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微機電系統(tǒng)執(zhí)行器封裝裝置及電氣產(chǎn)品技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:39721985

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本申請涉及微機電系統(tǒng)(mems)領(lǐng)域,尤其提供一種微機電系統(tǒng)執(zhí)行器封裝裝置及電氣產(chǎn)品。背景技術(shù)、微機電系統(tǒng)(mems)因其體積小、性能好而被用于智能手機等消費產(chǎn)品的傳感器。隨著mems技術(shù)的發(fā)展,常規(guī)的聲學(xué)器件,如揚聲器、超聲換能器等正被mems聲學(xué)器件所取代,因為它們有更好的聲學(xué)性能、更小的體積和焊接兼容性。通常制備完成的mems聲學(xué)芯片要先固定在pcb板上,再通過打線將mems器件與pcb版進行電連接,最后鍵合或粘連金屬(或陶瓷等)等進行封裝。由于打線需要在pcb板上預(yù)留較大面積的打線區(qū)域...
注意:該技術(shù)已申請專利,請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。

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