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用于組合相干的激光束的設(shè)備和方法、激光系統(tǒng)與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:39561870

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本發(fā)明涉及一種用于將相干的激光束組合成至少一個組合的激光束的設(shè)備和方法。本發(fā)明還涉及一種激光系統(tǒng)。背景技術(shù)、從de?????a已知一種用于組合多個相干的激光束的設(shè)備,該設(shè)備包括用于將輸入激光束分離成多個相干的激光束的分離裝置、用于調(diào)整相干的激光束之一的相應(yīng)相位的多個相位調(diào)整裝置、以及用于將從光柵組件的多個光柵位置發(fā)出的相干的激光束組合成至少一個組合的激光束的射束組合裝置,其中射束組合裝置具有微透鏡組件,該微透鏡組件具有恰好一個微透鏡陣列,用以形成該至少一個組合的激光束...
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