技術(shù)編號(hào):39718694
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本申請(qǐng)涉及單晶硅加工,具體提供一種單晶硅的制備方法。背景技術(shù)、直拉法制備單晶硅是目前單晶硅生產(chǎn)中的一種常用方法,其將硅粉末投入到石英坩堝內(nèi)之后,首先將硅粉加熱至熔化,然后在坩堝上方將籽晶浸入硅溶液中,并通過控制熔體溫度、籽晶的旋轉(zhuǎn)及上升速度,使硅原子在固液交界面形成規(guī)則的結(jié)晶。、單晶硅的拉制過程主要包括熔化、引晶、放肩、等徑、收尾、冷卻取晶等階段,其中,等徑生長階段的時(shí)長在整個(gè)拉制過程中占比最大,因此等徑生長階段的拉晶速率在一定程度上決定了單晶硅的生產(chǎn)效率。然而在等徑生長過程中,不僅要控制晶...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。