技術(shù)編號：39728162
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及壓電元件。背景技術(shù)、作為麥克風(fēng)等而使用的壓電元件具備基板和層疊于基板的下部電極、壓電膜、上部電極。并且，通過將基板的一部分去除并形成將下部電極、壓電膜、上部電極貫通的狹縫，從而使下部電極、壓電膜、上部電極的一部分成為被基板懸臂支承的薄膜部。在這樣的壓電元件中，若由于殘留應(yīng)力而薄膜部向上方或下方翹曲，則薄膜部與被基板支承的部分之間的間隙變大，有靈敏度下降的可能。、例如專利文獻(xiàn)中記載的mems轉(zhuǎn)換器(transducer)具備相同的三角形的個薄膜部，個薄膜部以固定端和相反側(cè)的頂端...
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