技術(shù)編號(hào)：2374271
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。一種基板傳輸設(shè)備包括框體、可旋轉(zhuǎn)地連接至所述框體的至少一個(gè)臂連桿和無軸驅(qū)動(dòng)部段。所述無軸驅(qū)動(dòng)部段包括堆疊的驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)，用于經(jīng)由無軸界面相對于所述框體旋轉(zhuǎn)所述至少一個(gè)臂連桿，所述堆疊的驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)中的每個(gè)包括定子和轉(zhuǎn)子，所述定子具有定子線圈，所述定子線圈設(shè)置在相對于所述框體固定的固定支柱上，所述轉(zhuǎn)子大致周向地環(huán)繞所述定子，使得所述轉(zhuǎn)子連接至所述至少一個(gè)臂連桿中的相應(yīng)一個(gè)，以相對于所述框體旋轉(zhuǎn)所述至少一個(gè)臂連桿中的一個(gè)，從而導(dǎo)致所述至少一個(gè)臂連桿之一的伸出或縮回...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。