太陽(yáng)能電池用硅片擴(kuò)散爐的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種能夠降低生產(chǎn)成本的太陽(yáng)能電池用硅片擴(kuò)散爐。該太陽(yáng)能電池用硅片擴(kuò)散爐，包括設(shè)置有爐門的爐體，爐體內(nèi)設(shè)有石英舟，硅片放置于石英舟上，爐體上設(shè)有進(jìn)氣管和排放管，所述排放管上連接有抽風(fēng)機(jī)，所述爐體上設(shè)置有開(kāi)關(guān)裝置，所述開(kāi)關(guān)裝置包括底座，所述底座上設(shè)置有可移動(dòng)式支架和第一驅(qū)動(dòng)裝置，還包括旋轉(zhuǎn)桿、推拉桿以及用于推動(dòng)推拉桿移動(dòng)的第二驅(qū)動(dòng)裝置。由于該結(jié)構(gòu)利用了省力杠桿的結(jié)構(gòu)，因此，在使?fàn)t門旋轉(zhuǎn)時(shí)，所需的力較小，第二驅(qū)動(dòng)裝置承受的負(fù)荷較小，因而，不容易損壞第二驅(qū)動(dòng)裝置，能不需要頻繁更換，減少了購(gòu)買第二驅(qū)動(dòng)裝置所需的費(fèi)用，可以大大降低生產(chǎn)成本。適合在太陽(yáng)能電池硅片加工設(shè)備領(lǐng)域推廣應(yīng)用。
【專利說(shuō)明】太陽(yáng)能電池用硅片擴(kuò)散爐
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及太陽(yáng)能電池硅片加工設(shè)備領(lǐng)域，尤其是一種太陽(yáng)能電池用硅片擴(kuò)散爐。
【背景技術(shù)】
[0002]太陽(yáng)能電池原理主要是以半導(dǎo)體材料硅為基體，利用擴(kuò)散工藝在硅晶體中摻入雜質(zhì):當(dāng)摻入硼、磷等雜質(zhì)時(shí)，硅晶體中就會(huì)存在著一個(gè)空穴，形成η型半導(dǎo)體；同樣，摻入磷原子以后，硅晶體中就會(huì)有一個(gè)電子，形成P型半導(dǎo)體，P型半導(dǎo)體與η型半導(dǎo)體結(jié)合在一起形成ρη結(jié)，當(dāng)太陽(yáng)光照射硅晶體后，ρη結(jié)中η型半導(dǎo)體的空穴往P型區(qū)移動(dòng)，而P型區(qū)中的電子往η型區(qū)移動(dòng)，從而形成從η型區(qū)到P型區(qū)的電流，在ρη結(jié)中形成電勢(shì)差，這就形成了太陽(yáng)能電池。
[0003]太陽(yáng)能電池需要一個(gè)大面積的PN結(jié)以實(shí)現(xiàn)光能到電能的轉(zhuǎn)換，而擴(kuò)散爐即為制造太陽(yáng)能電池PN結(jié)的專用設(shè)備。擴(kuò)散爐一般包括設(shè)置有爐門的爐體，爐體內(nèi)設(shè)有石英舟，硅片放置于石英舟上，爐體上設(shè)有用于擴(kuò)散氣體進(jìn)入爐體內(nèi)的進(jìn)氣管和擴(kuò)散處理后排放尾氣的排放管，所述排放管上連接有抽風(fēng)機(jī)，擴(kuò)散一般用三氯氧磷液態(tài)源作為擴(kuò)散源，把P型硅片放在擴(kuò)散爐的石英舟內(nèi)，在850-900攝氏度高溫下使用氮?dú)鈱⑷妊趿讕胧⒅郏ㄟ^(guò)三氯氧磷和硅片進(jìn)行反應(yīng)，得到磷原子，經(jīng)過(guò)一定時(shí)間，磷原子從四周進(jìn)入硅片的表面層，并且通過(guò)硅原子之間的空隙向硅片內(nèi)部滲透擴(kuò)散，形成了 N型半導(dǎo)體和P型半導(dǎo)體的交界面，也就是PN結(jié)。這種方法制出的PN結(jié)均勻性好，方塊電阻的不均勻性小于百分之十，少子壽命可大于10 μ S，制造PN結(jié)是太陽(yáng)電池生產(chǎn)最基本也是最關(guān)鍵的工序。因?yàn)檎荘N結(jié)的形成，才使電子和空穴在流動(dòng)后不再回到原處，這樣就形成了電流，用導(dǎo)線將電流引出，就是直流電。
