技術(shù)編號:39728598
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體集成電路制造領(lǐng)域,具體涉及一種p型共源分柵sonos存儲器陣列及其操作方法。背景技術(shù)、分柵型sonos存儲器,因省去了傳統(tǒng)兩管sonos存儲器中存儲管和選擇管中間共用的源端,可縮減存儲單元面積,而受到了廣泛關(guān)注。如圖所示,n型分柵sonos存儲器使用n型溝道和p阱(pw),由于sonos在擦寫(erase)過程中需要在p阱加正壓,因此為了隔離p阱和p型襯底,通常還需要引入深n阱(dnw),在工藝制造過程中就需要使用深n阱的光罩來定義深n阱注入?yún)^(qū)域。技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路、有鑒于此,本...
注意:該技術(shù)已申請專利,請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。
該類技術(shù)注重原理思路,無完整電路圖,適合研究學(xué)習(xí)。