技術(shù)編號(hào)：39713048
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本申請(qǐng)涉及吸取工具的，具體而言，涉及一種真空吸筆。背景技術(shù)、在晶圓生產(chǎn)技術(shù)行業(yè)，會(huì)使用真空吸筆來對(duì)晶圓(硅晶片)取出或者放置，真空吸筆整體形狀和大小與一般鋼筆類似，一端需要連接外部的壓縮空氣源，另一端設(shè)置吸嘴。常見的硅片真空吸筆通常包括依次連接的握持部、筆桿部和吸盤，握持部具有管腔，管腔連通真空負(fù)壓，吸盤的吸孔經(jīng)筆桿部所設(shè)氣道與所述管腔連通，握持部的管壁上設(shè)有連通管腔的泄壓孔，操作人員通過開閉泄壓孔實(shí)現(xiàn)負(fù)壓吸附。、現(xiàn)有的真空吸筆(例如：申請(qǐng)公布號(hào)為：cna，名稱為：一種吸取...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。