[0004]由于擴(kuò)散爐的爐門通常較重，人工打開(kāi)或關(guān)閉較為困難，為了將方便將硅片放入爐體內(nèi)和從爐體內(nèi)取出，通常在爐門上都設(shè)置有用于打開(kāi)或關(guān)閉爐門的開(kāi)關(guān)裝置，現(xiàn)有的開(kāi)關(guān)裝置包括一個(gè)前進(jìn)電機(jī)和一個(gè)`旋轉(zhuǎn)電機(jī)，前進(jìn)電機(jī)用于將爐門與爐體接觸與分離，旋轉(zhuǎn)電機(jī)用于將爐門旋轉(zhuǎn)到爐口的側(cè)面，讓出了進(jìn)出爐體的空間，前進(jìn)電機(jī)通過(guò)一根推拉桿與爐門相連，旋轉(zhuǎn)電機(jī)通過(guò)一根旋轉(zhuǎn)桿與爐門相連，這種開(kāi)關(guān)裝置在使用過(guò)程中，存在以下問(wèn)題:這種結(jié)構(gòu)的開(kāi)關(guān)裝置，旋轉(zhuǎn)電機(jī)與爐門分別位于旋轉(zhuǎn)桿的兩端，這就使得旋轉(zhuǎn)電機(jī)需要提供很大的旋轉(zhuǎn)力矩才能使?fàn)t門轉(zhuǎn)動(dòng)，旋轉(zhuǎn)電機(jī)承受的旋轉(zhuǎn)力矩較大，電機(jī)的負(fù)荷較大，很容易將旋轉(zhuǎn)電機(jī)燒壞，旋轉(zhuǎn)電機(jī)的使用壽命較短，需要頻繁的更換電機(jī)，不但影響生產(chǎn)的正常進(jìn)行，同時(shí)也大大增加了生產(chǎn)成本。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種能夠降低生產(chǎn)成本的太陽(yáng)能電池用硅片擴(kuò)散爐。
[0006]本發(fā)明解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是:該太陽(yáng)能電池用硅片擴(kuò)散爐，包括設(shè)置有爐門的爐體，爐體內(nèi)設(shè)有石英舟，硅片放置于石英舟上，爐體上設(shè)有用于擴(kuò)散氣體進(jìn)入爐體內(nèi)的進(jìn)氣管和擴(kuò)散處理后排放尾氣的排放管，所述排放管上連接有抽風(fēng)機(jī)，所述爐體上設(shè)置有用于打開(kāi)或關(guān)閉爐門的開(kāi)關(guān)裝置，所述開(kāi)關(guān)裝置包括底座，所述底座上設(shè)置有可移動(dòng)式支架以及用于驅(qū)動(dòng)可移動(dòng)式支架沿爐體軸向方向移動(dòng)的第一驅(qū)動(dòng)裝置，還包括旋轉(zhuǎn)桿、推拉桿以及用于推動(dòng)推拉桿移動(dòng)的第二驅(qū)動(dòng)裝置，所述底座、可移動(dòng)式支架、第一驅(qū)動(dòng)裝置、旋轉(zhuǎn)桿、推拉桿以及第二驅(qū)動(dòng)裝置均位于爐體的軸向中心線下方，所述第二驅(qū)動(dòng)裝置通過(guò)轉(zhuǎn)軸固定在可移動(dòng)式支架上，所述旋轉(zhuǎn)桿的前端固定在爐門上，末端通過(guò)轉(zhuǎn)軸固定在可移動(dòng)式支架上，推拉桿的前端通過(guò)轉(zhuǎn)軸固定在旋轉(zhuǎn)桿上，末端與第二驅(qū)動(dòng)裝置相連，當(dāng)?shù)诙?qū)動(dòng)裝置推動(dòng)推拉桿移動(dòng)時(shí)，推拉桿推動(dòng)旋轉(zhuǎn)桿繞旋轉(zhuǎn)桿末端的轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)從而帶動(dòng)爐門旋轉(zhuǎn)。
[0007]進(jìn)一步的是，所述推拉桿的前端通過(guò)轉(zhuǎn)軸固定在旋轉(zhuǎn)桿的前端。
