一種用于揭除粘貼在拋光盤上拋光布的工裝的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及到單晶硅拋光片的生產(chǎn)領(lǐng)域，具體的說是一種用于揭除粘貼在拋光盤上拋光布的工裝。
【背景技術(shù)】
[0002]單晶硅拋光片是IC行業(yè)的基礎(chǔ)材料，單晶硅拋光片的加工方法為通過拋光布、拋光液等材料對(duì)硅片表面進(jìn)行化學(xué)機(jī)械拋光，而拋光布是粘貼在拋光機(jī)的拋光盤上的，需定期更換。為保證拋光過程順利進(jìn)行，拋光布需非常牢固的粘貼在拋光盤上，以保證拋光硅片質(zhì)量。而更換拋光布時(shí)，又需要將牢固粘貼在拋光盤上的拋光布揭除掉，揭除拋光布較為困難，而目前揭除拋光布還沒有一種合適的揭布工具，可以方便、省力的揭除拋光布。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]為解決現(xiàn)有技術(shù)中拋光布牢固粘貼在拋光盤上很難揭掉的問題，本實(shí)用新型提供了一種用于揭除粘貼在拋光盤上拋光布的工裝，可以方便、省力的揭除粘貼在拋光盤上的拋光布，大大提尚生廣效率。
[0004]本實(shí)用新型為解決上述技術(shù)問題采用的技術(shù)方案為:一種用于揭除粘貼在拋光盤上拋光布的工裝，包括一條形揭除桿，在條形揭除桿上沿其長(zhǎng)度長(zhǎng)度方向分布有貫通其厚度方向的條形通槽，條形揭除桿的一端設(shè)置有接頭，接頭上設(shè)置有連接棘輪扳手的傳動(dòng)方孔和連接加力桿的通孔中的一個(gè)或兩個(gè)，在拋光布的邊緣插入條形通槽中時(shí)，通過棘輪扳手或加力桿轉(zhuǎn)動(dòng)揭除桿轉(zhuǎn)動(dòng)，使拋光布從拋光盤上分離并纏繞在條形揭除桿上。
[0005]所述條形揭除桿為圓形，條形通槽垂直其軸向開設(shè)。
[0006]有益效果:本實(shí)用新型通過設(shè)置一根帶有條形通槽的揭除桿，然后在揭除桿的一側(cè)通過傳動(dòng)方孔和通孔與棘輪扳手或加力桿連接，在需要揭除拋光布時(shí)，將拋光布的邊緣揭起，然后插入到揭除桿的條形通槽內(nèi)再通過棘輪扳手或加力桿轉(zhuǎn)動(dòng)揭除桿，使拋光布在揭除桿轉(zhuǎn)動(dòng)的過程中從拋光盤上揭起并纏繞到揭除桿的表面；本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作簡(jiǎn)便，可以方便、快速的揭除粘貼在拋光盤上的拋光布。
【附圖說明】
[0007]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0008]圖2為本實(shí)用新型接頭的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0009]附圖標(biāo)記:1、條形揭除桿，2、條形通槽，3、接頭，301、傳動(dòng)方孔，302、通孔。
【具體實(shí)施方式】
[0010]如圖所示，一種用于揭除粘貼在拋光盤上拋光布的工裝，包括一條形揭除桿1，在條形揭除桿I上沿其長(zhǎng)度長(zhǎng)度方向分布有貫通其厚度方向的條形通槽2，條形揭除桿I的一端或兩端設(shè)置有接頭3，接頭3上設(shè)置有連接棘輪扳手的傳動(dòng)方孔301和連接加力桿的通孔302中的一個(gè)或兩個(gè)，在拋光布的邊緣插入條形通槽2中時(shí)，通過棘輪扳手或加力桿轉(zhuǎn)動(dòng)揭除桿I轉(zhuǎn)動(dòng)，使拋光布從拋光盤上分離并纏繞在條形揭除桿I上。
[0011]本實(shí)用新型中，所述條形揭除桿I為圓形，材質(zhì)一般選用金屬材質(zhì)，條形通槽2垂直其軸向開設(shè)。
[0012]為了增強(qiáng)揭布的效果，在條形揭除桿I上的條形通槽2兩側(cè)分布有毛刺，以便于拋光布更好的纏繞在條形揭除桿I上。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種用于揭除粘貼在拋光盤上拋光布的工裝，其特征在于:包括一條形揭除桿(1)，在條形揭除桿(I)上沿其長(zhǎng)度長(zhǎng)度方向分布有貫通其厚度方向的條形通槽(2)，條形揭除桿(I)的一端或兩端設(shè)置有接頭(3 )，接頭(3 )上設(shè)置有連接棘輪扳手的傳動(dòng)方孔(301)和連接加力桿的通孔(302)中的一個(gè)或兩個(gè)，在拋光布的邊緣插入條形通槽(2)中時(shí)，通過棘輪扳手或加力桿轉(zhuǎn)動(dòng)揭除桿(I)轉(zhuǎn)動(dòng)，使拋光布從拋光盤上分離并纏繞在條形揭除桿(I)上。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于揭除粘貼在拋光盤上拋光布的工裝，其特征在于:所述條形揭除桿(I)為圓形，條形通槽(2)垂直其軸向開設(shè)。
【專利摘要】一種用于揭除粘貼在拋光盤上拋光布的工裝，屬于單晶硅拋光片的生產(chǎn)領(lǐng)域，包括一條形揭除桿，在條形揭除桿上沿其長(zhǎng)度方向分布有貫通其厚度方向的條形通槽，條形揭除桿的一端設(shè)置有接頭，接頭上設(shè)置有連接棘輪扳手的傳動(dòng)方孔和連接加力桿的通孔中的一個(gè)或兩個(gè)，在拋光布的邊緣插入條形通槽中時(shí)，通過棘輪扳手或加力桿轉(zhuǎn)動(dòng)揭除桿轉(zhuǎn)動(dòng)，使拋光布從拋光盤上分離并纏繞在條形揭除桿上。本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作簡(jiǎn)便，可以方便、快速的揭除粘貼在拋光盤上的拋光布。
【IPC分類】B32B38/10
【公開號(hào)】CN204820604
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520609277
【發(fā)明人】史舸, 趙文龍, 胡曉亮, 高燁, 李宏儒, 張磊
【申請(qǐng)人】麥斯克電子材料有限公司
【公開日】2015年12月2日
【申請(qǐng)日】2015年8月14日