專利名稱：太陽(yáng)能電池硅片擴(kuò)散爐的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于太陽(yáng)能電池生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種太陽(yáng)能電池硅片擴(kuò)散爐。
背景技術(shù)：
目前使用的太陽(yáng)能電池硅片擴(kuò)散爐，如圖1所示，硅片31以垂直于氣體流動(dòng)的方向安裝于石英舟21上，石英舟的兩端需各安裝12片擋風(fēng)片，以緩解進(jìn)氣管41和出氣管51 附近的氣體流量和濃度不均勻?qū)杵?1的影響。擴(kuò)散氣體進(jìn)入爐體11后以垂直于硅片31 表面的方式流動(dòng)，由于硅片31自身的阻擋和氣體流量和濃度不均勻的影響，達(dá)到硅片31的背面和擋在其后面的各硅片31表面的擴(kuò)散氣體不均勻，造成硅片31方塊電阻均勻性較差， 硅片31中部方阻偏大，而四周偏小，硅片31表面的方塊電阻極差達(dá)到10 Ω / 口以上，大大降低了硅片的質(zhì)量。且石英舟21兩端安裝的12片擋風(fēng)片影響硅片31的安裝數(shù)量，影響產(chǎn)品廣量。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的就是解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述問(wèn)題，提供一種太陽(yáng)能電池硅片擴(kuò)散爐，采用該擴(kuò)散爐對(duì)硅片進(jìn)行擴(kuò)散處理，其擴(kuò)散氣體在硅片上分布均勻，硅片表面方塊電阻均勻性好，極差小。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)解決方案是一種太陽(yáng)能電池硅片擴(kuò)散爐，包括爐體和石英舟；石英舟兩端固定有氣體勻流板，石英舟進(jìn)入爐體后，位于爐體的中心；爐體一端開(kāi)有石英舟的進(jìn)口，另一端有與爐體內(nèi)直通的進(jìn)氣管，進(jìn)氣管正對(duì)氣體勻流板的中心；石英舟下端有排廢氣管，爐體進(jìn)氣管下端開(kāi)有排廢氣管的出口 ；硅片分為多組，各組硅片依次排列在石英舟的兩氣體勻流板之間，每組硅片都以表面平行于進(jìn)氣管的方向排列在石英舟上。上述所述的氣體勻流板是一平板，平板上開(kāi)有均布的喇叭形布?xì)饪祝刃尾細(xì)饪卓拷杵囊欢丝讖酱?。所述的氣體勻流板的布?xì)饪籽厥⒅壑行奈恢玫拇怪陛S對(duì)稱。本實(shí)用新型采用石英舟兩側(cè)設(shè)置氣體勻流板和擴(kuò)散氣體平行于硅片表面流動(dòng)的方式，解決了擴(kuò)散氣體由于硅片自身的阻擋而使到達(dá)硅片背面和后面的硅片的擴(kuò)散氣體不均勻，以至方阻均勻性較差的問(wèn)題，使得擴(kuò)散氣體能夠均勻分布在每塊硅片表面，進(jìn)而有效的改善硅片表面方塊電阻的均勻性，經(jīng)測(cè)定，硅片表面的方塊電阻極差可以達(dá)到5 Ω / □以下。且本實(shí)用新型采用石英舟兩側(cè)設(shè)置氣體勻流板方式來(lái)布?xì)?，可以去除擋風(fēng)片，使石英舟上安裝的硅片數(shù)量多，提高了產(chǎn)品產(chǎn)量。

圖1為現(xiàn)有的太陽(yáng)能電池硅片擴(kuò)散爐的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本實(shí)用新型的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖。圖3為本實(shí)用新型中擴(kuò)散爐管、石英舟的氣體勻流板和硅片的位置結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
如圖2和圖3所示，本實(shí)施例包括爐體1和石英舟2。石英舟2兩端固定有氣體勻流板6，氣體勻流板6是一平板，平板上開(kāi)有均布的喇叭形布?xì)饪祝刃尾細(xì)饪卓拷杵? 的一端孔徑大；所述的氣體勻流板6的布?xì)饪籽厥⒅?中心位置的垂直軸對(duì)稱。石英舟2 進(jìn)入爐體1后，位于爐體1的中心。爐體1 一端開(kāi)有石英舟2的進(jìn)口，另一端有與爐體1直通的進(jìn)氣管4，進(jìn)氣管4正對(duì)氣體勻流板6的中心。石英舟2下端有排廢氣管5，爐體進(jìn)氣管4下端開(kāi)有排廢氣管5的出口。硅片3分為多組，各組硅片依次排列安裝在石英舟2的兩氣體勻流板6之間，每組硅片3都以表面平行于進(jìn)氣管4的方向排列安裝在石英舟2上。
權(quán)利要求1.一種太陽(yáng)能電池硅片擴(kuò)散爐，包括爐體和石英舟；其特征在于石英舟兩端固定有氣體勻流板，石英舟進(jìn)入爐體后，位于爐體的中心；爐體一端開(kāi)有石英舟的進(jìn)口，另一端有與爐體內(nèi)直通的進(jìn)氣管，進(jìn)氣管正對(duì)氣體勻流板的中心；石英舟下端有排廢氣管，爐體進(jìn)氣管下端開(kāi)有排廢氣管的出口 ；硅片分為多組，各組硅片依次排列在石英舟的兩氣體勻流板之間，每組硅片都以表面平行于進(jìn)氣管的方向排列在石英舟上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽(yáng)能電池硅片擴(kuò)散爐，其特征在于所述的氣體勻流板是一平板，平板上開(kāi)有均布的喇叭形布?xì)饪祝刃尾細(xì)饪卓拷杵囊欢丝讖酱蟆?br> 3.根據(jù)權(quán)利要求2太陽(yáng)能電池硅片擴(kuò)散爐，其特征在于所述的氣體勻流板的布?xì)饪籽厥⒅壑行奈恢玫拇怪陛S對(duì)稱。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種太陽(yáng)能電池硅片擴(kuò)散爐，石英舟兩端固定有氣體勻流板，爐體一端開(kāi)有石英舟的進(jìn)口，另一端有與爐體內(nèi)直通的進(jìn)氣管，進(jìn)氣管正對(duì)氣體勻流板的中心；石英舟下端有排廢氣管，爐體進(jìn)氣管下端開(kāi)有排廢氣管的出口；硅片分為多組，各組硅片依次排列在石英舟的兩氣體勻流板之間，每組硅片都以表面平行于進(jìn)氣管的方向排列在石英舟上。本實(shí)用新型使得擴(kuò)散氣體能夠均勻分布在每塊硅片表面，進(jìn)而有效的改善硅片表面方塊電阻的均勻性，經(jīng)測(cè)定，硅片表面的方塊電阻極差可以達(dá)到5Ω/□以下。且使石英舟上安裝的硅片數(shù)量多，提高了產(chǎn)品產(chǎn)量。
文檔編號(hào)C30B31/06GK202297872SQ20112021889
公開(kāi)日2012年7月4日 申請(qǐng)日期2011年6月27日 優(yōu)先權(quán)日2011年6月27日
發(fā)明者王月勤, 王連紅 申請(qǐng)人:光為綠色新能源股份有限公司