[0008]進(jìn)一步的是，還包括壓縮彈簧，所述壓縮彈簧的前端固定在旋轉(zhuǎn)桿上，末端固定在底座上，并且所述壓縮彈簧與推拉桿位于旋轉(zhuǎn)桿的同一側(cè)。
[0009]進(jìn)一步的是，所述壓縮彈簧的前端固定在旋轉(zhuǎn)桿的前端。
[0010]進(jìn)一步的是，所述第一驅(qū)動(dòng)裝置、第二驅(qū)動(dòng)裝置均為氣缸。
[0011]進(jìn)一步的是，所述固定旋轉(zhuǎn)桿末端的轉(zhuǎn)軸與固定第二驅(qū)動(dòng)裝置的轉(zhuǎn)軸分別設(shè)置在爐體軸向中心線的兩側(cè)。
[0012]本發(fā)明的有益效果是:該太陽(yáng)能電池用硅片擴(kuò)散爐所使用的開(kāi)關(guān)裝置在打開(kāi)爐門時(shí)，首先啟動(dòng)第一驅(qū)動(dòng)裝置，使可移動(dòng)式支架后移，由于爐門通過(guò)旋轉(zhuǎn)桿、推拉桿連接在可移動(dòng)式支架上，因此，可移動(dòng)式支架移動(dòng)時(shí)會(huì)帶動(dòng)爐門移動(dòng)，從而使?fàn)t門與爐體分離，然后啟動(dòng)第二驅(qū)動(dòng)裝置，第二驅(qū)動(dòng)裝置推動(dòng)推拉桿移動(dòng)，由于第二驅(qū)動(dòng)裝置通過(guò)轉(zhuǎn)軸固定在可移動(dòng)式支架上且推拉桿的前端通過(guò)轉(zhuǎn)軸固定在旋轉(zhuǎn)桿上，因此，推拉桿會(huì)推動(dòng)旋轉(zhuǎn)桿繞旋轉(zhuǎn)桿末端的轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)從而帶動(dòng)爐門旋轉(zhuǎn)，讓開(kāi)進(jìn)出爐體的空間，方便操作人員將硅片放入爐體內(nèi)；當(dāng)需要關(guān)閉爐門時(shí)，首先啟動(dòng)第二驅(qū)動(dòng)裝置，第二驅(qū)動(dòng)裝置推動(dòng)推拉桿移動(dòng)，由于第二驅(qū)動(dòng)裝置通過(guò)轉(zhuǎn)軸固定在可移動(dòng)`式支架上且推拉桿的前端通過(guò)轉(zhuǎn)軸固定在旋轉(zhuǎn)桿上，因此，推拉桿會(huì)推動(dòng)旋轉(zhuǎn)桿繞旋轉(zhuǎn)桿末端的轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)從而帶動(dòng)爐門旋轉(zhuǎn)使其旋轉(zhuǎn)到與爐門口對(duì)應(yīng)的位置，然后啟動(dòng)第一驅(qū)動(dòng)裝置，使可移動(dòng)式支架前移，由于爐門通過(guò)旋轉(zhuǎn)桿、推拉桿連接在可移動(dòng)式支架上，因此，可移動(dòng)式支架移動(dòng)時(shí)會(huì)帶動(dòng)爐門移動(dòng)，從而使?fàn)t門與爐體接觸將爐門口封閉，由于該結(jié)構(gòu)利用了省力杠桿的結(jié)構(gòu)，因此，在使?fàn)t門旋轉(zhuǎn)時(shí)，所需的力較小，第二驅(qū)動(dòng)裝置承受的負(fù)荷較小，因而，不容易損壞第二驅(qū)動(dòng)裝置，能夠延長(zhǎng)第二驅(qū)動(dòng)裝置的使用壽命，不需要頻繁更換，減少了購(gòu)買第二驅(qū)動(dòng)裝置所需的費(fèi)用，可以大大降低生產(chǎn)成本，同時(shí)，不需要頻繁更換零部件，也保證了生產(chǎn)的正常進(jìn)行，同時(shí)該開(kāi)關(guān)裝置整體都位于爐體的軸向中心線下方，安裝拆卸都非常方便，維修時(shí)省時(shí)又省力。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0013]圖1是本發(fā)明太陽(yáng)能電池用硅片擴(kuò)散爐的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0014]圖2是本發(fā)明太陽(yáng)能電池用硅片擴(kuò)散爐的側(cè)視圖；
