。 一般低溫探針臺(tái)防真空腔室內(nèi)徑為IO厘米，本實(shí)施例中的固定 項(xiàng)圈的直徑也加工為19厘米。
步驟102:制作鋁箔條。
選用100微米厚度的鋁箔，經(jīng)鋁箔裁剪成寬度為2至5毫米、長(zhǎng)度為50至100 毫米的長(zhǎng)方形鋁箔片。
步驟103:將鋁箔條固定在固定項(xiàng)圈上。
將裁剪好的鋁箔條拋光面向外均勻地固定在固定項(xiàng)圈邊緣上。固定方法可以采用 粘貼，也可以利用鋁箔自身的應(yīng)力特性進(jìn)行固定。在固定的同時(shí)要調(diào)整鋁箔條的固定
角度，保證在固定線圈與地面平行時(shí)，固定其上的鋁箔條向外與豎直方向呈30度夾角。
歩驟104:將探針壁處的鋁箔條去除。
為防止調(diào)節(jié)探針壁位置時(shí)，鋁箔條的存在而干擾探針壁的移動(dòng)，需要將將探針壁 處探針活動(dòng)范圍的鋁箔條去除。
經(jīng)過上述步驟可以加工完成制備本發(fā)明的低溫探針臺(tái)防熱輻射鋁箔屏。本發(fā)明的 低溫探針臺(tái)防熱輻射鋁箔屏的制造方法簡(jiǎn)單易行，易于加工制造。此外，使用本發(fā)明 的低溫探針臺(tái)防熱輻射鋁箔屏的制造方法可對(duì)現(xiàn)有的類似的設(shè)備做二次開發(fā)，因此具 有普適性。
以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例，并不用以限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和 原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1、一種低溫探針臺(tái)防熱輻射鋁箔屏，其特征在于，所述鋁箔屏包括固定項(xiàng)圈以及至少2條鋁箔條；所述固定項(xiàng)圈的直徑與所述低溫探針臺(tái)內(nèi)真空腔室的內(nèi)徑相匹配；所述鋁箔條均勻固定在所述固定項(xiàng)圈上。
2、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的低溫探針臺(tái)防熱輻射鋁箔屏，其特征在于，所述鋁箔條的形狀為寬2毫米至5毫米、長(zhǎng)50毫米至100毫米的長(zhǎng)方形。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的低溫探針臺(tái)防熱輻射鋁箔屏，其特征在于，所述鋁箔 條的厚度為80微米至120微米。
4、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的低溫探針臺(tái)防熱輻射鋁箔屏，其特征在于，所述鋁箔 條在與所述固定項(xiàng)圈固定處的角度與垂直方向呈20度至35度夾角。
5、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的低溫探針臺(tái)防熱輻射鋁箔屏，其特征在于，在與所述 低溫探針臺(tái)內(nèi)探針臂相對(duì)應(yīng)的位置不設(shè)置鋁箔條。
6、 一種低溫探針臺(tái)防熱輻射鋁箔屏的制造方法，其特征在于，所述方法包括下列 步驟歩驟A、制作固定項(xiàng)圈；步驟B、制作鋁箔條；步驟C、將鋁箔條固定在固定項(xiàng)圈上；步驟D、將低溫探針臺(tái)內(nèi)探針臂相對(duì)應(yīng)位置的鋁箔條去除。
7、 根據(jù)權(quán)利要求6所述的低溫探針臺(tái)防熱輻射鋁箔屏的制造方法，其特征在于， 所述步驟B具體為選用厚度為100微米的鋁箔，將鋁箔剪裁成寬2毫米至5毫米、 長(zhǎng)50毫米至100毫米的長(zhǎng)方形的鋁箔條。
8、 根據(jù)權(quán)利要求6所述的低溫探針臺(tái)防熱輻射鋁箔屏的制造方法，其特征在于， 所述步驟C中，固定鋁箔條的方法采用直接將鋁箔條粘貼在固定項(xiàng)圈上，或利用鋁箔 的自身應(yīng)力將鋁箔條固定在固定項(xiàng)圈上。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種低溫探針臺(tái)防熱輻射鋁箔屏，屬于防止熱輻射領(lǐng)域。本發(fā)明的低溫探針臺(tái)防熱輻射鋁箔屏包括固定項(xiàng)圈以及至少2條鋁箔條；所示固定項(xiàng)圈的直徑與所述低溫探針臺(tái)內(nèi)真空腔室的內(nèi)徑相匹配；所述鋁箔條均勻固定在所述固定項(xiàng)圈上。本發(fā)明可以有效防止外界的熱輻射對(duì)低溫環(huán)境的擾動(dòng)。使用本發(fā)明的低溫探針臺(tái)防熱輻射鋁箔屏可以有效地使溫度由5K降至4.5K。由于較為有效地反射了熱輻射，其消耗的液氮和液氦的量減少，節(jié)約了實(shí)驗(yàn)成本。本發(fā)明還公開了一種制備低溫探針臺(tái)防熱輻射鋁箔屏的方法，其步驟包括制作固定項(xiàng)圈、制作鋁箔條、將鋁箔條固定在固定項(xiàng)圈上以及將低溫探針臺(tái)內(nèi)探針臂位置的鋁箔條去除。
文檔編號(hào)G12B21/00GK101436438SQ20081023988
公開日2009年5月20日 申請(qǐng)日期2008年12月19日 優(yōu)先權(quán)日2008年12月19日
發(fā)明者明 劉, 劉新宇, 朱晨昕, 李昊峰, 李維龍, 銳 賈, 晨 陳 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院微電子研究所