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一種P型共源分柵SONOS存儲器陣列及其操作方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:39728598

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本發(fā)明涉及半導(dǎo)體集成電路制造領(lǐng)域,具體涉及一種p型共源分柵sonos存儲器陣列及其操作方法。背景技術(shù)、分柵型sonos存儲器,因省去了傳統(tǒng)兩管sonos存儲器中存儲管和選擇管中間共用的源端,可縮減存儲單元面積,而受到了廣泛關(guān)注。如圖所示,n型分柵sonos存儲器使用n型溝道和p阱(pw),由于sonos在擦寫(erase)過程中需要在p阱加正壓,因此為了隔離p阱和p型襯底,通常還需要引入深n阱(dnw),在工藝制造過程中就需要使用深n阱的光罩來定義深n阱注入?yún)^(qū)域。技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路、有鑒于此,本...
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該類技術(shù)注重原理思路,無完整電路圖,適合研究學(xué)習(xí)。

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