[0015]圖中標(biāo)記為:爐門1、爐體2、石英舟3、進(jìn)氣管4、排放管5、抽風(fēng)機(jī)6、底座71、可移動(dòng)式支架72、第一驅(qū)動(dòng)裝置73、旋轉(zhuǎn)桿74、推拉桿75、第二驅(qū)動(dòng)裝置76、壓縮彈簧77。【具體實(shí)施方式】
[0016]下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步說(shuō)明。[0017]如圖1、2所示，該太陽(yáng)能電池用硅片擴(kuò)散爐，包括設(shè)置有爐門I的爐體2，爐體2內(nèi)設(shè)有石英舟3，硅片放置于石英舟3上，爐體2上設(shè)有用于擴(kuò)散氣體進(jìn)入爐體2內(nèi)的進(jìn)氣管4和擴(kuò)散處理后排放尾氣的排放管5，所述排放管5上連接有抽風(fēng)機(jī)6，所述爐體2上設(shè)置有用于打開(kāi)或關(guān)閉爐門I的開(kāi)關(guān)裝置，所述開(kāi)關(guān)裝置包括底座71，所述底座71上設(shè)置有可移動(dòng)式支架72以及用于驅(qū)動(dòng)可移動(dòng)式支架72沿爐體2軸向方向移動(dòng)的第一驅(qū)動(dòng)裝置73，還包括旋轉(zhuǎn)桿74、推拉桿75以及用于推動(dòng)推拉桿75移動(dòng)的第二驅(qū)動(dòng)裝置76，所述底座71、可移動(dòng)式支架72、第一驅(qū)動(dòng)裝置73、旋轉(zhuǎn)桿74、推拉桿75以及第二驅(qū)動(dòng)裝置76均位于爐體2的軸向中心線下方，所述第二驅(qū)動(dòng)裝置76通過(guò)轉(zhuǎn)軸固定在可移動(dòng)式支架72上，所述旋轉(zhuǎn)桿74的前端固定在爐門I上，末端通過(guò)轉(zhuǎn)軸固定在可移動(dòng)式支架72上，推拉桿75的前端通過(guò)轉(zhuǎn)軸固定在旋轉(zhuǎn)桿74上，末端與第二驅(qū)動(dòng)裝置76相連，當(dāng)?shù)诙?qū)動(dòng)裝置76推動(dòng)推拉桿75移動(dòng)時(shí)，推拉桿75推動(dòng)旋轉(zhuǎn)桿74繞旋轉(zhuǎn)桿74末端的轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)從而帶動(dòng)爐門I旋轉(zhuǎn)。這種結(jié)構(gòu)的開(kāi)關(guān)裝置，在打開(kāi)爐門I時(shí)，首先啟動(dòng)第一驅(qū)動(dòng)裝置73，使可移動(dòng)式支架72后移，由于爐門I通過(guò)旋轉(zhuǎn)桿74、推拉桿75連接在可移動(dòng)式支架72上，因此，可移動(dòng)式支架72移動(dòng)時(shí)會(huì)帶動(dòng)爐門I移動(dòng)，從而使?fàn)t門I與爐體2分離，然后啟動(dòng)第二驅(qū)動(dòng)裝置76，第二驅(qū)動(dòng)裝置76推動(dòng)推拉桿75移動(dòng)，由于第二驅(qū)動(dòng)裝置76通過(guò)轉(zhuǎn)軸固定在可移動(dòng)式支架72上且推拉桿75的前端通過(guò)轉(zhuǎn)軸固定在旋轉(zhuǎn)桿74上，因此，推拉桿75會(huì)推動(dòng)旋轉(zhuǎn)桿74繞旋轉(zhuǎn)桿74末端的轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)從