技術(shù)編號：39714759
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本技術(shù)涉及半導(dǎo)體，尤其涉及一種成型效率高的針模。背景技術(shù)、半導(dǎo)體微針模組通常是通過微加工技術(shù)進行加工成型的。微加工技術(shù)包括光刻、薄膜沉積、蝕刻、離子注入等工藝步驟。這些工藝可以在半導(dǎo)體材料上進行精確的加工，以實現(xiàn)微針模組的制造。、現(xiàn)有技術(shù)中，大多數(shù)的半導(dǎo)體微針模組在蝕刻過程中會采用螺紋固定的方式對微針模組進行定位，以防止其在蝕刻過程中發(fā)生偏移，但由于蝕刻過程中的化學(xué)反應(yīng)和液體流動，可能會產(chǎn)生振動和沖擊，導(dǎo)致螺紋固定的松動或變形，從而影響模組的穩(wěn)定性，并且螺紋固定通常需要在模組上增加螺紋孔或螺...
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