技術(shù)編號：2759289
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于光譜中涉及的凹面全息光柵曝光光路中所使用的實時監(jiān)測 裝置的調(diào)整方法。背景技術(shù)在凹面全息光柵的制作過程中，使光柵基底上涂覆的光刻膠在曝光過程中獲得合 適的曝光量直接決定了能否制作出具有理想光柵槽形的凹面全息光柵。最為有效的控制曝 光量的方法是利用實時監(jiān)測裝置在曝光過程中對光刻膠中潛像光柵的衍射效率進(jìn)行實時 監(jiān)測，在曝光過程中將一束光刻膠不感光的He-Ne激光照射在光柵基底上，利用光電探測 器件將監(jiān)測光束衍射光的強度隨時間的變化曲線記錄下來，通過監(jiān)測...
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