而帶動(dòng)爐門I旋轉(zhuǎn)，讓開(kāi)進(jìn)出爐體2的空間，方便操作人員將硅片放入爐體2內(nèi)；當(dāng)需要關(guān)閉爐門I時(shí)，首先啟動(dòng)第二驅(qū)動(dòng)裝置76，第二驅(qū)動(dòng)裝置76推動(dòng)推拉桿75移動(dòng)，由于第二驅(qū)動(dòng)裝置76通過(guò)轉(zhuǎn)軸固定在可移動(dòng)式支架72上且推拉桿75的前端通過(guò)轉(zhuǎn)軸固定在旋轉(zhuǎn)桿74上，因此，推拉桿75會(huì)推動(dòng)旋轉(zhuǎn)桿74繞旋轉(zhuǎn)桿74末端的轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)從而帶動(dòng)爐門I旋轉(zhuǎn)使其旋轉(zhuǎn)到與爐門口對(duì)應(yīng)的位置，然后啟動(dòng)第一驅(qū)動(dòng)裝置73，使可移動(dòng)式支架72前移，由于爐門I通過(guò)旋轉(zhuǎn)桿74、推拉桿75連接在可移動(dòng)式支架72上，因此，可移動(dòng)式支架72移動(dòng)時(shí)會(huì)帶動(dòng)爐門I移動(dòng)，從而使?fàn)t門I與爐體2接觸將爐門I 口封閉，由于該結(jié)構(gòu)利用了省力杠桿的結(jié)構(gòu)，因此，在使?fàn)t門I旋轉(zhuǎn)時(shí)，所需的力較小，第二驅(qū)動(dòng)裝置76承受的負(fù)荷較小，因而，不容易損壞第二驅(qū)動(dòng)裝置76，能夠延長(zhǎng)第二驅(qū)動(dòng)裝置76的使用壽命，不需要頻繁更換，減少了購(gòu)買第二驅(qū)動(dòng)裝置76所需的費(fèi)用，可以大大降低生產(chǎn)成本，同時(shí)，不需要頻繁更換零部件也保證了生產(chǎn)的正常進(jìn)行，同時(shí)該開(kāi)關(guān)裝置整體都位于爐體2的軸向中心線下方，安裝拆卸都非常方便，維修時(shí)省時(shí)又省力。
[0018]為了使第二驅(qū)動(dòng)裝置76承受的負(fù)荷達(dá)到最小，所述推拉桿75的前端通過(guò)轉(zhuǎn)軸固定在旋轉(zhuǎn)桿74的前端，能夠使第二驅(qū)動(dòng)裝置76的使用壽命大大延長(zhǎng)。
[0019]為了進(jìn)一步減小第二驅(qū)動(dòng)裝置76的負(fù)荷，還包括壓縮彈簧77，所述壓縮彈簧77的前端固定在旋轉(zhuǎn)桿74上，末端固定在底座71上，并且所述壓縮彈簧77與推拉桿75位于旋轉(zhuǎn)桿74的同一側(cè)，在旋轉(zhuǎn)桿74轉(zhuǎn)動(dòng)的過(guò)程中，壓縮彈簧77會(huì)額外提供一定的助力。
[0020]為了使壓縮彈簧77提供的助力最大限度的減小第二驅(qū)動(dòng)裝置76的負(fù)荷，所述壓縮彈簧77的前端固定在旋轉(zhuǎn)桿74的前端，這樣同樣的助力，由于力臂的增加，所提供的力矩就會(huì)變大。[0021]為了使?fàn)t門I與爐體2實(shí)現(xiàn)軟接觸，避免爐門I在關(guān)閉時(shí)與爐體2相撞對(duì)爐體2造成損傷，所述第一驅(qū)動(dòng)裝置73、第二驅(qū)動(dòng)裝置76均為氣缸，而且采用氣缸可以持續(xù)不斷的給爐門I提供推力，使?fàn)t門I關(guān)閉的更密閉。
[0022]另外，為了使第二驅(qū)動(dòng)裝置76的負(fù)荷達(dá)到最小，所述固定旋轉(zhuǎn)桿74末端的轉(zhuǎn)軸與固定第二驅(qū)動(dòng)裝置76的轉(zhuǎn)軸分別設(shè)置在爐體2軸向中心線的兩側(cè)，這樣設(shè)置形成了最省力的杠桿結(jié)構(gòu)，可以進(jìn)一步減小第二驅(qū)動(dòng)裝置76的負(fù)荷。
