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電光裝置、電光裝置的制造方法、以及電子設(shè)備的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:10685922

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作為電子設(shè)備,例如已知有如下投射型顯示裝置等其將從光源射出的光通過被稱為DMD(數(shù)字微鏡器件)的電光裝置的多個鏡(微鏡)調(diào)制后,再通過投射光學(xué)系統(tǒng)將調(diào)制光放大投射,從而在屏幕上顯示圖像。該電子設(shè)備所使用的電光裝置中,鏡經(jīng)由鏡支撐部而被支撐在扭矩鉸鏈(扭轉(zhuǎn)鉸鏈)上,并且與扭矩鉸鏈電連接。另外,扭矩鉸鏈(扭轉(zhuǎn)鉸鏈)經(jīng)由鉸鏈支撐部被支撐在形成于基板的基板側(cè)偏壓電極上,并與基板側(cè)偏壓電極電連接。因此,當(dāng)從基板側(cè)偏壓電極向鏡施加偏壓,另一方面,向地址電極施加驅(qū)動電壓...
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