技術(shù)編號：39717403
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本申請屬于真空互聯(lián)，具體涉及一種用于真空互聯(lián)系統(tǒng)的超高真空樣品托。背景技術(shù)、真空互聯(lián)是指多臺超高真空設(shè)備通過超高真空管道相連，樣品可以不暴露大氣直接通過超高真空管道從一臺設(shè)備轉(zhuǎn)移至另一臺設(shè)備。為方便將樣品傳送到真空互聯(lián)系統(tǒng)中不同的超高真空設(shè)備，當(dāng)樣品尺寸小于傳樣尺寸時(shí)，通常會將樣品固定于采購或定制的傳樣媒介之上。一般傳樣媒介有硅片、不銹鋼、鉬片等英寸圓片。常用固定方式是用銅膠帶粘貼或通過點(diǎn)焊鉭片將樣品固定于傳樣媒介之上。、銅膠帶粘貼的固定方法是用雙面銅膠帶或單面銅膠帶直接將小樣品粘貼于傳樣...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。