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使用定向波束信號(hào)分析的粒子大小的自適應(yīng)掃描的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):10727477

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在最近的一個(gè)世紀(jì)上,帶電粒子顯微鏡(CPM)的發(fā)展已經(jīng)導(dǎo)致在遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于可在光學(xué)顯微鏡中實(shí)現(xiàn)的放大率下的自然現(xiàn)象的觀察。基本電子顯微鏡已經(jīng)發(fā)展成幾種類別的設(shè)備例如透射電子顯微鏡(TEM)、掃描電子顯微鏡(SEM)和掃描透射電子顯微鏡(STEM),并且也發(fā)展成組合顯微鏡與“機(jī)器加工”聚焦離子束(FIB)的各種亞種,例如所謂的“雙波束”工具(例如FIB-SEM),其允許例如支持性活動(dòng),例如離子束銑削或離子束誘導(dǎo)沉積(IBID)。在SEM的操作中,由掃描電子束對(duì)樣品...
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