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一種熔煉電源升降一體結(jié)構(gòu)的制作方法

文檔序號(hào):8059035閱讀:342來源:國知局
專利名稱:一種熔煉電源升降一體結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型為一種電源結(jié)構(gòu),特別涉及一種制作石英坩堝的熔煉電源升降一體結(jié)構(gòu),屬于升降設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)
用電弧法制的半透明石英坩堝是拉制大直徑單晶硅,發(fā)展大規(guī)模集成電路必不可少的基礎(chǔ)材料,是作為太陽能、半導(dǎo)體行業(yè)切克拉斯基法(cz)拉制單晶硅必不可少的容器。石英坩堝的制作是使用電弧石英坩堝工藝,而其中熔煉電源是必不可少的,通過調(diào)節(jié)熔煉電源來控制電極,從而精確控制熔制溫度。熔煉電源一般有3個(gè),在通常的設(shè)備配置中, 對(duì)每個(gè)熔煉電源都需要單獨(dú)配置馬達(dá),在操作熔煉電源時(shí),不能同時(shí)調(diào)節(jié),造成調(diào)節(jié)尺度有一定的誤差,使電流不平衡、穩(wěn)定,造成熔煉電源的各個(gè)電極損耗速度不相等,使熔煉溫度不穩(wěn)定,熔煉坩堝的產(chǎn)品質(zhì)量受到很大影響。且絲桿升降機(jī)的行程開關(guān)易損壞。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)中,電流不平衡、不穩(wěn)定,造成熔煉電源的各個(gè)電極損耗速度不相等,使熔煉溫度不穩(wěn)定,熔煉坩堝的產(chǎn)品質(zhì)量受到很大影響,且絲桿升降機(jī)的行程開關(guān)易損壞的缺陷,提供了一種熔煉電源升降一體結(jié)構(gòu),使易于熔煉電源的電流控制,電流平衡、穩(wěn)定,使熔煉電源的各個(gè)電極損耗速度相等,熔煉溫度穩(wěn)定,熔煉坩堝的產(chǎn)品質(zhì)量有保證,且可對(duì)絲桿升降機(jī)的行程開關(guān)起到很大的保護(hù)作用。為了實(shí)現(xiàn)上述目的本實(shí)用新型采取的技術(shù)方案是一種熔煉電源升降一體結(jié)構(gòu), 包括支架、絲桿升降機(jī)、馬達(dá)和熔煉電源;所述絲桿升降機(jī)固定安裝在支架的橫梁上,所述馬達(dá)設(shè)置在絲桿升降機(jī)一側(cè),絲桿升降機(jī)由馬達(dá)帶動(dòng);所述熔煉電源包括外線圈、鐵芯、鐵芯連桿,熔煉電源通過兩側(cè)連接桿,與橫梁固定連接;所述鐵芯通過鐵芯連桿與絲桿升降機(jī)的升降絲桿固定連接,所述馬達(dá)為一個(gè),所述絲桿升降機(jī)有第1、2、3臺(tái),熔煉電源有第1、2、 3個(gè);馬達(dá)的輸出軸同時(shí)與三臺(tái)絲桿升降機(jī)的螺母轉(zhuǎn)動(dòng)軸固定連接,一個(gè)馬達(dá)可同時(shí)帶動(dòng)三臺(tái)絲桿升降機(jī)工作,使三個(gè)熔煉電源的鐵芯同時(shí)作上、下運(yùn)動(dòng)。所述第1、2、3臺(tái)絲桿升降機(jī)在支架的橫梁上,自左至右橫向均勻設(shè)置。所述馬達(dá)設(shè)置在橫梁的左側(cè)。所述馬達(dá)的輸出軸與第1臺(tái)絲桿升降機(jī)的螺母轉(zhuǎn)動(dòng)軸固定連接,第1、2臺(tái)絲桿升降機(jī)的螺母轉(zhuǎn)動(dòng)軸之間以連接軸A固定連接,第2、3臺(tái)絲桿升降機(jī)的螺母轉(zhuǎn)動(dòng)軸之間以連接軸B固定連接。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實(shí)用新型的有益效果是(1)三臺(tái)絲桿升降機(jī)同時(shí)帶動(dòng)三個(gè)鐵芯上下運(yùn)動(dòng),易于熔煉電源的電流控制,電流平衡、穩(wěn)定,使熔煉電源的各個(gè)電極損耗速度相等,可使熔煉溫度穩(wěn)定,熔煉坩堝的產(chǎn)品質(zhì)
量提高。(2)對(duì)絲桿升降機(jī)的行程開關(guān)起到很大的保護(hù)作用,使設(shè)備不用經(jīng)常維修,增加了設(shè)備使用壽命。
附圖1 本實(shí)用新型主視圖;附圖2 本實(shí)用新型左視圖;附圖3 圖1的A-A剖視圖;附圖標(biāo)記說明1支架、11連接桿、2絲桿升降機(jī)、21升降絲桿、22螺母轉(zhuǎn)動(dòng)軸、3馬達(dá)、31連接軸A、32連接軸B、4熔煉電源、41外線圈、42鐵芯、43鐵芯連桿。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明,但不作為對(duì)本實(shí)用新型的限定。