【權(quán)利要求】
1.太陽(yáng)能電池用硅片擴(kuò)散爐，包括設(shè)置有爐門(I)的爐體(2)，爐體(2)內(nèi)設(shè)有石英舟(3)，硅片放置于石英舟(3)上，爐體(2)上設(shè)有用于擴(kuò)散氣體進(jìn)入爐體(2)內(nèi)的進(jìn)氣管(4)和擴(kuò)散處理后排放尾氣的排放管(5 )，所述排放管(5 )上連接有抽風(fēng)機(jī)(6 )，所述爐體(2 )上設(shè)置有用于打開(kāi)或關(guān)閉爐門(I)的開(kāi)關(guān)裝置，其特征在于:所述開(kāi)關(guān)裝置包括底座(71)，所述底座(71)上設(shè)置有可移動(dòng)式支架(72 )以及用于驅(qū)動(dòng)可移動(dòng)式支架(72 )沿爐體(2 )軸向方向移動(dòng)的第一驅(qū)動(dòng)裝置(73),還包括旋轉(zhuǎn)桿(74)、推拉桿(75)以及用于推動(dòng)推拉桿(75)移動(dòng)的第二驅(qū)動(dòng)裝置(76)，所述底座(71)、可移動(dòng)式支架(72)、第一驅(qū)動(dòng)裝置(73)、旋轉(zhuǎn)桿(74)、推拉桿(75)以及第二驅(qū)動(dòng)裝置(76)均位于爐體(2)的軸向中心線下方，所述第二驅(qū)動(dòng)裝置(76 )通過(guò)轉(zhuǎn)軸固定在可移動(dòng)式支架(72 )上，所述旋轉(zhuǎn)桿(74 )的前端固定在爐門(I)上，末端通過(guò)轉(zhuǎn)軸固定在可移動(dòng)式支架(72)上，推拉桿(75)的前端通過(guò)轉(zhuǎn)軸固定在旋轉(zhuǎn)桿(74)上，末端與第二驅(qū)動(dòng)裝置(76)相連，當(dāng)?shù)诙?qū)動(dòng)裝置(76)推動(dòng)推拉桿(75)移動(dòng)時(shí)，推拉桿(75)推動(dòng)旋轉(zhuǎn)桿(74)繞旋轉(zhuǎn)桿(74)末端的轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)從而帶動(dòng)爐門(I)旋轉(zhuǎn)。
2.如權(quán)利要求1所述的太陽(yáng)能電池用硅片擴(kuò)散爐，其特征在于:所述推拉桿(75)的前端通過(guò)轉(zhuǎn)軸固定在旋轉(zhuǎn)桿(74)的前端。
3.如權(quán)利要求1或2所述的太陽(yáng)能電池用硅片擴(kuò)散爐，其特征在于:還包括壓縮彈簧(77)，所述壓縮彈簧(77)的前端固定在旋轉(zhuǎn)桿(74)上，末端固定在底座(71)上，并且所述壓縮彈簧(77)與推拉桿(75)位于旋轉(zhuǎn)桿(74)的同一側(cè)。
4.如權(quán)利要求3所述的太陽(yáng)能電池用硅片擴(kuò)散爐，其特征在于:所述壓縮彈簧(77)的前端固定在旋轉(zhuǎn)桿(74)的前端。
5.如權(quán)利要求4所述的太陽(yáng)能電池用硅片擴(kuò)散爐，其特征在于:所述第一驅(qū)動(dòng)裝置(73)、第二驅(qū)動(dòng)裝置(76)均為氣缸。
6.如權(quán)利要求5所述的太陽(yáng)能電池用硅片擴(kuò)散爐，其特征在于:所述固定旋轉(zhuǎn)桿(74)末端的轉(zhuǎn)軸與固定第二驅(qū)動(dòng)裝置(`76)的轉(zhuǎn)軸分別設(shè)置在爐體(2)軸向中心線的兩側(cè)。
【文檔編號(hào)】C30B31/06GK103510159SQ201310509421
【公開(kāi)日】2014年1月15日 申請(qǐng)日期:2013年10月25日 優(yōu)先權(quán)日:2013年10月25日
【發(fā)明者】陳五奎, 李軍, 徐文州, 上官新龍, 陳磊, 馮加保 申請(qǐng)人:樂(lè)山新天源太陽(yáng)能科技有限公司