如圖1-3所示,一種熔煉電源升降一體結(jié)構(gòu),包括支架1、絲桿升降機(jī)2、馬達(dá)3和熔煉電源4 ;所述絲桿升降機(jī)2固定安裝在支架1的橫梁上,所述馬達(dá)3設(shè)置在絲桿升降機(jī) 2左側(cè),絲桿升降機(jī)2由馬達(dá)3帶動(dòng);所述熔煉電源4包括外線圈41、鐵芯42、鐵芯連桿43, 熔煉電源4通過兩側(cè)連接桿11,與橫梁固定連接;所述鐵芯42通過鐵芯連桿43與絲桿升降機(jī)2的升降絲桿21固定連接,所述馬達(dá)3為一個(gè),所述絲桿升降機(jī)2有第1、2、3臺(tái),熔煉電源4有第1、2、3個(gè);馬達(dá)3的輸出軸同時(shí)與三臺(tái)絲桿升降機(jī)2的螺母轉(zhuǎn)動(dòng)軸22固定連接, 一個(gè)馬達(dá)3可同時(shí)帶動(dòng)三臺(tái)絲桿升降機(jī)2工作,使三個(gè)熔煉電源4的鐵芯42同時(shí)作上、下運(yùn)動(dòng)。所述第1、2、3臺(tái)絲桿升降機(jī)2在支架1的橫梁上,自左至右橫向均勻設(shè)置。所述馬達(dá)3的輸出軸與第1臺(tái)絲桿升降機(jī)2的螺母轉(zhuǎn)動(dòng)軸22固定連接,第1、2臺(tái)絲桿升降機(jī)2的螺母轉(zhuǎn)動(dòng)軸22之間以連接軸A31固定連接,第2、3臺(tái)絲桿升降機(jī)2的螺母轉(zhuǎn)動(dòng)軸22之間以連接軸B32固定連接。以上所述的實(shí)施例,只是本實(shí)用新型較優(yōu)選的具體實(shí)施方式
的一種,本領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實(shí)用新型技術(shù)方案范圍內(nèi)進(jìn)行的通常變化和替換都應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種熔煉電源升降一體結(jié)構(gòu),包括支架、絲桿升降機(jī)、馬達(dá)和熔煉電源;所述絲桿升降機(jī)固定安裝在支架的橫梁上,所述馬達(dá)設(shè)置在絲桿升降機(jī)一側(cè),絲桿升降機(jī)由馬達(dá)帶動(dòng); 所述熔煉電源包括外線圈、鐵芯、鐵芯連桿,熔煉電源通過兩側(cè)連接桿,與橫梁固定連接;所述鐵芯通過鐵芯連桿與絲桿升降機(jī)的升降絲桿固定連接,其特征在于所述馬達(dá)為一個(gè),所述絲桿升降機(jī)有第1、2、3臺(tái),熔煉電源有第1、2、3個(gè);馬達(dá)的輸出軸同時(shí)與三臺(tái)絲桿升降機(jī)的螺母轉(zhuǎn)動(dòng)軸固定連接,一個(gè)馬達(dá)可同時(shí)帶動(dòng)三臺(tái)絲桿升降機(jī)工作,使三個(gè)熔煉電源的鐵芯同時(shí)作上、下運(yùn)動(dòng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種熔煉電源升降一體結(jié)構(gòu),其特征在于所述第1、2、3臺(tái)絲桿升降機(jī)在支架的橫梁上,自左至右橫向均勻設(shè)置。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種熔煉電源升降一體結(jié)構(gòu),其特征在于所述馬達(dá)設(shè)置在橫梁的左側(cè)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種熔煉電源升降一體結(jié)構(gòu),其特征在于所述馬達(dá)的輸出軸與第1臺(tái)絲桿升降機(jī)的螺母轉(zhuǎn)動(dòng)軸固定連接,第1、2臺(tái)絲桿升降機(jī)的螺母轉(zhuǎn)動(dòng)軸之間以連接軸A固定連接,第2、3臺(tái)絲桿升降機(jī)的螺母轉(zhuǎn)動(dòng)軸之間以連接軸B固定連接。
專利摘要一種熔煉電源升降一體結(jié)構(gòu),屬于升降設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,包括支架、絲桿升降機(jī)、馬達(dá)和熔煉電源;絲桿升降機(jī)固定安裝在支架的橫梁上,馬達(dá)設(shè)置在絲桿升降機(jī)一側(cè),絲桿升降機(jī)由馬達(dá)帶動(dòng);熔煉電源包括外線圈、鐵芯、鐵芯連桿,熔煉電源通過兩側(cè)連接桿,與橫梁固定連接;鐵芯通過鐵芯連桿與絲桿升降機(jī)的升降絲桿固定連接,馬達(dá)為一個(gè),絲桿升降機(jī)有3臺(tái),熔煉電源有3個(gè);馬達(dá)的輸出軸同時(shí)與三臺(tái)絲桿升降機(jī)的螺母轉(zhuǎn)動(dòng)軸固定連接,一個(gè)馬達(dá)可同時(shí)帶動(dòng)三臺(tái)絲桿升降機(jī)工作,使三個(gè)熔煉電源的鐵芯同時(shí)作上、下運(yùn)動(dòng)。本實(shí)用新由于三個(gè)鐵芯同時(shí)上下運(yùn)動(dòng),易于熔煉電源的電流控制,電流平衡、穩(wěn)定,使各個(gè)電極損耗速度相等,可使熔煉溫度穩(wěn)定,熔煉坩堝的產(chǎn)品質(zhì)量提高。
文檔編號(hào)H05B7/152GK202035171SQ201120164919
公開日2011年11月9日 申請(qǐng)日期2011年5月13日 優(yōu)先權(quán)日2011年5月13日
發(fā)明者王定永, 王文慶 申請(qǐng)人:寧波寶斯達(dá)坩堝保溫制品有限公司
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